技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的目的是提供一種氧化鈰晶體的制備方法，該方法首先通過二氧化碳鼓泡沉淀制備碳酸鈰，進一步高溫焙燒所得碳酸鈰得到氧化鈰，制備過程不產(chǎn)生氨氮廢水，通過機械力易于將氧化鈰顆粒分散于液相；以該分散氧化鈰為磨料的CMP拋光液，在STI拋光應(yīng)用中顯示出優(yōu)良的平坦化拋光效率。

技術(shù)研發(fā)人員：尹先升;賈長征
受保護的技術(shù)使用者：安集微電子科技（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.31
技術(shù)公布日：2017.07.07