本實(shí)用新型涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種蒸鍍?cè)础?/p>

背景技術(shù)：

當(dāng)前廣泛使用的屏幕是液晶顯示器(英文：Liquid Crystal Display；簡(jiǎn)稱：LCD)和有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(英文：Organic Light-Emitting Diode；簡(jiǎn)稱：OLED)。OLED由于具有輕薄，低功耗，高對(duì)比度，高色域，可以實(shí)現(xiàn)柔性顯示等優(yōu)點(diǎn)，被認(rèn)為是下一代顯示器的發(fā)展趨勢(shì)。OLED的顯示包括被動(dòng)式有機(jī)電激發(fā)光二極管(英文：Passive matrix Organic Light-Emitting Diode；簡(jiǎn)稱：PMOLED)顯示和有源矩陣有機(jī)發(fā)光二極體面板(英文：Active-matrix organic light emittingdiode；簡(jiǎn)稱：AMOLED)顯示兩種。其中，AMOLED的實(shí)現(xiàn)方式有低溫多晶硅(英文：Low Temperature Poly-silicon；簡(jiǎn)稱：LTPS)背板+精細(xì)金屬掩膜(英文：Fine Metal Mask；簡(jiǎn)稱：FMM)方式，和氧化物(英文：Oxide)背板+白光有機(jī)發(fā)光二極管(英文：White Organic Light Emitting Diode；簡(jiǎn)稱：WOLED)+彩膜的方式。前者主要應(yīng)用于小尺寸面板，對(duì)應(yīng)手機(jī)和移動(dòng)應(yīng)用；后者主要應(yīng)用于大尺寸面板，對(duì)應(yīng)監(jiān)視器和電視等應(yīng)用。目前LTPS背板+FMM的方式已經(jīng)初步成熟，實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)。

相關(guān)技術(shù)中，LTPS背板+FMM的方式是采用蒸鍍?cè)磳LED有機(jī)材料按照預(yù)定程序蒸鍍到LTPS背板上，利用FMM上的圖形，形成紅綠藍(lán)器件。其中，蒸鍍?cè)窗ㄛ釄?、加熱絲和設(shè)置有多個(gè)噴嘴的坩堝蓋。坩堝由鈦材質(zhì)制成且為中空結(jié)構(gòu)，加熱絲環(huán)繞設(shè)置在坩堝外壁，坩堝蓋設(shè)置在坩堝開(kāi)口端。在進(jìn)行蒸鍍時(shí)，坩堝內(nèi)的OLED有機(jī)材料被加熱絲加熱后從噴嘴中噴出，進(jìn)而完成對(duì)LTPS背板的蒸鍍。

由于坩堝由鈦材質(zhì)制成，所以坩堝的熱傳導(dǎo)性較差，且坩堝外壁的加熱絲易變形，坩堝受熱的均勻性較差，進(jìn)而使OLED有機(jī)材料受熱的均勻性較差，最終導(dǎo)致OLED有機(jī)材料灰化變性，因此，蒸鍍?cè)凑翦兊目煽啃暂^差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決相關(guān)技術(shù)中蒸鍍?cè)凑翦兊目煽啃暂^差的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種蒸鍍?cè)?。所述技術(shù)方案如下：

提供了一種蒸鍍?cè)?，所述蒸鍍?cè)窗ǎ赫翦儽倔w和n個(gè)加熱部件，所述n大于1，

所述蒸鍍本體包括為中空結(jié)構(gòu)的坩堝、環(huán)繞設(shè)置在所述坩堝外壁的加熱絲和設(shè)置有n個(gè)噴嘴的坩堝蓋，所述坩堝蓋設(shè)置在所述坩堝開(kāi)口端；

所述n個(gè)加熱部件設(shè)置在所述坩堝內(nèi)，每個(gè)所述加熱部件位于一個(gè)噴嘴的下方，每個(gè)所述加熱部件設(shè)置有加熱絲。

可選的，所述蒸鍍?cè)催€包括：噴嘴疏通部件，所述噴嘴疏通部件包括激光發(fā)生器、金屬棒、控制器和第一驅(qū)動(dòng)部件，

所述噴嘴疏通部件位于所述坩堝內(nèi)部或者外部；

所述金屬棒為中空結(jié)構(gòu)，所述金屬棒的頂端為密閉結(jié)構(gòu)，所述激光發(fā)生器與所述控制器連接，所述激光發(fā)生器用于在所述控制器的控制下發(fā)射激光，并采用所述激光對(duì)所述金屬棒加熱，加熱的金屬棒能夠在所述第一驅(qū)動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)力下穿入所述噴嘴內(nèi)。

可選的，每個(gè)所述加熱部件的高度相等，且大于所述坩堝所能容納的待蒸鍍材料的最大厚度。

可選的，所述噴嘴疏通部件位于所述坩堝內(nèi)部，所述噴嘴疏通部件的數(shù)量為n，每個(gè)所述噴嘴疏通部件還包括：底座、激光傳導(dǎo)部件和第二驅(qū)動(dòng)部件，

所述坩堝底面設(shè)置有n個(gè)開(kāi)口，每個(gè)所述噴嘴在所述坩堝底面上的正投影的中心與一個(gè)開(kāi)口的中心重合；

每個(gè)所述加熱部件包括套管和管蓋，所述管蓋設(shè)置在所述套管的頂端，所述套管的管壁包括內(nèi)層壁和外層壁，所述加熱部件的加熱絲環(huán)繞設(shè)置在所述內(nèi)層壁上，所述套管的底端與所述坩堝底面的開(kāi)口為一體型結(jié)構(gòu)；

對(duì)于每個(gè)所述噴嘴疏通部件，所述金屬棒設(shè)置在所述套管內(nèi)，所述底座設(shè)置在所述金屬棒的底端，所述底座為中空結(jié)構(gòu)，所述金屬棒和所述底座連通，所述激光發(fā)生器和所述激光傳導(dǎo)部件設(shè)置在所述底座內(nèi)，所述激光傳導(dǎo)部件能夠?qū)⑺黾す獍l(fā)生器發(fā)射的激光經(jīng)過(guò)所述金屬棒傳輸至所述金屬棒的頂端，所述第一驅(qū)動(dòng)部件設(shè)置在所述底座的一端，

所述內(nèi)層壁和所述外層壁形成的環(huán)形空間中設(shè)置有容納管，所述容納管內(nèi)設(shè)置有第一支撐桿，所述第一支撐桿的一端與所述第二驅(qū)動(dòng)部件連接，所述第一支撐桿能夠在所述第二驅(qū)動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)力下發(fā)生垂直位移，以及沿水平方向旋轉(zhuǎn)，所述第一支撐桿的另一端與所述管蓋固定連接。

可選的，所述噴嘴疏通部件位于所述坩堝外部，所述噴嘴疏通部件還包括承載臺(tái)、導(dǎo)軌和第二支撐桿，

所述第一驅(qū)動(dòng)部件和所述導(dǎo)軌設(shè)置在所述承載臺(tái)上，所述第二支撐桿的一端位于所述導(dǎo)軌內(nèi)，所述第二支撐桿與所述第一驅(qū)動(dòng)部件連接，所述第二支撐桿能夠在所述第一驅(qū)動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)力下沿著所述導(dǎo)軌在水平面上移動(dòng)并發(fā)生垂直位移，所述第二支撐桿遠(yuǎn)離所述承載臺(tái)的一端設(shè)置有激光頭，所述金屬棒設(shè)置在所述激光頭遠(yuǎn)離所述第二支撐桿的一端。

可選的，所述第二支撐桿為中空結(jié)構(gòu)，所述噴嘴疏通部件還包括激光傳導(dǎo)部件，

所述激光發(fā)生器設(shè)置在所述承載臺(tái)上，所述激光傳導(dǎo)部件設(shè)置在所述第二支撐桿內(nèi)。

可選的，所述激光發(fā)生器設(shè)置在所述第二支撐桿遠(yuǎn)離所述承載臺(tái)的一端，且靠近所述激光頭的位置處。

可選的，所述套管的外層壁的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第一溫度傳感器，所述第一溫度傳感器用于監(jiān)測(cè)所述套管上的溫度，并將監(jiān)測(cè)到的溫度傳輸至所述控制器。

可選的，所述金屬棒的外壁設(shè)置有第二溫度傳感器，所述第二溫度傳感器用于監(jiān)測(cè)所述金屬棒上的溫度，并將監(jiān)測(cè)到的溫度傳輸至所述控制器。

可選的，所述噴嘴疏通部件還包括保護(hù)部件，所述激光傳導(dǎo)部件設(shè)置在所述保護(hù)部件內(nèi)。

本實(shí)用新型提供了一種蒸鍍?cè)?，由于該蒸鍍?cè)窗訜岵考總€(gè)加熱部件位于一個(gè)噴嘴的下方，每個(gè)加熱部件設(shè)置有加熱絲，所以加熱部件能夠?qū)釄鍍?nèi)的待蒸鍍材料進(jìn)一步加熱，因此，提高了待蒸鍍材料受熱的均勻性，避免了待蒸鍍材料灰化變形，提高了蒸鍍?cè)凑翦兊目煽啃浴?/p>

應(yīng)當(dāng)理解的是，以上的一般描述和后文的細(xì)節(jié)描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本實(shí)用新型。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1-1是相關(guān)技術(shù)中的一種蒸鍍?cè)吹慕Y(jié)構(gòu)示意圖；

圖1-2是圖1-1所示蒸鍍?cè)吹慕孛媸疽鈭D；

圖1-3是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種蒸鍍?cè)吹慕Y(jié)構(gòu)示意圖；

圖2-1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的另一種蒸鍍?cè)吹慕Y(jié)構(gòu)示意圖；

圖2-2是圖2-1所示蒸鍍?cè)吹募訜岵考慕Y(jié)構(gòu)示意圖；

圖2-3是圖2-2所示加熱部件的套管和管蓋的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的又一種蒸鍍?cè)吹慕Y(jié)構(gòu)示意圖。

通過(guò)上述附圖，已示出本實(shí)用新型明確的實(shí)施例，后文中將有更詳細(xì)的描述。這些附圖和文字描述并不是為了通過(guò)任何方式限制本實(shí)用新型構(gòu)思的范圍，而是通過(guò)參考特定實(shí)施例為本領(lǐng)域技術(shù)人員說(shuō)明本實(shí)用新型的概念。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。

圖1-1是相關(guān)技術(shù)中的一種蒸鍍?cè)吹慕Y(jié)構(gòu)示意圖，如圖1-1所示，該蒸鍍?cè)窗ǎ痕釄?01、加熱絲002和設(shè)置有多個(gè)噴嘴003的坩堝蓋004。在進(jìn)行蒸鍍時(shí)，坩堝001內(nèi)的OLED有機(jī)材料被加熱后從噴嘴003中噴出，完成對(duì)LTPS背板的蒸鍍。圖1-2示出了該蒸鍍?cè)吹慕孛媸疽鈭D。圖1-2中的003為噴嘴，004為坩堝蓋，002為加熱絲，001為坩堝。圖1-2中的“+”和“-”表示電熱絲上的電流的方向。由于坩堝的熱傳導(dǎo)性較差，且坩堝外壁的加熱絲易變形，坩堝受熱的均勻性較差，所以O(shè)LED有機(jī)材料受熱的均勻性較差，OLED有機(jī)材料易灰化變性，蒸鍍的可靠性較差。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種蒸鍍?cè)?，如圖1-3所示，該蒸鍍?cè)窗ㄕ翦儽倔w100和n個(gè)加熱部件200，n大于1(圖1-3中以n等于10為例進(jìn)行說(shuō)明)。

蒸鍍本體100包括為中空結(jié)構(gòu)的坩堝110、環(huán)繞設(shè)置在坩堝110外壁的加熱絲111和設(shè)置有n個(gè)噴嘴1120的坩堝蓋112。坩堝蓋112設(shè)置在坩堝110開(kāi)口端。

n個(gè)加熱部件200設(shè)置在坩堝110內(nèi)，每個(gè)加熱部件200位于一個(gè)噴嘴1120的下方，每個(gè)加熱部件200設(shè)置有加熱絲201。

綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的蒸鍍?cè)?，由于該蒸鍍?cè)窗訜岵考總€(gè)加熱部件位于一個(gè)噴嘴的下方，每個(gè)加熱部件設(shè)置有加熱絲，所以加熱部件能夠?qū)釄鍍?nèi)的待蒸鍍材料進(jìn)一步加熱，因此，提高了待蒸鍍材料受熱的均勻性，避免了待蒸鍍材料灰化變形，提高了蒸鍍?cè)凑翦兊目煽啃浴?/p>

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了另一種蒸鍍?cè)矗鐖D2-1所示，該蒸鍍?cè)窗ㄕ翦儽倔w、n個(gè)加熱部件200和噴嘴疏通部件300，n大于1(圖2-1中以n等于10為例進(jìn)行說(shuō)明)。

蒸鍍本體包括為中空結(jié)構(gòu)的坩堝110、環(huán)繞設(shè)置在坩堝110外壁的加熱絲(圖2-1中未畫出)和設(shè)置有n個(gè)噴嘴1120的坩堝蓋112。坩堝蓋112設(shè)置在坩堝110開(kāi)口端。可選的，坩堝和坩堝蓋可以是線性體，線性體指的是載荷與物體的變形成線性關(guān)系的物體。

n個(gè)加熱部件200設(shè)置在坩堝110內(nèi)，每個(gè)加熱部件200位于一個(gè)噴嘴1120的下方，每個(gè)加熱部件200設(shè)置有加熱絲201。

為了進(jìn)一步提高坩堝內(nèi)待蒸鍍材料(如OLED有機(jī)材料)受熱的均勻性，該蒸鍍?cè)吹拿總€(gè)加熱部件200的高度相等，且大于坩堝110所能容納的待蒸鍍材料的最大厚度。通常，坩堝所能容納的待蒸鍍材料的最大厚度為坩堝高度的3/4。

如圖2-1所示，噴嘴疏通部件300位于坩堝110內(nèi)部，噴嘴疏通部件的數(shù)量為n。也即噴嘴疏通部件的數(shù)量與坩堝蓋上的噴嘴的數(shù)量相同。

示例的，圖2-2示出了每個(gè)加熱部件的一種結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2-2所示，每個(gè)噴嘴疏通部件包括激光發(fā)生器310、金屬棒320、控制器(圖2-2中未畫出)和第一驅(qū)動(dòng)部件330。每個(gè)噴嘴疏通部件還包括：底座340、激光傳導(dǎo)部件350和第二驅(qū)動(dòng)部件360。

坩堝110底面設(shè)置有n個(gè)開(kāi)口(圖2-2中未示出)，每個(gè)噴嘴(如圖2-1中的1120)在坩堝110底面上的正投影的中心與一個(gè)開(kāi)口的中心重合。

參見(jiàn)圖2-2，每個(gè)加熱部件包括套管210和管蓋220。管蓋220設(shè)置在套管210的頂端。管蓋220對(duì)套管210具有密封作用，保證在蒸鍍過(guò)程中，坩堝內(nèi)具有較高的氣壓，防止待蒸鍍材料從套管內(nèi)部向下噴出。扣置有管蓋的套管的高度小于坩堝的高度。當(dāng)管蓋220位于套管210上時(shí)，管蓋220邊緣的下端低于套管210的頂端，如圖2-3所示。此外，為了避免套管和管蓋在高溫環(huán)境中發(fā)生變形，示例的，套管和管蓋可以由鈦金屬制成。

套管210的管壁包括內(nèi)層壁211和外層壁212。加熱部件的加熱絲201環(huán)繞設(shè)置在內(nèi)層壁211上。加熱絲201與外部電源電連接。加熱絲201用于加熱套管，進(jìn)而加熱坩堝內(nèi)的待蒸鍍材料，提高待蒸鍍材料受熱的均勻性，避免了待蒸鍍材料因受熱不均勻而引起的局部高溫，最終產(chǎn)生灰化變形的現(xiàn)象，該加熱部件提高了產(chǎn)品性能。

套管210的底端與坩堝110底面的開(kāi)口為一體型結(jié)構(gòu)。套管210的頂端位于坩堝內(nèi)部。套管的內(nèi)徑大于等于套管正上方的噴嘴的內(nèi)徑。

激光發(fā)生器310與控制器連接。激光發(fā)生器310用于在控制器的控制下發(fā)射激光01，并采用激光對(duì)金屬棒320加熱，加熱的金屬棒320能夠在第一驅(qū)動(dòng)部件330的驅(qū)動(dòng)力下穿入噴嘴內(nèi)，對(duì)堵塞的噴嘴進(jìn)行有效疏通。示例的，該控制器為可編程邏輯控制器(英文：Programmable Logic Controller；簡(jiǎn)稱：PLC)。激光發(fā)生器可以設(shè)置為外連型結(jié)構(gòu)，便于電源線與控制線分別和外界控制器相連。由于激光技術(shù)是一種方向性較好，能量大小可以選擇的一種應(yīng)用較廣泛的非接觸形處理技術(shù)，所以本實(shí)用新型實(shí)施例采用激光對(duì)金屬棒加熱。由于噴嘴通常是由金屬制成，所以加熱的金屬棒能夠使附著在噴嘴內(nèi)壁上的待蒸鍍材料迅速升華以及氣化。

具體的，對(duì)于每個(gè)噴嘴疏通部件，金屬棒320為中空結(jié)構(gòu)，金屬棒320頂端為密閉結(jié)構(gòu)。金屬棒320設(shè)置在套管210內(nèi)。底座340設(shè)置在金屬棒320的底端。底座與金屬棒連為一體。底座340為中空結(jié)構(gòu)，金屬棒320和底座340連通。激光發(fā)生器310和激光傳導(dǎo)部件350設(shè)置在底座340內(nèi)。激光傳導(dǎo)部件350能夠?qū)⒓す獍l(fā)生器310發(fā)射的激光經(jīng)過(guò)金屬棒320傳輸至金屬棒320的頂端。第一驅(qū)動(dòng)部件330設(shè)置在底座340的一端。該第一驅(qū)動(dòng)部件330能夠使金屬棒320沿垂直方向上下移動(dòng)，并能夠使金屬棒320在套管210內(nèi)自由移動(dòng)。第一驅(qū)動(dòng)部件330可以為機(jī)械馬達(dá)。金屬棒為可伸縮結(jié)構(gòu)。

套管210的內(nèi)層壁211和外層壁212形成的環(huán)形空間中設(shè)置有容納管213。容納管213內(nèi)設(shè)置有第一支撐桿2131。第一支撐桿2131的一端與第二驅(qū)動(dòng)部件360連接。第一支撐桿2131能夠在第二驅(qū)動(dòng)部件360的驅(qū)動(dòng)力下發(fā)生垂直位移，以及沿水平方向旋轉(zhuǎn)。也即第二驅(qū)動(dòng)部件能夠控制支撐桿垂直上下移動(dòng)以及沿水平方向旋轉(zhuǎn)。第二驅(qū)動(dòng)部件可以為機(jī)械馬達(dá)。

第一支撐桿2131的另一端與管蓋220固定連接。第一支撐桿的另一端與管蓋為一體型結(jié)構(gòu)。當(dāng)?shù)谝恢螚U垂直上下移動(dòng)以及沿水平方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，管蓋也會(huì)隨著第一支撐桿垂直上下移動(dòng)以及沿水平方向旋轉(zhuǎn)。

本實(shí)用新型實(shí)施例中的噴嘴疏通部件位于坩堝內(nèi)部。每個(gè)加熱部件設(shè)置有一個(gè)噴嘴疏通部件。采用噴嘴疏通部件可以對(duì)堵塞的噴嘴進(jìn)行有效疏通，避免了材料累積，提高了蒸鍍工藝產(chǎn)能，節(jié)約了人力，降低了蒸鍍成本。

進(jìn)一步的，如圖2-2所示，套管210的外層壁212的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第一溫度傳感器2121。第一溫度傳感器2121用于監(jiān)測(cè)套管210上的溫度，并將監(jiān)測(cè)到的溫度傳輸至控制器，以便于控制器根據(jù)該溫度調(diào)整流經(jīng)內(nèi)層壁211上的加熱絲201的電流值，進(jìn)而調(diào)整套管的溫度，使得坩堝內(nèi)的待蒸鍍材料受熱的均勻性更高。

進(jìn)一步的，如圖2-2所示，金屬棒320的外壁設(shè)置有第二溫度傳感器3201。第二溫度傳感器3201用于監(jiān)測(cè)金屬棒320上的溫度，并將監(jiān)測(cè)到的溫度傳輸至控制器，以便于控制器根據(jù)該溫度控制激光發(fā)生器310發(fā)射激光的時(shí)間、強(qiáng)度、光斑大小和開(kāi)關(guān)頻率等，提高了金屬棒的高溫穩(wěn)定性。

進(jìn)一步的，每個(gè)噴嘴疏通部件還包括保護(hù)部件。激光傳導(dǎo)部件可以設(shè)置在該保護(hù)部件內(nèi)。該保護(hù)部件用于保護(hù)激光傳導(dǎo)部件，使激光傳導(dǎo)部件不受外界影響，進(jìn)而保證激光傳導(dǎo)部件能夠?qū)⒓す獍l(fā)生器發(fā)射的激光經(jīng)過(guò)金屬棒傳輸至金屬棒的頂端。

參見(jiàn)圖2-2，采用本實(shí)用新型實(shí)施例提供的蒸鍍?cè)催M(jìn)行蒸鍍時(shí)，在噴嘴被坩堝內(nèi)的待蒸鍍材料堵塞后，將蒸鍍?cè)匆苿?dòng)至非蒸鍍區(qū)域(非蒸鍍區(qū)指的是蒸鍍機(jī)內(nèi)沒(méi)有蒸鍍基板的區(qū)域)。第一支撐桿2131在第二驅(qū)動(dòng)部件360的驅(qū)動(dòng)力下帶動(dòng)管蓋220垂直上升。當(dāng)管蓋220邊緣的下端高于套管210的頂端時(shí)，第一支撐桿2131在第二驅(qū)動(dòng)部件360的驅(qū)動(dòng)力下帶動(dòng)管蓋220沿水平方向旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，套管210內(nèi)部全部露出。接著，激光發(fā)生器310在控制器的控制下發(fā)射一定能量的激光，激光通過(guò)激光傳導(dǎo)部件350投射至金屬棒320的頂端，金屬棒320頂端迅速升溫。同時(shí)，金屬棒320在第一驅(qū)動(dòng)部件330的驅(qū)動(dòng)力下穿入噴嘴內(nèi)，并在噴嘴內(nèi)沿水平方向移動(dòng)。堵塞在噴嘴內(nèi)的待蒸鍍材料被氣化處理，堵塞的噴嘴內(nèi)被疏通。最后，激光發(fā)生器310關(guān)閉，金屬棒320在第一驅(qū)動(dòng)部件330的驅(qū)動(dòng)力下垂直下降并退回至套管210內(nèi)部。第一支撐桿2131也在第二驅(qū)動(dòng)部件360的驅(qū)動(dòng)力下帶動(dòng)管蓋220沿水平方向旋轉(zhuǎn)，再垂直下降，管蓋220重新位于套管210的頂端。至此，可以繼續(xù)進(jìn)行蒸鍍生產(chǎn)。

綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的蒸鍍?cè)?，由于該蒸鍍?cè)窗訜岵考?，每個(gè)加熱部件位于一個(gè)噴嘴的下方，每個(gè)加熱部件設(shè)置有加熱絲，所以加熱部件能夠?qū)釄鍍?nèi)的待蒸鍍材料進(jìn)一步加熱，因此，提高了待蒸鍍材料受熱的均勻性，避免了待蒸鍍材料灰化變形，提高了蒸鍍?cè)凑翦兊目煽啃?，且該蒸鍍?cè)茨軌蛟趪娮毂淮翦儾牧隙氯麜r(shí)，自動(dòng)疏通堵塞的噴嘴，去除附著在噴嘴內(nèi)部的待蒸鍍材料，避免材料累積，提高蒸鍍工藝產(chǎn)能。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了又一種蒸鍍?cè)?，如圖3所示，該蒸鍍?cè)窗ㄕ翦儽倔w、n個(gè)加熱部件200和噴嘴疏通部件300，n大于1。

蒸鍍本體包括為中空結(jié)構(gòu)的坩堝110、環(huán)繞設(shè)置在坩堝110外壁的加熱絲111和設(shè)置有n個(gè)噴嘴1120的坩堝蓋112，坩堝蓋112設(shè)置在坩堝110開(kāi)口端。此外，圖3中的“+”和“-”表示電熱絲上的電流的方向。

n個(gè)加熱部件200設(shè)置在坩堝110內(nèi)，每個(gè)加熱部件200位于一個(gè)噴嘴1120的下方，每個(gè)加熱部件200設(shè)置有加熱絲201。

為了進(jìn)一步提高坩堝內(nèi)待蒸鍍材料受熱的均勻性，該蒸鍍?cè)吹拿總€(gè)加熱部件200的高度相等，且大于坩堝110所能容納的待蒸鍍材料的最大厚度。通常，坩堝所能容納的待蒸鍍材料的最大厚度為坩堝高度的3/4。

如圖3所示，該噴嘴疏通部件300位于坩堝110外部，噴嘴疏通部件300包括激光發(fā)生器310、金屬棒320、控制器(圖3中未畫出)和第一驅(qū)動(dòng)部件330。該噴嘴疏通部件300還包括承載臺(tái)301、導(dǎo)軌(圖3中未畫出)和第二支撐桿302。

其中，第一驅(qū)動(dòng)部件330和導(dǎo)軌設(shè)置在承載臺(tái)301上。第二支撐桿302的一端位于導(dǎo)軌內(nèi)。第二支撐桿302與第一驅(qū)動(dòng)部件330連接。第二支撐桿302能夠在第一驅(qū)動(dòng)部件330的驅(qū)動(dòng)力下沿著導(dǎo)軌在水平面上移動(dòng)并發(fā)生垂直位移。第二支撐桿為可伸縮結(jié)構(gòu)。第二支撐桿302遠(yuǎn)離承載臺(tái)301的一端設(shè)置有激光頭3031。金屬棒320設(shè)置在激光頭3031遠(yuǎn)離第二支撐桿302的一端。

金屬棒320為中空結(jié)構(gòu)，金屬棒320的頂端為密閉結(jié)構(gòu)。金屬棒320的上端與激光頭3031密閉連接。激光頭的射光口位于金屬棒的空腔內(nèi)，激光頭發(fā)射的激光能夠照射金屬棒的內(nèi)壁，加熱金屬棒的密閉結(jié)構(gòu)的一端。

激光發(fā)生器310與控制器連接。激光發(fā)生器310用于在控制器的控制下發(fā)射激光01并采用激光對(duì)金屬棒320加熱。具體的，激光發(fā)生器310將激光發(fā)射至激光頭3031，激光頭3031再采用激光照射金屬棒320的內(nèi)壁。實(shí)際應(yīng)用中，可以選取不會(huì)使金屬棒變軟及材質(zhì)變性的激光發(fā)射器作為激光發(fā)射源。

參見(jiàn)圖3，加熱的金屬棒320能夠在第一驅(qū)動(dòng)部件330的驅(qū)動(dòng)力下穿入噴嘴1120內(nèi)。第二支撐桿302能夠在第一驅(qū)動(dòng)部件330的驅(qū)動(dòng)力下帶動(dòng)激光頭3031和金屬棒320移動(dòng)，使得激光頭3031和金屬棒320移動(dòng)至噴嘴1120的上方。然后，激光頭3031采用激光照射金屬棒320的內(nèi)壁，被照射的金屬棒320迅速升溫，高溫的金屬棒320加熱附著在坩堝110內(nèi)壁的待蒸鍍材料，使待蒸鍍材料蒸發(fā)，達(dá)到清除坩堝內(nèi)壁的效果。同時(shí)，第二支撐桿302能夠在第一驅(qū)動(dòng)部件330的驅(qū)動(dòng)力下帶動(dòng)激光頭3031和金屬棒320垂直上下移動(dòng)。這樣一來(lái)，金屬棒320可以穿入噴嘴1120內(nèi)，并在噴嘴1120內(nèi)垂直上下移動(dòng)，達(dá)到疏通堵塞的噴嘴的目的。

具體的，噴嘴疏通部件的導(dǎo)軌可以包括x方向(即圖3中的“x”指示的方向)的第一導(dǎo)軌和y方向(即圖3中的“y”指示的方向)的第二導(dǎo)軌。當(dāng)蒸鍍?cè)匆苿?dòng)至非蒸鍍區(qū)域時(shí)，首先，第二支撐桿在第一驅(qū)動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)力下垂直上移，(即沿圖3中“z+”指示的方向移動(dòng))，第二支撐桿帶動(dòng)激光頭和金屬棒垂直上移。然后，第二支撐桿在第一驅(qū)動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)力下沿著第一導(dǎo)軌按照x正方向(即圖3中的“x+”指示的方向)靠近坩堝，第二支撐桿帶動(dòng)激光頭和金屬棒靠近坩堝，使得激光頭和金屬棒位于噴嘴的上方。接著，激光頭采用激光照射金屬棒的內(nèi)壁，清除坩堝內(nèi)壁上的待蒸鍍材料。同時(shí)，第二支撐桿帶動(dòng)激光頭和金屬棒垂直上下移動(dòng)，疏通堵塞的噴嘴。當(dāng)需要疏通下一個(gè)噴嘴時(shí)，第二支撐桿可以在第一驅(qū)動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)力下沿著第二導(dǎo)軌按照y正方向(即圖3中的“y+”指示的方向)移動(dòng)，第二支撐桿帶動(dòng)激光頭和金屬棒移動(dòng)至下一個(gè)待疏通噴嘴的上方，激光頭繼續(xù)采用激光照射金屬棒的內(nèi)壁，清除坩堝內(nèi)壁上的待蒸鍍材料，同時(shí)，第二支撐桿帶動(dòng)激光頭和金屬棒垂直上下移動(dòng)，疏通堵塞的噴嘴。當(dāng)所有待疏通的噴嘴被疏通完畢時(shí)，第二支撐桿可以在第一驅(qū)動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)力下帶動(dòng)激光頭和金屬棒沿著y負(fù)方向(即圖3中的“y+”指示的方向的反方向)、x負(fù)方向(即圖3中的“x+”指示的方向的反方向)和z負(fù)方向(即圖3中的“z+”指示的方向的反方向)退回至原點(diǎn)，以便下次繼續(xù)工作。

本實(shí)用新型實(shí)施例中的噴嘴疏通部件位于坩堝外部。蒸鍍?cè)粗恍璋ㄒ粋€(gè)噴嘴疏通部件。該噴嘴疏通部件的金屬棒可以來(lái)回移動(dòng)，依次對(duì)每個(gè)堵塞的噴嘴進(jìn)行疏通。該噴嘴疏通部件還可以清除附著在坩堝內(nèi)壁的待蒸鍍材料。該噴嘴疏通部件能夠在不打開(kāi)坩堝的情況下迅速處理噴嘴以及坩堝內(nèi)壁的待蒸鍍材料，所以提高了蒸鍍工藝產(chǎn)能，節(jié)約了人力，降低了蒸鍍成本。

另外，激光發(fā)生器和激光頭的相對(duì)距離可以根據(jù)蒸鍍?cè)吹目臻g來(lái)確定?？蛇x的，如圖3所示，第二支撐桿302可以為中空結(jié)構(gòu)，噴嘴疏通部件300還包括激光傳導(dǎo)部件。激光發(fā)生器310設(shè)置在承載臺(tái)301上，激光傳導(dǎo)部件設(shè)置在第二支撐桿內(nèi)302內(nèi)。由于激光發(fā)生器和激光頭的相對(duì)距離較大，所以可以在激光發(fā)生器和激光頭之間設(shè)置激光傳導(dǎo)部件。

可選的，激光發(fā)生器還可以設(shè)置在第二支撐桿遠(yuǎn)離承載臺(tái)的一端，且靠近激光頭的位置處。由于激光發(fā)生器與激光頭的相對(duì)距離較大，所以無(wú)需在激光發(fā)生器與激光頭之間設(shè)置激光傳導(dǎo)部件。第二支撐桿可以為中空結(jié)構(gòu)，激光發(fā)生器的電源線和控制線可以經(jīng)過(guò)中空結(jié)構(gòu)的第二支撐桿與外界控制器連接。

進(jìn)一步的，噴嘴疏通部件還包括保護(hù)部件。激光傳導(dǎo)部件設(shè)置在該保護(hù)部件內(nèi)。保護(hù)部件用于保護(hù)激光傳導(dǎo)部件，使激光傳導(dǎo)部件不受外界影響，進(jìn)而保證激光傳導(dǎo)部件能夠?qū)⒓す獍l(fā)生器發(fā)射的激光經(jīng)過(guò)金屬棒傳輸至金屬棒。

綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的蒸鍍?cè)矗捎谠撜翦冊(cè)窗訜岵考?，每個(gè)加熱部件位于一個(gè)噴嘴的下方，每個(gè)加熱部件設(shè)置有加熱絲，所以加熱部件能夠?qū)Υ翦儾牧线M(jìn)一步加熱，因此，提高了待蒸鍍材料受熱的均勻性，避免了待蒸鍍材料灰化變形，提高了蒸鍍?cè)凑翦兊目煽啃裕以撜翦冊(cè)茨軌蛟趪娮毂淮翦儾牧隙氯麜r(shí)，自動(dòng)疏通堵塞的噴嘴，去除附著在噴嘴內(nèi)部的待蒸鍍材料，并去除附著在坩堝內(nèi)壁的待蒸鍍材料，避免材料累積，提高蒸鍍工藝產(chǎn)能。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。