一種蒸鍍坩堝的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種蒸鍍坩堝，屬于OLED制備技術(shù)領(lǐng)域。所述蒸鍍坩堝包括坩堝、第一導(dǎo)熱管和高溫流體供應(yīng)部，所述第一導(dǎo)熱管沿著所述坩堝的側(cè)壁設(shè)置，所述第一導(dǎo)熱管的入口和出口均與所述高溫流體供應(yīng)部連通；所述高溫流體供應(yīng)部用于向所述第一導(dǎo)熱管供應(yīng)高溫流體。本實(shí)用新型通過第一導(dǎo)熱管設(shè)置在坩堝的側(cè)壁上，由于管道的抗變形能力較強(qiáng)，保證在使用本實(shí)用新型的過程中，第一導(dǎo)熱管能夠與坩堝的側(cè)壁保持良好接觸，以將高溫流體的熱量傳遞到坩堝的側(cè)壁上，進(jìn)而保證熱量的利用率。
【專利說明】
一種蒸鍍坩堝
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及0LED(0rganic Light Emitting D1de，有機(jī)發(fā)光二極管)制備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種蒸鍍坩禍。
【背景技術(shù)】
[0002]OLED是一種有機(jī)發(fā)光二極管，在制造OLED時(shí)，使用坩禍將用于制作OLED的有機(jī)材料蒸鍍到OLED基板上。
[0003]目前的坩禍外部包裹有加熱絲，在使用坩禍蒸鍍用于制作OLED的有機(jī)材料時(shí)，先將有機(jī)材料盛放于坩禍內(nèi)，再對(duì)加熱絲通電，加熱絲將電能轉(zhuǎn)化為熱能而對(duì)坩禍進(jìn)行加熱，坩禍的側(cè)壁將加熱絲產(chǎn)生的熱量傳遞至位于坩禍內(nèi)的有機(jī)材料中，有機(jī)材料在高溫下升華或汽化為氣體，氣體上升并遇到位于坩禍上方的OLED基板，在OLED基板上發(fā)生凝華，從而將有機(jī)材料蒸鍍到OLED基板上。
[0004]在實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)至少存在以下問題:
[0005]加熱絲在高溫環(huán)境下容易變形，加熱絲變形后不能很好地與坩禍的外壁接觸，導(dǎo)致加熱絲上的熱量不能傳導(dǎo)至坩禍上，熱量的利用率較低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]為了解決現(xiàn)有技術(shù)的加熱絲在高溫環(huán)境下容易發(fā)生變形，且加熱絲變形后不能很好的與坩禍的外壁接觸，熱量的利用率較低的問題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種蒸鍍坩禍。所述技術(shù)方案如下:
[0007]—種蒸鍍坩禍，所述蒸鍍坩禍包括坩禍、第一導(dǎo)熱管和高溫流體供應(yīng)部，所述第一導(dǎo)熱管沿著所述坩禍的側(cè)壁設(shè)置，所述第一導(dǎo)熱管的入口和出口均與所述高溫流體供應(yīng)部連通；
[0008]所述高溫流體供應(yīng)部用于向所述第一導(dǎo)熱管供應(yīng)高溫流體。
[0009]具體地，所述第一導(dǎo)熱管為一根豎直盤管，所述豎直盤管的外輪廓形狀與所述坩禍的外輪廓形狀一致，所述豎直盤管與所述坩禍的側(cè)壁緊貼。
[0010]具體地，所述蒸鍍坩禍包括多根第一導(dǎo)熱管，且所述多根第一導(dǎo)熱管中的每根第一導(dǎo)熱管均為直管，所述每根第一導(dǎo)熱管均與所述坩禍的側(cè)壁緊貼，且所述每根第一導(dǎo)熱管的入口和出口均與所述高溫流體供應(yīng)部連通。
[0011]具體地，所述多根第一導(dǎo)熱管沿所述坩禍的側(cè)壁均勻分布。
[0012]進(jìn)一步地，所述第一導(dǎo)熱管沿所述坩禍的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置，且所述第一導(dǎo)熱管的入口和出口均從所述坩禍的側(cè)壁穿出。
[0013]進(jìn)一步地，所述蒸鍍坩禍還包括第二導(dǎo)熱管，所述第二導(dǎo)熱管設(shè)置在所述坩禍內(nèi)部，所述第二導(dǎo)熱管的入口和出口均從所述坩禍的側(cè)壁穿出并與所述高溫流體供應(yīng)部連通，所述第二導(dǎo)熱管用于將所述高溫流體的熱量直接傳遞到位于所述坩禍內(nèi)部的有機(jī)材料中。
[0014]具體地，所述蒸鍍坩禍包括多根第二導(dǎo)熱管，所述多根第二導(dǎo)熱管中的每根第二導(dǎo)熱管均為直管或盤管，且所述每根第二導(dǎo)熱管的入口和出口均從所述坩禍的側(cè)壁穿出并與所述高溫流體供應(yīng)部連通。
[0015]具體地，所述每根第二導(dǎo)熱管均為平面螺旋盤管，所述多根第二導(dǎo)熱管由下至上分別設(shè)置在所述坩禍內(nèi)部，且所述每根第二導(dǎo)熱管所在的平面均與所述坩禍的軸線垂直。
[0016]進(jìn)一步地，所述多根第二導(dǎo)熱管沿所述坩禍的軸線等間距設(shè)置。
[0017]具體地，所述多根第二導(dǎo)熱管為外輪廓形狀一致且外輪廓尺寸互不相同的豎直盤管，其由外至內(nèi)依次嵌套設(shè)置在所述坩禍內(nèi)部，且所述每根第二導(dǎo)熱管的軸線均與所述坩禍的軸線共線。
[0018]進(jìn)一步地，所述多根第二導(dǎo)熱管按照由所述坩禍的軸線到側(cè)壁的方向由密至疏。
[0019]具體地，所述多根第二導(dǎo)熱管的數(shù)量為三根。
[0020]具體地，所述每根第二導(dǎo)熱管均為直管，所述每根第二導(dǎo)熱管的兩端分別固定在所述坩禍的側(cè)壁上，所述多根第二導(dǎo)熱管在所述坩禍內(nèi)部形成管網(wǎng)。
[0021]具體地，所述第一導(dǎo)熱管和所述第二導(dǎo)熱管的材料包括鈦合金、鉬、鎢、銅或鋁。
[0022]具體地，所述高溫流體供應(yīng)部包括高溫流體加熱部、流體輸入管道和流體輸出管道，所述流體輸入管道上設(shè)有第一單向閥，所述高溫流體加熱部通過所述流體輸入管道與所述第一導(dǎo)熱管的出口連通；
[0023]所述流體輸出管道上設(shè)有第二單向閥，所述高溫流體加熱部通過所述流體輸出管道與所述第一導(dǎo)熱管的入口連通。
[0024]具體地，所述高溫流體為高溫氣體。
[0025]進(jìn)一步地，所述高溫流體供應(yīng)部還包括安全管道、電磁閥和壓力表，所述安全管道設(shè)置在所述高溫流體加熱部上，且所述安全管道與所述高溫流體加熱部連通，所述電磁閥和所述壓力表分別設(shè)置在所述安全管道上，且所述壓力表位于所述電磁閥與所述高溫流體加熱部之間；
[0026]所述安全管道用于釋放所述高溫流體加熱部?jī)?nèi)的壓力。
[0027]進(jìn)一步地，所述蒸鍍坩禍還包括保溫筒，所述保溫筒套在所述坩禍外部，所述保溫筒與所述坩禍之間形成密閉的環(huán)形空間，所述第一導(dǎo)熱管沿所述坩禍的外側(cè)壁設(shè)置，所述保溫筒用于減少所述第一導(dǎo)熱管的熱量散失。
[0028]具體地，所述坩禍包括內(nèi)層和外層，所述內(nèi)層和所述外層壓合固定，所述內(nèi)層的材料包括鈦合金、鉬、鎢、銅或鋁，所述外層的材料包括鈦或鈦合金。
[0029]具體地，所述坩禍為柱體，且所述坩禍的橫截面形狀為圓形、矩形或方形。
[0030]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的技術(shù)方案帶來的有益效果是:
[0031]本實(shí)用新型通過第一導(dǎo)熱管設(shè)置在坩禍的側(cè)壁上，由于管道的抗變形能力較強(qiáng)，保證在使用本實(shí)用新型的過程中，第一導(dǎo)熱管能夠與坩禍的側(cè)壁保持良好接觸，以將高溫流體的熱量傳遞到坩禍的側(cè)壁上，進(jìn)而保證熱量的利用率。
【附圖說明】
[0032]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0033]圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的蒸鍍坩禍的使用狀態(tài)示意圖；
[0034]圖2是本實(shí)用新型又一實(shí)施例提供的第一導(dǎo)熱管與坩禍的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖3是本實(shí)用新型又一實(shí)施例提供的第一導(dǎo)熱管的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖4是本實(shí)用新型又一實(shí)施例提供的第一導(dǎo)熱管與坩禍的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0037]圖5是本實(shí)用新型又一實(shí)施例提供的第一導(dǎo)熱管與坩禍的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0038]圖6是本實(shí)用新型又一實(shí)施例提供的第一導(dǎo)熱管、第二導(dǎo)熱管與坩禍的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0039]圖7是本實(shí)用新型又一實(shí)施例提供的第二導(dǎo)熱管與坩禍的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0040]圖8是本實(shí)用新型又一實(shí)施例提供的第二導(dǎo)熱管與坩禍的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0041 ]圖9是本實(shí)用新型又一實(shí)施例提供的第二導(dǎo)熱管與坩禍的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0042]圖10是本實(shí)用新型又一實(shí)施例提供的坩禍的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0043]圖11是本實(shí)用新型又一實(shí)施例提供的坩禍的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0044]其中:
[0045]I 坩禍，
[0046]11 側(cè)壁，
[0047]12坩禍蓋，
[0048]2第一導(dǎo)熱管，
[0049]21第一導(dǎo)熱管的入口，
[0050]22第一導(dǎo)熱管的出口，
[0051 ]3高溫流體加熱部，
[0052]4 OLED基板，
[0053]5第一單向閥，
[0054]6第二單向閥，
[0055]7安全管道，
[0056]8電磁閥，
[0057]9壓力表，
[0058]10第二導(dǎo)熱管，
[0059]101第二導(dǎo)熱管的入口，
[0060]102第二導(dǎo)熱管的出口。
【具體實(shí)施方式】
[0061]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0062]如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種蒸鍍坩禍，該蒸鍍坩禍包括坩禍1、第一導(dǎo)熱管2和高溫流體供應(yīng)部(圖中未示出)，第一導(dǎo)熱管2沿著坩禍I的側(cè)壁11設(shè)置，第一導(dǎo)熱管的入口 21和第一導(dǎo)熱管的出口 22均與高溫流體供應(yīng)部連通；
[0063]高溫流體供應(yīng)部用于向第一導(dǎo)熱管2供應(yīng)高溫流體。
[0064]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，坩禍I上方蓋有坩禍蓋12，坩禍蓋12上設(shè)有通氣孔(圖中未示出)，0LED基板4設(shè)置在坩禍I的正上方，有機(jī)材料置于坩禍I內(nèi)。蒸鍍時(shí)，高溫流體供應(yīng)部向第一導(dǎo)熱管2供應(yīng)高溫流體，高溫流體在第一導(dǎo)熱管2內(nèi)流動(dòng)的過程中將熱量傳遞給第一導(dǎo)熱管2的管壁，經(jīng)第一導(dǎo)熱管2的管壁傳遞到坩禍I的側(cè)壁11上，從而通過坩禍I的側(cè)壁11傳遞到有機(jī)材料中，使有機(jī)材料受熱蒸發(fā)或升華，有機(jī)材料蒸發(fā)或升華產(chǎn)生的氣體經(jīng)坩禍蓋12上的通氣孔離開坩禍I，并在OLED基板4上發(fā)生凝華，從而將有機(jī)材料蒸鍍到OLED基板4上。
[0065]本實(shí)用新型通過第一導(dǎo)熱管2設(shè)置在坩禍I的側(cè)壁11上，由于管道的抗變形能力較強(qiáng)，保證在使用本實(shí)用新型的過程中，第一導(dǎo)熱管2能夠與坩禍I的側(cè)壁11保持良好接觸，以將高溫流體的熱量傳遞到坩禍I的側(cè)壁11上，進(jìn)而保證熱量的利用率。
[0066]如圖1所示，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，高溫流體供應(yīng)部包括高溫流體加熱部3、流體輸入管道和流體輸出管道，流體輸入管道上設(shè)有第一單向閥5，高溫流體加熱部3通過流體輸入管道與第一導(dǎo)熱管的出口 22連通；
[0067]流體輸出管道上設(shè)有第二單向閥6，高溫流體加熱部3通過流體輸出管道與第一導(dǎo)熱管的入口 21連通。
[0068]通過第一單向閥5和第二單向閥6保證高溫流體在高溫流體供應(yīng)部和第一導(dǎo)熱管2之間單向流動(dòng)，保證高溫流體的溫度。其中，高溫流體為高溫氣體或高溫液體，高溫氣體如水蒸氣或乙醇蒸汽等，高溫液體如鐵水、納水或鋼水等，高溫流體的溫度和種類以保證能讓有機(jī)材料發(fā)生汽化或升華為準(zhǔn)。
[0069]當(dāng)然，本領(lǐng)域技術(shù)人員可知，在高溫流體加熱部3與第一導(dǎo)熱管2之間，高溫流體也可能發(fā)生液態(tài)和氣態(tài)的狀態(tài)轉(zhuǎn)化，如高溫流體加熱部3向第一導(dǎo)熱管2輸出的是高溫氣體，該高溫氣體在第一導(dǎo)熱管2內(nèi)通過第一導(dǎo)熱管2的管壁與有機(jī)材料發(fā)生熱交換而液化，轉(zhuǎn)化為液態(tài)，經(jīng)第一導(dǎo)熱管2重新回到高溫流體加熱部3后因高溫流體加熱部3的加熱而汽化，又轉(zhuǎn)化為氣態(tài)。
[0070]如圖1所示，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，高溫流體供應(yīng)部還包括安全管道7、電磁閥8和壓力表9，安全管道7設(shè)置在高溫流體加熱部3上，且安全管道7與高溫流體加熱部3連通，電磁閥8和壓力表9分別設(shè)置在安全管道7上，且壓力表9位于電磁閥8與高溫流體加熱部3之間；
[0071]安全管道7用于釋放高溫流體加熱部3內(nèi)的壓力。
[0072]由于高溫流體加熱部3內(nèi)的氣壓較高時(shí)存在一定的危險(xiǎn)性，故在本實(shí)用新型實(shí)施例中，通過壓力表9檢測(cè)高溫流體加熱部3內(nèi)的氣壓，當(dāng)高溫流體加熱部3內(nèi)的氣壓達(dá)到一定值時(shí)打開電磁閥8，通過安全管道7釋放高溫流體加熱部3內(nèi)的壓力，從而保證高溫流體加熱部3的安全性。
[0073]如圖2所示，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，第一導(dǎo)熱管2為一根豎直盤管，豎直盤管的外輪廓形狀與坩禍I的外輪廓形狀一致，且豎直盤管與坩禍I的側(cè)壁11緊貼。
[0074]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，豎直盤管套在坩禍I外部，且與坩禍I的側(cè)壁11緊貼，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于安裝，且布管難度較小。當(dāng)然，本領(lǐng)域技術(shù)人員可知，為了保證坩禍I的側(cè)壁11受熱均勻，豎直盤管可以將整個(gè)坩禍I的側(cè)壁11包裹起來。
[0075]其中，豎直盤管可以為如圖2所示的豎直螺旋盤管，也可為由如圖3所示的波形的第一導(dǎo)熱管2繞制成盤狀所得的豎直盤管。
[0076]如圖4所示，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，蒸鍍坩禍包括多根第一導(dǎo)熱管2，且多根第一導(dǎo)熱管2中的每根第一導(dǎo)熱管2均為直管，每根第一導(dǎo)熱管2均與坩禍I的側(cè)壁11緊貼，且每根第一導(dǎo)熱管的入口 21和每根第一導(dǎo)熱管的出口 22均與高溫流體供應(yīng)部連通。
[0077]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，多根第一導(dǎo)熱管2分別通過焊接或卡箍固定在坩禍I夕卜部，且第一導(dǎo)熱管2為直管，便于加工。
[0078]當(dāng)然，本領(lǐng)域技術(shù)人員可知，每根第一導(dǎo)熱管2還可為如圖3所示的波形管，當(dāng)坩禍I的橫截面形狀為矩形或方形時(shí)，坩禍I的每個(gè)側(cè)壁11上分別設(shè)置一根如圖3所示的波形的第一導(dǎo)熱管2，通過第一導(dǎo)熱管2將高溫流體的熱量傳導(dǎo)至坩禍I的側(cè)壁11上。
[0079]如圖4所示，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，多根第一導(dǎo)熱管2沿坩禍I的側(cè)壁11均勻分布，保證坩禍I的側(cè)壁11受熱均勻，從而保證坩禍I內(nèi)的有機(jī)材料受熱均勻。
[0080]如圖5所示，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，第一導(dǎo)熱管2沿坩禍I的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置，且第一導(dǎo)熱管的入口 21和第一導(dǎo)熱管的出口 22均從坩禍I的側(cè)壁11穿出。
[0081]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，通過第一導(dǎo)熱管2沿坩禍I的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置，第一導(dǎo)熱管2的管壁的一部分與坩禍I的內(nèi)側(cè)壁接觸，通過坩禍I的內(nèi)側(cè)壁將高溫流體的熱量傳遞至坩禍I內(nèi)部的有機(jī)材料中，第一導(dǎo)熱管2的管壁的另一部分直接與有機(jī)材料接觸，通過第一導(dǎo)熱管2的管壁將高溫流體的熱量直接傳導(dǎo)至坩禍I內(nèi)的有機(jī)材料中，避免第一導(dǎo)熱管2與外界空氣發(fā)生熱交換而導(dǎo)致熱量散失，進(jìn)而提高熱量的利用率，且由于蒸鍍時(shí)坩禍I內(nèi)為真空環(huán)境，還可避免第一導(dǎo)熱管2發(fā)生氧化損壞，延長(zhǎng)第一導(dǎo)熱管2的使用壽命。
[0082]如圖6所示，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，蒸鍍坩禍還包括第二導(dǎo)熱管10，第二導(dǎo)熱管10設(shè)置在坩禍I內(nèi)部，第二導(dǎo)熱管的入口 101和第二導(dǎo)熱管的出口 102均從坩禍I的側(cè)壁11穿出并與高溫流體供應(yīng)部連通，第二導(dǎo)熱管10用于將高溫流體的熱量直接傳遞到位于坩禍I內(nèi)部的有機(jī)材料中。
[0083]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，由于熱量在有機(jī)材料中傳導(dǎo)的速率較慢，導(dǎo)致位于坩禍I中部的有機(jī)材料受熱較慢，影響蒸鍍速率的穩(wěn)定性，進(jìn)而影響制備的OLED的效果，且位于坩禍I中部的有機(jī)材料還可能存在過度蒸鍍的現(xiàn)象，導(dǎo)致有機(jī)材料變性而不能使用，因此，在坩禍I內(nèi)部設(shè)置第二導(dǎo)熱管10，通過第二導(dǎo)熱管10直接將熱量傳導(dǎo)至位于坩禍I內(nèi)部的有機(jī)材料中，保證整個(gè)坩禍I內(nèi)部的有機(jī)材料受熱均勻，保證蒸鍍速率穩(wěn)定，進(jìn)而保證制備的OLED的效果，避免出現(xiàn)材料變性而發(fā)生浪費(fèi)。
[0084]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，第二導(dǎo)熱管的入口101通過流體輸入管道與高溫流體加熱部3連通，且流體輸入管道上設(shè)有第三單向閥，第二導(dǎo)熱管的出口 102通過流體輸出管道與高溫流體加熱部3連通，且流體輸出管道上設(shè)有第四單向閥，通過第三單向閥和第四單向閥控制高溫流體在高溫流體加熱部3和第二導(dǎo)熱管10中單向循環(huán)。
[0085]如圖7所示，蒸鍍坩禍包括多根第二導(dǎo)熱管10，多根第二導(dǎo)熱管10中的每根第二導(dǎo)熱管10均為直管或盤管，且每根第二導(dǎo)熱管的入口 101和每根第二導(dǎo)熱管的出口 102均從坩禍I的側(cè)壁11穿出并與高溫流體供應(yīng)部連通。
[0086]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，通過多根第二導(dǎo)熱管10將高溫流體的熱量傳導(dǎo)至位于坩禍I內(nèi)部的有機(jī)材料中，保證坩禍I內(nèi)的有機(jī)材料受熱均勻。
[0087]如圖8所示，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，每根第二導(dǎo)熱管10均為平面螺旋盤管，多根第二導(dǎo)熱管10由下至上分別設(shè)置在坩禍I內(nèi)部，且每根第二導(dǎo)熱管10所在的平面均與坩禍I的軸線垂直。
[0088]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，多根第二導(dǎo)熱管10相互平行地設(shè)置在坩禍I內(nèi)部，通過多根平面螺旋盤管將高溫流體的熱量直接傳導(dǎo)至坩禍I內(nèi)部的有機(jī)材料中，保證坩禍I內(nèi)部的有機(jī)材料能快速充分受熱。
[0089]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，優(yōu)選地，多根第二導(dǎo)熱管10沿坩禍I的軸線等間距設(shè)置，保證在沿坩禍I軸線方向上有機(jī)材料受熱均勻，減小蒸鍍過程中有機(jī)材料發(fā)生爆沸的幾率。
[0090]其中，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，多根第二導(dǎo)熱管10的數(shù)量為三根，三根水平螺旋盤管從下至少依次設(shè)置在坩禍I內(nèi)部，在保證坩禍I內(nèi)部的材料能夠充分受熱的基礎(chǔ)上，避免因第二導(dǎo)熱管10的數(shù)量過多影響有機(jī)材料蒸發(fā)或升華產(chǎn)生的氣體由坩禍I內(nèi)逸出的速率。
[0091]如圖9所示，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，多根第二導(dǎo)熱管10為外輪廓形狀一致且外輪廓尺寸互不相同的豎直盤管，其由外至內(nèi)依次嵌套設(shè)置在坩禍I內(nèi)部，且每根第二導(dǎo)熱管10的軸線均與坩禍I的軸線共線。
[0092]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，當(dāng)坩禍I的橫截面形狀為圓形時(shí)，第二導(dǎo)熱管10的外輪廓形狀與圖2中所示的第一導(dǎo)熱管2的外輪廓形狀一致，多根第二導(dǎo)熱管10由外至內(nèi)依次嵌套設(shè)置在坩禍I內(nèi)，其中，為了避免安裝過程中多根第二導(dǎo)熱管的入口 101和多根第二導(dǎo)熱管的出口 102處的管道相互干涉，通過坩禍I的側(cè)壁11上設(shè)置通孔，將多根第二導(dǎo)熱管10安裝到位后，由坩禍I的側(cè)壁11上的通孔向坩禍I內(nèi)伸入連接管，使第二導(dǎo)熱管的入口 101和第二導(dǎo)熱管的出口 102分別與高溫流體供應(yīng)部連通。
[0093]如圖9所示，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，多根第二導(dǎo)熱管10按照由坩禍I的軸線到側(cè)壁11的方向由密至疏。
[0094]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，由于靠近坩禍I的側(cè)壁11的有機(jī)材料主要通過坩禍I的側(cè)壁11獲得熱量，而位于坩禍I中部的有機(jī)材料主要通過第二導(dǎo)熱管10獲得熱量，通過多根第二導(dǎo)熱管10按照由坩禍I的軸線到側(cè)壁11的方向由密至疏，保證位于坩禍I中部的有機(jī)材料能夠獲得與靠近坩禍I的側(cè)壁11的有機(jī)材料相同的熱量，從而保證坩禍I內(nèi)部的有機(jī)材料受熱均勻。
[0095]如圖9所示，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，多根第二導(dǎo)熱管10的數(shù)量為三根，在保證坩禍I內(nèi)部的有機(jī)材料能夠充分受熱的基礎(chǔ)上，避免因第二導(dǎo)熱管1的數(shù)量過多而影響有機(jī)材料蒸發(fā)或升華產(chǎn)生的氣體由坩禍I內(nèi)逸出的速率。
[0096]如圖7所示，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，每根第二導(dǎo)熱管10均為直管，每根第二導(dǎo)熱管10的兩端分別固定在坩禍I的側(cè)壁11上，多根第二導(dǎo)熱管10在坩禍I內(nèi)部形成管網(wǎng)。
[0097]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，坩禍I的側(cè)壁11上設(shè)有通孔，多根第二導(dǎo)熱管的入口101及多根第二導(dǎo)熱管的出口 102分別通過焊接或卡接固定在坩禍I上，且第二導(dǎo)熱管的入口101和第二導(dǎo)熱管的出口 102分別由坩禍I的側(cè)壁11的通孔上露出，便于第二導(dǎo)熱管10與高溫流體供應(yīng)部連接。其中，第二導(dǎo)熱管1為直管，便于加工。
[0098]當(dāng)然，本領(lǐng)域技術(shù)人員可知，每根第二導(dǎo)熱管10還可與如圖3所示的第一導(dǎo)熱管2的結(jié)構(gòu)相同。
[0099]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，優(yōu)選地，第一導(dǎo)熱管2和第二導(dǎo)熱管10的材料包括鈦合金、鉬、鎢、銅或鋁，導(dǎo)熱性好，且耐高溫，保證第一導(dǎo)熱管2和第二導(dǎo)熱管10的使用壽命較長(zhǎng)。
[0100]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，蒸鍍坩禍還包括保溫筒(圖中未示出)，保溫筒套在坩禍I外部，保溫筒與坩禍I之間形成密閉的環(huán)形空間，第一導(dǎo)熱管2沿坩禍I的外側(cè)壁設(shè)置，保溫筒用于減少第一導(dǎo)熱管2的熱量散失。
[0101]通過保溫筒與坩禍I之間形成密閉的環(huán)形空間，第一導(dǎo)熱管2位于保溫筒和坩禍I的外側(cè)壁之間，避免第一導(dǎo)熱管2直接與外界空氣發(fā)生熱交換，減少第一導(dǎo)熱管2的熱量散失，提高熱量的利用率，且避免第一導(dǎo)熱管2直接與空氣接觸而發(fā)生氧化損壞。
[0102]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，坩禍I包括內(nèi)層和外層，內(nèi)層和外層壓合固定，內(nèi)層的材料包括鈦合金、鉬、鎢、銅、銀或鋁，外層的材料包括鈦合金或鈦。
[0103]通過坩禍I的外層的材料包括鈦合金或鈦中的一種，使得坩禍I在高溫下不變形，保證坩禍I的強(qiáng)度，而由于鈦合金、鉬、鎢、銅、銀或鋁的導(dǎo)熱性好且耐高溫，故通過坩禍I的內(nèi)層增強(qiáng)坩禍I的側(cè)壁11的導(dǎo)熱性，保證第一導(dǎo)熱管2上的熱量能夠充分通過坩禍I的側(cè)壁11傳遞到有機(jī)材料中。
[0104]如圖10所示，也可參見圖11，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，坩禍I為柱體，且坩禍I的橫截面形狀為圓形(如圖11所示)、矩形或方形(如圖1O所示)。
[0105]上述本實(shí)用新型實(shí)施例序號(hào)僅僅為了描述，不代表實(shí)施例的優(yōu)劣。
[0106]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種蒸鍍坩禍，其特征在于，所述蒸鍍坩禍包括坩禍、第一導(dǎo)熱管和高溫流體供應(yīng)部，所述第一導(dǎo)熱管沿著所述坩禍的側(cè)壁設(shè)置，所述第一導(dǎo)熱管的入口和出口均與所述高溫流體供應(yīng)部連通； 所述高溫流體供應(yīng)部用于向所述第一導(dǎo)熱管供應(yīng)高溫流體。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述第一導(dǎo)熱管為一根豎直盤管，所述豎直盤管的外輪廓形狀與所述坩禍的外輪廓形狀一致，所述豎直盤管與所述坩禍的側(cè)壁緊貼。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述蒸鍍坩禍包括多根第一導(dǎo)熱管，且所述多根第一導(dǎo)熱管中的每根第一導(dǎo)熱管均為直管，所述每根第一導(dǎo)熱管均與所述坩禍的側(cè)壁緊貼，且所述每根第一導(dǎo)熱管的入口和出口均與所述高溫流體供應(yīng)部連通。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述多根第一導(dǎo)熱管沿所述坩禍的側(cè)壁均勾分布。5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述第一導(dǎo)熱管沿所述坩禍的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置，且所述第一導(dǎo)熱管的入口和出口均從所述坩禍的側(cè)壁穿出。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述蒸鍍坩禍還包括第二導(dǎo)熱管，所述第二導(dǎo)熱管設(shè)置在所述坩禍內(nèi)部，所述第二導(dǎo)熱管的入口和出口均從所述坩禍的側(cè)壁穿出并與所述高溫流體供應(yīng)部連通，所述第二導(dǎo)熱管用于將所述高溫流體的熱量直接傳遞到位于所述坩禍內(nèi)部的有機(jī)材料中。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述蒸鍍坩禍包括多根第二導(dǎo)熱管，所述多根第二導(dǎo)熱管中的每根第二導(dǎo)熱管均為直管或盤管，且所述每根第二導(dǎo)熱管的入口和出口均從所述坩禍的側(cè)壁穿出并與所述高溫流體供應(yīng)部連通。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述每根第二導(dǎo)熱管均為平面螺旋盤管，所述多根第二導(dǎo)熱管由下至上分別設(shè)置在所述坩禍內(nèi)部，且所述每根第二導(dǎo)熱管所在的平面均與所述坩禍的軸線垂直。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述多根第二導(dǎo)熱管沿所述坩禍的軸線等間距設(shè)置。10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述多根第二導(dǎo)熱管為外輪廓形狀一致且外輪廓尺寸互不相同的豎直盤管，其由外至內(nèi)依次嵌套設(shè)置在所述坩禍內(nèi)部，且所述每根第二導(dǎo)熱管的軸線均與所述坩禍的軸線共線。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述多根第二導(dǎo)熱管按照由所述坩禍的軸線到側(cè)壁的方向由密至疏。12.根據(jù)權(quán)利要求8-11任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述多根第二導(dǎo)熱管的數(shù)量為三根。13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述每根第二導(dǎo)熱管均為直管，所述每根第二導(dǎo)熱管的兩端分別固定在所述坩禍的側(cè)壁上，所述多根第二導(dǎo)熱管在所述坩禍內(nèi)部形成管網(wǎng)。14.根據(jù)權(quán)利要求7所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述第一導(dǎo)熱管和所述第二導(dǎo)熱管的材料包括鈦合金、鉬、媽、銅或招。15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述高溫流體供應(yīng)部包括高溫流體加熱部、流體輸入管道和流體輸出管道，所述流體輸入管道上設(shè)有第一單向閥，所述高溫流體加熱部通過所述流體輸入管道與所述第一導(dǎo)熱管的出口連通； 所述流體輸出管道上設(shè)有第二單向閥，所述高溫流體加熱部通過所述流體輸出管道與所述第一導(dǎo)熱管的入口連通。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述高溫流體為高溫氣體。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述高溫流體供應(yīng)部還包括安全管道、電磁閥和壓力表，所述安全管道設(shè)置在所述高溫流體加熱部上，且所述安全管道與所述高溫流體加熱部連通，所述電磁閥和所述壓力表分別設(shè)置在所述安全管道上，且所述壓力表位于所述電磁閥與所述高溫流體加熱部之間； 所述安全管道用于釋放所述高溫流體加熱部?jī)?nèi)的壓力。18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述蒸鍍坩禍還包括保溫筒，所述保溫筒套在所述坩禍外部，所述保溫筒與所述坩禍之間形成密閉的環(huán)形空間，所述第一導(dǎo)熱管沿所述坩禍的外側(cè)壁設(shè)置，所述保溫筒用于減少所述第一導(dǎo)熱管的熱量散失。19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述坩禍包括內(nèi)層和外層，所述內(nèi)層和所述外層壓合固定，所述內(nèi)層的材料包括鈦合金、鉬、鎢、銅或鋁，所述外層的材料包括鈦或鈦合金。20.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述坩禍為柱體，且所述坩禍的橫截面形狀為圓形、矩形或方形。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK205443431SQ201620255164
【公開日】2016年8月10日
【申請(qǐng)日】2016年3月31日
【發(fā)明人】王選生, 金龍, 唐富強(qiáng), 黃俊杰
【申請(qǐng)人】鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司