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一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法與流程

文檔序號(hào):12699090閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法,其特征在于:包括如下步驟

步驟一:將基板(1)、與基板(1)緊貼于一起且位于基板(1)下方的蒸鍍掩膜板(2)、以及磁鐵(3)設(shè)置于腔室中,其中磁鐵(3)放置于腔室底部,基板(1)和蒸鍍掩膜板(2)放置于磁鐵(3)的上方且與磁鐵(3)相間隔開(kāi);

步驟二:將蒸鍍掩膜板(2)底部的磁性和磁鐵(3)頂部的磁極設(shè)置為相同的磁極;

步驟三:根據(jù)磁極之間同性相斥,磁鐵(3)對(duì)蒸鍍掩膜板(2)整體有個(gè)向上的無(wú)形抬力來(lái)對(duì)沖重力對(duì)蒸鍍掩膜板(2)的引力,從而極大的較少蒸鍍掩膜板(2)因重力導(dǎo)致的變形。

2.一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法,其特征在于:包括如下步驟

步驟一:將基板(1)、與基板(1)緊貼于一起且位于基板(1)下方的蒸鍍掩膜板(2)、以及磁鐵(3)設(shè)置于腔室中,其中磁鐵(3)放置于腔室頂部,基板(1)和蒸鍍掩膜板(2)放置于磁鐵(3)的下方且與磁鐵(3)相間隔開(kāi);

步驟二:將基板(1)頂部的磁性和磁鐵(3)底部的磁極設(shè)置為相反的磁極;

步驟三:根據(jù)磁極之間異性相吸,磁鐵(3)對(duì)蒸鍍掩膜板(2)整體有個(gè)向上的無(wú)形抬力來(lái)對(duì)沖重力對(duì)蒸鍍掩膜板(2)的引力,從而極大的較少蒸鍍掩膜板(2)因重力導(dǎo)致的變形。

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