一種掩膜板的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種掩膜板，包括多個掩膜條和安裝框架，多個掩膜條經(jīng)過拉伸后安裝于安裝框架上，每個掩膜條的掩膜單元包括有效開口區(qū)和兩個空置區(qū)，有效開口區(qū)內(nèi)設(shè)置有掩膜開口，兩個空置區(qū)分別設(shè)置在有效開口區(qū)的沿垂直于拉伸方向的兩側(cè)且靠近有效開區(qū)，空置區(qū)內(nèi)設(shè)置有空置開口，掩膜開口的輪廓形狀與空置開口的輪廓形狀不同，且二者在拉伸過程中產(chǎn)生的應(yīng)力能夠相互補償。本實用新型提供的掩膜板，可改善掩膜條在拉伸過程中的卷曲現(xiàn)象，從而可改善掩膜單元邊緣shadow效應(yīng)，進而改善顯示面板在蒸鍍時出現(xiàn)邊緣混色不良的情況，從而增加產(chǎn)品良率。
【專利說明】
一種掩膜板
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實用新型屬于OLED顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種掩膜板。
【背景技術(shù)】
[0002]有機電致發(fā)光(OLED,Organic Light-Emitting D1de)器件具有自發(fā)光、反應(yīng)時間快、視角廣、成本低、制造工藝簡單、分辨率佳及高亮度等多項優(yōu)點，被認為是下一代的平面顯示器新興的應(yīng)用技術(shù)。在OLED技術(shù)中，真空蒸鍍中的掩膜板技術(shù)是一項非常重要和關(guān)鍵的技術(shù)，OLED有機蒸鍍膜的技術(shù)是利用高精度掩膜板作為模具，有機材料高溫揮發(fā)后以材料分子狀態(tài)透過掩膜板上的有效開口區(qū)內(nèi)的掩膜開口蒸鍍到背板玻璃上，作為有機發(fā)光層，用于實現(xiàn)有機發(fā)光。其中，蒸鍍使用的掩膜板一般包括掩膜條和安裝框架，具體地，在將每個掩膜條通過夾具拉伸調(diào)整到其參數(shù)滿足要求后，將其貼合并固定到安裝框架的表面。
[0003]其中，請一并參閱圖1、圖1-1和圖1-2，每個掩膜條I上設(shè)置有多個掩膜單元11(cell)，每個掩膜單元11包括有效開口區(qū)和兩個空置區(qū)(可稱為dummy區(qū))，有效開口區(qū)內(nèi)設(shè)置有掩膜開口 11a，兩個空置區(qū)分別設(shè)置在有效開口區(qū)的沿垂直于拉伸方向的兩側(cè)且靠近有效開口區(qū)，空置區(qū)內(nèi)設(shè)置有空置開口 lib。
[0004]如圖1-1所示，其示出了一種現(xiàn)有技術(shù)中的掩膜條的掩膜單元的示意圖。圖1-1中的掩膜條I，其有效開口區(qū)的掩膜開口 I Ia和空置區(qū)的空置開口 I Ia的輪廓形狀均為孔狀(即，該掩膜條為slot型掩膜條)。然而，在使用由圖1-1所示的掩膜條I構(gòu)成的掩膜板的過程中發(fā)現(xiàn):在夾具拉伸調(diào)整過程中，掩膜條I的邊緣會出現(xiàn)向下卷曲的現(xiàn)象(如圖1-2所示)，且拉伸力越大卷曲變形現(xiàn)象越嚴重，該種卷曲在蒸鍍時會造成掩膜單元11邊緣出現(xiàn)shadow效應(yīng)，最終會導(dǎo)致顯示面板在蒸鍍時出現(xiàn)邊緣混色不良的情況，進而導(dǎo)致產(chǎn)品良率不高。
[0005]如圖2-1所示，其示出了另一種現(xiàn)有技術(shù)中的掩膜條的掩膜單元的示意圖。圖2-1中的掩膜條I，其有效開口區(qū)的掩膜開口 Ila和空置區(qū)的空置開口 Ilb的輪廓形狀為均為細條狀(即，該掩膜條I為slit型掩膜條)。然而，在使用由圖2-1所示的掩膜條I構(gòu)成的掩膜板的過程中發(fā)現(xiàn):在夾具拉伸調(diào)整過程中，當(dāng)拉伸調(diào)節(jié)掩膜條I的拉力在一定范圍內(nèi)時，掩膜條I不會發(fā)生較大形變(如圖2-2所示)；當(dāng)拉力逐漸增大超過一定范圍后，掩膜條I發(fā)生向上卷曲的現(xiàn)象(如圖2-3所示)，該種卷曲同樣在蒸鍍時會造成掩膜單元11邊緣出現(xiàn)shadow效應(yīng)，最終會導(dǎo)致顯示面板在蒸鍍時出現(xiàn)邊緣混色不良的情況，進而導(dǎo)致產(chǎn)品良率不高。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]本實用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種掩膜板，可改善掩膜條在拉伸過程中的卷曲現(xiàn)象，從而可改善掩膜單元邊緣shadow效應(yīng)，進而改善顯示面板在蒸鍍時出現(xiàn)邊緣混色不良的情況，從而增加產(chǎn)品良率。
[0007]本實用新型提供了一種掩膜板，包括多個掩膜條和安裝框架，所述多個掩膜條經(jīng)過拉伸后安裝于所述安裝框架上，每個所述掩膜條的掩膜單元包括有效開口區(qū)和兩個空置區(qū)，所述有效開口區(qū)內(nèi)設(shè)置有掩膜開口，所述兩個空置區(qū)分別設(shè)置在所述有效開口區(qū)的沿垂直于拉伸方向的兩側(cè)且靠近所述有效開區(qū)，所述空置區(qū)內(nèi)設(shè)置有空置開口，所述掩膜開口的輪廓形狀與所述空置開口的輪廓形狀不同，且二者在拉伸過程中產(chǎn)生的應(yīng)力能夠相互補償。
[0008]優(yōu)選地，所述掩膜開口的輪廓形狀為孔狀，所述空置開口的輪廓形狀為細條狀;所述空置開口的長度方向趨于拉伸方向。
[0009]優(yōu)選地，所述掩膜開口的輪廓形狀為細條狀，所述空置開口的輪廓形狀為孔狀;所述掩膜開口的長度方向趨于拉伸方向。
[0010]優(yōu)選地，所述空置開口的長度方向平行于拉伸方向。
[0011 ]優(yōu)選地，所述掩膜開口的長度方向平行于拉伸方向。
[0012]優(yōu)選地，所述有效開口區(qū)設(shè)置有多個所述掩膜開口，多個所述掩膜開口的輪廓形狀和大小相同且均勻分布;所述空置區(qū)設(shè)置有多個所述空置開口，多個所述空置開口的輪廓形狀和大小相同且均勻分布。
[0013]優(yōu)選地，所述掩膜條采用焊接的方式固定于所述安裝框架上。
[0014]優(yōu)選地，每個所述掩膜條沿水平方向固定在所述安裝框架上；多個所述掩膜條沿垂直方向依次緊挨設(shè)置。
[0015]優(yōu)選地，所述掩膜條采用金屬材料制成。
[0016]優(yōu)選地，所述金屬材料包括因瓦合金。
[0017]本實用新型具有以下有益效果:
[0018]本實用新型提供的掩膜板，通過設(shè)置掩膜開口的輪廓形狀與空置開口的輪廓形狀不同，來使二者在拉伸過程中產(chǎn)生的應(yīng)力能夠相互補償，因而可改善掩膜條在拉伸過程中的卷曲現(xiàn)象，從而可改善掩膜單元cel I邊緣shadow效應(yīng)，進而改善顯示面板在蒸鍍時出現(xiàn)邊緣混色不良的情況，從而增加產(chǎn)品良率。
【附圖說明】
[0019]附圖是用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本實用新型，但并不構(gòu)成對本實用新型的限制。在附圖中:
[0020]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的掩膜條的示意圖；
[0021]圖1-1為掩膜圖1中的掩膜單元的一種示意圖；
[0022]圖1-2為圖1-1所示的掩膜條在被拉伸過程中出現(xiàn)卷曲現(xiàn)象時的右視圖或左視圖；
[0023]圖2-1為圖1中的掩膜掩膜單元的另一種示意圖；
[0024]圖2-2為圖2-1所示的掩膜條在被拉伸過程中未出現(xiàn)卷曲現(xiàn)象時的左視圖或右視圖；
[0025]圖2-3為圖2-1所示的掩膜條在被拉伸過程中出現(xiàn)卷曲現(xiàn)象時的左視圖或右視圖；
[0026]圖3為本實用新型實施例提供的一種掩膜條的掩膜單元的示意圖；
[0027]圖4為本實用新型實施例提供的另一種掩膜條的掩膜單元的示意圖。
【具體實施方式】
[0028]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖來對本實用新型提供的掩膜板進行詳細描述。
[0029]本實用新型實施例提供了一種掩膜板，該掩膜板包括多個掩膜條和安裝框架，多個掩膜條經(jīng)過拉伸后安裝于安裝框架上，每個掩膜條包括多個掩膜單元，每個掩膜單元包括有效開口區(qū)和兩個空置區(qū)，有效開口區(qū)內(nèi)設(shè)置有掩膜開口，兩個空置區(qū)分別設(shè)置在有效開口區(qū)的沿垂直于拉伸方向的兩側(cè)且靠近有效開區(qū)，空置區(qū)內(nèi)設(shè)置有空置開口。其中，掩膜開口的輪廓形狀與空置開口的輪廓形狀不同，且二者在拉伸過程中產(chǎn)生的應(yīng)力能夠相互補m
Iz? O
[0030]本實用新型提供的掩膜板，通過設(shè)置掩膜開口的輪廓形狀與空置開口的輪廓形狀不同，來使二者在拉伸過程中產(chǎn)生的應(yīng)力能夠相互補償，因而可改善掩膜條在拉伸過程中的卷曲現(xiàn)象，從而可改善掩膜單元cel I邊緣shadow效應(yīng)，進而改善顯示面板在蒸鍍時出現(xiàn)邊緣混色不良的情況，從而增加產(chǎn)品良率。
[0031]下面結(jié)合圖3和圖4詳細描述本實用新型提供的掩膜板的具體結(jié)構(gòu)。
[0032]如圖3所示，有效開口區(qū)內(nèi)的掩膜開口Ila的輪廓形狀為孔狀(slot型)，空置區(qū)內(nèi)的空置開口 Ilb的輪廓形狀為細條狀(slit型)；并且，空置開口 Ilb的長度方向趨于拉伸方向，具體地，延伸方向為圖3所示的水平方向，因此，空置開口的長度方向趨于水平方向。
[0033]可以理解，采用圖3所示的掩膜條，由于在拉伸調(diào)整過程中有效開口區(qū)產(chǎn)生的應(yīng)力偏下(即，偏向紙面向里)，而空置區(qū)產(chǎn)生的應(yīng)力偏上(即，偏向紙面向外)，因此，該掩膜條均衡應(yīng)力的能力增強，可以改善該掩膜條在拉伸過程中向下卷曲的現(xiàn)象。
[0034]優(yōu)選地，空置開口I Ib的長度方向平行于拉伸方向。結(jié)合圖3，空置開口 I Ib的長度方向為水平方向，拉伸方向也為水平方向。
[0035]具體地，在將各個掩膜條固定于安裝框架上時，可以采用焊接的方式將掩膜條固定于安裝框架上。
[0036]其中，每個掩膜條可以沿水平方向固定在安裝框架上，多個掩膜條沿垂直方向依次緊挨設(shè)置。也就說，各個掩膜條由上至下依次固定于安裝框架上。
[0037]進一步地，由于在蒸鍍往往在高溫高壓的環(huán)境中進行，為避免掩膜條發(fā)生嚴重形變，掩膜條的材料需要具有耐高溫高壓、熱膨脹系數(shù)小且形態(tài)穩(wěn)定等特點。其中，掩膜條可以采用金屬材料制備。該金屬掩材料包括但不限于為因瓦合金。
[0038]如圖4所示，有效開口區(qū)的掩膜開口Ila的輪廓形狀為細條狀(slit型)，空置區(qū)的空置開口 Ilb的輪廓形狀為孔狀(slot型)；空置開口的長度方向趨于拉伸方向，具體地，拉伸方向為水平方向。
[0039]可以理解，采用圖4所示的掩膜條，由于在拉伸調(diào)整過程中有效開口區(qū)產(chǎn)生的應(yīng)力偏上(即，偏向紙面向外)，而空置區(qū)產(chǎn)生的應(yīng)力偏下(即，偏向紙面向里)，因此，該掩膜條的均衡應(yīng)力的能力增強，可以改善該掩膜條在拉伸過程中向上卷曲的現(xiàn)象。
[0040]優(yōu)選地，掩膜開口I Ia的長度方向平行于拉伸方向，即為水平方向。
[0041]需要在此說明的是，圖3和圖4為本實用新型提供的掩膜條的兩種具體實現(xiàn)方式，而本實用新型并不局限于此，只要滿足掩膜開口 Ila的輪廓形狀與空置開口 Ilb的輪廓形狀不同，且二者在拉伸過程中產(chǎn)生的應(yīng)力能夠相互補償，均屬于本實用新型的保護范圍。
[0042]還需要說明的是，本實施例提供的掩膜板中，有效開口區(qū)設(shè)置有多個掩膜開口11a，多個掩膜開口 Ila的輪廓形狀和大小相同且均勻分布；空置區(qū)設(shè)置有多個空置開口11b，多個空置開口 Ilb的輪廓形狀和大小相同且均勾分布，如圖3和圖4所不。
[0043]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種掩膜板，包括多個掩膜條和安裝框架，所述多個掩膜條經(jīng)過拉伸后安裝于所述安裝框架上，每個掩膜條包括多個掩膜單元，每個掩膜單元包括有效開口區(qū)和兩個空置區(qū)，所述有效開口區(qū)內(nèi)設(shè)置有掩膜開口，所述兩個空置區(qū)分別設(shè)置在所述有效開口區(qū)的沿垂直于拉伸方向的兩側(cè)且靠近所述有效開口區(qū)，所述空置區(qū)內(nèi)設(shè)置有空置開口，其特征在于，所述掩膜開口的輪廓形狀與所述空置開口的輪廓形狀不同，且二者在拉伸過程中產(chǎn)生的應(yīng)力能夠相互補償。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜開口的輪廓形狀為孔狀，所述空置開口的輪廓形狀為細條狀； 所述空置開口的長度方向趨于拉伸方向。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜開口的輪廓形狀為細條狀，所述空置開口的輪廓形狀為孔狀； 所述掩膜開口的長度方向趨于拉伸方向。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述空置開口的長度方向平行于拉伸方向。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜開口的長度方向平行于拉伸方向。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述有效開口區(qū)設(shè)置有多個所述掩膜開口，多個所述掩膜開口的輪廓形狀和大小相同且均勻分布； 所述空置區(qū)設(shè)置有多個所述空置開口，多個所述空置開口的輪廓形狀和大小相同且均勾分布。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜條采用焊接的方式固定于所述安裝框架上。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，每個所述掩膜條沿水平方向固定在所述安裝框架上； 多個所述掩膜條沿垂直方向依次緊挨設(shè)置。9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一權(quán)利要求所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜條采用金屬材料制成。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的掩膜板，其特征在于，所述金屬材料包括因瓦合金。
【文檔編號】C23C14/04GK205576262SQ201620413388
【公開日】2016年9月14日
【申請日】2016年5月9日
【發(fā)明人】呂守華, 孫樸
【申請人】鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司, 京東方科技集團股份有限公司