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一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12699090

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:本發(fā)明涉及一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法。背景技術(shù):目前蒸鍍用掩膜板由于自身重力的原因,水平放置時(shí)會(huì)因?yàn)橹亓Φ淖饔冒l(fā)生下垂,隨著掩膜板尺寸越大,下垂的情況越嚴(yán)重,從而嚴(yán)重影響蒸鍍精度,導(dǎo)致大量產(chǎn)品不良。發(fā)明內(nèi)容:本發(fā)明提供一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法,其能夠克服現(xiàn)有蒸鍍用掩膜板由于自身重力的原因,水平放置時(shí)會(huì)因?yàn)橹亓Φ淖饔冒l(fā)生下垂的缺陷。本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法,包括如下步驟:步驟一:將基板、與基板緊貼于一起且位于基板下方的蒸鍍掩膜板、以及磁鐵設(shè)置于腔室中,其中磁鐵放...
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