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一種蒸鍍坩堝及蒸發(fā)源裝置的制作方法

文檔序號:11811031閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種蒸鍍坩堝,其特征在于,包括外坩堝和內(nèi)坩堝,所述內(nèi)坩堝嵌于所述外坩堝內(nèi);

所述外坩堝包括外坩堝主體和蓋在所述外坩堝主體的開口處的第一上蓋;所述第一上蓋設(shè)有出射孔;

所述內(nèi)坩堝包括內(nèi)坩堝主體和蓋在所述內(nèi)坩堝主體的開口處的第二上蓋;所述內(nèi)坩堝主體的側(cè)壁底部設(shè)置有多個第一通孔;

其中,所述內(nèi)坩堝主體和所述外坩堝主體的側(cè)壁之間具有間隙。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩堝,其特征在于,所述內(nèi)坩堝主體和所述外坩堝主體的側(cè)壁之間還設(shè)置有導(dǎo)熱板,所述導(dǎo)熱板與所述內(nèi)坩堝和所述外坩堝接觸;

其中,所述導(dǎo)熱板上設(shè)置有多個第二通孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍坩堝,其特征在于,所述導(dǎo)熱板和所述外坩堝主體、所述內(nèi)坩堝主體的材料相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的蒸鍍坩堝,其特征在于,所述內(nèi)坩堝主體的底部設(shè)置為內(nèi)凸型。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍坩堝,其特征在于,所述內(nèi)坩堝主體的底部形狀為倒V型。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩堝,其特征在于,所述內(nèi)坩堝主體的底部與所述外坩堝主體的底部接觸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩堝,其特征在于,所述第一上蓋通過外密封的方式與所述外坩堝主體接觸,所述第二上蓋通過內(nèi)密封的方式與所述內(nèi)坩堝主體接觸。

8.一種蒸發(fā)源裝置,其特征在于,包括權(quán)利要求1-7任一項所述的蒸鍍坩堝,還包括外坩堝主體外側(cè)的加熱源。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的蒸發(fā)源裝置,其特征在于,所述加熱源為兩個,分別與所述內(nèi)坩堝主體的上部和下部對應(yīng)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的蒸發(fā)源裝置,其特征在于,導(dǎo)熱板為兩個,所述導(dǎo)熱板分別與所述加熱源對應(yīng)設(shè)置。

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