技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種金屬薄膜的工藝，其特征是：沉積薄膜的裝置,基片為玻璃，NaCl單晶，濺射本底真空一般定義在5×10-6～10×10-6Torr，然后通過氬氣，在10-5～10-3的氬氣壓下輸入2650MHz微波，在發(fā)散磁場(chǎng)B＝956G附近區(qū)產(chǎn)生電子回旋共振，形成ECR等離子體。本發(fā)明的特點(diǎn)是：設(shè)計(jì)科學(xué)，該制備工藝流程簡(jiǎn)單、可操作性強(qiáng)、成本低，具有連續(xù)批量生產(chǎn)的潛能，便于迅速向市場(chǎng)擴(kuò)展。

技術(shù)研發(fā)人員：季振寬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：青島旭升封頭有限公司
文檔號(hào)碼：201510738396
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.03
技術(shù)公布日：2017.05.10