專利名稱：正型光敏組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及耐熱正型光敏組合物，其可在具有高度光敏性的同時(shí)在半導(dǎo)體處理中 即使在較低溫度下容易地交聯(lián)，從而減少由于較高溫度導(dǎo)致的所述半導(dǎo)體的缺陷的出現(xiàn)。
背景技術(shù)：
一般來說，在半導(dǎo)體處理中使用的光敏組合物大多數(shù)顯示正型，因?yàn)楸黄毓獠糠?被紫外線照射在堿水溶液中溶解。所述組合物可包含溶解在所述堿水溶液中的樹脂、在所 述堿水溶液中不溶解而且對(duì)紫外線靈敏的光敏化合物和其他添加劑。作為在所述堿水溶液中溶解的樹脂的實(shí)例，可以提到聚酰胺衍生物。此樹脂可通 過加熱被轉(zhuǎn)化為聚酰胺和聚苯并噁唑，從而顯示耐熱樹脂的特性。在現(xiàn)有技術(shù)中，可使用不 具有光敏性的組合物，然而近年來，為了簡(jiǎn)化過程的目的出現(xiàn)了優(yōu)選具有光敏性的組合物 的趨勢(shì)。采用一般的聚酰胺衍生物制成的光敏組合物會(huì)表現(xiàn)差的熱穩(wěn)定性，從而會(huì)對(duì)圖案 形成產(chǎn)生不利影響，或者在約350°C經(jīng)受交聯(lián)處理時(shí)出現(xiàn)明顯的體積減縮，因而需要使用單 獨(dú)的交聯(lián)劑。在此情況下，由于具有交聯(lián)特性的化合物的特性，所述圖案的分辨率會(huì)被降 低，且在交聯(lián)過程中會(huì)分子間的交聯(lián)程度會(huì)嚴(yán)重，從而聚酰亞胺樹脂的固有特性的延展性 會(huì)降低。當(dāng)形成所述圖案的時(shí)候，這些添加劑會(huì)降低光敏性，從而處理時(shí)間會(huì)被延長(zhǎng)。在近期的半導(dǎo)體制造過程中，光敏組合物可被涂在薄片上然后經(jīng)受圖案形成，且 在350°C下被加熱1個(gè)小時(shí)從而在薄膜上進(jìn)行交聯(lián)。當(dāng)交聯(lián)溫度升高的時(shí)候，在半導(dǎo)體裝置 上會(huì)產(chǎn)生不利的影響。相應(yīng)地，所述半導(dǎo)體裝置的缺陷比例會(huì)隨著交聯(lián)溫度的增加而增加， 從而會(huì)需要這樣的組合物，即使在較低交聯(lián)溫度下其熱交聯(lián)處理也能夠令人滿意地進(jìn)行。發(fā)明概述本發(fā)明一方面提供了一種耐熱正型光敏組合物，即使在較低溫度下其也可容易地 交聯(lián)，從而阻止由于較高溫度導(dǎo)致的所述半導(dǎo)體的損毀。根據(jù)本發(fā)明的一方面，其提供了一種包含聚酰胺衍生物的正型光敏組合物，所述 聚酰胺衍生物表示為 [化學(xué)式1]
權(quán)利要求
1. 一種包含聚酰胺衍生物的正型光敏組合物，所述聚酰胺衍生物表示為 [化學(xué)式1]
2.由權(quán)利要求1所述的正型光敏組合物，其中所述正型光敏組合物包括聚酰胺衍生 物，所述聚酰胺衍生物表示為[化學(xué)式2]
3.如權(quán)利要求1所述的正型光敏組合物，其中所述正型光敏組合物具有約330°C或者 更低的交聯(lián)溫度。
4.一種正型光敏組合物，其包含重氮萘酚化合物、熱酸產(chǎn)生劑和聚酰胺化合物，所述聚 酰胺化合物表示為[化學(xué)式1]
5.如權(quán)利要求4所述正型光敏組合物，其中所述熱酸產(chǎn)生劑包括二價(jià)的烷基甲苯磺酸鹽。
6.如權(quán)利要求4所述的正型光敏組合物，其中所述正型光敏組合物包含由化學(xué)式1表 示的聚酰胺衍生物、所述重氮萘酚化合物和由化學(xué)式3到6表示的至少一種添加劑，化學(xué)式
7.如權(quán)利要求4所述的正型光敏組合物，其中所述重氮萘酚化合物表示為 [化學(xué)式7]
8.如權(quán)利要求7所述的正型光敏組合物，其中DNQ與R7的摩爾比為1 4到20 1。
9.如權(quán)利要求4所述的正型光敏組合物，其中所述重氮萘酚化合物為從包含由化學(xué)式 10到17表示的化合物組成的組中選擇的至少一種化合物，[化學(xué)式10到17]
10.如權(quán)利要求4所述的正型光敏組合物，其中在所述組合物的總量中，基于100重量 份的聚酰胺衍生物，所述重氮萘酚化合物的含量為5到30重量份。
11.如權(quán)利要求4所述的正型光敏組合物，其中在所述組合物的總量中，所述熱酸產(chǎn)生 劑占0.01%到5%。
全文摘要
本申請(qǐng)公開了一種正型光敏組合物，其包含由下面的化學(xué)式表示的聚酰胺衍生物和一種熱酸產(chǎn)生劑。[化學(xué)式]，其中R1、R2、R4和R5各自獨(dú)立地表示具有至少2個(gè)碳原子的二價(jià)到六價(jià)的芳基；R3表示氫原子或者具有1到10個(gè)碳原子的烷基；k表示10到1000的整數(shù)；l表示1到1000的整數(shù)；n和m各自獨(dú)立地表示0到2的整數(shù)(n+m＞0)；且X表示氫原子或者具有2到30個(gè)碳原子的芳基。
文檔編號(hào)G03F7/016GK102004396SQ20101012610
公開日2011年4月6日 申請(qǐng)日期2010年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月31日
發(fā)明者孫敬喆, 曺正煥, 樸柱鉉, 李進(jìn)翰 申請(qǐng)人:韓國(guó)錦湖石油化學(xué)株式會(huì)社