專利名稱：：感光性樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物，更詳細(xì)地涉及這樣的感光性樹脂組合物用于TFT-LCD的層間有機(jī)絕緣膜的形成，在光取向用液晶工序中進(jìn)行過曝光時(shí)能夠改善液晶偏置現(xiàn)象，而且容易調(diào)節(jié)圖案的分辨率，特別適合層間有機(jī)絕緣膜的平坦化膜形成。
背景技術(shù)：
：TFT型液晶顯示元件或者集成電路元件為了使配置于層間的配線之間絕緣而使用有機(jī)絕緣膜。尤其，為了TFT-IXD用光取向，必須使用非常多的曝光能，以免發(fā)生殘像等問題。作為為了光取向而使用的層間有機(jī)絕緣膜，使用以往的感光性樹脂時(shí)，由于耐光性差而使層間有機(jī)絕緣膜因過曝光而老化并產(chǎn)生升華物或者產(chǎn)生分解物而污染液晶，如果由這種現(xiàn)象使液晶受到污染，就會(huì)產(chǎn)生像素內(nèi)的液晶不足的領(lǐng)域，因此需要切實(shí)改善該問題。
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問題為了解決這樣的現(xiàn)有技術(shù)中所存在的問題，本發(fā)明以提供一種感光性樹脂組合物為目的，該感光性樹脂組合物用于TFT-LCD的層間有機(jī)絕緣膜的形成，在光取向用液晶工序中進(jìn)行過曝光時(shí)能夠改善液晶偏置現(xiàn)象，而且容易調(diào)節(jié)圖案的分辨率，特別適合層間有機(jī)絕緣膜的平坦化膜形成。解決問題的手段為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種用于TFT-LCD用層間有機(jī)絕緣膜形成的感光性樹脂組合物，其特征在于含有0.01至20重量％的UV穩(wěn)定劑或者自由基清除劑。并且，本發(fā)明提供一種利用了上述感光性樹脂組合物的TFT-IXD用層間有機(jī)絕緣膜形成方法。并且，本發(fā)明提供一種作為層間有機(jī)絕緣膜含有所述感光性樹脂組合物的固化物的TFT-LCD。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的感光性樹脂組合物，通過用于TFT-IXD的層間有機(jī)絕緣膜的形成，在光取向用液晶工序中進(jìn)行過曝光時(shí)能夠改善液晶偏置現(xiàn)象，而且容易調(diào)節(jié)圖案的分辨率，特別適合層間有機(jī)絕緣膜的平坦化膜的形成。具體實(shí)施例方式以下，詳細(xì)說明本發(fā)明。本發(fā)明人確認(rèn)在作為層間有機(jī)絕緣膜使用的感光性樹脂組合物中含有UV穩(wěn)定劑或者自由基清除劑(radicalscavenger)。.01至20重量％時(shí)，不僅在光取向用液晶工序中進(jìn)行過曝光時(shí)可以改善液晶偏置現(xiàn)象，而且還容易調(diào)解圖案的分辨率，特別適合TFT-LCD的層間有機(jī)絕緣膜的平坦化膜的形成，從而完成了本發(fā)明。本發(fā)明的感光性樹脂組合物以含有0.01至20重量％的UV穩(wěn)定劑或者自由基清除劑為特征。本發(fā)明的UV穩(wěn)定劑或者自由基清除劑通過在光取向用液晶工序中吸收過曝光能，并使其變成無害的動(dòng)能或者熱能，起到抑制層間有機(jī)絕緣膜由于光而分解以及產(chǎn)生變色有機(jī)物的升華物的作用。即，所述UV穩(wěn)定劑和自由基清除劑吸收并除去對(duì)于過曝光的紫外線，在必須通過過曝光來進(jìn)行液晶的交聯(lián)、取向的液晶模式中，起到可以確保層間有機(jī)絕緣膜的可靠性的作用。具體為，上述UV穩(wěn)定劑或者自由基清除劑可以將苯并三唑及其衍生物、三嗪及其衍生物、哌啶及其衍生物單獨(dú)或者將兩種以上混合使用，并且可以在感光性樹脂組合物中含有0.01至20重量％，進(jìn)一步優(yōu)選在感光性樹脂組合物中含有0.1至10重量％。并且，最好是分別含有0.1至10重量％的UV穩(wěn)定劑和自由基清除劑。更具體的，作為上述苯并三唑及其衍生物可以使用羥基苯基苯并三唑、2，2’-亞甲基-雙(6-(2H-苯并三唑-2-基)-4-(1，1，3，3-四甲基丁基)-苯酚、2-(2，-羥基甲基苯基)苯并三唑、2_[2，-羥基_3，，5，-雙(α，α-二甲基芐基苯基]苯并三唑、2_(2，-羥基-3，，5，-二丁基苯基)苯并三唑、2-(2，-羥基-3，-叔丁基-5，-甲基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2，-羥基-3，，5，-二叔丁基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2，-羥基-3，，5，-二叔戊基)苯并三唑、2-(2，-羥基-5，-叔辛基苯基)苯并三唑、或者2，2，-亞甲基雙[4-(1，1，3，3-四甲基丁基)-6-(2-Ν-苯并三唑-2-基)苯酚]等。并且，作為上述三嗪及其衍生物可以使用羥基苯基均三嗪、2_(4’-甲氧基苯基)-4，6_雙(2，-羥基-4，-正辛基氧苯基)-1，3，5_三嗪、2，4_雙{[4-(3-(2_丙基氧)-2_羥基-丙基氧)-2_羥基]-苯基}-6-(4_甲氧基苯基)-1，3，5_三嗪、2，4_雙{[4-(2-乙基-己基氧)-2-羥基]-苯基}-6-[4-(2-甲氧基乙基-羧基)_苯基氨基]-1，3，5-三嗪、2，4-雙{[4-(三(三甲基甲硅烷基氧-甲硅烷基丙基氧)-2_羥基]-苯基}-6-(4_甲氧基苯基)-1，3，5_三嗪、2，4_雙{[4-(2，-甲基丙烯基氧)_2_羥基]-苯基}-6-(4_甲氧基苯基)-1，3，5_三嗪、2，4_雙{[4-(1，，1，，1，，3，，5，，5，，5，-七甲基三甲硅烷基-2，-甲基-丙基氧)-2_羥基]-苯基}-6-(4_甲氧基苯基)-1，3，5-三嗪、2，4-雙{[4-(4-(2-丙基氧)-2-羥基-丙基氧)-2-羥基]-苯基}-6-[4-乙基羧基)-苯基氨基]-1，3，5-三嗪、或者2，4，6_三苯胺-(對(duì)羰基-2，-乙基-1，-氧)_1，3，5-三嗪等。并且，作為上述哌啶及其衍生物可以使用4-苯甲酰-2，2，6，6-四甲基哌啶或者4-硬脂酰氧_2，2，6，6-四甲基-哌啶等。并且，還可以使用市售的UV穩(wěn)定劑或者自由基清除劑，例如，作為UV穩(wěn)定劑可以使用汽巴(Ciba)公司的TINUVIN109、171、384-2、400、405、411L、328、900、928、384_2、460、477、479、CGL77MPA-D型等，并且可以將與此類似系統(tǒng)的衍生物單獨(dú)或者將兩種以上混合使用，作為自由基清除劑可以使用汽巴(Ciba)公司的TINUVIN123、292、292HP、144型和CGL052等，并且可以將與此類似系統(tǒng)的衍生物單獨(dú)或者將兩種以上混合使用。并且，除了上述UV穩(wěn)定劑或者自由基清除劑以外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物可以使用公知的用于有機(jī)絕緣膜形成的感光性樹脂組合物，作為優(yōu)選例，由下述物質(zhì)組成a)共聚物樹脂5至40重量％、b)光引發(fā)劑0.01至30重量％、c)具有乙烯性不飽和鍵的多官能性單體0.5至40重量％、d)所述UV穩(wěn)定劑或者自由基清除劑0.01至20重量％、以及e)余量的溶劑。上述a)的共聚物樹脂可以使用用于負(fù)型感光性樹脂組合物的公知的共聚物樹月旨，優(yōu)選使用丙烯酸系共聚物樹脂或者聚酰亞胺系共聚物樹脂。所述共聚物樹脂的聚苯乙烯換算重均分子量優(yōu)選為500020000，在所述范圍內(nèi)時(shí)，可以同時(shí)滿足有機(jī)絕緣膜的顯像性、殘膜率、耐熱性、靈敏度等。上述a)共聚物樹脂的含量為感光性樹脂組合物的5至40重量％較好。在所述范圍內(nèi)時(shí)，不僅是靈敏度，還可以同時(shí)滿足平坦度、分辨率、耐熱性、透過率、抗沖擊性。作為具體的例子，所述丙烯酸系共聚物可以通過將i)不飽和羧酸或其酐、ii)含環(huán)氧基不飽和化合物以及iii)烯烴系不飽和化合物作為單體，在溶劑和聚合引發(fā)劑的存在下進(jìn)行自由基合成后，通過沉淀和過濾、真空干燥(VacuumDrying)工序除去未反應(yīng)單體來獲得。本發(fā)明中使用的上述a)i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物，可以使用丙烯酸、甲基丙烯酸等不飽和一元羧酸，馬來酸、富馬酸、檸康酸、甲基富馬酸、衣康酸等不飽和二元羧酸，或者這些不飽和二元羧酸的酐等，并且，這些化合物可以單獨(dú)或者將兩種以上混合使用，尤其是，從共聚反應(yīng)性和對(duì)作為顯像液的堿性水溶液的溶解性考慮，進(jìn)一步優(yōu)選使用丙烯酸、甲基丙烯酸、或者馬來酸酐。上述不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或者它們的混合物，相對(duì)于全部總單體，優(yōu)選含有15至45重量份。其含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，在堿性水溶液中的溶解性最為理想。在本發(fā)明中使用的上述a)ii)含環(huán)氧基不飽和化合物可以使用丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸_β_甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸_β_甲基縮水甘油酯、丙烯酸_β_乙基縮水甘油酯、甲基丙烯酸_β_乙基縮水甘油酯、丙烯酸_3，4-環(huán)氧基丁酯、甲基丙烯酸_3，4-環(huán)氧基丁酯、丙烯酸_6，7-環(huán)氧基庚酯、甲基丙烯酸_6，7-環(huán)氧基庚酯、α-乙基丙烯酸-6，7-環(huán)氧基庚酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間乙烯基芐基縮水甘油醚、或者對(duì)乙烯基芐基縮水甘油醚、甲基丙烯酸3，4-環(huán)氧基環(huán)己酯等，并且，所述化合物可以單獨(dú)或者將兩種以上混合使用。尤其是，從提高共聚反應(yīng)性和所得圖案的耐熱性上考慮，所述含環(huán)氧基不飽和化合物進(jìn)一步優(yōu)選使用甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸_β_甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-6，7-環(huán)氧基庚酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間乙烯基芐基縮水甘油醚、或者對(duì)乙烯基芐基縮水甘油醚、甲基丙烯酸3，4-環(huán)氧基環(huán)己酯等。上述含環(huán)氧基不飽和化合物，相對(duì)于全部總單體，優(yōu)選含有15至45重量份。其含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，可以同時(shí)滿足有機(jī)絕緣膜的耐熱性和感光性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性。本發(fā)明中使用的所述a)iii)的烯烴系不飽和化合物可以使用甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、丙烯酸二環(huán)戊烯酯、丙烯酸二環(huán)戊酯、甲基丙烯酸二環(huán)戊烯酯、甲基丙烯酸二環(huán)戊酯、丙烯酸1-金剛烷酯、甲基丙烯酸1-金剛烷酯、甲基丙烯酸二環(huán)戊基氧乙酯、甲基丙烯酸異冰片酯、丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、丙烯酸二環(huán)戊基氧基乙酯、丙烯酸異冰片酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸芐酯、甲基丙烯酸2-羥基乙酯、苯乙烯、ο-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對(duì)甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對(duì)甲氧基苯乙烯、1，3-丁二烯、異戊二烯、或者2，3-二甲基-1，3-丁二烯等，并且，所述化合物可以單獨(dú)或者將兩種以上混合使用。尤其是，從共聚反應(yīng)性和對(duì)于作為顯像液的堿性水溶液的溶解性上考慮，所述烯烴系不飽和化合物進(jìn)一步優(yōu)選使用苯乙烯、甲基丙烯酸二環(huán)戊酯或者對(duì)甲氧基苯乙烯。上述烯烴系不飽和化合物，相對(duì)于全部總單體，優(yōu)選含有25至70重量份，進(jìn)一步優(yōu)選含有25至45重量份。其含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，可以使顯像后不發(fā)生膨脹(Swelling)，且可以理想地維持對(duì)作為顯像液的堿性水溶液的溶解性。為了用如上所述的單體進(jìn)行溶液(Solution)聚合而使用的溶劑，可以使用甲醇、四氫呋喃、甲苯、二噁烷等。為了用如上所述的單體進(jìn)行溶液(Solution)聚合而使用的聚合引發(fā)劑可以使用自由基聚合引發(fā)劑，具體可以使用2，2-偶氮二異丁腈、2，2-偶氮二(2，4_二甲基戊腈)、2，2_偶氮二(4-甲氧基2，4_二甲基戊腈)、1，1_偶氮二(環(huán)己烷-1-腈)、或者2，2’-偶氮二異丁酸二甲酯等。將如上所述的單體在溶劑和聚合引發(fā)劑的存在下進(jìn)行自由基反應(yīng)后，通過沉淀和過濾、真空干燥(VacuumDrying)工序除去未反應(yīng)單體而獲得的丙烯酸系共聚物優(yōu)選聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)為5，00020，000。作為本發(fā)明中使用的上述b)的光引發(fā)劑的例子，可以使用三嗪系、苯偶因、苯乙酮系、咪唑系、咕噸酮或者肟酯系等化合物，作為具體例子，可以使用2，4_雙三氯甲基-6-對(duì)甲氧基苯乙烯基-均三嗪、2-對(duì)甲氧基苯乙烯基-4，6-雙三氯甲基-均三嗪、2，4_三氯甲基-6-三嗪、2，4_三氯甲基-4-甲基萘基-6-三嗪、二苯甲酮、對(duì)(二乙基氨基)二苯甲酮、2，2-二氯-4-苯氧基苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、2-十二烷基硫雜蒽酮、2，4-二甲基硫雜蒽酮、2，4-二乙基硫雜蒽酮、2，2-雙-2-氯苯基-4，5,4,5-四苯基_2_1，2-二咪P坐、汽ELffU公司白勺Irgacure369>Irgacur651>Irgacure907、DarocurTPO>Irgacure819、OXE-01、0ΧΕ-02，艾迪科(Adeka)公司的N-1919、NCI-831等化合物，并且，所述化合物可以單獨(dú)或者將兩種以上混合使用。上述光引發(fā)劑的含量不足0.01重量％時(shí)，由于靈敏度低而存在殘膜率變差的問題，超過30重量％時(shí)，保存穩(wěn)定性會(huì)出現(xiàn)問題，且由于高固化度而存在顯像時(shí)圖案的接著力降低的問題。并且，本發(fā)明中使用的所述C)具有乙烯性不飽和鍵的多官能性單體，一般是至少具有2個(gè)以上的乙烯系雙鍵的交聯(lián)性單體，可以使用二丙烯酸1，4_丁二醇酯、二丙烯酸1，3_丁二醇酯、二丙烯酸乙二醇酯、三羥甲基丙烷二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、三丙烯酸季戊四醇酯、四丙烯酸季戊四醇酯、二丙烯酸三乙二醇酯、二丙烯酸聚乙二醇酯、二季戊四醇六二丙烯酸酯、二季戊四醇三二丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇三丙烯酸酯、二丙烯酸二季戊四醇酯、三丙烯酸山梨糖醇酯、雙酚A二丙烯酸酯衍生物、聚丙烯酸二季戊四醇酯、或者它們的甲基丙烯酸酯類等。優(yōu)選含有0.5至40重量％的所述具有乙烯性不飽和鍵的多官能性單體，進(jìn)一步優(yōu)選含有5至20重量％。該含量不足0.5重量％時(shí)，由于與感光性樹脂的低固化度而存在難以實(shí)現(xiàn)接觸孔以及圖案的問題，超過40重量％時(shí)，由于高固化度而存在顯像時(shí)接觸孔以及圖案的分辨率低的問題。本發(fā)明中使用的上述d)UV穩(wěn)定劑或者自由基清除劑如上所述。并且，本發(fā)明中使用的所述e)溶劑使有機(jī)絕緣膜平坦以及不產(chǎn)生涂料滲透，從而形成均一的圖案輪廓(patternprofile)。上述溶劑有甲醇、乙醇、芐醇、己醇等醇類，乙二醇甲基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯類，乙二醇甲基醚丙酸酯、乙二醇乙基醚丙酸酯等乙二醇烷基醚丙酸酯類，乙二醇甲基醚、乙二醇乙基醚等乙二醇一烷基醚類，二乙二醇一甲基醚、二乙二醇一乙基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚等二乙二醇烷基醚類，丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯等丙二醇烷基醚乙酸酯類，丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯類，丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇丙基醚、丙二醇丁基醚等丙二醇一烷基醚類，二丙二醇二甲基醚、二丙二醇二乙基醚等二丙二醇烷基醚類，丁二醇一甲基醚、丁二醇一乙基醚等丁二醇一甲基醚類，二丁二醇二甲基醚、二丁二醇二乙基醚等二丁二醇烷基醚類等。上述溶劑的含量是全體感光性樹脂組合物的余量，優(yōu)選為50至90重量％。在所述范圍內(nèi)時(shí)，可以同時(shí)提高感光性樹脂組合物的涂布性和保存穩(wěn)定性。包含如上所述的成分的本發(fā)明的感光性樹脂組合物可以根據(jù)需要選擇性地進(jìn)一步含有環(huán)氧樹脂、粘接劑、增敏劑或者表面活性劑。上述環(huán)氧樹脂起到提高由感光性樹脂組合物獲得的圖案的耐熱性、靈敏度等的作用。上述環(huán)氧樹脂可以使用雙酚A型環(huán)氧樹脂、苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、環(huán)狀脂肪族環(huán)氧樹脂、縮水甘油酯型環(huán)氧樹脂、縮水甘油胺型環(huán)氧樹脂、雜環(huán)式環(huán)氧樹脂、或者將與a)的丙烯酸系共聚物不同的甲基丙烯酸縮水甘油酸酯(共)聚合了的樹脂等，特別優(yōu)選使用雙酚A型環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、或者縮水甘油酯型環(huán)氧樹脂。上述環(huán)氧樹脂相對(duì)于本發(fā)明的感光性樹脂組合物優(yōu)選含有0.01至10重量％，該含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，可以提高涂布性和粘接性。并且，所述粘接劑起到提高與基板的粘接性的作用，相對(duì)于本發(fā)明的感光性樹脂組合物優(yōu)選含有0.01至10重量％。上述粘接劑可以使用具有羧基、甲基丙烯酰基、異氰酸酯基、或者環(huán)氧基等反應(yīng)性取代基的硅烷偶合劑等。具體可以使用Y-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酸基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、Y-異氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、Y-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、或者β-(3，4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷等。并且，作為上述增敏劑可以使用從由鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二異壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯、以及2，2，4_三甲基-1，3-戊二醇一異丁酸酯組成的組中選擇的1種以上的化合物，其含量較好為感光性樹脂組合物的0.1至10重量％。并且，上述表面活性劑起到提高感光性組合物的涂布性或者顯像性的作用。上述表面活性劑可以使用聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、F171、F172、F173(商品名，大日本油墨公司)、FC430、FC431(商品名，住友3M公司)、或者KP341(商品名，信越化學(xué)工業(yè)公司)等上述表面活性劑相對(duì)于本發(fā)明的感光性樹脂組合物優(yōu)選含有0.0001至2重量％，該含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，對(duì)于感光性組合物的涂布性或者顯像性的提高會(huì)更加有益。由如上所述的成分組成的本發(fā)明的感光性樹脂組合物的固體成分濃度優(yōu)選10至50重量％，具有所述范圍的固體成分的組合物，用0.10.2μπι的微孔濾膜等過濾后再使用較好。并且，本發(fā)明提供利用了上述感光性樹脂組合物的TFT-LCD用層間有機(jī)絕緣膜形成方法以及將所述感光性樹脂組合物的固化物作為TFT-LCD用層間有機(jī)絕緣膜而含有的顯不器。本發(fā)明的TFT-LCD用層間有機(jī)絕緣膜形成方法，是利用感光性樹脂組合物形成TFT-LCD的層間有機(jī)絕緣膜圖案的方法，以使用上述感光性樹脂組合物為特征，使用在基材上涂布感光性樹脂組合物_預(yù)烘焙_曝光-顯像等公知的圖案形成方法。作為具體例子，形成TFT-IXD用層間有機(jī)絕緣膜的方法如下。首先，將本發(fā)明的所述感光性樹脂組合物用噴霧法、輥涂法、旋涂法等涂布于基板表面，通過預(yù)烘除去溶劑，形成涂布膜。此時(shí)，所述預(yù)烘優(yōu)選在80115°C的溫度中實(shí)施115分鐘。然后，通過預(yù)先準(zhǔn)備的光掩模將可見光、紫外線、遠(yuǎn)紫外線、電子射線、X射線等照射到上述形成的涂布膜上，通過用顯像液顯像除去不必要的部分來形成規(guī)定的圖案。上述顯像液使用堿性水溶液較好，具體可以使用氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉等無機(jī)堿類，乙胺、正丙胺等伯胺類，二乙胺等仲胺類，三甲胺、甲基二乙胺、二甲基乙胺、三乙胺等叔胺類，二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺等醇胺類，或者四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨等季銨鹽的水溶液等。此時(shí)，所述顯像液是將堿性化合物以0.110重量％的濃度溶解而使用，也可以適量添加甲醇、乙醇等水溶性有機(jī)溶劑以及表面活性劑。并且，用如上所述的顯像液顯像后，用超純水清洗3090秒以除去不必要的部分并干燥而形成圖案，向所述形成的圖案照射紫外線等光后，將圖案通過烘箱等加熱裝置在150250°C的溫度中加熱處理3090分鐘，就可以獲得最終圖案。以下，為了理解本發(fā)明而表示優(yōu)選實(shí)施例，但是下述實(shí)施例僅是本發(fā)明的例示，本發(fā)明的范圍并不限定于下述的實(shí)施例。實(shí)施例實(shí)施例1在具備冷凝器和攪拌機(jī)的2L的燒瓶(Flask)中投入異丙醇400重量份、甲基丙烯酸30重量份和苯乙烯30重量份、甲基丙烯酸縮水甘油酯25重量份、丙烯酸2-羥基乙酯15重量份的混合溶液。將所述液態(tài)組合物在混合容器中以600rpm充分混合后，添加2,2，-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)15重量份。將所述聚合混合溶液緩慢升溫至50°C，并將該溫度維持6小時(shí)而得到了共聚物溶液。在所得聚合物中添加阻聚劑。將所述聚合被中止了的燒瓶的溫度降至18°C，停滯1小時(shí)后，得到生成的析出物并過濾。將所述過濾得到的析出物85重量份加入到作為溶劑的丙二醇一乙基醚丙酸酯中，使析出物的含量達(dá)到45重量％，得到了丙烯酸系共聚物。此時(shí)得到的聚合物溶液的丙烯酸系共聚物的重均分子量(Mw)為9，000。將100重量份的含上述制造的丙烯酸系共聚物的聚合物溶液、10重量份的作為光引發(fā)劑的0XE-02、40重量份的作為交聯(lián)性單體的二季戊四醇六二丙烯酸酯、以及10重量份的作為UV穩(wěn)定劑的TINUVIN400進(jìn)行混合。在所述混合物中加入二乙二醇二甲基醚并溶解，使固體成分濃度達(dá)到35重量％，然后以0.2μπι的微孔濾膜過濾，制造了負(fù)型感光性樹脂組合物。實(shí)施例2將100重量份的上述實(shí)施例1中制造的含有丙烯酸系共聚物的聚合物溶液、5重量份的作為光引發(fā)劑的Ν-1919、30重量份的作為交聯(lián)性單體的二季戊四醇六丙烯酸酯、作為UV穩(wěn)定劑以及自由基清除劑的5重量份的TINUVIN460、5重量份的TINUVIN292進(jìn)行混合。在所述混合物中加入PGMEA并溶解，使固體成分濃度達(dá)到35重量％，然后以0.2μm的微孔濾膜過濾，制造了負(fù)型感光性樹脂組合物涂料溶液。實(shí)施例3在具備冷凝器和攪拌機(jī)的燒瓶中加入2，2-雙(3-氨基-4-羥基苯基)六氟丙烷50重量份、4，4-(六氟亞異丙基)鄰苯二甲酸酐50重量份，在常溫下添加NMP并攪拌24小時(shí)來進(jìn)行反應(yīng)。為了除去在酰亞胺化反應(yīng)中生成的水，在生成的聚酰胺酸中添加與NMP等量的二甲苯，在160°C反應(yīng)5小時(shí)而制造了聚酰亞胺。將可溶性聚酰亞胺(6FDA/BAPAF)在氮?dú)夥諊氯苡贒MAc后，滴入與作為感光性基團(tuán)的甲基丙烯酰氯等當(dāng)量的三乙胺，并在0°C下反應(yīng)12小時(shí)，制造了感光性聚酰亞胺系共聚物。制造的聚酰亞胺系共聚物的分子量為15000。將100重量份的上述制造的含有聚酰亞胺系共聚物的聚合物溶液、作為光引發(fā)劑的0XE-02和NCI-831各5重量份、20重量份的作為交聯(lián)性單體的二季戊四醇六二丙烯酸酯、作為UV穩(wěn)定劑以及自由基清除劑的5重量份的TINUVIN479,5重量份的TINUVIN292HP進(jìn)行混合。在所述混合物中加入PGMEA并溶解，使固體成分的濃度達(dá)到35重量％，然后以0.2μπι的微孔濾膜過濾，制造了負(fù)型感光性樹脂組合物涂料溶液。比較例1除了按照下表1所示的組成制造負(fù)型感光性樹脂組合物以外，按照與上述實(shí)施例1相同的方法制造負(fù)型感光性樹脂組合物。下表1中的單位為重量份。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>對(duì)上述實(shí)施例13和比較例1，將感光性樹脂組合物的物性如下進(jìn)行評(píng)價(jià)。對(duì)液晶偏置現(xiàn)象(AUA)的評(píng)價(jià)使用上述實(shí)施例13和比較例1的感光性樹脂組合物形成TFT基板的有機(jī)絕緣膜部分后，與CF基板接合。通過毛細(xì)管現(xiàn)象注入液晶后，通過曝光引起液晶的反應(yīng)后，將面板以密封的狀態(tài)共觀察500小時(shí)，每100小時(shí)掌握一次面板的液晶偏置現(xiàn)象發(fā)生程度。只有在直到500小時(shí)也沒有發(fā)生液晶偏置現(xiàn)象的情況下，才可以確認(rèn)為是具有可靠性的有機(jī)絕緣膜感光性樹脂組合物的構(gòu)成。對(duì)分辨率的評(píng)價(jià)采用設(shè)有下部TFT金屬配線的膜，將上述實(shí)施例13和比較例1的感光性樹脂組合物以掩模尺寸(MaskSize)IOX12μm的大小形成圖案，將Bias為1以下的情況表示為分辨率優(yōu)秀，將Bias為2以下的情況表示為良好，將Bias為3以上的情況表不為差。對(duì)平坦度的評(píng)價(jià)將上述實(shí)施例13和比較例1的感光性樹脂組合物曝光后，形成圖案，然后在玻璃(Glass)的各48部分上測定厚度，將均一性(Uniformity)在2%以內(nèi)的情況表示為優(yōu)秀，25%的情況表示為良好，5%以上的情況表示為差。根據(jù)上述方法測定的結(jié)果如表2所示。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>根據(jù)上述表2可知，本發(fā)明的實(shí)施例13的感光性樹脂組合物與比較例1相比，液晶偏置現(xiàn)象得到顯著的改善，并且，在分辨率和平坦度上也有所提高。權(quán)利要求一種感光性樹脂組合物，用于TFT-LCD用層間有機(jī)絕緣膜的形成，其特征在于，含有0.01至20重量％的UV穩(wěn)定劑或者自由基清除劑。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，作為所述UV穩(wěn)定劑或者自由基清除劑，將苯并三唑及其衍生物、三嗪及其衍生物、哌啶及其衍生物單獨(dú)或者兩種以上混合使用。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述苯并三唑及其衍生物是羥基苯基苯并三唑、2，2，-亞甲基-雙(6-(2!1-苯并三唑-2-基)-4-(1，1，3，3-四甲基丁基)-苯酚、2_(2，-羥基甲基苯基)苯并三唑、2_[2，-羥基_3，，5，-雙(α，α-二甲基芐基苯基]苯并三唑、2-(2，-羥基-3，，5，-二丁基苯基)苯并三唑、2-(2，-羥基-3，-叔丁基-5’-甲基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2’-羥基-3’，5’-二叔丁基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(2，_羥基-3，，5，_二叔戊基)苯并三唑、2-(2，_羥基-5，-叔辛基苯基)苯并三唑、或者2，2，-亞甲基雙[4-(1，1，3，3_四甲基丁基)-6-(2-Ν-苯并三唑-2-基)苯酚]。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述三嗪及其衍生物為羥基苯基均三嗪、2-(4，-甲氧基苯基)-4，6_雙(2，-羥基-4，-正辛基氧苯基)-1，3，5-三嗪、2，4_雙{[4-(3-(2_丙基氧)-2_羥基-丙基氧)-2_羥基]-苯基}-6-(4_甲氧基苯基)-1，3，5_三嗪、2，4_雙{[4-(2_乙基-己基氧)-2-羥基]-苯基}-6-[4-(2-甲氧基乙基-羧基)-苯基氨基]-1，3，5-三嗪、2，4_雙{[4-(三(三甲基甲硅烷基氧-甲硅烷基丙基氧)-2-羥基]-苯基}-6-(4-甲氧基苯基)-1，3，5_三嗪、2，4_雙{[4_(2，_甲基丙烯基氧)-2_羥基]-苯基}-6-(4_甲氧基苯基)-1，3，5_三嗪、2，4_雙{[4-(1，，1，，1，，3，，5，，5，，5，-七甲基三甲硅烷基-2，-甲基-丙基氧)-2-羥基]-苯基}-6-(4-甲氧基苯基)-1，3，5-三嗪、2，4-雙{[4-(4-(2-丙基氧)-2-羥基-丙基氧)-2-羥基]-苯基}_6_[4-乙基羧基)-苯基氨基]-1，3，5-三嗪、或者2，4，6_三苯胺_(對(duì)羰基-2，-乙基-1，-氧)-1，3，5-三嗪。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述哌啶及其衍生物為4-苯甲酰-2，2，6，6-四甲基哌啶或者4-硬脂酰氧_2，2，6，6-四甲基哌啶。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，分別含有110重量％的所述UV穩(wěn)定劑和自由基清除劑。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述感光性樹脂組合物含有a)共聚物樹脂540重量％、b)光引發(fā)劑0.0130重量％、c)具有乙烯性不飽和鍵的多官能性單體0.540重量％、d)所述UV穩(wěn)定劑或者自由基清除劑0.0120重量％、以及e)余量的溶劑。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述a)共聚物樹脂是重均分子量為500020000的丙烯酸系共聚物或者聚酰亞胺系共聚物。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述感光性樹脂組合物進(jìn)一步含有環(huán)氧樹脂、粘接劑、增敏劑或者表面活性劑。10.一種TFT-LCD用層間有機(jī)絕緣膜形成方法，其特征在于，利用了權(quán)利要求1至9中的任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物。11.一種TFT-IXD，其特征在于，將權(quán)利要求1至9中的任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物的固化物作為層間有機(jī)絕緣膜來含有。全文摘要本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其用于TFT-LCD的層間有機(jī)絕緣膜的形成，在光取向用液晶工序中進(jìn)行過曝光時(shí)能夠改善液晶偏置現(xiàn)象，而且容易調(diào)節(jié)圖案的分辨率，特別適合層間有機(jī)絕緣膜的平坦化膜的形成。本發(fā)明的感光性樹脂組合物的特征是，是用于TFT-LCD用層間有機(jī)絕緣膜的形成的感光性樹脂組合物，含有0.01至20重量％的UV穩(wěn)定劑或者自由基清除劑。文檔編號(hào)G02F1/13GK101825843SQ201010122249公開日2010年9月8日申請(qǐng)日期2010年3月2日優(yōu)先權(quán)日2009年3月2日發(fā)明者丘冀赫,呂泰勛,尹柱豹,尹赫敏,崔守延,李相勛,申洪大,禹唱旼,金東明,金弘錫,金柄郁,金珍善申請(qǐng)人:株式會(huì)社東進(jìn)世美肯