專利名稱：：放射線敏感性樹脂組合物和濾色器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及可用于制備在透射型或反射型彩色液晶裝置、彩色攝像管元件等中使用的濾色器的放射線敏感性樹脂組合物及其制備方法，還涉及由該放射線敏感性樹脂組合物形成的濾色器以及具有該濾色器的彩色液晶顯示裝置。
背景技術(shù)：
：已知使用著色放射線敏感性樹脂組合物形成濾色器的方法有在基板上或預先形成了所需圖案的遮光層的基板上形成著色放射線敏感性樹脂組合物的涂膜，經(jīng)由具有所需圖案形狀的光掩模照射放射線(以下稱為"曝光")，通過堿顯影液顯影，溶解除去未曝光部分，然后使用潔凈烘箱或熱板進行后烘，獲得各種顏色的像素的方法(參照日本特開2000-329929號公報)。近年來，用于形成濾色器的基板尺寸日益大型化，因此，放射線敏感性樹脂組合物的涂布方法由使用中央滴落型的旋涂器的方式改為使用使涂布放射線敏感性樹脂組合物的液體突出部為更小口徑的狹縫噴嘴(slitnozzle)的方式。后者的狹縫噴嘴的方式中，液體突出部的直徑小(狹窄)，因此涂布結(jié)束后，噴嘴頂端部的周邊大多殘留有放射線敏感性樹脂組合物，其干燥后就會作為下一次涂布時的干燥異物滴落到濾色器上，使濾色器的質(zhì)量顯著降低，因此，通常要在涂布前進行使噴嘴頂端部噴出洗滌溶劑的噴射清洗。但是，即使如此也無法有效防止干燥異物導致的濾色器質(zhì)量降低，成為成品率降低的主要原因。針對上述問題，近年來人們亟需洗滌溶劑的洗滌性高，即干燥后在洗滌溶劑中的溶解性仍然高的濾色器用放射線敏感性樹脂組合物。近年來，人們對于具有濾色器的液晶顯示裝置要求其壽命更長，隨之對濾色器防圖像殘留功能的要求也日益增強。"圖像殘留(焼豸，奢)"是液晶顯示裝置顯示不良的一種，是本來不應(yīng)顯示的圖像在畫面上顯示，或黑或白的"霧"狀在原本要顯示的圖象上重疊顯示的現(xiàn)象。上述現(xiàn)象是由于液晶中帶電荷的雜質(zhì)在液晶內(nèi)擴散，為了使液晶分子取向而施加的電位差無法保持一定的時間。上述雜質(zhì)不僅來自于液晶分子制備時，最近又了解到，也會從形成的濾色器中溶出。如日本特開2000-329929號公報中所公開的，對于防止"圖像殘留"，已知提高顏料純度是有效的，但是雜質(zhì)也可能來自于放射線敏感性樹脂組合物中顏料以外的成分，因此，單純提高顏料純度未必足夠。近年來，人們強烈需要開發(fā)可以滿足濾色器制造時的高成品率的要求，且不產(chǎn)生"圖像殘留"的得到進一步改善的濾色器用放射線敏感性樹脂組合物。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供可以以高成品率形成不會發(fā)生"圖像殘留"的濾色器、同時靈敏度高、干燥后在洗滌溶劑中的溶解性也高的放射線敏感性樹脂組合物等。本發(fā)明的其它目的在于提供上述放射線敏感性組合物的制備方法。本發(fā)明的又一目的在于提供含有本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物的濾色器以及具有該濾色器的彩色液晶顯示元件。本發(fā)明的其它目的和優(yōu)點如以下說明。根據(jù)本發(fā)明，本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點通過第一方案的放射線敏感性樹脂組合物實現(xiàn)，其特征在于放射線敏感性樹脂組合物含有(A)著色劑、(B)堿溶性樹脂、(C)多官能單體、以及(D)放射線敏感性自由基發(fā)生劑，(B)堿溶性樹脂含有其聚合物鏈的至少一個末端具有下式(i)或式(ii)所示基團的樹脂，(D)放射線敏感性自由基發(fā)生劑含有下式(l)所示的化合物和/或下式(2)所示的化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>;5<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>[式(1)和式(2)中，各R4目互獨立地表示碳原子數(shù)1~20的烷基，碳原子數(shù)3~8的環(huán)烷基或苯基，各R"和各RS相互獨立地表示氫原子、碳原子數(shù)l~20的烷基、碳原子數(shù)38的環(huán)烷基、可被取代的苯基或碳原子數(shù)720的一價脂環(huán)基(上述環(huán)烷基除外)，各F^相互獨立地表示碳原子數(shù)4~20的一價含氧雜環(huán)基、碳原子數(shù)4~20的一價含氮雜環(huán)基或碳原子數(shù)4~20的一價含硫雜環(huán)基，各R^相互獨立地表示氫原子、碳原子數(shù)112的烷基、碳原子數(shù)3~8的環(huán)烷基、碳原子數(shù)1~12的烷氧基或碳原子數(shù)3~8的環(huán)烷氧基，各n相互獨立地為l~5的整數(shù)，各m相互獨立地為05的整數(shù)，(n+m)<5，p為06的整數(shù)]。根據(jù)本發(fā)明，本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點通過第二方面的上述放射線敏感性樹脂組合物的制備方法實現(xiàn)，其特征在于在溶劑中，在分散劑存在下，將作為(A)著色劑的顏料粉碎，并混合、分散，將所得的顏料分散液與(B)堿溶性樹脂、(C)多官能單體和(D)放射線敏感性自由基發(fā)生劑混合。根據(jù)本發(fā)明，本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點通過第三方面的上述放射線敏感性樹脂組合物實現(xiàn)，該組合物用于濾色器(以下稱為"濾色器用放射敏感性樹脂組合物")。根據(jù)本發(fā)明，本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點通過第四方面的濾色器實現(xiàn)，該濾色器由濾色器用放射敏感性樹脂組合物形成。根據(jù)本發(fā)明，本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點通過第五方面的彩色液晶顯示裝置實現(xiàn)，該裝置具有上迷濾色器。具體實施方式以下，對本發(fā)明進行詳細說明。放射線敏感性樹脂組合物-(A)著色劑-對本發(fā)明的著色劑沒有特別限定，但由于濾色器要求高純度、高光透射性的顯色(或阻斷性)和耐熱性，因此優(yōu)選顏料，特別優(yōu)選有機顏料或炭黑。作為上述有機顏料，可以舉出在顏料索引(ColorIndex)中分類為顏料(Pigment)的化合物，具體可以舉出下述顏料索引(C丄)編號的化合物。C.I.顏料黃12、C.I,顏料黃13、C.I.顏料黃14、C.I.顏料黃17、C.L顏料黃20、C.L顏料黃24、C.L顏料黃31、C.I.顏料黃55、C.I.顏料黃83、C.I.顏料黃93、C.I.顏料黃109、C.I.顏料黃110、C.I.顏料黃138、C.L顏料黃139、C.I.顏料黃150、C.I.顏料黃153、C.I.顏料黃154、C.I.顏料黃155、C.I.顏料黃166、C.I.顏料黃168、C.I.顏料黃211;C.1.顏料橙5、C.L顏料橙13、C.L顏料橙14、C.I.顏料橙24、C.I.顏料橙34、C.L顏料橙36、C.L顏料橙38、C.I.顏料橙40、C.I.顏料橙43、C.I.顏料橙46、C.I.顏料橙49、C.I.顏料橙61、C.I.顏料橙64、C.L顏料橙68、C.L顏料橙70、C.L顏料橙71、C.1.顏料橙72、C.I.顏料橙73、C.L顏料橙74;C.I.顏料紅1、C.1.顏料紅2、C.1.顏料紅5、C.I.顏料紅17、C.I.顏料紅31、C.1.顏料紅32、C.L顏料紅41、C.I.顏料紅122、C.I.顏料紅123、C.L顏料紅144、C.1.顏料紅149、C.I.顏料紅166、C.I.顏料紅168、C.I.顏料紅170、C.I.顏料紅171、C.I.顏料紅175、C.I.顏料紅176、C.1.顏料紅177、C.L顏料紅178、C.1,顏料紅179、C.I.顏料紅180、C.1.顏料紅185、C.1.顏料紅187、C.1.顏料紅202、C.1.顏料紅206、C.I.顏料紅207、C.L顏料紅209、C.L顏料紅214、C.I,顏料紅220、C.I.顏料紅221、C.1,顏料紅224、C.L顏料紅242、C.L顏料紅243、C.I.顏料紅254、C.1.顏料紅255、C.L顏料紅262、C.1.顏料紅264、C.I.顏料紅272;C.I.顏料紫1、C.I.顏料紫19、C.I.顏料紫23、C.I.顏料紫29、C.I.顏料紫32、C.L顏料紫36、C.1.顏料紫38;C.1.顏料藍15、C.1.顏料藍15:3、C.1.顏料藍15:4、C.I.顏料藍15:6、C.1.顏料藍60、C.L顏料藍80;C.L顏料綠7、C.1.顏料綠36;C.L顏料棕23、C.1.顏料棕25;C.I.顏料黑1、C.I.顏料黑7。這些有機顏料中，優(yōu)選C.L顏料黃83、C.I.顏料黃139、C.I.顏料黃138、C.L顏料黃150、C.L顏料黃180、C.I.顏料紅177、C.I.顏料紅254、C.1.顏料藍15:3、C.I.顏料藍15:4、C.I.顏料藍15:6、C.I.顏料綠7、C.I.顏料綠36、C.I.顏料紫23、C.I.顏料藍60和C.I.顏料藍80。上述有機顏料可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用，還可以將有機顏料和炭黑混合使用。本發(fā)明中，放射線敏感性組合物的著色劑為顏料時，優(yōu)選如下制備在溶劑中、在分散劑的存在下，例如使用珠磨機、輥磨機等將該顏料粉碎并混合、分散，制成顏料分散液，將該顏料分散液與后述的(B)成分、(C)成分和(D)成分以及根據(jù)需要進一步添加的溶劑、后述的其它添加劑混合。制備上述顏料分散液時所用的分散劑例如可使用陽離子系、陰離子系、非離子系或兩性分散劑等適當?shù)姆稚?。其中，?yōu)選具有尿烷鍵的化合物(以下稱為"氨基曱酸酯類分散劑")。上述尿烷鍵通常由式R-NH-COO-R'](R和R'是脂族、脂環(huán)族或芳香族的一價或多價有機基團，該多價有機基團進一步與其它具有尿烷鍵的基團或其它基團結(jié)合)表示，可存在于氨基曱酸酯類分散劑中的親油性基團和/或親水性基團中，也可以存在于氨基甲酸酯類分散劑的主鏈和/或支鏈中，氨基曱酸酯類分散劑中可存在l個以上的尿烷鍵。氨基甲酸酯類分散劑中存在2個以上尿的烷鍵時，各尿烷鍵可以相同或不同。上述氨基曱酸酯類分散劑例如有二異氰酸酯和/或三異氰酸酯與在一個末端具有羥基的聚酯和/或在兩個末端具有羥基的聚酯的反應(yīng)產(chǎn)物。上述二異氰酸酯例如有苯-1,3-二異氰酸酯、苯-1,4-二異氰酸酯等苯二異氰酸酯；甲苯-2,4-二異氰酸酯、甲苯-2,5-二異氰酸酯、甲苯-2,6-二異氰酸酯、曱苯-3,5-二異氰酸酯等曱苯二異氰酸酯；1,2-二甲苯-3,5-二異氰酸酯、1,2-二甲苯-3,6-二異氰酸酯、1,3-二甲苯-2,4-二異氰酸酯、1,3-二曱苯-2，5-二異氰酸酯、1,3-二甲苯-4,6-二異氰酸酯、1,4-二甲苯-2,5-二異氰酸酯、1,4-二曱苯-2,6-二異氰酸酯等二曱苯二異氰酸酯等其它芳族二異氰酸酯等。上述三異氰酸酯例如有苯-1,2,4-三異氰酸酯、苯-1,2,5-三異氰酸酯、苯-1,3,5-三異氰酸酯等苯三異氰酸酯；曱苯-2,3,5-三異氰酸酯、曱苯-2,3,6-三異氰酸酯、曱苯-2,4,5-三異氰酸酯、曱苯-2,4,6-三異氰酸酯等甲苯三異氰酸酯；1,2-二甲苯-3,4,5-三異氰酸酯、1,2-二甲苯-3,4,6-三異氰酸酯、1,3-二甲苯-2,4,5-三異氰酸酯、1,3-二曱苯-2,4,6-三異氰酸酯、1,3-二甲苯-4,5,6-三異氰酸酯、1,4-二甲苯-2,3,5-三異氰酸酯、1,4-二曱苯-2,3,6-三異氰酸酯等二甲苯三異氰酸酯等其它芳族三異氰酸酯等。這些二異氰酸酯和三異氰酸酯可以分別單獨使用或者將兩種以上混合使用。上述一個末端具有羥基的聚酯和兩個末端具有羥基的聚酯例如有一個末端或兩個末端具有羥基的聚己內(nèi)酯、一個末端或兩個末端具有羥基的聚戊內(nèi)酯、一個末端或兩個末端具有羥基的聚丙內(nèi)酯等一個末端或兩個末端具有羥基的聚內(nèi)酯；一個末端或兩個末端具有羥基的聚對苯二曱酸乙二醇酯、一個末端或兩個末端具有羥基的聚對苯二曱酸丁二醇酯等一個末端或兩個末端具有羥基的縮聚系聚酯等。這些一個末端具有羥基的聚酯和兩個末端具有羥基的聚酯可以分別單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。本發(fā)明的氨基甲酸酯類分散劑優(yōu)選芳族二異氰酸酯與一個末端具有羥基的聚內(nèi)酯和/或兩個末端具有羥基的聚內(nèi)酯的反應(yīng)產(chǎn)物，特別優(yōu)選曱苯二異氰酸酯與一個末端具有羥基的聚己內(nèi)酯和/或兩個末端具有羥基的聚己內(nèi)酯的反應(yīng)產(chǎn)物。上述氨基曱酸酯類分散劑的具體例子有商品名Disperbyk161、Disperbyk170(以上由lf、乂夕亇5—(BYK)公司生產(chǎn))或EFKA(工7力一亇3力^義tf一？？(EFKA)公司生產(chǎn))、亍VXA口〉(楠本化成(抹)公司生產(chǎn))等系列的分散劑。本發(fā)明的氨基甲酸酯類分散劑的重均分子量(Mw)優(yōu)選5,000~50,000,更優(yōu)選7,000~20,000。上述氨基甲酸酯類分散劑可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。作為分散劑，除此之外還優(yōu)選含有(曱基)丙烯酸系單體的(共)聚合物的(曱基)丙烯酸系分散劑。上述(曱基)丙烯酸系分散劑的具體例子有商品名Disperbyk2000、Disperbyk2001(以上由tf、乂夕亇5—(BYK)公司生產(chǎn))等。上述(曱基)丙烯酸系分散劑可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。制備顏料或炭黑等的顏料分散液時，相對于100重量份顏料，分散劑的用量優(yōu)選100重量份以下，更優(yōu)選0.5~100重量份，進一步優(yōu)選1~70重量份，特別優(yōu)選10~50重量份。分散劑的用量超過100重量份時，可能有損顯影性等。另夕卜，作為制備顏料分散液時使用的溶劑，例如可以與后述的放射線敏感性樹脂組合物的液態(tài)組合物中列舉的溶劑相同。制備顏料分散液時，相對于100重量份顏料，溶劑的用量優(yōu)選500~1,000重量份，更優(yōu)選700900重量份。制備顏料分散液時，使用珠磨機進行制備時，例如可使用直徑0.5~10mm左右的玻璃珠或氧化鈦珠等，將含有顏料、溶劑和分散劑的顏料混合液優(yōu)選一邊用冷卻水等冷卻一邊混合、分散。此時，珠的填充率優(yōu)選為磨機容量的50~80%。顏料混合液的注入量優(yōu)選為磨機容量的20~50%左右。處理時間優(yōu)選2-50小時，更優(yōu)選2~25小時。使用輥磨機制備時，例如可使用三輥磨或雙輥磨等，將顏料混合液優(yōu)選一邊用冷卻水等冷卻一邊進行處理。此時，輥間隔優(yōu)選為IOium以下，剪切力優(yōu)選為10Sdyn/秒左右。處理時間優(yōu)選250小時，更優(yōu)選225小時。-(B)堿溶性樹脂-本發(fā)明中的堿溶性樹脂含有在其聚合物鏈的至少一個末端具有上式(i)或式(ii)所示基團的樹脂(以下稱為"樹脂(B)")。式(i)和式(ii)中，Zi和zs的碳原子數(shù)為l20的烷基例如有曱基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十二烷基、正十四烷基、正十六烷基、正十八烷基、正二十烷基等。21和22的碳原子數(shù)為6~20的一價芳烴基例如有苯基、1-萘基、2-萘基、1-蒽基、9-蒽基、芐基、苯乙基等。21和22的碳原子與雜原子的合計原子數(shù)為3~20的一價雜環(huán)基例如有環(huán)氧乙基、氮雜環(huán)丙基、2-呋喃基、3-呋喃基、2-四氫呋喃基、3-四氬呔喃基、l-吡咯基、2-p比p各基、3-吡咯基、1-吡咯烷基、2-吡咯烷基、3-吡咯烷基、l-吡唑基、2-四氫吡喃基、3-四氫吡喃基、4-四氬吡喃基、2-噻吩基、3-噻吩基、4-噻吩基、2-吡啶基、3-p比口定基、4-外匕咬基、2-哌咬基、3-艱咬基、4-p底咬基、2-嗎啉基、3-嗎啉基等。Z工和Z2中，-OR1、-SR1、-C(K))OR1、-N(R"(R2)、-OC(O)R1、-C(K))N(Ri)(R2)、-P^O)(OR"2或-P(-0)(R"2中的R^和R2的碳原子數(shù)為l~18的烷基、碳原子數(shù)為618的一價芳烴基或碳原子與雜原子合計原子數(shù)為318的一價雜環(huán)基例如有21和22中所列舉的碳原子數(shù)1~20的烷基、碳原子數(shù)6~20的一價芳烴基和碳原子與雜原子合計原子數(shù)為320的一價雜環(huán)基中的碳原子數(shù)為18以下的基團。該1^和112的碳原子數(shù)為2-18的烯基例如有乙烯基、1-丙烯基、2-丙烯基、l-丁烯基、2-丁烯基、3-丁烯基、1-戊烯基、2-戊烯基、3-戊烯基、4-戊烯基、l-己烯基、2-己烯基、3-己烯基、4-己烯基、5-己烯基等。上述碳原子數(shù)l-20的烷基、碳原子數(shù)620的一價芳烴基、碳原子與雜原子的合計原子數(shù)為3~20的一價雜環(huán)基以及R^和R"可被取代，該取代基例如可從氯原子；羧基；氰基；在R^和R"中列舉的碳原子數(shù)1~18的烷基、碳原子數(shù)6~18的一價芳烴基、碳原子與雜原子的合計原子數(shù)為3~18的一價雜環(huán)基或碳原子數(shù)2~18的烯基；與Z工和ZS中列舉的-OR1、-SR1、-C(K))OR1、-N(R"(R2)、-OC(,R1、-C(-0)N(R、R2)、-PeO)(OR、或-P(0)(R1)2同樣的基團中選擇，可以在被取代的各基團中存在l個以上或者l種以上這些取代基。被取代的各基團中，優(yōu)選合計碳原子數(shù)和雜環(huán)基時的合計原子數(shù)不超過20。Zi和Z"的具有聚合物鏈的一價基團例如有由乙烯、丙烯等a-烯烴；苯乙烯、a-甲基苯乙烯等芳香族烯屬化合物；氟乙烯、氯乙烯、偏氯乙烯等卣代乙烯；乙烯醇、烯丙基醇等不飽和醇；乙酸乙烯酯、乙酸烯丙酯等不飽和醇的酯；(曱基)丙烯酸、對乙烯基苯曱酸等不飽和羧酸；(曱基)丙烯酸甲酯、(曱基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(曱基)丙烯酸正丁酯、(曱基)丙烯酸叔丁酯、(曱基)丙烯酸正己酯、(曱基)丙烯酸環(huán)己酯等(曱基)丙烯酸酯；(甲基)丙烯酰胺、N,N-二甲基(甲基)丙烯酰胺等(甲基)丙烯酰胺；(曱基)丙烯腈、偏二氰乙烯等不飽和腈；丁二烯、異戊二烯等共軛二烯等不飽和化合物的一種以上形成的具有加成聚合系聚合物鏈的一價基團，除此之外還可以列舉具有聚醚、聚酯、聚酰胺、聚酰亞胺等加聚系聚合物鏈或縮聚系聚合物鏈等的一價基團。式(i)中的Zi和式(ii)中的Z'分別優(yōu)選碳原子數(shù)l~20的烷基、碳原子與雜原子的合計原子數(shù)為3~20的一價雜環(huán)基、-OR1、-N(R^)(R")等，特別優(yōu)選曱基、乙基、l-吡咯基、l-吡唑基、曱氧基、乙氧基、二甲基氨基、二乙基氨基等。上述樹脂(B)只要是對(A)著色劑發(fā)揮粘合劑作用，并且在制造濾色器時，在顯影步驟中使用的顯影液、優(yōu)選堿顯影液中具有可溶性即可，沒有特別限定。例如可以是加成聚合系(付加重合系)、加聚系(重付加系)、縮聚系等的樹脂，例如，可以是具有酸性官能團(例如羧基、羧酸酐基、酚式羥基等)和/或醇性羥基(以下，將這些酸性官能團和醇性羥基總稱為"堿溶性官能團")的樹脂等。本發(fā)明中，優(yōu)選的樹脂(B)例如有經(jīng)過聚合性不飽和化合物的聚合而制備的、具有堿溶性官能團的樹脂，更具體地說，例如有使用下式(3)所示二硫化物(以下稱為"二硫化物(3)")作為分子量控制劑將聚合性不飽和化合物進行聚合而制備的、具有堿溶性官能團的樹脂(以下稱為"樹脂(B1)")。Z1—C—S—S—C—Z2(3)[式(3)中，Z、ZZ分別與式(i)中的Z、式(ii)中的ZS含義相同]。本發(fā)明中，優(yōu)選的樹脂(B1)例如有具有堿溶性官能團的聚合性不飽和化合物與其它可共聚的不飽和化合物的共聚物(以下稱為"堿溶性共聚物")。特別優(yōu)選的堿溶性共聚物例如有(bl)不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐(以下，將他們總稱為"不飽和化合物(bl)")與(b2)選自芳香族烯屬化合物、茚、N-位取代的馬來酰亞胺、聚合物分子鏈的一個末端具有(曱基)丙烯酰基的大分子單體、不飽和羧酸酯、不飽和羧酸氨基烷基酯、不飽和羧酸縮水甘油酯、羧酸乙烯基酯、不飽和醚、不飽和酰胺、脂肪族共輒二烯中的至少一種可共聚的不飽和化合物(以下稱為"不飽和化合物(b2)")的共聚物(以下稱為"堿溶性共聚物(I)")。不飽和化合物(bl)例如有(曱基)丙烯酸、巴豆酸、a-氯丙烯酸、肉桂酸等不飽和一元羧酸；馬來酸、馬來酸酐、富馬酸、衣康酸、衣康酸酐、4寧康酸、4寧康酸酐、中康酸等不飽和二元羧酸或其酸酐；3元以上的不飽和多元羧酸或其酸酐；琥珀酸單[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酯、苯二曱酸單[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酯等2元以上的多元羧酸的單[(曱基)丙烯酰氧基烷基]酯；OD-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯等兩末端具有羧基和羥基的聚合物的單(曱基)丙烯酸酯等。這些不飽和化合物(bl)中，特別優(yōu)選(甲基)丙烯酸、琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、OD-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯等。上述不飽和化合物(M)可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。不飽和化合物(b2)例如有苯乙烯、a-甲基苯乙烯、鄰羥基苯乙烯、間羥基苯乙烯、對羥基苯乙烯、鄰羥基-a-甲基苯乙烯、間羥基-a-甲基苯乙烯、對羥基-a-曱基苯乙烯、對苯乙烯磺酸、鄰乙烯基曱苯、間乙烯基甲苯、對乙烯基曱苯、對氯苯乙烯、鄰曱氧基苯乙烯、間曱氧基苯乙烯、對曱氧基苯乙烯、鄰乙烯基千基曱基醚、間乙烯基千基曱基醚、對乙烯基節(jié)基曱基醚、鄰乙烯基卡基縮水甘油基醚、間乙烯基卡基縮水甘油基醚、對乙烯基千基縮水甘油基醚等芳香族烯屬化合物；茚、1-曱基茚等茚；N-苯基馬來酰亞胺、N-鄰鞋基苯基馬來酰亞胺、N-間幾基苯基馬來酰亞胺、N-對羥基苯基馬來酰亞胺、N-鄰甲基苯基馬來酰亞胺、N-間甲基苯基馬來酰亞胺、N-對甲基苯基馬來酰亞胺、N-鄰曱氧基苯基馬來酰亞胺、N-間曱氧基苯基馬來酰亞胺、N-對甲氧基苯基馬來酰亞胺等N-(取代)芳基馬來酰亞胺，或N-環(huán)己基馬來酰亞胺等N-位取代馬來酰亞胺；聚苯乙烯、聚(曱基)丙烯酸甲酯、聚(甲基)丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷等聚合物分子鏈的一個末端具有(曱基)丙烯酰氧基的大分子單體(以下簡稱為"大分子單體")；(甲基)丙烯酸曱酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(曱基)丙烯酸正丁酯、(曱基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(曱基)丙烯酸3-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丁酯、(曱基)丙烯酸3-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯、曱基丙烯酸烯丙酯、(曱基)丙烯酸千酯、(曱基)丙烯酸環(huán)己酯、(曱基)丙烯酸苯酯、(曱基)丙烯酸2-曱氧基乙酯、(曱基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸甲氧基二甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三甘醇酯、(曱基)丙烯酸甲氧基丙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基雙丙甘醇酯、(曱基)丙烯酸異水片酯、(曱基)丙烯酸三環(huán)[5,2丄02'6]癸烷-8-基酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、(曱基)丙烯酸甘油酯等不飽和羧酸酯；(甲基)丙烯酸2-氨基乙酯、(曱基)丙烯酸2-二曱基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸2-氨基丙酯、(曱基)丙烯酸2-二甲基氨基丙酯、(曱基)丙烯酸3-氨基丙酯、(甲基)丙烯酸3-二甲基氨基丙酯等不飽和羧酸氨基烷基酯；(甲基)丙烯酸縮水甘油酯等不飽和羧酸縮水甘油酯；乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等羧酸乙烯基酯；乙烯基曱基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基縮水甘油基醚等其它不飽和醚；(甲基)丙烯腈、a-氯丙烯腈、偏二氰乙烯等上述乙烯基氰化合物；(甲基)丙烯酰胺、oc-氯丙烯酰胺、N-2-羥基乙基(曱基)丙烯酰胺等不々包和酰胺；1,3-丁二烯、異戊二烯、氯丁二烯、異戊二烯磺酸等脂族共輒二烯等。這些不飽和化合物(b2)中，優(yōu)選苯乙烯、大分子單體、N-位取代馬來酰亞胺、(甲基)丙烯酸曱酯、(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸千酯、(曱基)丙烯酸苯酯、單(曱基)丙烯酸甘油酯等，大分子單體中，特別優(yōu)選聚苯乙烯大分子單體、聚(甲基)丙烯酸曱酯大分子單體，N-位取代的馬來酰亞胺中，特別優(yōu)選N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺等。上述不飽和化合物(b2)可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。本發(fā)明中，作為優(yōu)選的堿溶性共聚物(I)，更具體有含有選自(甲基)丙烯酸、琥珀酸單[2-(曱基)丙烯酸氧基乙基]酉旨和co-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯的至少一種不飽和化合物(M),和選自聚苯乙烯大分子單體、聚(曱基)丙烯酸甲酯大分子單體、N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯、(曱基)丙烯酸千酯和單(曱基)丙烯酸甘油酯的至少一種不飽和化合物(b2),根據(jù)情況可以進一步含有選自苯乙烯、(甲基)丙烯酸曱酯、(曱基)丙烯酸烯丙酯和(曱基)丙烯酸苯酯的至少一種不飽和化合物(b2)的單體混合物的共聚物(以下稱為"含羧基共聚物(I-1)")。作為更優(yōu)選的含有羧基的共聚物(1-1)，更具體有含有以(曱基)丙烯酸為必須成分、根據(jù)情況進一步含有琥珀酸單[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酯的不飽和化合物(bl)、和選自聚苯乙烯大分子單體、聚(甲基)丙烯酸曱酯大分子單體、N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、(甲基)丙烯酸2_羥基乙酯、(甲基)丙烯酸千酯和單(曱基)丙烯酸甘油酯的至少l種不飽和化合物(b2)，根據(jù)情況可以進一步含有選自苯乙烯、(甲基)丙烯酸曱酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯和(甲基)丙烯酸苯酯的至少一種不飽和化合物(b2)的單體混合物的共聚物(以下稱為"含羧基共聚物(I-2)，，)。含羧基共聚物(I-2)的具體例子有(甲基)丙烯酸/(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯共聚物、(曱基)丙烯酸/聚笨乙烯大分子單體/(曱基)丙烯酸芐酯共聚物、(曱基)丙烯酸/聚(曱基)丙烯酸甲酯大分子單體/(甲基)丙烯酸芐酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸芐酯/單(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、(曱基)丙烯酸/(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯/(曱基)丙烯酸苯酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸芐酯/單(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸芐酯共聚物、(曱基)丙烯酸/聚苯乙烯大分子單體/(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸千酯共聚物、(甲基)丙烯酸/聚(曱基)丙烯酸曱酯大分子單體/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(曱基)丙烯酸千酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/(曱基)丙烯酸芐酯/苯乙烯共聚物、(曱基)丙烯酸ZN-環(huán)己基馬來酰亞胺/(曱基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/(曱基)丙烯酸芐酯/苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/(曱基)丙烯酸千酯/單(曱基)丙烯酸甘油酯/苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥詢酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/(曱基)丙烯酸千酯/單(曱基)丙烯酸甘油酯共聚物、(曱基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酉旨/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸千酯/苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸千酯/苯乙烯共聚物、(曱基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酉旨/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/(曱基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酉旨/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/(曱基)丙烯酸千酯/苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸千酯/單(曱基)丙烯酸甘油酯/苯乙烯共聚物等。含羧基共聚物(I-l)的具體例子有(曱基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯/N-苯基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸千酯/單(甲基)丙烯酸甘油酯/苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸/-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸2-鞋基乙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/①-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/聚苯乙烯大分子單體/(甲基)丙烯酸芐酯共聚物、(曱基)丙烯酸/-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體/(甲基)丙烯酸千酯共聚物、(甲基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/(曱基)丙烯酸芐酉旨/單(曱基)丙烯酸甘油酯共聚物、(曱基)丙烯酸/①-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸苯酯共聚物、(甲基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯/(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯/苯乙烯共聚物、(曱基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸芐酉旨/單(曱基)丙烯酸甘油酯共聚物、(甲基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(曱基)丙烯酸千酯共聚物、(曱基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/聚苯乙烯大分子單體/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸芐酯共聚物、(甲基)丙烯酸/C0-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/聚(曱基)丙烯酸甲酯大分子單體/(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸千酯共聚物、(甲基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/N-苯基馬來酰亞胺/(曱基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/N-苯基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸芐酯/苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/(曱基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸/(D-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸千酯/苯乙烯共聚物、(曱基)丙烯酸Ao-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯/N-苯基馬來酰亞胺/(曱基)丙烯酸千酯/單(甲基)丙烯酸甘油酯/苯乙烯共聚物、(甲基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/(甲基)丙烯酸芐S旨/單(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、(甲基)丙烯酸/①-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸S旨/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、(曱基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基馬來酰亞胺/(曱基)丙烯酸芐酯/苯乙烯共聚物、(曱基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯/琥珀酸單[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/(甲基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、(曱基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/琥珀酸單[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/(曱基)丙烯酸芐酯/苯乙烯共聚物、(曱基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酉旨/N-苯基馬來酰亞胺/(曱基)丙烯酸芐酯/單(甲基)丙烯酸甘油酯/苯乙烯共聚物等。樹脂(B1)中具有堿溶性官能團的聚合性不飽和化合物的聚合比例相對于全部不飽和化合物優(yōu)選l~100重量％,進一步優(yōu)選5~30重量％,特別優(yōu)選10~30重量％。具有堿溶性官能團的聚合性不飽和化合物的聚合比例如果低于1重量％,則所得樹脂在堿顯影液中的溶解性有降低傾向。堿溶性共聚物中，具有堿溶性官能團的聚合性不飽和化合物的共聚比例相對于全部不飽和化合物優(yōu)選l~40重量％，進一步優(yōu)選5~30重量%,特別優(yōu)選10~30重量％。具有堿溶性官能團的聚合性不飽和化合物的共聚比例如果低于1重量％，則所得堿溶性共聚物在堿顯影液中的溶解性有降低傾向，而超過40重量％，則所得堿溶性共聚物在堿顯影液中的溶解性過高，圖案形狀等可能受損。下面，對制備樹脂(B1)的聚合進行說明。上述聚合例如可如下實施在溶劑中、在自由基聚合引發(fā)劑和二硫化物(3)的存在下，將構(gòu)成樹脂(B1)的聚合性不飽和化合物進行聚合。由此，在生成的聚合物鏈的至少一個末端導入上式(i)或式(ii)所示的基團。在二硫化物(3)存在下進行的聚合性不飽和化合物的聚合有時還可以采用在聚合物鏈的生長末端具有活性自由基的活性自由基聚合形式。上述聚合采用活性自由基聚合的形式時，使用具有可能使羧基等活性自由基失活的官能團的化合物作為聚合性不飽和化合物時，為了使生長末端不失活，可以根據(jù)需要，例如通過酯化等對該不飽和化合物中的官能團進行保護后聚合，然后進行脫保護，由此可以得到樹脂(B1)。上述自由基聚合引發(fā)劑可根據(jù)所使用的聚合性不飽和化合物的種類適當選擇，通?？梢允褂靡阎淖杂苫酆弦l(fā)劑。例如有2,2，-偶氮二異丁腈、2,2，-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、2,2，-偶氮二(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)等偶氮化合物；過氧化苯甲酰、過氧化月桂酰、1,1，-雙(過氧化叔丁基)環(huán)己烷、過氧化叔丁基新戊酸酯等有機過氧化物；過氧化氫；含有這些過氧化物和還原劑的氧化還原系引發(fā)劑等。這些自由基聚合引發(fā)劑中，從難以產(chǎn)生氧等導致副反應(yīng)產(chǎn)物的角度考慮，特別優(yōu)選2,2'-偶氮二異丁腈、2,2，-偶氮二(2，4-二曱基戊腈)等偶氮化合物。上述自由基聚合51發(fā)劑可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。其次，在表示二疏化物(3)的式(3)中，Zi和Z"的未取代或取代的碳原子數(shù)l-20的烷基例如可以是與上式(i)中Z和式(ii)中zZ的未取代或取代的碳原子數(shù)1~20的烷基中所列舉的相同基團，Z1和Z2的未取代或取代的碳原子數(shù)為620的一價芳烴基例如可以是與上式(i)中Zi和式(ii)中ZZ的未取代或取代的碳原子數(shù)620的一價芳烴基中所列舉的相同基團。Z1和三2的未取代或取代碳原子與雜原子的合計原子數(shù)為3~20的一價雜環(huán)基例如可以是與上式(i)中Zi和式(ii)中zZ的未取代或取代的碳原子與雜原子的合計原子數(shù)3-20的一價雜環(huán)基中所列舉的相同基團。Z工和Z2的-OR1、-SR1、-C(喝OR1、-N(R1)(112)、-OC(,R1、-C(二0)N(Ri)(R2)、-P(-0)(OR"2或-P^O)(R、例如可以是與在上式(i)中Zi和式(ii)中zZ中分別對應(yīng)的未取代或取代的基團同樣的基團。Zi和Z2的具有聚合物鏈的一價基團例如可以是與上式(i)的Zi和式(ii)的ZZ中具有聚合物鏈的一價基團中所列舉的基團同樣的基團。式(3)中，Zi和Z"分別除了碳原子數(shù)l~20的烷基之外，從與聚合性不飽和化合物的反應(yīng)性方面考慮，特別優(yōu)選式(1)中的硫羰基(C二S)的碳原子與Zi和zZ中的氮原子或氧原子等雜原子共價結(jié)合而成的基團，更具體地說，優(yōu)選碳原子與雜原子的合計原子數(shù)為320的一價雜環(huán)基、-OR1、-N(R^)(R2)等，其中特別優(yōu)選曱基、乙基、1-吡咯基、1-吡唑基、甲氧基、乙氧基、二甲基氨基、二乙基氨基等。本發(fā)明中，二硫化物(3)可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。上述聚合時，可以將其它分子量控制劑、例如a-曱基苯乙烯二聚物、叔十二烷基硫醇等的一種以上與二硫化物(3)并用。對上述聚合中使用的溶劑沒有特別限定，例如有丙二醇單曱基醚、丙二醇單乙基醚等丙二醇單烷基醚；乙二醇單甲基醚乙酸酯、乙二醇單乙基醚乙酸酯、二甘醇單曱基醚乙酸酯、二甘醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單曱基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、雙丙甘醇單曱基醚乙酸酯、雙丙甘醇單乙基醚乙酸酯等(多)亞烷基二醇單烷基醚乙酸酯；二甘醇二曱基醚、二甘醇甲基乙基醚、二甘醇二乙基醚、雙丙甘醇二曱基醚、雙丙甘醇甲基乙基醚、雙丙甘醇二乙基醚等(多)亞烷基二醇二酸；四氫呋喃等其它的醚；甲乙酮、環(huán)己酮、2-庚酉同、3-庚酮等酮；雙丙酮醇(即，4-羥基一4-曱基戊烷一2—酮)、4—鞋基—4-甲基己烷-2-酮等酮醇；乳酸曱酯、乳酸乙酯等乳酸烷基酯；2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-曱基丁酸曱酯、3-曱氧基丙酸曱酯、3-曱氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸曱酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、3-曱基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-曱基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、曱酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸乙酯等其它酯；曱苯、二曱苯等芳烴；N-曱基吡咯烷酮、N,N-二曱基曱酰胺、N,N-二曱基乙酰胺等酰胺等。這些溶劑中，從活性自由基聚合時活性自由基不失活、制成放射線敏感性樹脂組合物時各成分的溶解性、顏料分散性、涂布性等方面考慮，優(yōu)選丙二醇單曱基醚、乙二醇單曱基醚乙酸酯、二甘醇單曱基醚乙酸酯、二甘醇單乙基瞇乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、雙丙甘醇單曱基醚乙酸酯、二甘醇二曱基醚、二甘醇曱基乙基醚、雙丙甘醇二曱基醚、環(huán)己酮、2-庚酮、3-庚酮、3-曱氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸曱酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-曱基-3-曱氧基丁基丙酸酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、曱酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸乙酯等。上述溶劑可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。上述聚合中，相對于100重量份全部不飽和化合物，自由基聚合引發(fā)劑的用量優(yōu)選O.l-50重量份，更優(yōu)選O.l-20重量份。相對于100重量份全部不飽和化合物，二硫化物(l)的用量優(yōu)選O.l~50重量份，更優(yōu)選0.2~16重量份，特別優(yōu)選0.48重量份。二硫化物(l)的用量如果低于0.1重量份，則分子量和分子量分布的限制效果有降低傾向，而超過50重量份，則可能優(yōu)先生成低分子量成分。相對于100重量份全部分子量控制劑，其它分子量控制劑的用量優(yōu)選60重量份以下，更優(yōu)選40重量份以下。其它分子量控制劑的用量超過60重量份，則本發(fā)明所期待的效果可能受損。相對于100重量份全部不飽和化合物，溶劑的用量優(yōu)選50-l,OOO重量份，更優(yōu)選100-500重量份。聚合溫度優(yōu)選0150°C，更優(yōu)選50~120°C，聚合時間優(yōu)選10分鐘20小時，更優(yōu)選30分鐘6小時。樹月旨(B)的Mw(Mw是通過凝膠滲透色譜(GPC)測定的聚苯乙烯換算重均分子量)優(yōu)選為1,000-45,000，進一步優(yōu)選3,00020,000,特別優(yōu)選4,000~10,000。樹脂(B)的Mw/Mn(Mn是通過凝膠滲透色語(GPC)測定的聚苯乙烯換算數(shù)均分子量)優(yōu)選l~2.0,進一步優(yōu)選11.4。通過使用具有上述Mw、優(yōu)選進一步具有上述特定的Mw/Mn的樹脂(B),可以得到顯影性優(yōu)異的放射線敏感性樹脂組合物，由此可以形成具有清晰的圖案邊緣的像素，同時，顯影時，在未曝光部分的基板上和遮光層上難以發(fā)生殘渣、臟版、殘膜等，并且有機溶劑的清洗性高，因此，在制造濾色器時不會產(chǎn)生干燥雜質(zhì)，可以實現(xiàn)高成品率，且可進一步有效防止濾色器"圖像殘留"。上述樹脂(B)可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。本發(fā)明中，可以將1種以上其它堿溶性樹脂與樹脂(B)并用。本發(fā)明中，相對于100重量份(A)著色劑，樹脂(B)的用量優(yōu)選10l,OOO重量份，更優(yōu)選20500重量份。樹脂(B)的用量如果低于10重量份，則例如堿顯影性降低，或在未曝光部分的基板上或遮光層上發(fā)生臟版或殘膜，而超過1,000重量份，則顏料濃度相對降低，難以實現(xiàn)薄膜的目標色濃度。相對于全部堿溶性樹脂，其它堿溶性樹脂的使用比例優(yōu)選50重量％以下，更優(yōu)選20重量％以下。其它堿溶性樹脂的使用比例若超過50重量%，則本發(fā)明所期待的效果可能受損。-(C)多官能單體-本發(fā)明的多官能單體是具有2個以上聚合性不飽和鍵的單體。多官能單體例如有乙二醇、丙二醇等亞烷基二醇的二(甲基)丙烯酸酯；二甘醇以上的聚乙二醇、雙丙甘醇以上的聚丙二醇等聚亞烷基二醇的二(曱基)丙烯酸酯；甘油、三羥甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇等3元以上的多元醇的聚(曱基)丙烯酸酯或它們的二羧酸改性物；聚酯、環(huán)氧樹脂、氨基甲酸酯樹脂、醇酸樹脂、有機硅樹脂、螺環(huán)樹脂等的低聚(曱基)丙烯酸酯；兩末端具有羥基的聚-l,3-丁二烯、兩末端具有羥基的聚異戊二烯、兩末端具有羥基的聚己內(nèi)酯等兩末端具有羥基的聚合物的二(甲基)丙烯酸酯、或三[2-(曱基)丙烯酰氧基乙基]磷酸酯等。在這些多官能單體中，優(yōu)選3元以上的多元醇的聚(曱基)丙烯酸酯或它們的二羧酸改性物，具體來說，優(yōu)選三羥曱基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、季戊四醇三(曱基)丙烯酸酯、季戊四醇四(曱基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等，特別是三羥曱基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯的像素強度高、像素表面的平滑性優(yōu)異，且未曝光部分的基板上和遮光層上難以發(fā)生臟版、殘膜等，因此優(yōu)選。上述多官能單體可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。相對于100重量份(B)堿溶性樹脂，本發(fā)明中的多官能單體的用量優(yōu)選為5500重量份，更優(yōu)選為20-300重量份。此時，多官能單體用量低于5重量份的話，像素的強度或表面平滑性有降低傾向，而如果超過500重量份，則例如有堿顯影性降低，或者容易在未曝光部分的基板上或遮光層上產(chǎn)生臟版、殘膜等的傾向。本發(fā)明中，可以將多官能單體與具有一個聚合性不飽和鍵的單官能單體并用。作為上述單官能單體，例如除上述堿溶性共聚物(I)中所列舉的不飽和單體(bl)和不飽和單體(b2)之外，還可以是N-乙烯基琥珀酰亞胺、N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基鄰苯二甲酰亞胺、N-乙烯基哌i定酮、N-乙烯基-s-己內(nèi)酰胺、N-乙烯基吡咯、N-乙烯基吡咯烷、N-乙烯基咪唑、N-乙烯基咪唑烷、N-乙烯基吲哚、N-乙烯基二氫吲哚、N-乙烯基苯并咪唑、N-乙烯基^唑、N-乙烯基哌咬、N-乙烯基哌喚、N-乙烯基嗎啉、N-乙烯基吩嚙嗪等N-乙烯基含氮雜環(huán)化合物；N-(曱基)丙烯酰基嗎啉或作為市售商品的M-5300、M-5400、M-5600(以上為東亞合成(林)生產(chǎn))等。這些單官能單體可以單獨使用或者將兩種以上混合使用。相對于多官能單體和單官能單體的總量，單官能單體的使用比例優(yōu)選為90重量％以下，更優(yōu)選50重量％以下。單官能單體的使用比例如果超過90重量％,則所得像素的強度或表面平滑性可能降低。-(D)放射線敏感性自由基發(fā)生劑-本發(fā)明的放射線敏感性自由基發(fā)生劑(以下稱為"(D)自由基發(fā)生劑")含有上式(l)所示的化合物(以下稱為"肟型自由基發(fā)生劑(l)")和/或上式(2)所示的化合物(以下稱為"肟型自由基發(fā)生劑(2)")，是通過可見光、紫外線、遠紫外線、電子射線、X射線等放射線的曝光，產(chǎn)生可引發(fā)上述(C)多官能單體和根據(jù)情況使用的單官能單體的聚合的自由基。式(1)和式(2)中，R"的碳原子數(shù)l20的烷基例如為甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基等。RS的碳原子數(shù)為3~8的環(huán)烷基例如有環(huán)戊基、環(huán)己基等。式(1)和(2)中，R3列如優(yōu)選曱基、乙基等。式(1)和式(2)中，R3和RS的碳原子數(shù)120的烷基例如有曱基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基等。114和115的碳原子數(shù)3~8的環(huán)烷基例如有環(huán)戊基、環(huán)己基等。114和115的苯基的取代基例如有曱基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基等碳原子數(shù)16的烷基；環(huán)戊基、環(huán)己基等碳原子數(shù)3-6的環(huán)烷基；曱氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基等碳原子數(shù)16的烷氧基；環(huán)戊氧基、環(huán)己氧基等碳原子數(shù)3-6的環(huán)烷氧基；苯基；氟原子、氯原子等卣素原子等。114和115的碳原子數(shù)7~20的一價脂環(huán)基(上述環(huán)烷基除外)例如有具有l(wèi)-烷基環(huán)烷骨架的基團、具有雙環(huán)烷骨架的基團、具有三環(huán)烷骨架的基團、具有螺烷骨架的基團、具有萜烯骨架的基團、具有金剛烷骨架的基團等。式(1)和式(2)中，114和115優(yōu)選氫原子、曱基、乙基等。式(1)和式(2)中，116的碳原子數(shù)4~20的一價含氧雜環(huán)基、碳原子數(shù)4~20的一價含氮雜環(huán)基或碳原子數(shù)4~20的一價含硫雜環(huán)基例如有四氬漆吩基、氮雜環(huán)庚基、二氫氮雜環(huán)庚基、二氧戊環(huán)基、三嗪基、氧硫雜環(huán)己基、噻唑基、喝二嗪基、二氧雜二氫化茚基、硫茚基(d池ianaphthalenyl)、呋喃基、苯硫基、吡咯基、喵唑基、異哺唑基、噻唑基、異噻唑基、吡唑基、P夫咱基、吡喃基、吡，定基、噠"秦基、嘧P定基、吡嗪基、吡咯啉基、嗎啉基、哌溱基、奎寧環(huán)基、叫咮基、異吲哚基、苯并呋喃基、苯并苯硫基、中氮茚基、色烯基、喹啉基、異喹啉基、嘌呤基、喹唑啉基、噌啉基、2,3-二氮雜萘基、蝶啶基、呼唑基、吖啶基、菲咬基、瘞噸基、吩溱基、吩p塞溱基、吩^嗜基、吩嚅溱基、蓬蒽基、四氫呋喃基、四氫吡喃基等。式(1)和式(2)中，R"優(yōu)選四氫呋喃基、四氫吡喃基等。式(1)和式(2)中，R"的碳原子數(shù)l~12的烷基例如有甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基等。^的碳原子數(shù)3~8的環(huán)烷基例如有環(huán)戊基、環(huán)己基等。R"的碳原子數(shù)l-12的烷氧基例如有甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基、正己氧基、正庚氧基、正辛氧基、正壬氧基、正癸氧基、正十一烷氧基、正十二烷氧基等。R卩的碳原子數(shù)3~8的環(huán)烷氧基例如有環(huán)戊氧基、環(huán)己氧基等。式(1)和式(2)中，R、尤選甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、曱氧基、乙氧基等。式(1)和式(2)中，n優(yōu)選l,m優(yōu)選0、l或2，特別優(yōu)選l，p優(yōu)選0、1或2，特別優(yōu)選l。肟型自由基發(fā)生劑(l)的具體例子有乙酮-l-[9-乙基-6-(2-甲基-2-四氫呋喃基苯曱?；?-9.H.—呼峻_3一基]_j_(p—乙酰將)、乙嗣一}—[9一乙基—6一(2-曱基-2-四氫吡喃基苯曱?；?-9.H.-啼唑-3-基]-1-(0-乙酰月虧)、乙酮一1一[9—乙基-6—(2-曱基-3-四氫p夫喃基苯甲?；?—9.H.-咔哇-3-基]-1-(0-乙酰肟)、乙酮—1-[9-乙基-6-(2-曱基-3-四氫吡喃基苯曱?；?-9.H.-咔唑-3-基]-1-(0-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-曱基-4-四氫呋喃基苯曱?；?-9.H.-p,峻—3—基]—1-(0-乙酰將)、乙酮一1一[9—乙基-6-(2-曱基-4-四氫吡喃基苯曱酰基)-9.H.-呻唑-3-基]-1-(0-乙酰將)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-曱基-5-四氫呋喃基苯曱酰基)-9.H.一呻峻-3—基]—1—(0-乙酰肝)、乙酮-1—[9-乙基—6—(2—甲基-5—四氬p比喃基苯曱?；?一9.H,—啼哇—3-基]-1一(0—乙酰將)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-2-四氫呋喃基苯曱酰基)-9.H.-呼峻—3-基]-1一(0—苯曱?；阴?、乙酮—1—[9-乙基—6—(2-曱基—2_四氬p比喃基苯甲?；?-9.H.-呻哇—3—基]一1-(0_苯曱?；阴ｋ?、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-曱基-3-四氫呋喃基苯甲?；?-9,H.-啼哇-3-基]-1-(O-苯曱酰基乙酰肟)、乙酮-1—[9-乙基—6-(2-甲基—3—四氫p比喃基苯曱?；?-9.H.—呼哇—3-基]-l-(O-苯甲?；阴ｋ?、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-曱基-4-四氫呋喃基苯曱?；?-9.H.-咕峻一3-基〗一1-(0-苯甲酰基乙酰厲)、乙酮-l—[9一乙基-6-(2-曱基-4-四氫吡喃基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(0-苯曱?；阴ｋ?、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基苯曱?；?-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-苯曱?；阴ｋ?、乙酮-1一[9-乙基-6-(2—甲基—5-四氳p比喃基苯甲酰基)-9.H.—呼哇—3-基]-1-(O-苯曱?；阴８?、乙酮—l一[9一乙基-6-[2-曱基—4-(2,2-二曱基-1,3-二氧雜戊環(huán)基)苯曱?；鵠-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)等。這些將型自由基發(fā)生劑(l)可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。肟型自由基發(fā)生劑(2)的具體例子有乙酮-1-[9-乙基-6-(2-曱基-2-四氫呋喃基氧基苯甲?；?—9.H.-呻^k-3—基]_1—(0-乙酰將)、乙酮一1—[9-乙基-6—(2—甲基-2-四氫吡喃基氧基苯曱?；?-9.H.-咔唑-3-基]-1-(0-乙酰肟)、乙酮-l-[9-乙基-6-(2-曱基-2-四氫呋喃基曱氧基苯甲?；?—9.H.-味哇-3-基〗一1一(0-乙酰將)、乙酮-l一[9一乙基一6—(2—曱基—2—四氬p比喃基甲氧基苯甲?；?一9.H.—呼哇—3-基]一1-(0-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-3-四氫呋喃基氧基苯曱酖基)一9.H.—呻唾—3—基]—1—(0—乙酰將)、乙酮一1一[9—乙基-6-(2-曱基-3-四氫吡喃基氧基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(0-乙酰肝)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-3-四氳呋喃基甲氧基苯曱酰基)—9.H.-啼峻-3—基]一1—(0-乙酰將)、乙酮—1—[9-乙基-6-(2-曱基-3-四氫吡喃基曱氧基苯甲?；?-9.H.-^唑-3-基]-1-(0-乙酰將)、—9.H.-寸^上—3—基]—1一(0-乙酰肝)、乙酮—1—[9一乙基-6—(2-曱基-4-四氫吡喃基氧基苯曱?；?-9.H.-呼唑-3-基]-1-(0-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-曱基-4-四氫吹喃基曱氧基苯曱酰基)-9.H.-呻哇-3-基]一l-(0—乙酰將)、乙酮—1—[9—乙基—6—(2-甲基—4—四氬p比喃基曱氧基苯曱?；?—9.H,—呼哇—3-基]—l-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基氧基苯甲酰基)一9.H.—呻哇—3-基]—l一(O-乙酰肝)、乙酮—1—[9一乙基-6-(2-曱基-5-四氫吡喃基氧基苯曱?；?-9.H.-呼唑-3-基]-1-(0-乙酰將)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-曱基-5-四氫吹喃基曱氧基苯曱?；?-9.H.-咕唑-3-基]-1-(0-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫吡喃基曱氧基苯曱酰基)-9.H,咔唑-3-基]-l-(0-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-曱基-2-四氫呋喃基氧基苯曱?；?一9.H.-呻^:-3—基]一1—(0—苯曱?；阴８?、乙酮一1—[9-乙基一6—(2—曱基一2-四氳p比喃基氧基苯曱?；?一9.H,—呻哇—3-基]一1-(O-苯曱酰基乙酰將)、乙酮-1一[9—乙基-6-(2-甲基-2—四氫呋喃基甲氧基苯曱酰基)-9.H,咔唑-3-基]-1-(0-苯曱?；阴７?、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-曱基-2-四氫吡喃基曱氧基苯曱?；?-9.H.-啼哇-3-基]-1一(0—苯曱?；阴?、乙酉同—1—[9一乙基-6-(2-曱基-3-四氬呋喃基氧基苯曱?；?-9.H.-呼峻-3-基]—1—(0—苯曱酰基乙酰將)、乙酮一1-[9-乙基—6-(2-曱基-3-四氫吡喃基氧基苯曱?；?-9.H.-咔唑-3-基]-1-(0-苯曱?；阴?、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-3-四氫呋喃基甲氧基苯曱酰基)一9.H.—啼哇-3-基]-1一(0—苯曱?；阴?、乙酮—1一[9-乙基-6-(2-曱基-3-四氫吡喃基曱氧基苯曱?；?-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-苯曱酰基乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-曱基-4-四氫吹喃基氧基苯曱酰基)一9.H.-呻哇-3-基]—l-(O-苯曱?；阴８?、乙酮-1-[9—乙基—6—(2—曱基-4一四氬p比喃基氧基苯曱?；?—9,H.—呼哇-3-基]—1一(O-苯曱?；阴?、乙酮_1—[9-乙基—6-(2-甲基—4—四氬呋喃基甲氧基苯曱?；?-9.H.-咔唑-3-基]-1-(0-苯甲酰基乙酰肝)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫吡喃基甲氧基苯曱?；?-9.H.-呼哇-3—基]—1一(0—苯曱?；阴８?、乙酮—1—[9一乙基-6-(2-曱基-5-四氬呋喃基氧基苯曱?；?-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-苯曱酰基乙酰將)、乙酮-1-[9一乙基-6—(2-甲基—5—四氫吡喃基氧基苯曱?；?-9.H.-咔唑-3-基]-1-(0-苯曱?；阴ｋ?、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-曱基-5-四氬呋喃基曱氧基苯曱酰基)—9.H.—寸w上—3-基]—1一(0-苯甲?；阴Ｔ绿?、乙酮-1—[9—乙基-6-(2-曱基-5-四氫吡喃基甲氧基苯曱?；?-9.H.-^唑-3-基]—l-(O-苯甲酰基乙酰將)、乙酮一1—[9—乙基—6—[2—甲基—4-(2,2-二曱基-1,3-二氧雜戊環(huán)基)甲氧基苯曱?；鵠-9.H.-咔唑-3-基]-l-(O-乙酰肟)等。這些將型自由基發(fā)生劑(2)可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。本發(fā)明的(D)自由基發(fā)生劑優(yōu)選至少含有肟型自由基發(fā)生劑(2),特別優(yōu)選含有選自乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基曱氧基苯曱?；?-9.H.-呻峻-3-基]-1-(0-乙酰肝)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-曱基-4-四氫吡喃基甲氧基苯甲?；?-9.H.-咔唑-3一基]-l-(0-乙酰將)、乙酮—1-[9—乙基一6-(2—曱基—5—四氬呋喃基甲氧基苯甲?；?-9.H.-咔唑-3-基]-l-(O-乙酰肟)、乙酮-1—[9-乙基一6-(2—曱基—5—四氬外匕喃基甲氧基苯曱酖基)—9.H.一3-基]-1一(O-乙酰厲)、以及乙酮-1—[9一乙基—6—[2—甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環(huán)基)甲氧基苯曱?；鵠-9.H.-pf哇-3-基]-1-(0-乙酰將)中的至少一種。本發(fā)明中，(D)自由基發(fā)生劑可以是將其它放射線敏感性自由基發(fā)生劑(以下簡稱為"其它自由基發(fā)生劑")與肟型自由基發(fā)生劑(l)和肟型自由基發(fā)生劑(2)并用。其它自由基發(fā)生劑可以是肟型自由基發(fā)生劑(l)和肟型自由基發(fā)生劑(2)以外的肟型自由基發(fā)生劑(以下簡稱為"其它肟型自由基發(fā)生劑")。其它肟型自由基發(fā)生劑的具體例子有1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(0-苯甲酰肟)、1,2-丁二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(0-苯曱酰肟)、1,2-丁二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(0-乙酰將)、1,2-辛二酮-1一[4一(曱石克基)苯基]一2-(0—苯甲酰肝)、1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(0-(4-曱基苯曱酰肟))等。其中，特別優(yōu)選1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(0-苯曱酰將)。其它肟型自由基發(fā)生劑以外的其它自由基發(fā)生劑例如有具有至少一種下式(4-1)、下式(4-2)或下式(4-3)所示的主要骨架的聯(lián)咪唑類化合物、苯偶姻類化合物、苯乙酮類化合物、二苯甲酮類化合物、a-二酮類化合物、多核醌類化合物、坫噸酮類化合物、膦類化合物、三。秦類化合物等。作為上述聯(lián)咪唑類化合物，例如有2,2，-雙(2-氯苯基)-4,4，,5,5，-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2，-聯(lián)咪唑、2,2，-雙(2-溴苯基)-4,4，,5,5，-四(4-乙氧基羰基苯基)—1,2，—聯(lián)咪唑、2，2，-雙(2-氯苯基)-4,4，,5,5，—四苯基—1,2，—聯(lián)咪唑、2,2，-雙(2，4—二氯苯基)-4,4，,5,5，-四苯基—1,2，-聯(lián)咪哇、2,2'—雙(2,4,6-三氯苯基)一4,4，,5，5，—四苯基-1,2，-聯(lián)咪唑、2,2,-雙(2-溴苯基)-4,4，,5,5，—四苯基-1,2，—聯(lián)咪唑、2,2，-雙(2,4-二溴苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2，-聯(lián)咪唑、2,2，-雙(2,4,6—三溴苯基)-4,4，,5,5，—四苯基—1,2，—聯(lián)咪唑等。-氬供體-本發(fā)明中，并用聯(lián)咪唑類化合物作為(D)自由基發(fā)生劑時，從可進一步改善敏感性方面考慮，優(yōu)選與下述的氫供體組合使用。這里所謂的"氳供體"是指可向通過曝光由聯(lián)咪唑類化合物產(chǎn)生的自由基提供氫原子的化合物。作為上述氬供體，優(yōu)選下述定義的硫醇類化合物、下述定義的胺類化合物。上述硫醇類化合物包括以苯環(huán)或雜環(huán)作為母核、具有1個以上、優(yōu)選1~3個，進一步優(yōu)選1~2個直接鍵合到該母核上的巰基的化合物(以下稱為"硫醇類氫供體")。上述胺類化合物包括以苯環(huán)或雜環(huán)作為母核、具有1個以上、優(yōu)選1~3個，進一步優(yōu)選1~2個直接鍵合到該母核上的氨基的化合物(以下稱為"胺類氫供體")。另外，這些氫供體可以同時具有巰基和氨基。以下更具體地說明氫供體。硫醇類氫供體可以分別具有l(wèi)個以上苯環(huán)或雜環(huán)，還可以具有苯環(huán)和雜環(huán)二者。具有2個以上這些環(huán)時，可以形成稠環(huán)。硫醇類氫供體具有2個以上巰基時，只要殘留有至少l個游離的巰基即可，其余的1個以上巰基可以被烷基、芳烷基或芳基取代。進而，只要殘留有至少l個游離巰基，可以具有通過亞烷基等二價有機基團鍵合2個硫原子的結(jié)構(gòu)單元、或者2個硫原子以二硫鍵的形式鍵合的結(jié)構(gòu)單元。并且，硫醇類氬供體可以在巰基以外的位置被羧基、取代或未取代的烷氧基羰基、取代或未取代的苯氧基羰基、氰基等取代。作為這樣的硫醇類氫供體的具體例子，可列舉2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并嚅唑、2-巰基苯并咪唑、2,5-二巰基-1,3,4-迻二哇、2-巰基-2,5-二曱基氨基吡啶等。這些硫醇類氫供體中，優(yōu)選2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并喝唑，特別優(yōu)選2-巰基苯并噻唑。胺類氫供體可以分別具有1個以上苯環(huán)或雜環(huán)，還可以具有苯環(huán)和雜環(huán)二者。具有2個以上這些環(huán)時，可以形成稠環(huán)。并且，胺類氫供體中，1個以上的氨基可以被烷基或取代烷基取代，并且氨基以外的位置也可以被羧基、取代或未取代的烷氧基羰基、取代或未取代的苯氧基羰基、氰基等取代。作為這樣的胺類氫供體的具體例子，可列舉4,4'-雙(二曱基氨基)二苯曱酮、4,4，-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、4-二乙基氨基苯乙酮、4-二甲基氨基苯丙酮、4-二甲基氨基苯曱酸乙酯、4-二曱基氨基苯甲酸異戊酯、4-二曱基氨基苯曱酸、4-二甲基氨基芐腈等。這些胺類氫供體中，優(yōu)選4,4'-雙(二曱基氨基)二苯甲酮、4,4'-雙(二乙基氨基)二苯曱酮，特別優(yōu)選4,4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮。在不存在聯(lián)咪唑類化合物時，4,4，-雙(二甲基氨基)二苯曱酮或4,4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮可分別單獨發(fā)揮光自由基引發(fā)劑的作用。在本發(fā)明中，氫供體可以單獨使用，或?qū)煞N以上混合使用。將l種以上的硫醇類氫供體與l種以上的胺類氫供體組合使用時，所形成的著色層在顯影時難以從基板上脫落，并且著色層強度和敏感度也高，因此優(yōu)選。優(yōu)選的硫醇類氪供體與胺類氬供體組合的具體例子有2-巰基苯并噻唑/4,4，-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巰基苯并噻唑/4,4，-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巰基苯并嚅唑/4,4，-雙(二甲基氨基)二苯曱酮、2-巰基苯并喝唑/4,4，-雙(二乙基氨基)二苯甲酮等，進一步優(yōu)選的組合有2-巰基苯并噻唑/4,4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮、2-巰基苯并喝唑/4,4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮，特別優(yōu)選的組合有2-巰基苯并噻唑/4,4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮。在硫醇類氬供體與胺類氫供體的組合中，硫醇類氫供體與胺類氫供體的重量比優(yōu)選為1:1~1:4,更優(yōu)選為1:1~1:3。上述苯偶姻類化合物例如有苯偶姻、苯偶姻曱醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻異丁醚、2-苯曱?；綍跛峒柞サ?。上述苯乙酮類化合物例如有2,2-二甲氧基苯乙酮、2,2-二乙氧基苯乙酮、2，2—二曱氧基—2—苯基苯乙酮、2-羥基—2—曱基-l一苯基丙烷-l-酮、1-(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-l-酮、2—曱基-(4—甲石克基苯基)-2—嗎啉^基—1—丙烷-l—酮、4—(2-羥基乙氧基)苯基-(2-羥基-2-丙基)酮、2_千基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)丁烷-1-酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮等。上述二苯甲酮類化合物例如有4,4，-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮等。上述a-二酮類化合物例如有丁二酮、聯(lián)苯甲酰、甲基苯曱?；鶗跛狨サ取Ｉ鲜龆嗪缩惢衔锢缬休祯?、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、1,4-萘醌等。上述站噸酮類化合物例如有站噸酮、瘞噸酮、2-氯噻噸酮等。上述膦類化合物例如有雙(2,4,6-三甲基苯甲?；?苯基氧化膦、2,4,6-三曱基苯曱?；交趸⒌?。上述三嗪類化合物例如有2,4,6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-曱基-4，6-雙(三氯曱基)-s-三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-雙(三氯曱基)-s-三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4,6—雙(三氯甲基)-s-三n秦、2—[2—(4-二乙基氨基—2-曱基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三溱、2-[2-(3,4-二曱氧基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯曱基)-s-三嗪、2-(4-曱氧基苯基)-4,6-雙(三氯曱基)—s—三。秦、2—(4-乙氧基苯乙烯基)—4，6—雙(三氯曱基)—s-三嗪、2-(4-正丁氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、下式(5)所示化合物、等具有囟代曱基的化合物等。上述其它自由基發(fā)生劑可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。下式(6)所示化合物本發(fā)明中，其它自由基發(fā)生劑的使用比例優(yōu)選為(D)自由基發(fā)生劑總量的50重量％以下，進一步優(yōu)選1~30重量°/(>。其它自由基發(fā)生劑的使用比例如果超過50重量％，則本發(fā)明所期望的效果可能受損。在本發(fā)明中，相對于(C)多官能單體和根據(jù)情況使用的單官能單體的總量100重量份，(D)自由基發(fā)生劑的用量優(yōu)選為0.01~200重量份，更優(yōu)選為1~120重量份，特別優(yōu)選為1~100重量份。如果(D)自由基發(fā)生劑的用量低于O.Ol重量份，則曝光固化不足，難以獲得像素圖案或黑矩陣圖案按照規(guī)定的排列配置的圖案矩陣，而如果超過200重量份，則所形成的著色層在顯影時容易從基板上脫落、未曝光部的基板上或遮光層上容易發(fā)生臟版、殘膜等。本發(fā)明中，還可以根據(jù)需要與(D)自由基發(fā)生劑一起使用一種以上增敏劑、固化促進劑或高分子光交聯(lián)、增敏劑。-其它添加劑-本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物是以上述(A)~(D)成分作為必須成分，可以根據(jù)需要進一步含有其它添加劑。上述其它添加劑例如有玻璃、氧化鋁等填充劑；聚乙烯醇、聚(氟烷基丙烯酸酯)類等高分子化合物；非離子系、陽離子系、陰離子系表面活性劑等表面活性劑；乙烯基三曱氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三曱氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三曱氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基曱基二曱氧基硅烷、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基曱基二曱氧基硅烷、3-氯丙基三曱氧基硅烷、3-曱基丙烯酰氧基丙基三曱氧基硅烷、3-巰基丙基三曱氧基硅烷等貼合促進劑；2,2-硫代雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,6-二叔丁基苯酚等抗氧劑、2-(3-叔丁基-5-曱基-2-羥基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮等紫外線吸收劑；聚丙烯酸鈉等抗凝劑等。液體組合物的制備本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物通?？梢耘浜先軇?，制成液體組合物。上述溶劑只要可分散或溶解構(gòu)成放射線敏感性組合物的(A)~(D)成分或其它添加劑成分，且不與這些成分反應(yīng)，具有適度的揮發(fā)性即可，可以適當選擇使用。上述溶劑例如有丙二醇單曱基醚、丙二醇單乙基醚等丙二醇單烷基醚；乙二醇單曱基醚乙酸酯、乙二醇單乙基醚乙酸酯、二甘醇單甲基醚乙酸酯、二甘醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單曱基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、雙丙甘醇單曱基醚乙酸酯、雙丙甘醇單乙基醚乙酸酯等(多)亞烷基二醇單烷基醚乙酸酯；二甘醇二曱基醚、二甘醇曱基乙基醚、二甘醇二乙基醚、雙丙甘醇二曱基醚、雙丙甘醇甲基乙基醚、雙丙甘醇二乙基醚等(多)亞烷基二醇二烷基醚；四氫呋喃等其它的醚；曱乙酮、環(huán)己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮；雙丙酮醇(即，4—羥基—4-甲基戊烷—2—酮)、4-羥基—4—曱基己烷-2-酮等酮醇；乳酸甲酯、乳酸乙酯等乳酸烷基酯；2-羥基-2-曱基丙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-曱基丁酸曱酯、3-曱氧基丙酸曱酯、3-曱氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸曱酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、3-曱基-3-曱氧基丁基乙酸酯、3-曱基-3-曱氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、曱酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸曱酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸曱酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸乙酯等其它酯；曱苯、二甲苯等芳烴；N-曱基吡咯烷酮、N,N-二曱基曱酰胺、N,N-二曱基乙酰胺等酰胺等。這些溶劑中，從溶解性、顏料分散性、涂布性等方面考慮，優(yōu)選丙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚乙酸酯、二甘醇單甲基醚乙酸酯、二甘醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、雙丙甘醇單曱基醚乙酸酯、二甘醇二曱基醚、二甘醇甲基乙基醚、雙丙甘醇二曱基醚、環(huán)己酮、2-庚酮、3-庚S同、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲基-3-曱氧基丁基丙酸酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、曱酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸乙酯等。上述溶劑可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用。還可以與上述溶劑一起并用千基乙基醚、二正己醚、丙酮基丙酮、異佛爾酮、己酸、辛酸、l-辛醇、1-壬醇、節(jié)醇、乙酸千基酯、苯曱酸乙酯、草酸二乙酯、馬來酸二乙酯、丫-丁內(nèi)酯、碳酸亞乙酯、碳酸亞丙酯、乙二醇單苯基醚乙酸酯等高沸點溶劑。這些高沸點溶劑可以單獨使用或?qū)煞N以上混合使用D溶劑的用量沒有特別限定，從得到的液體組合物的涂布性、穩(wěn)定性等方面考慮，優(yōu)選使除去該組合物的溶劑的各成分總濃度達到5~50重量％，特別優(yōu)選達到10~40重量％的量。濾色器的形成方法下面，對使用本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物形成本發(fā)明濾色器的方法進行說明。形成濾色器的方法至少包括下述(l)~(4)的步驟。(1)在基板上形成本發(fā)明的濾色器用放射線敏感性樹脂組合物的涂膜的步驟；(2)對該涂膜的至少一部分進行曝光的步驟；(3)將曝光后的該涂膜進行顯影的步驟；(4)對顯影后的該涂膜進行熱處理(以下稱為"后烘")的步驟。以下對這些步驟依次進行說明。-(l)步驟-首先，根據(jù)需要，在基板的表面上形成遮光層，以劃分要形成像素的部分，在該基板上涂布例如含有紅色顏料的濾色器用放射線敏感性組合物的液體組合物，然后進行預烘，使溶劑蒸發(fā)，形成涂膜。該步驟中使用的基板例如有玻璃、硅、聚碳酸酯、聚酯、芳族聚酰胺、聚酰胺酰亞胺、聚酰亞胺、聚醚砜，除此之外還有環(huán)狀烯烴的開環(huán)聚合物或其氬化物等。并且，根據(jù)需要，還可以對這些基板實施利用硅烷偶聯(lián)劑等進行的化學試劑處理、等離子體處理、離子鍍敷、濺射、氣相反應(yīng)法、真空蒸鍍等適當?shù)念A處理。將液體組合物涂布于基板上時，可采用旋轉(zhuǎn)涂布(旋涂)、流延涂布、輥涂、狹縫噴嘴涂布等適當?shù)耐坎挤椒?。本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物即使在千燥后，在洗滌溶劑中的溶解性也高，特別適合狹縫噴嘴涂布。預烘的條件優(yōu)選70~ll(TC、2~4分鐘左右。涂布厚度按照除去溶劑后的膜厚計算，優(yōu)選0.1-10pm，更優(yōu)選0.2~8.0|um,特別優(yōu)選0.2-6.0)iim。-(2)步驟-然后，對所形成的涂膜的至少一部分進行曝光。對涂膜的一部分進行曝光時，優(yōu)選經(jīng)由具有適當圖案的光掩模進行曝光。該步驟中使用的放射線，可使用例如可見光、紫外線、遠紫外線、電子射線、X射線等。優(yōu)選波長在190-450nm范圍的放射線。放射線的曝光量優(yōu)選為10-IO，OOOJ/m2左右。-(3)步驟-然后優(yōu)選使用堿顯影液對曝光后的涂膜進行顯影，溶解除去涂膜的未曝光部分，形成圖案。作為上述堿顯影液，優(yōu)選例如碳酸鈉、氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化四甲基銨、膽堿、1,8-二氮雜雙環(huán)-[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮雜雙環(huán)-[4.3.0]-5-壬烯等的水溶液。在上述堿顯影液中還可以適量添加例如曱醇、乙醇等水溶性有機溶劑或表面活性劑等。另外，優(yōu)選在堿性顯影后進行水洗。作為顯影處理方法，可以采用噴淋顯影法、噴霧顯影法、浸潰顯影法、paddle(液盛O)顯影法等。顯影條件優(yōu)選在常溫下進行5~300秒左右。-(4)步驟-然后，通過將顯影后的涂膜進行后烘，可得到由放射線敏感性樹脂組合物的固化物形成的像素圖案按照規(guī)定的排列配置得到的基板。后烘的條件優(yōu)選180~23(TC、20~40分鐘左右。上述形成的^f象素的膜厚優(yōu)選0.5~5.0ium,更優(yōu)選1.5~3.0|um。進一步使用含有綠色或藍色顏料的濾色器用放射線敏感性組合物的各液體組合物，反復進行上述(l)-(4)的步驟，由此在同一基板上形成綠色像素圖案和藍色像素圖案，從而可在基板上形成紅色、綠色和藍色三原色的像素圖案按照規(guī)定的排列配置的著色層。本發(fā)明中的各色像素圖案的形成順序并不限于上述順序。-濾色器-本發(fā)明的濾色器由本發(fā)明的濾色器用放射線敏感性樹脂組合物形成。本發(fā)明的濾色器例如對于透射型或反射型彩色液晶顯示元件、彩色攝像管元件、彩色傳感器等極為有用。彩色液晶顯示裝置本發(fā)明的彩色液晶顯示元件具有本發(fā)明的濾色器。本發(fā)明的彩色液晶顯示裝置可以采用適當結(jié)構(gòu)。例如可以在與配置了薄膜晶體管(TFT)的驅(qū)動用基板不同的基板上形成濾色器，驅(qū)動用基板和形成了濾色器的基板中間夾有液晶層而形成對置結(jié)構(gòu)。進一步地，可以是在配置有薄膜晶體管(TFT)的驅(qū)動用基板的表面上形成有濾色器的基板、與形成有ITO(摻雜錫的氧化銦)電極的基板中間夾有液晶層而形成對置結(jié)構(gòu)。后一結(jié)構(gòu)具有可以進一步提高開口率，從而可以獲得明亮、高精度的液晶顯示元件的優(yōu)點。如上所述，本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物可以以高的成品率形成不產(chǎn)生"圖像殘留"的濾色器，同時靈敏度高，即使在低曝光量下，在像素圖案上也不會發(fā)生邊緣缺損或側(cè)蝕，另外，即使干燥后，在洗滌溶劑中的溶解性也高，適合于狹縫噴嘴涂布。實施例下面，列舉實施例進一步具體地說明本發(fā)明。但是，本發(fā)明不受下述實施例的限定。下述各合成例得到的樹脂的Mw和Mn通過下述規(guī)格的凝膠滲透色譜(GPC)測定。裝置GPC-101(昭和電工(抹)生產(chǎn))。柱將GPC-KF-801、GPC-KF-802、GPC-KF-803和GPC-KF-804并用。流動相含有0.5重量％磷酸的四氬呋喃。合成例l向帶有冷凝管和攪拌機的燒瓶中加入10重量份2,2'-偶氮二異丁腈和400重量份雙丙甘醇二甲基醚，接著加入20重量份曱基丙烯酸、31.2重量份N-苯基馬來酰亞胺、30重量份甲基丙烯酸卡酯、18.8重量份苯乙烯和10重量份a-甲基苯乙烯二聚物(分子量控制劑)，進行氮置換，然后一邊緩慢攪拌，一邊將反應(yīng)溶液升溫至8(TC，保持該溫度進行3小時聚合。然后將反應(yīng)溶液升溫至100。C，進一步加入2重量份2,2'-偶氮二異丁腈，再繼續(xù)聚合l小時，得到樹脂溶液(固體成分濃度=20.1重量％)。該樹脂的Mw^5,000、Mw/Mn=3.6。將該樹脂作為"樹脂(p-l)"。合成例2向帶有冷凝管和攪拌機的燒瓶中加入2.5重量份2,2'-偶氮二異丁腈和200重量份雙丙甘醇二甲基醚，接著加入20重量份甲基丙烯酸、31,2重量份N-苯基馬來酰亞胺、30重量份甲基丙烯酸芐酯、18.8重量份苯乙烯和3重量份a-曱基苯乙烯二聚物(分子量控制劑)，進行氮置換，然后一邊緩慢攪拌，一邊將反應(yīng)溶液升溫至8(TC，保持該溫度進行3小時聚合。然后將反應(yīng)溶液升溫至100。C,進一步加入0.5重量份2,2，-偶氮二異丁腈，再繼續(xù)聚合l小時，得到樹脂溶液(固體成分濃度=33.2重量％)。該樹脂的Mw^4,000、Mw/Mn=2.1。將該樹脂作為"樹脂(P-2)"。合成例3向帶有冷凝管和攪拌機的燒瓶中加入3重量份2,2，-偶氮二異丁腈、4重量份二硫化四乙基秋蘭姆(分子量控制劑)和200重量份雙丙甘醇二曱基醚，接著加入20重量份曱基丙烯酸、31.2重量份N-苯基馬來酰亞胺、30重量份曱基丙烯酸節(jié)酯和18.8重量份苯乙烯，進行氮置換，然后一邊緩慢攪拌，一邊將反應(yīng)溶液升溫至80。C,保持該溫度進行3小時聚合。然后將反應(yīng)溶液升溫至10(TC，進一步加入2重量份2,2，-偶氮二異丁腈，再繼續(xù)聚合l小時，得到樹脂溶液(固體成分濃度=33.0重量％)。該樹脂的Mw二5，000、Mw/Mn=1.7。將該樹脂作為"樹脂(B-l)"。浸泡測試比4交例1將含有40重量份作為(A)顏料的C.I.顏料紅254和C.I.顏料黃139按照50/50(重量比)的混合物、10重量份作為分散劑的disperbyk2001、以及IOO重量份作為溶劑的3-乙氧基丙酸乙酯的混合液通過夕？亇乇〉H77OS》(商品名，三菱7亍'J"1/(林)制造的珠磨機(珠子直徑l.Omm))混合分散12小時，制備顏料分散液。接著，將100重量份該顏料分散液、70重量份作為堿溶性樹脂的樹脂(|3-1)、80重量份作為(C)多官能單體的六丙烯酸二季戊四醇酯、5重量份作為(D)自由基發(fā)生劑的乙酮-1-[9-乙基-6-[2-曱基-4-(2,2-二甲基-1，3-二氧雜戊環(huán)基)甲氧基苯曱酰基]-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰將)、以及1,000重量份作為溶劑的丙二醇單甲醚乙酸酯混合，制備液體組合物(r-1)。接著，使用旋涂儀將該液體組合物(r-l)涂布在表面形成有防止鈉離子溶出的Si02膜的直徑4英寸的鈉玻璃基板上，然后在23。C的潔凈室內(nèi)放置12小時，干燥，形成涂膜。接著，將該基板在100cc丙二醇單曱醚乙酸酯中浸泡2分鐘，涂膜完全溶解。比較例2使用70重量份樹脂(p-2)代替樹脂(P-1)，除此之外與比較例1同法制備液體組合物(r-2),在鈉玻璃基板上形成涂膜。接著，將該基板在100cc丙二醇單曱醚乙酸酯中浸泡2分鐘，涂膜未完全溶解，液體中可觀察到很多異物。實施例l使用70重量份樹脂(B-l)代替樹脂(P-1)，除此之外與比較例1同法制備液體組合物(R-1),在鈉玻璃基板上形成涂膜。接著，將該基板在100cc丙二醇單曱醚乙酸酯中浸泡2分鐘，涂膜完全溶解。涂布性的評價比較例3使用狹縫噴嘴方式的濾色器用涂布裝置TR63210S-CL(商品名，東京應(yīng)化工業(yè)(抹)制造)，將比較例l中制備的液體組合物(r-l)涂布在表面形成有防止鈉離子溶出的Si02膜的鈉玻璃基板上，然后在常溫下放置l小時，干燥，形成涂膜。接著，將狹縫噴嘴用丙二醇單曱醚乙酸酯吹洗，再次通過TR63210S-CL在新的鈉玻璃基板上涂布液體組合物(r-1)，再次形成的涂膜上未產(chǎn)生異物。比專交例4使用比較例2中制備的液體組合物(r-2)代替液體組合物(r-1)，除此之外與比較例3同樣地對涂布性進行評價，再次形成的涂膜上產(chǎn)生異物，不能形成合適的涂膜。實施例2使用實施例1中制備的液體組合物(R-l)代替液體組合物(r-1),除經(jīng)之外與比較例3同樣地對涂布性進行評價，再次形成的涂膜上未產(chǎn)生異物。電壓保持率的評價比壽交例5用旋涂儀將比較例l中制備的液體組合物(r-1)涂布在鈉玻璃基板上，該鈉玻璃基板在表面上形成有防止鈉離子溶出的Si02膜、并按照規(guī)定形狀蒸鍍了ITO(銦-氧化錫合金)電極。然后在90。C的潔凈室內(nèi)預烘IO分鐘，形成膜厚為2.0]im的涂膜。然后使用高壓汞燈，不經(jīng)由光掩模以5,000J/n^的曝光量對涂膜照射含有365nm、405nm和436nm各波長的放射線。然后將該基板在"。C的含有0.04重量％氪氧化鉀水溶液的顯影液中浸泡1分鐘，顯影，然后用超純水洗涂并風干，進一步在25(TC下進行30分鐘后烘，使涂膜固化，在基板上形成紅色的像素。該像素的膜厚為1.60iim。接著，將形成了該像素的基板和只蒸鍍了規(guī)定形狀的ITO電極的基板用混合了0.8mm玻璃珠的密封劑貼合，然后注入液晶MLC6608(商品名、力H7制造)，制備液晶盒。接著，將液晶盒放入60。C的恒溫層中，通過液晶電壓保持率測定系統(tǒng)VHR-1A型(商品名、東陽亍夕二力(林)制造)測定液晶盒的電壓保持率。此時的施加電壓為5.5V的方形波，測定頻率為GOHz。這里，電壓保持率是指(開始施加電壓16.7毫秒后液晶盒電位差/0毫秒時施加的電壓)的值。結(jié)果電壓保持率為45%。如果液晶盒的電壓保持率為卯％以下，則液晶盒無法將施加電壓保持規(guī)定水平16.7毫秒的時間，表示無法充分進行液晶取向。因此，具有使用液體組合物(r-l)形成的濾色器的液晶顯示裝置容易發(fā)生"圖像殘留"。比舉交例6使用比較例2中制備的液體組合物(r-2)代替液體組合物(r-1),除此之外與比較例5同樣地制備液晶盒，測定電壓保持率，結(jié)果為92%。因此，具有使用液體組合物(r-2)形成的濾色器的液晶顯示裝置發(fā)生"圖像殘留"的可能性低。實施例3使用實施例1中制備的液體組合物(R-l)代替液體組合物(r-1)，除此之外與比較例5同樣地制備液晶盒，測定電壓保持率，結(jié)果為92%。因此，具有使用液體組合物(R-l)形成的濾色器的液晶顯示裝置發(fā)生"圖像殘留"的可能性低。靈敏度的評價比專交例7將比較例l中制備的液體組合物(r-l)的(D)自由基發(fā)生劑變更為50重量份2-曱基-(4-甲硫基苯基)-2-嗎啉代基-1-丙烷-1-酮，除此之外與比較例1同樣地制備液體組合物(r-3)。接著，用旋涂儀將液體組合物(r-3)涂布在表面形成有防止鈉離子溶出的Si02膜的鈉玻璃基板上，然后在90。C的熱板上預烘2分鐘，形成膜厚為1.7nm的涂膜。接著，將基板冷卻至室溫，使用高壓汞燈，經(jīng)由光掩模(狹縫寬度30liim)，對涂膜照射包含365nm、405nm和436nm各波長的紫外線進行曝光，此時的曝光量為400J/m2。然后將基板在23。C的0.04重量。/。氫氧化鉀水溶液中浸泡l分鐘，顯影，然后用超純水洗滌并風干。然后在22(TC的潔凈烘箱下進行30分鐘后烘，在基板上形成紅色的條紋狀像素圖案排列而成的像素矩陣。此時，通過光學顯微鏡觀察基板上的像素矩陣，可見像素圖案的邊緣有缺損。另外，通過掃描型電子顯微鏡(SEM)觀察像素圖案的截面，可見側(cè)蝕。比較例8將比較例2中制備的液體組合物(r-2)的(D)自由基發(fā)生劑變更為50重量份2-曱基-(4-曱硫基苯基)-2-嗎啉代基-1-丙烷-1-酮，除此之外與比較例2同樣地制備液體組合物(r-4)。接著，使用液體組合物(r-4)代替液體組合物(r-3),除此之外與比較例7同樣地在基板上形成紅色的條紋狀像素圖案排列而成的像素矩陣。此時，用光學顯微鏡觀察基板上的像素矩陣，可見像素圖案的邊緣有缺損。另外，通過掃描型電子顯微鏡(SEM)觀察像素圖案的截面，可見側(cè)蝕。實施例4使用實施例1中制備的液體組合物(R-l)代替液體組合物(r-3)，除此之外與比較例7同樣地在基板上形成紅色的條紋狀像素圖案排列而成的像素矩陣。此時，用光學顯微鏡觀察基板上的像素矩陣，像素圖案的邊緣未見缺損。另外，通過掃描型電子顯微鏡(SEM)觀察像素圖案的截面，未見側(cè)蝕。將以上評價結(jié)果與各放射線敏感性樹脂組合物的主要構(gòu)成成分一起，匯總表示在表1和表2中。這里，對使用紅色顏料的放射線敏感性樹脂組合物進行了評價，使用藍色、綠色、黃色或黑色的顏料的放射線敏感性組合物也得到了同樣的結(jié)果。表1和表2中，各自由基發(fā)生劑如下所述。<table>tableseeoriginaldocumentpage44</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage44</column></row><table>表1和表2中，浸泡試驗、涂布性評價、電壓保持率的評價和靈敏度的評價中，O表示良好，x表示不良。權(quán)利要求1.放射線敏感性樹脂組合物，其含有(A)著色劑、(B)堿溶性樹脂、(C)多官能單體、以及(D)放射線敏感性自由基發(fā)生劑，其中(B)堿溶性樹脂包含聚合物鏈的至少一個末端具有下式(i)或式(ii)所示基團的樹脂，(D)放射線敏感性自由基發(fā)生劑包含下式(1)所示的化合物和/或下式(2)所示的化合物式(i)和式(ii)中，Z1和Z2相互獨立地表示氫原子、氯原子、羧基、氰基、碳原子數(shù)1～20的烷基、碳原子數(shù)6～20的一價芳烴基、碳原子和雜原子的合計原子數(shù)為3～20的一價雜環(huán)基、-OR1、-SR1、-OC(＝O)R1、-N(R1)(R2)、-C(＝O)OR1、-C(＝O)N(R1)(R2)、-P(＝O)(OR1)2、-P(＝O)(R1)2或具有聚合物鏈的一價基團，R1和R2相互獨立地表示碳原子數(shù)1～18的烷基，碳原子數(shù)2～18的烯基、碳原子數(shù)6～18的一價芳烴基、或碳原子與雜原子的合計原子數(shù)為3～18的一價雜環(huán)基，上述碳原子數(shù)1～20的烷基、碳原子數(shù)6～20的一價芳烴基、碳原子與雜原子的合計原子數(shù)為3～20的一價雜環(huán)基、R1和R2分別可被取代；式(1)和式(2)中，各R3相互獨立地表示碳原子數(shù)1～20的烷基，碳原子數(shù)3～8的環(huán)烷基或苯基，各R4和各R5相互獨立地表示氫原子、碳原子數(shù)1～20的烷基、碳原子數(shù)3～8的環(huán)烷基、可被取代的苯基或碳原子數(shù)7～20的一價脂環(huán)基(上述環(huán)烷基除外)，各R6相互獨立地表示碳原子數(shù)4～20的一價含氧雜環(huán)基、碳原子數(shù)4～20的一價含氮雜環(huán)基或碳原子數(shù)4～20的一價含硫雜環(huán)基，各R7相互獨立地表示氫原子、碳原子數(shù)1～12的烷基、碳原子數(shù)3～8的環(huán)烷基、碳原子數(shù)1～12的烷氧基或碳原子數(shù)3～8的環(huán)烷氧基，各n相互獨立地為1～5的整數(shù)，各m相互獨立地為0～5的整數(shù)，(n+m)≤5，p為0～6的整數(shù)。2.權(quán)利要求l所述的放射線敏感性樹脂組合物，其中，Zi和zs分別是碳原子和雜原子的合計原子數(shù)為3~20的一價雜環(huán)基、-OR^或-N(R、R2)(其中R^和W與式(i)中的Zi和式(ii)中的乙2中的各1^和112含義相同)。3.權(quán)利要求1或2所述的放射線敏感性樹脂組合物，其中，(B)堿溶性樹脂是使用下式(3)所示的二硫化物作為分子量控制劑，將聚合性不飽和化合物聚合而制備的樹脂式(3)中，Zi和zz分別與式(i)中的Zi和式(ii)中的zz含義相同。4.權(quán)利要求3所述的放射線敏感性樹脂組合物，其中，制備(B)堿溶性樹脂時，聚合性不飽和化合物的聚合是活性自由基聚合。5.權(quán)利要求l4中任意一項所述的放射線敏感性樹脂組合物，其<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>中，(B)堿溶性樹脂是含有(bl)不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐與(b2)選自芳香族烯屬化合物、茚、N-位取代的馬來酰亞胺、在聚合物分子鏈的一個末端具有(曱基)丙烯酰基的大分子單體、不飽和羧酸酯、不飽和羧酸氨基烷基酯、不飽和羧酸縮水甘油酯、羧酸乙烯基酯、不飽和醚、不飽和酰胺、脂肪族共軛二烯中的至少一種可共聚的不飽和化合物的單體混合物的共聚物。6.權(quán)利要求l5中任意一項所述的放射線敏感性樹脂組合物，其中，(B)堿溶性樹脂的Mw(Mw是通過凝膠滲透色譜(GPC)測定的聚苯乙烯換算重均分子量)為1,000~45，000。7.權(quán)利要求l-6中任意一項所述的放射線敏感性樹脂組合物，其中，(B)堿溶性樹脂的Mw/Mn(Mn是通過凝膠滲透色譜(GPC)測定的聚苯乙烯換算數(shù)均分子量)為1~2.0。8.權(quán)利要求l7中任意一項所述的放射線敏感性樹脂組合物的制備方法，其特征在于在溶劑中、在分散劑的存在下，將作為(A)著色劑的顏料粉碎并混合、分散，將所得的顏料分散液與(B)堿溶性樹脂、(C)多官能單體和(D)放射線敏感性自由基發(fā)生劑混合。9.權(quán)利要求l7中任意一項所述的放射線敏感性樹脂組合物，該組合物用于濾色器。10.濾色器，該濾色器由權(quán)利要求9所述的放射線敏感性樹脂組合物形成。11.彩色液晶顯示裝置，該彩色液晶顯示裝置具有權(quán)利要求io所述的濾色器。全文摘要本發(fā)明涉及放射線敏感性樹脂組合物，其含有(A)著色劑、(B)堿溶性樹脂、(C)多官能單體、以及(D)放射線敏感性自由基發(fā)生劑，其中，(B)成分含有末端具有下式(i)或式(ii)所示基團的樹脂，(D)成分含有下式(1)的化合物和/或下式(2)的化合物。式(i)和(ii)中，Z¹和Z²表示氫原子、氯原子、烷基、烷氧基等。式(1)和(2)中，R³表示(環(huán))烷基或苯基，R⁴和R⁵表示氫原子、(環(huán))烷基等，R⁶表示一價雜環(huán)基，R⁷表示氫原子、(環(huán))烷基等，n＝1～5，m＝0～5，(n+m)≤5，p＝0～6。本發(fā)明可以形成不會產(chǎn)生“圖像殘留”的濾色器，是靈敏度高、干燥涂膜的溶劑溶解性高的放射線敏感性樹脂組合物。文檔編號G03F7/027GK101158812SQ20071016131公開日2008年4月9日申請日期2007年9月28日優(yōu)先權(quán)日2006年9月29日發(fā)明者豐島司,松本龍,槙平勇,河本達慶,荒井雅史,長塚富雄申請人:Jsr株式會社