樹脂組合物的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的課題是提供熱固化性的平坦化膜用或微透鏡用樹脂組合物。本發(fā)明的解決方法是一種平坦化膜用或微透鏡用樹脂組合物，其含有(A)成分、(B)成分和溶劑。(A)成分：具有下述式(1)所表示的結構單元、且進一步具有下述式(2)或式(3)所表示的結構單元的共聚物(B)成分：熱產(chǎn)酸劑(式中，R0分別獨立地表示氫原子或甲基，R1表示單鍵或碳原子數(shù)為1～5的亞烷基，該亞烷基中可以具有醚鍵，R2表示環(huán)氧基或具有環(huán)氧環(huán)的碳原子數(shù)為5～12的有機基團，R3表示碳原子數(shù)為1～3的亞烷基，n表示0～5的整數(shù))。
【專利說明】
樹脂組合物
技術領域
[0001] 本發(fā)明涉及熱固化性的平坦化膜用或微透鏡用樹脂組合物、以及由該樹脂組合物 形成的平坦化膜和微透鏡。
【背景技術】
[0002] 在制造 CCD/CM0S圖像傳感器的工序中，利用溶劑、堿性溶液等藥液進行浸漬處理， 為了防止這樣的處理引起元件劣化或損傷，針對該處理，在元件表面設置具有耐性的保護 膜。對于這樣的保護膜，要求具有透明性、耐熱性和耐光性高、經(jīng)過長時間而不引起著色等 變質、耐溶劑性、耐堿性優(yōu)異等性能（專利文獻1)。進而，近年來，隨著CCD/CM0S圖像傳感器 的高精細化，需要提高傳感器靈敏度，因此，為了從微透鏡高效率地向受光部聚光，在將保 護膜形成于濾色器上等的情況下，還要求該保護膜能夠使在底層基板上形成的高低差平坦 化(專利文獻2和專利文獻3)。另一方面，在CCD/CM0S圖像傳感器用的濾色器中，對于以往的 顏料分散體系而言進一步提高分辨率是困難的，存在由于顏料的粗大粒子而發(fā)生顏色不均 勻等問題，因此，不適合固體攝像元件這樣要求微細圖案的用途。因此，提出了使用染料代 替顏料分散體系的技術(專利文獻4)。然而，由于以往的熱固化性的保護膜在180°C以上的 溫度下被燒成，因此難以應用于使用了通常在180°C左右開始分解的染料的濾色器上(專利 文獻5)。
[0003] 現(xiàn)有技術文獻 [0004] 專利文獻
[0005] 專利文獻1:日本特許第2921770號
[0006] 專利文獻2:日本特開2008-208235號公報 [0007] 專利文獻3:國際公開第2013/005619號 [0008] 專利文獻4:日本特開平6-75375號公報 [0009] 專利文獻5:日本特開2010-237374號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010] 發(fā)明所要解決的課題
[0011] 本發(fā)明是基于前述情況而提出的，其所要解決的課題是提供透明性、耐溶劑性以 及平坦性優(yōu)異的、能夠在比l〇〇°C高的所期望的溫度下固化的熱固化性的樹脂組合物。
[0012] 用于解決課題的方法
[0013] 本
【發(fā)明人】們?yōu)榱私鉀Q前述課題而進行了深入研究，結果完成了本發(fā)明。
[0014] 即，作為第1觀點，是一種平坦化膜用或微透鏡用樹脂組合物，其含有(A)成分、（B) 成分和溶劑。
[0015] (A)成分:具有下述式（1)所表示的結構單元、且進一步具有下述式(2)或式(3)所 表示的結構單元的共聚物，
[0016] (B)成分:熱產(chǎn)酸劑，
[0018] (式中，RQ分別獨立地表示氫原子或甲基，R1表示單鍵或碳原子數(shù)為1~5的亞烷基， 該亞烷基中可以具有醚鍵，R 2表示環(huán)氧基、或具有環(huán)氧環(huán)的碳原子數(shù)為5~12的有機基團，R3 表示碳原子數(shù)為1~3的亞烷基，n表示0~5的整數(shù)。）
[0019] 作為第2觀點，根據(jù)第1觀點所述的平坦化膜用或微透鏡用樹脂組合物，前述式（1) 所表示的結構單元是下述式(1 -1)所表示的結構單元。
[0021] (式中，妒表示氫原子或甲基，R1表示單鍵或碳原子數(shù)為1~5的亞烷基。）
[0022] 作為第3觀點，根據(jù)第1觀點或第2觀點所述的平坦化膜用或微透鏡用樹脂組合物， 前述共聚物進一步具有下述式(4)所表示的結構單元。
[0024](式中，X表示環(huán)己基或苯基。）
[0025] 作為第4觀點，根據(jù)第1觀點~第3觀點中任一項所述的平坦化膜用或微透鏡用樹 脂組合物，前述共聚物的重均分子量為1，〇〇〇~50,000。
[0026] 作為第5觀點，根據(jù)第1觀點~第4觀點中任一項所述的平坦化膜用或微透鏡用樹 脂組合物，以從前述樹脂組合物中除去前述溶劑而得的固體成分中的含量計，所述樹脂組 合物包含0.1質量％~20質量％的前述熱產(chǎn)酸劑。
[0027] 作為第6觀點，是一種平坦化膜，其是由第1觀點~第5觀點中任一項所述的樹脂組 合物制作的。
[0028] 作為第7觀點，是一種微透鏡，其是由第1觀點~第5觀點中任一項所述的樹脂組合 物制作的。
[0029] 發(fā)明的效果
[0030] 本發(fā)明的樹脂組合物含有作為(B)成分的熱產(chǎn)酸劑，因此在比100 °C高的所期望的 溫度下的固化性、和保存穩(wěn)定性優(yōu)異。進而，由本發(fā)明的樹脂組合物形成的樹脂膜具有優(yōu)異 的透明性、耐溶劑性和平坦性。由上來看，通過由本發(fā)明的樹脂組合物形成的樹脂膜，能夠 使在底層基板上形成的高低差平坦化。此外，在由本發(fā)明的樹脂組合物形成樹脂膜之后涂 布抗蝕劑的情況下，以及在形成平坦化膜或微透鏡之后進行電極/配線形成工序的情況下， 前述樹脂膜還能夠顯著減少與抗蝕劑的混合、有機溶劑所引起的平坦化膜或微透鏡的變形 和剝離等問題。因此，本發(fā)明的樹脂組合物適合作為形成平坦化膜和微透鏡的材料。
【具體實施方式】
[0031] 以下說明本發(fā)明的各成分的詳細內(nèi)容。從本發(fā)明的樹脂組合物除去溶劑而得的固 體成分通常為1質量％~50質量％。
[0032] 〈(A)成分〉
[0033] 本發(fā)明的(A)成分是具有前述下述式（1)所表示的結構單元、且進一步具有式(2) 或式(3)所表示的結構單元的共聚物。
[0035] (式中，RQ分別獨立地表示氫原子或甲基，R1表示單鍵或碳原子數(shù)為1~5的亞烷基， 該亞烷基中可以具有醚鍵，R 2表示環(huán)氧基、或具有環(huán)氧環(huán)的碳原子數(shù)為5~12的有機基團，R3 表示碳原子數(shù)為1~3的亞烷基，n表示0~5的整數(shù)。）
[0036] 作為前述式(1)的例子，可舉出下述式(1-1)所表示的結構單元。
[0038] (式中，妒表示氫原子或甲基，R1表示單鍵或碳原子數(shù)為1~5的亞烷基。）
[0039] 作為形成前述式(2)所表示的結構單元的化合物(單體）的具體例，可舉出4-聯(lián)苯 基（甲基）丙烯酸酯、2_(4_聯(lián)苯氧基）乙基（甲基)丙烯酸酯、2_(2_聯(lián)苯氧基）乙基（甲基）丙 烯酸酯、2-(4_聯(lián)苯氧基)-2'_乙氧基乙基（甲基)丙烯酸酯、2-(2_聯(lián)苯氧基)-2'_乙氧基乙 基（甲基)丙烯酸酯、疆工只亍少〔注冊商標〕A-LEN-10(新中村化學工業(yè)(株)制）。另外，這些 化合物可以單獨使用，也可以組合2種以上使用。
[0040] 作為形成前述式(3)所表示的結構單元的化合物(單體）的具體例，可舉出3-乙烯 基聯(lián)苯、4-乙烯基聯(lián)苯。另外，這些化合物可以單獨使用，也可以組合2種使用。
[0041] 作為形成前述式(4)所表示的結構單元的化合物(單體）的具體例，可舉出N-環(huán)己 基馬來酰亞胺、N-苯基馬來酰亞胺。另外，這些化合物可以單獨使用，也可以組合2種以上使 用。
[0042] 在前述共聚物中，上述(A)成分的共聚物中，上述式（1)所表示的結構單元的含量 為lOmol % ~90mol %，優(yōu)選為20mol % ~70mol %。
[0043] 前述共聚物的重均分子量通常為1，000~50，000，優(yōu)選為3，000~30，000。另外，重 均分子量是利用凝膠滲透色譜法(GPC)、使用聚苯乙烯作為標準樣品而得的值。
[0044] 此外，本發(fā)明的樹脂組合物中的前述共聚物的含量，以該樹脂組合物的固體成分 中的含量計，通常為1質量％~99質量％，優(yōu)選為5質量％~95質量％。
[0045] 在本發(fā)明中，對獲得前述(A)成分的方法不特別限定，一般而言，可通過使包含用 于獲得上述共聚物的單體種類的單體混合物在聚合溶劑中、通常在50°C~120°C的溫度下 進行聚合反應而獲得。這樣操作獲得的共聚物通常是溶解在溶劑中的溶液狀態(tài)，也可以以 該狀態(tài)、不進行分離而用于本發(fā)明的樹脂組合物中。
[0046]此外，將如上所述獲得的共聚物的溶液投入至攪拌了的己烷、乙醚、甲醇、水等不 良溶劑中而使該共聚物再沉淀，將生成的沉淀物進行過濾、洗滌，然后在常壓或減壓下進行 常溫或加熱干燥，從而能夠使該共聚物為粉體。通過這樣的操作，能夠除去與前述共聚物共 存的聚合引發(fā)劑、未反應化合物。在本發(fā)明中，可以直接使用前述共聚物的粉體，或者也可 以將該粉體例如再溶解于后述的溶劑而以溶液的狀態(tài)使用。
[0047] 〈(B)成分〉
[0048] 作為本發(fā)明的(B)成分的熱產(chǎn)酸劑，是通過加熱而產(chǎn)生酸，由于酸的作用而使前述 (A)成分中的環(huán)氧基進行陽離子聚合的催化劑。作為熱產(chǎn)酸劑，通?？梢允褂藐栯x子成分與 陰離子成分成對而得的有機高貪鹽化合物。
[0049]作為上述陽離子成分，可舉出例如，有機锍、有機氧榻?、有機銨、有機鱗:、有機碘 鐵等有機陽離子。此外，作為上述陰離子成分，可舉出例如，B(C6F5)4'SbF6_、AsF 6_、PF6_、 BF4-、CF3S〇3-〇
[0050] 作為熱產(chǎn)酸劑，可舉出例如，TA100、TA120、TA160(以上為?？冢ㄖ?制），K-PURE〔注冊商標〕TAG2689、K-PURE〔注冊商標〕TAG2690、K-PURE〔注冊商標〕CXC1614、K-PURE 〔注冊商標〕CXC1738(以上為King Industries Inc?制），寸^工彳 KSI-lOOUf^工彳 K SI-180L(以上為三新化學工業(yè)(株）制）。這些熱產(chǎn)酸劑可以單獨使用，也可以組合2種以上 使用。
[0051] 本發(fā)明的樹脂組合物中的（B)成分的含量，以該樹脂組合物的固體成分中的含量 計，通常為0.1質量％~20質量％。
[0052] 對本發(fā)明的樹脂組合物的調制方法不特別限定，可舉出例如，將作為(A)成分的共 聚物溶解于溶劑中，向該溶液中以規(guī)定的比例混合作為(B)成分的熱產(chǎn)酸劑，使其為均勻的 溶液的方法。進一步可舉出，在該調制方法的適當?shù)碾A段，根據(jù)需要進一步添加其他添加劑 并混合的方法。
[0053]作為前述溶劑，只要是溶解上述(A)成分、（B)成分的溶劑就不特別限定。作為那樣 的溶劑，可舉出例如，乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙 酸酯、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、丙二醇、丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚乙 酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、丙二醇單丁基醚、丙二醇單丁基醚乙酸酯、甲苯、二甲苯、甲基 乙基酮、環(huán)戊酮、環(huán)己酮、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羥基 乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸 甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、2-庚酮、 T _丁內(nèi)酯。這些溶劑可以單獨使用，也可以組合2種以上使用。
[0054]這些溶劑中，從提高將本發(fā)明的樹脂組合物涂布于基板上而形成的涂膜的流平性 的觀點出發(fā)，優(yōu)選丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯、2-庚酮、乳酸乙酯、乳酸丁酯和 環(huán)己酮。
[0055]此外，為了提高涂布性，本發(fā)明的樹脂組合物還可以含有表面活性劑。作為該表面 活性劑，可舉出例如，聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯鯨蠟基醚、聚氧乙烯 油基醚等聚氧乙烯烷基醚類、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚等聚氧乙烯烷基 芳基醚類、聚氧乙烯-聚氧丙烯嵌段共聚物類、失水山梨糖醇單月桂酸酯、失水山梨糖醇單 棕櫚酸酯、失水山梨糖醇單硬脂酸酯、失水山梨糖醇單油酸酯、失水山梨糖醇三油酸酯、失 水山梨糖醇三硬脂酸酯等失水山梨糖醇脂肪酸酯類、聚氧乙烯失水山梨糖醇單月桂酸酯、 聚氧乙烯失水山梨糖醇單棕櫚酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇單硬脂酸酯、聚氧乙烯失水山 梨糖醇三油酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇三硬脂酸酯等聚氧乙烯失水山梨糖醇脂肪酸酯類 等非離子系表面活性劑、工7 〔注冊商標〕EF301、工7 hv7°EF303、工7 b/7°EF352 (以上 為三菱7少電子化成（株）制）、^力' 7 7 〔注冊商標〕F-171、^力' 7 r F-173、夕 力'7 7 R-30、^ 力'7 7R-40、^ 力'7 7R-40_LM(以上為DIC(株）制）、7 口歹一 K FC430、7 口歹一 K FC431 (以上為住友只U-工厶（株）制）、7 f'匕力'一 K〔注冊商標〕AG710、 f 一7 口 ^〔注冊商標〕S-382、f 一7 口 ^SC101、f 一7 口 ^SC102、f 一7 口 ^SC103、f 一7 口 ^SC104、f 一7 口 ^SC105、f 一7 口 ^SC106(旭硝子（株）制）、卩丁父-2060、卩丁父_ 212D、FTX-218、FTX-220D、FTX-230D、FTX-240D、FTX-212P、FTX-2 20P、FTX-228P、FTX-240G等 7夕一^二乂卜系列（（株）專才只制）等氟系表面活性劑、有機硅氧烷聚合物KP341(信越化 學工業(yè)(株)制）。這些表面活性劑可以單獨使用，也可以組合2種以上使用。
[0056] 此外，在使用前述表面活性劑的情況下，在本發(fā)明的樹脂組合物中的含量，以該樹 脂組合物的固體成分中的含量計為3質量％以下，優(yōu)選為1質量％以下，更優(yōu)選為0.5質量％ 以下。
[0057] 此外，本發(fā)明的樹脂組合物，只要不損害本發(fā)明的效果，可以根據(jù)需要包含交聯(lián) 劑、固化助劑、紫外線吸收劑、敏化劑、增塑劑、抗氧化劑、粘接助劑等添加劑。
[0058]以下，對本發(fā)明的樹脂組合物的使用例進行說明。
[0059] 在基板{例如，由氧化硅膜被覆的硅等半導體基板、由氮化硅膜或氮氧化硅膜被覆 的硅等半導體基板、形成有濾色器的硅等半導體基板、氮化硅基板、石英基板、玻璃基板(包 含無堿玻璃、低堿玻璃、結晶化玻璃）、形成有IT0膜的玻璃基板}上，利用旋轉器、涂布機等 適當?shù)耐坎挤椒ㄍ坎急景l(fā)明的樹脂組合物，然后使用加熱板等加熱手段進行烘烤并使其固 化，從而形成平坦化膜或微透鏡用樹脂膜。
[0060] 烘烤條件從烘烤溫度80°C~300 °C、烘烤時間0.3分鐘~60分鐘之中進行適當選 擇。此外，也可以以上述溫度范圍內(nèi)的不同烘烤溫度進行2步驟以上處理。在本發(fā)明的樹脂 組合物的情況下，可以以小于200°C的烘烤溫度形成所期望的樹脂膜。
[0061 ]此外，作為由本發(fā)明的樹脂組合物形成的樹脂膜的膜厚，為0.005M1~5. Own，優(yōu)選 為0?Olym~3?Oym。
[0062]然后，在由本發(fā)明的樹脂組合物形成的微透鏡用樹脂膜上涂布抗蝕劑溶液，通過 規(guī)定的掩模進行曝光，根據(jù)需要進行曝光后加熱(PEB)，進行堿性顯影、沖洗和干燥，從而形 成規(guī)定的抗蝕劑圖案。曝光可以使用例如，g射線、i射線、KrF準分子激光、ArF準分子激光。 [0063] 接著，通過進行加熱處理(通常為不超過200°C的溫度），使上述抗蝕劑圖案回流而 形成透鏡圖案。以該透鏡圖案為蝕刻掩模，將下層的微透鏡用樹脂膜進行回蝕，將透鏡圖案 形狀轉印到微透鏡用樹脂膜，從而制作微透鏡。
[0064] 實施例
[0065]以下基于實施例更詳細地說明本發(fā)明，但本發(fā)明不受這些實施例限定。
[0066]〔由下述合成例獲得的共聚物的重均分子量的測定〕
[0067]裝置：日本分光(株)制GPC系統(tǒng)
[0068] 柱：Shodex〔注冊商標〕KF-804L 和 KF-803L
[0069] 柱溫箱:40°C [0070] 流量：lmL/分鐘 [0071]洗脫液：四氫呋喃 [0072][共聚物的合成]
[0073]〈合成例1>
[0074] 使3,4_環(huán)氧環(huán)己基甲基甲基丙烯酸酯（甘彳夕口7 -〔注冊商標〕M100((株）夕''彳 七少制））19.78、乙氧基化鄰苯基苯酚丙烯酸酯(疆工只于少〔注冊商標儀-1^^10(新中村 化學工業(yè)（株）制））40.0g以及2,2'-偶氮二異丁腈1.68溶解于丙二醇單甲基醚乙酸酯 114. Og中，然后將該溶液歷時3小時滴加到將丙二醇單甲基醚乙酸酯70.2g保持在70°C的燒 瓶中。滴加結束后，通過使其反應15小時，從而獲得具有前述式（1)所表示的結構單元和前 述式(2)所表示的結構單元的共聚物的溶液（固體成分濃度為25質量％)。所得的共聚物的 重均分子量Mw為32,000(聚苯乙烯換算）。
[0075]〈合成例2>
[0076] 使3,4_環(huán)氧環(huán)己基甲基甲基丙烯酸酯20.0g、4_乙烯基聯(lián)苯ll.Og以及2,2'_偶氮 二異丁腈〇.64g溶解于丙二醇單甲基醚乙酸酯43.9g中，然后將該溶液歷時3小時滴加到將 丙二醇單甲基醚乙酸酯27. Og保持在70 °C的燒瓶中。滴加結束后，通過使其反應15小時，從 而獲得具有前述式（1)所表示的結構單元和前述式(3)所表示的結構單元的共聚物的溶液 (固體成分濃度為25質量％)。所得的共聚物的重均分子量Mw為17,000(聚苯乙烯換算）。 [0077]〈合成例3>
[0078]使甲基丙烯酸縮水甘油酯6.5g、l_正丁氧基乙基甲基丙烯酸酯8.5g、苯乙烯38.Og 以及2,2'_偶氮二異丁腈2.3g溶解于丙二醇單甲基醚乙酸酯103.Og中，然后將該溶液歷時4 小時滴加到將丙二醇單甲基醚乙酸酯26.0g保持在75°C的燒瓶中。滴加結束后，通過使其反 應18小時，從而獲得不具有前述式(2)所表示的結構單元和前述式(3)所表示的結構單元的 任一種的共聚物的溶液（固體成分濃度為30質量％)。所得的共聚物的重均分子量Mw為14， 000(聚苯乙烯換算）。
[0079][樹脂組合物的調制]
[0080] 〈實施例1>
[0081] 使由合成例1獲得的作為(A)成分的共聚物的溶液10.0g(包含固體成分2.5g)、作 為(B)成分的熱產(chǎn)酸劑K-PURE〔注冊商標〕TAG2689(KingIndustries Inc.制）0.04g以及作 為表面活性劑的 > 力'〔注冊商標〕R-30(DIC(株)制）0.003g溶解于丙二醇單甲基醚 乙酸酯7.5g中，制成溶液。然后，使用孔徑0. lOwii的聚乙烯制微型過濾器進行過濾來調制樹 脂組合物。
[0082] 〈實施例2>
[0083]使由合成例2獲得的作為(A)成分的共聚物的溶液10.0g(包含固體成分2.5g)、作 為(B)成分的熱產(chǎn)酸劑K-PURE〔注冊商標〕TAG2689(KingIndustries Inc.制）0.04g以及作 為表面活性劑的 > 力'〔注冊商標〕R-30(DIC(株)制）0.003g溶解于丙二醇單甲基醚 乙酸酯7.5g中，制成溶液。然后，使用孔徑0. lOwii的聚乙烯制微型過濾器進行過濾來調制樹 脂組合物。
[0084] 〈比較例1>
[0085] 使由合成例1獲得的作為(A)成分的共聚物的溶液10.0g(包含固體成分2.5g)以及 作為表面活性劑的 > 力'〔注冊商標〕R-30(DIC(株)制）0.003g溶解于丙二醇單甲基 醚乙酸酯7.5g中，制成溶液。然后，使用孔徑O.lOwii的聚乙烯制微型過濾器進行過濾來調制 樹脂組合物。
[0086] 〈比較例2>
[0087]使由合成例3獲得的作為(A)成分的共聚物的溶液10.0g(包含固體成分3.0g)以及 作為表面活性劑的 > 力'〔注冊商標〕R-30(DIC(株)制）0.003g溶解于丙二醇單甲基 醚乙酸酯11.Og中，制成溶液。然后，使用孔徑0.10M1的聚乙烯制微型過濾器進行過濾來調 制樹脂組合物。
[0088][耐溶劑性試驗]
[0089] 分別將由實施例1、實施例2、比較例1以及比較例2調制的樹脂組合物，使用旋轉涂 布機涂布在硅晶片上，在加熱板上以l〇〇°C進行1分鐘烘烤，進而以140°C進行10分鐘烘烤， 形成膜厚〇.6wii的樹脂膜。對于這些樹脂膜，進行在丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚乙酸 酯、環(huán)己酮、乳酸乙酯、乙酸丁酯、丙酮、y-丁內(nèi)酯、甲基乙基酮、2-庚酮、2-丙醇以及2.38質 量％濃度的氫氧化四甲基銨(TMAH)水溶液中，分別在23°C的溫度條件下進行5分鐘浸漬的 試驗。測定浸漬前后膜厚變化，將即使在上述浸漬溶劑中的一種溶劑中，相對于浸漬前的膜 厚有5%以上的膜厚增減的情況設為"X"，將對于所有溶劑膜厚增減小于5%的情況設為 "〇"來評價耐溶劑性。將評價結果示于表1中。
[0090] [透射率測定]
[0091 ]分別將由實施例1和實施例2調制的樹脂組合物，使用旋轉涂布機涂布在石英基板 上，在加熱板上以l〇〇°C進行1分鐘烘烤，進而以140°C進行10分鐘烘烤，形成膜厚0.6M1的樹 脂膜。對于這些樹脂膜，使用紫外線可見光分光光度計UV-2550((株)島津制作所制），測定 波長400nm的透射率。將評價結果示于表1中。
[0092][保存穩(wěn)定性]
[0093]分別將由實施例1和實施例2剛剛調制的樹脂組合物，使用旋轉涂布機涂布在硅晶 片上，在加熱板上以l〇〇°C進行1分鐘烘烤，進而以140°C進行10分鐘烘烤，從而形成樹脂膜， 使用光干涉式膜厚測定裝置歹么夕''工一'VM_2110(大日本只夕!；一^制造(株）制）來測定 這些樹脂膜的膜厚。進而，將相同的樹脂組合物在35°C (加速試驗)保存1個月，測定由保存 后的樹脂組合物通過同樣的方法所形成的樹脂膜的膜厚。與由剛剛調制的樹脂組合物所形 成的樹脂膜的膜厚比較，將膜厚變化小于10%的情況設為"〇"，將膜厚變化為10%以上的 情況設為"X"。將評價結果示于表1中。
[0094][高低差平坦化性]
[0095] 分別將由實施例1和實施例2調制的樹脂組合物，使用旋轉涂布機涂布在高度0.3y m、線寬1 Oym、線間間隔1 Oym的高低差基板（參照圖1)上，在加熱板上以100 °C進行1分鐘烘 烤，進而以140°C進行10分鐘烘烤，從而形成膜厚0.6wii的樹脂膜。由圖1中所示的hl(高低差 基板1的高低差)與h2(樹脂膜2的高低差，即線上的樹脂膜的高度與間隔上的樹脂膜的高度 的高低差），使用"式：（1_(112/1 11))\100"求出平坦化率。將評價結果示于表1中。
[0096] [表1]
[0097] 表 1
[0099] 由表1的結果來看，由本發(fā)明的樹脂組合物形成的樹脂膜為高耐溶劑性，同時為高 透明性。進而可知，本發(fā)明的樹脂組合物保存穩(wěn)定性優(yōu)異。進而，由本發(fā)明的樹脂組合物形 成的樹脂膜均具有平坦化率50%以上的高低差平坦化性，其中，關于由實施例1調制的樹脂 組合物所形成的樹脂膜，具有平坦化率80%以上的優(yōu)異的高低差平坦化性。另一方面，關于 由比較例1調制的樹脂組合物所形成的樹脂膜，由于不含有熱產(chǎn)酸劑，因此結果不滿足耐溶 劑性，可知不適合平坦化膜和微透鏡用樹脂膜中的任一種，關于由比較例2調制的樹脂組合 物所形成的樹脂膜，由于其在小于200°C的烘烤溫度下形成，因此結果不滿足耐溶劑性，可 知不適合平坦化膜和微透鏡用樹脂膜中的任一種。
【附圖說明】
[0100] 圖1是表示在高低差基板上涂布本發(fā)明的樹脂組合物，進行烘烤而形成的樹脂膜 的示意圖。
[0101] 符號說明
[0102] 1:高低差基板
[0103] 2:樹脂膜
[0104] 3:線寬
[0105] 4:線間間隔
[0106] hi:高低差基板的高低差
[0107] h2:樹脂膜的高低差。
【主權項】
1. 一種平坦化膜用或微透鏡用樹脂組合物，其含有(A)成分、（B)成分和溶劑， (A) 成分:具有下述式（1)所表示的結構單元、且進一步具有下述式(2)或式(3)所表示 的結構單元的共聚物， (B) 成分:熱產(chǎn)酸劑，式中，Rt3分別獨立地表示氫原子或甲基，R1表示單鍵或碳原子數(shù)為1~5的亞烷基，該亞 烷基中可以具有醚鍵，R2表示環(huán)氧基、或具有環(huán)氧環(huán)的碳原子數(shù)為5~12的有機基團，R3表示 碳原子數(shù)為1~3的亞烷基，η表示O~5的整數(shù)。2. 根據(jù)權利要求1所述的平坦化膜用或微透鏡用樹脂組合物，所述式（1)所表示的結構 單元是下述式(1-1)所表示的結構單元，式中，Rt3表示氫原子或甲基，R1表示單鍵或碳原子數(shù)為1~5的亞烷基。3. 根據(jù)權利要求1或2所述的平坦化膜用或微透鏡用樹脂組合物，所述共聚物進一步具 有下述式(4)所表示的結構單元，式中，X表示環(huán)己基或苯基。4. 根據(jù)權利要求1~3中任一項所述的平坦化膜用或微透鏡用樹脂組合物，所述共聚物 的重均分子量為1，〇〇〇~50,000。5. 根據(jù)權利要求1~4中任一項所述的平坦化膜用或微透鏡用樹脂組合物，以從所述樹 脂組合物中除去所述溶劑而得的固體成分中的含量計，所述樹脂組合物包含0.1質量％~ 20質量％的所述熱產(chǎn)酸劑。6. -種平坦化膜，其是由權利要求1~5中任一項所述的樹脂組合物制作的。7. -種微透鏡，其是由權利要求1~5中任一項所述的樹脂組合物制作的。
【文檔編號】G02B3/00GK105934693SQ201480074016
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2014年12月26日
【發(fā)明人】安達勛, 坂口崇洋
【申請人】日產(chǎn)化學工業(yè)株式會社