本實用新型涉及一種模具,尤其是涉及一種壓靶模具。
背景技術(shù):
使用脈沖激光沉積、磁控濺射等設(shè)備制備氧化物、陶瓷薄膜的時候都需要靶材。一般來說,氧化物、陶瓷靶材是通過粉末壓制而成。壓靶模具就是將粉末壓制成靶材的常用工具。在工業(yè)化生產(chǎn)靶材的時候,靶材的厚度要求是一定的,如何保證壓制靶材的厚度均勻性是關(guān)鍵問題。
為了實現(xiàn)上述目的,人們對壓靶模具進行了很多的研究和改進。其中公開號為CN 201320322140.1的中國專利公開了一種帶有刻度的壓靶模具,上模具桿的一端固定連接在模具把上,上模具桿遠(yuǎn)離模具把的一端固定連接在上模具的中心位置,并且上模具和下模具均安裝在模具套的中心孔內(nèi),其特征在于:上模具的上模具桿上安裝有刻度尺,所以在使用壓靶模具的時候就可以得到具有相同厚度的靶材。但是,在使用上述壓靶模具時,工作人員必須仔細(xì)觀察刻度尺,以保證每次的壓制都達(dá)到統(tǒng)一刻度,從而給工作人員帶來較大的工作量。此外,使用上述模具時,需要通過肉眼來觀察刻度尺,這樣就會有出現(xiàn)誤差甚至錯誤的情況產(chǎn)生。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
本實用新型意在提供一種壓靶模具,以降低靶材生產(chǎn)過程中出現(xiàn)的誤差。
為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供一種壓靶模具,包括模具套、上模具、下模具、上模具桿和模具把,所述上模具桿的一端固定連接在上模具的上表面中央,所述模具把下表面與數(shù)個中空的定位筒連接,所述定位筒壁上設(shè)有多個鎖孔,鎖孔在定位筒壁上沿縱向分布,每相鄰兩個鎖孔的間隔距離相同,所述定位筒內(nèi)滑動連接著一個定位桿,所述定位桿上設(shè)有沿徑向的定位孔,所述定位孔與所述鎖孔通過螺栓固定連接,所述定位桿遠(yuǎn)離所述模具把的一端固定連接著擋塊,所述擋塊與所述模具套的側(cè)壁頂端相抵。
上述技術(shù)方案的特點是:由于定位筒壁上有距離相同的數(shù)個鎖孔,通過螺栓將定位孔與不同的鎖孔連接,就能制得不同厚度的靶材。又因為定位桿下端固定連接著擋塊,所以在壓制過程中,上模具桿向下運動就能帶動擋塊向下運動,直到擋塊與模具套的側(cè)壁頂端相抵。因此,在使用本實用新型提供的壓靶模具時,只需要人工將定位孔與不同的鎖孔連接,之后就能夠保證制得的靶材具有相同的厚度。由于在生產(chǎn)靶材的過程中,不需要工作人員隨時關(guān)注刻度尺的讀數(shù),從而能夠減少工作人員的工作量。此外,本方案相比現(xiàn)有技術(shù)減少了肉眼的觀察,因此,本實用新型提供的壓靶模具能夠有效地降低生產(chǎn)過程中出現(xiàn)的誤差。
以下是上述方案的優(yōu)選方案:
優(yōu)選方案一:所述定位筒有2個,兩個所述定位筒關(guān)于所述上模具桿的中軸對稱。通過使用關(guān)于上模具桿中軸對稱的兩個定位筒,能夠保證在壓制過程中限位更加穩(wěn)定,不會出現(xiàn)由于模具把一端的擋塊與模具套相抵,從而造成另一端傾斜的情況。
優(yōu)選方案二:所述定位筒與所述模具把下表面可拆卸連接。通過定位筒與模具把的可拆卸連接,可以使定位筒的更換和維護更加方便。此外,還可以通過更換具有不同鎖孔間距的定位筒,制得之前定位筒不能壓制的厚度的靶材。
附圖說明
圖1為本實用新型實施例的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為本實用新型限位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面通過具體實施方式對本實用新型作進一步詳細(xì)的說明:
說明書附圖中的附圖標(biāo)記包括:模具套1、下模具2、上模具3、上模具桿4、模具把5、定位筒6、定位桿7、擋塊8、鎖孔9、定位孔10、螺栓11。
實施例如圖1和圖2所示:上模具3與下模具2套接在模具套1內(nèi),并且能夠在模具套1中滑動。上模具3與模具把5通過上模具桿4連接在一起。兩個定位筒6均通過螺栓與模具把5的下表面可拆卸連接,并且兩個定位筒6關(guān)于上模具桿4的中軸對稱。定位筒6側(cè)壁上縱向設(shè)有5個鎖孔9,每相鄰兩個鎖孔9間的距離為1厘米。定位桿7的一端與擋塊8固定連接,定位桿7上沿徑向設(shè)有一個定位孔10。定位桿7滑動連接在定位筒6內(nèi)。
使用時,將定位桿7上的定位孔10與定位筒6上某一鎖孔9對齊,并且用螺栓11鎖緊。當(dāng)定位孔10與定位筒6上最上面的鎖孔9鎖緊時,上模具3能夠向下移動到剛好與下模具2相抵。定位孔10每向下移動1厘米,壓制出來的靶材厚度增加1厘米。
此外,由于定位筒6與模具把5之間通過螺栓連接,所以可以根據(jù)實際情況更換具有不同鎖孔9間距的定位筒6,從而制得之前定位筒6不能壓制的厚度的靶材。
以上所述的僅是本實用新型的實施例,方案中公知的具體結(jié)構(gòu)和/或特性等常識在此未作過多描述。應(yīng)當(dāng)指出,對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,在不脫離本實用新型結(jié)構(gòu)的前提下,還可以作出若干變形和改進,這些也應(yīng)該視為本實用新型的保護范圍,這些都不會影響本實用新型實施的效果和專利的實用性。本申請要求的保護范圍應(yīng)當(dāng)以其權(quán)利要求的內(nèi)容為準(zhǔn),說明書中的具體實施方式等記載可以用于解釋權(quán)利要求的內(nèi)容。