本實用新型涉及單晶硅技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體是指一種自動化單晶硅切片機(jī)。
背景技術(shù):
單晶硅片是一種具有基本完整的點陣結(jié)構(gòu)的晶體,不同的方向具有不同的性質(zhì),是一種良好的半導(dǎo)材料,廣泛用于制造半導(dǎo)體器件、太陽能電池等,而單晶硅片則是通過切片機(jī)有序的從硅棒上加工出來。
目前市場上出現(xiàn)了很多種單晶硅切片機(jī),然而,現(xiàn)有技術(shù)中的切片機(jī)普遍存在如下問題:
(1)在切割的時候會產(chǎn)生大量的硅片霧,如果這些霧不排出去的話,被人吸入之后會對人體造成損害,而且還會使得切片機(jī)上覆蓋上一層硅粉,導(dǎo)致散熱出現(xiàn)問題,使得機(jī)器損害,而一般的單晶硅切片機(jī)的排霧系統(tǒng)都是靠手動去操作開關(guān)的,這樣容易出現(xiàn)當(dāng)打開機(jī)器以后,由于不能及時的打開排霧系統(tǒng),導(dǎo)致出現(xiàn)生產(chǎn)安全事故,或是提早打開了排霧系統(tǒng),浪費資源不說,而且也可能會出現(xiàn)一些故障;
(2)目前的單晶硅片生產(chǎn)無法實現(xiàn)自動化,必需要有操作工人一直站在機(jī)器旁操作,進(jìn)行取料和上料,并實時觀察單晶硅的切片狀況。這樣會造成人力物力的損失,不利于單晶硅的大規(guī)模生產(chǎn),并且由于切割時產(chǎn)生大量的硅片霧,對于操作工人的身體健康也有一定的無法避免的損害。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
本實用新型的目的是克服了上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點,提供了一種能夠?qū)崿F(xiàn)全自動化生產(chǎn)、實時監(jiān)控切片機(jī)工作、在切割時自動打開排霧系統(tǒng)、結(jié)構(gòu)簡單、應(yīng)用方便、具有更廣泛應(yīng)用范圍的自動化單晶硅切片機(jī)。
為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型具有如下構(gòu)成:
該自動化單晶硅切片機(jī),其主要特點是,所述的切片機(jī)包括上料機(jī)械手、切割平臺、切割刀架、攝像裝置、下料機(jī)械手、輸送帶和控制器,所述的上料機(jī)械手、下料機(jī)械手、切割刀架、攝像裝置和輸送帶均與所述的控制器相連接,所述的攝像裝置的攝像頭對準(zhǔn)所述的上料機(jī)械手、切割平臺和輸送平臺,所述的切割平臺在所述的上料機(jī)械手的移動范圍內(nèi),所述的輸送帶和切割平臺均在所述的下料機(jī)械手的移動范圍內(nèi),所述的輸送帶連接至切割平臺的一端。
較佳地,所述的攝像裝置包括三個攝像機(jī),所述的三個攝像機(jī)的攝像頭分別對準(zhǔn)所述的上料機(jī)械手、切割平臺和輸送平臺。
較佳地,所述的輸送帶的下端設(shè)置有重量傳感器,所述的重量傳感器與所述的控制器相連接。
較佳地,所述的控制器同時與一遠(yuǎn)程控制設(shè)備和一存儲設(shè)備相連接。
較佳地,所述的控制器上設(shè)置有顯示屏幕和輸入鍵盤,所述的輸入鍵盤包括九宮格輸入?yún)^(qū)域和一鍵求助按鈕。
較佳地,所述的切片機(jī)上還設(shè)置有排霧設(shè)備,所述的排霧設(shè)備包括排霧風(fēng)扇和排霧管,所述的排霧管設(shè)置于所述的切片機(jī)的上方,所述的排霧風(fēng)扇設(shè)置于所述的排霧管的一端。
更佳地,所述的排霧管為塑料排霧管。
較佳地,所述的控制器還連接有一報警設(shè)備。
更佳地,所述的報警設(shè)備為聲光報警器。
采用了該實用新型中的自動化單晶硅切片機(jī),具有如下有益效果:
(1)通過設(shè)置上料機(jī)械手、下料機(jī)械手和輸送帶,實現(xiàn)了自動上料、切割、下料和傳送的過程,從而實現(xiàn)了單晶硅切片的全自動化過程,應(yīng)用十分方便,無需工作人員站在切片機(jī)旁邊一直操作,節(jié)省了人力物力;
(2)設(shè)置攝像裝置對整個切片過程進(jìn)行監(jiān)控,通過遠(yuǎn)程控制設(shè)備可以查看實時的拍攝視頻,從而判斷過程中是否出現(xiàn)故障,也可以通過遠(yuǎn)程控制設(shè)備遠(yuǎn)程操控切片步驟;
(3)設(shè)置排霧設(shè)備,在切片開始時同步打開排霧設(shè)備,消除硅片霧;
(4)該單晶硅切片機(jī)整體結(jié)構(gòu)簡單,應(yīng)用方便,適用于大規(guī)模推廣應(yīng)用。
附圖說明
圖1為本實用新型的自動化單晶硅切片機(jī)的電路結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為了能夠更清楚地描述本實用新型的技術(shù)內(nèi)容,下面結(jié)合具體實施例來進(jìn)行進(jìn)一步的描述。
本實用新型提供了一種自動化單晶硅切片機(jī),所述的切片機(jī)包括上料機(jī)械手、切割平臺、切割刀架、攝像裝置、下料機(jī)械手、輸送帶和控制器,所述的上料機(jī)械手、下料機(jī)械手、切割刀架、攝像裝置和輸送帶均與所述的控制器相連接,所述的攝像裝置的攝像頭對準(zhǔn)所述的上料機(jī)械手、切割平臺和輸送平臺,所述的切割平臺在所述的上料機(jī)械手的移動范圍內(nèi),所述的輸送帶和切割平臺均在所述的下料機(jī)械手的移動范圍內(nèi),所述的輸送帶連接至切割平臺的一端。
在工作過程中,由控制器控制各個設(shè)備的工作過程,首先由上料機(jī)械手將整片的單晶硅放置到切割平臺上,切割刀具對切割平臺上的單晶硅進(jìn)行切割,切割完成后,下料機(jī)械手將切割后的單晶硅移動至輸送帶上,由輸送帶轉(zhuǎn)動輸出成品。在工作過程中,攝像裝置將監(jiān)測各個設(shè)備的工作狀態(tài),拍攝視頻并發(fā)送至控制器。
在一種較佳的實施方式中,所述的攝像裝置包括三個攝像機(jī),所述的三個攝像機(jī)的攝像頭分別對準(zhǔn)所述的上料機(jī)械手、切割平臺和輸送平臺。
在一種較佳的實施方式中,所述的輸送帶的下端設(shè)置有重量傳感器,所述的重量傳感器與所述的控制器相連接。當(dāng)重量傳感器檢測到輸送帶上放置有單晶硅時,發(fā)送至控制器,控制器將發(fā)送使能信號至輸送帶,使輸送帶開始轉(zhuǎn)動。
在一種較佳的實施方式中,所述的控制器同時與一遠(yuǎn)程控制設(shè)備和一存儲設(shè)備相連接。
這樣,工作人員可以通過遠(yuǎn)程控制設(shè)備對整個工作過程進(jìn)行監(jiān)控和控制,可以查看攝像裝置拍攝的實時視頻,也可以遠(yuǎn)程控制各個過程的開始和結(jié)束。存儲設(shè)備可以將拍攝視頻存儲起來,便于日后查看。
在一種較佳的實施方式中,所述的控制器上設(shè)置有顯示屏幕和輸入鍵盤,所述的輸入鍵盤包括九宮格輸入?yún)^(qū)域和一鍵求助按鈕。
在一種較佳的實施方式中,所述的切片機(jī)上還設(shè)置有排霧設(shè)備,所述的排霧設(shè)備包括排霧風(fēng)扇和排霧管,所述的排霧管設(shè)置于所述的切片機(jī)的上方,所述的排霧風(fēng)扇設(shè)置于所述的排霧管的一端。
在切割開始時,控制器會同步開啟排霧風(fēng)扇,排出硅片霧。
在一種更佳的實施方式中,所述的排霧管為塑料排霧管。
在一種較佳的實施方式中,所述的控制器還連接有一報警設(shè)備。在某個部件出現(xiàn)故障時,可以通過報警設(shè)備進(jìn)行報警。
在一種更佳的實施方式中,所述的報警設(shè)備為聲光報警器。在實際應(yīng)用中,報警設(shè)備不僅限于聲光報警器,也可以采用其他現(xiàn)有技術(shù)中的合適的報警設(shè)備,均屬于本實用新型的保護(hù)范圍。
本實用新型的自動化單晶硅切片機(jī)的技術(shù)方案中,其中所包括的各個功能設(shè)備和模塊裝置均能夠?qū)?yīng)于實際的具體硬件電路結(jié)構(gòu),因此這些模塊和單元僅利用硬件電路結(jié)構(gòu)就可以實現(xiàn),不需要輔助以特定的控制軟件即可以自動實現(xiàn)相應(yīng)功能。
采用了該實用新型中的自動化單晶硅切片機(jī),具有如下有益效果:
(1)通過設(shè)置上料機(jī)械手、下料機(jī)械手和輸送帶,實現(xiàn)了自動上料、切割、下料和傳送的過程,從而實現(xiàn)了單晶硅切片的全自動化過程,應(yīng)用十分方便,無需工作人員站在切片機(jī)旁邊一直操作,節(jié)省了人力物力;
(2)設(shè)置攝像裝置對整個切片過程進(jìn)行監(jiān)控,通過遠(yuǎn)程控制設(shè)備可以查看實時的拍攝視頻,從而判斷過程中是否出現(xiàn)故障,也可以通過遠(yuǎn)程控制設(shè)備遠(yuǎn)程操控切片步驟;
(3)設(shè)置排霧設(shè)備,在切片開始時同步打開排霧設(shè)備,消除硅片霧;
(4)該單晶硅切片機(jī)整體結(jié)構(gòu)簡單,應(yīng)用方便,適用于大規(guī)模推廣應(yīng)用。
在此說明書中,本實用新型已參照其特定的實施例作了描述。但是,很顯然仍可以作出各種修改和變換而不背離本實用新型的精神和范圍。因此,說明書和附圖應(yīng)被認(rèn)為是說明性的而非限制性的。