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自動化單晶硅切片機的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12679227

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本實用新型涉及單晶硅技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體是指一種自動化單晶硅切片機。背景技術(shù)單晶硅片是一種具有基本完整的點陣結(jié)構(gòu)的晶體,不同的方向具有不同的性質(zhì),是一種良好的半導材料,廣泛用于制造半導體器件、太陽能電池等,而單晶硅片則是通過切片機有序的從硅棒上加工出來。目前市場上出現(xiàn)了很多種單晶硅切片機,然而,現(xiàn)有技術(shù)中的切片機普遍存在如下問題:(1)在切割的時候會產(chǎn)生大量的硅片霧,如果這些霧不排出去的話,被人吸入之后會對人體造成損害,而且還會使得切片機上覆蓋上一層硅粉,導致散熱出現(xiàn)問...
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