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一種可高效調(diào)試的U型腔激光器及其調(diào)試方法與流程

文檔序號:11204134閱讀:605來源:國知局
一種可高效調(diào)試的U型腔激光器及其調(diào)試方法與流程

本發(fā)明涉及固體激光技術調(diào)試領域,特別涉及一種可高效調(diào)試的u型腔激光器及其調(diào)試方法。



背景技術:

諧振腔、工作介質(zhì)和泵浦源是產(chǎn)生激光的三個必要條件,激光諧振腔主要是由全反鏡、輸出鏡和工作介質(zhì)構成。激光u型腔在腔內(nèi)插入一些反射鏡折返光路,使腔長增加的同時還能控制諧振腔的體積,可以更好的利用激光器內(nèi)部空間。而u型腔腔內(nèi)的光學元件較多,光學元件存在偏差則會對諧振腔的光路造成影響,嚴重影響激光輸出的參數(shù)。現(xiàn)有的激光調(diào)試比較繁瑣且難度較大,整個激光諧振腔的調(diào)試效率極低。



技術實現(xiàn)要素:

發(fā)明目的:本發(fā)明提供的一種可高效調(diào)試的u型腔激光器及其調(diào)試方法,旨在解決現(xiàn)有激光調(diào)試繁瑣、難度大和效率低的問題。

技術方案:一種可高效調(diào)試的u型腔激光器,包括諧振腔、諧振腔內(nèi)的激光晶體、諧振腔兩端對稱設置的泵浦源和光學耦合系統(tǒng),諧振腔包括全反鏡和輸出鏡,還包括用于發(fā)出基準光調(diào)試諧振腔的激光調(diào)試裝置,其包括紅外激光器、pbs和1/4波片;諧振腔還包括兩個反射鏡,全反鏡、兩個反射鏡和輸出鏡構成u型折疊腔;激光調(diào)試裝置向諧振腔發(fā)射的基準光經(jīng)反射鏡反射至激光晶體后再經(jīng)反射鏡反射至全反鏡;諧振腔內(nèi)還有成對設置的小孔光闌,其用于調(diào)節(jié)諧振腔內(nèi)光路的準直;所述泵浦源發(fā)出的泵浦光經(jīng)光學耦合系統(tǒng)準直聚焦后經(jīng)過激光晶體中心。

優(yōu)選的,所述紅外激光器為1064nm紅外激光器。

優(yōu)選的,所述反射鏡為45°反射鏡。

優(yōu)選的,所述小孔光闌的直徑在0.1mm-2mm范圍內(nèi)可調(diào),且孔中心高度與光路高度一致。

優(yōu)選的,所述泵浦源為激光二極管。

本發(fā)明還提供一種如前述任意一項所述的可高效調(diào)試的u型腔激光器的調(diào)試方法,所述方法包括如下步驟:

步驟1:開啟并調(diào)節(jié)激光調(diào)試裝置,將激光調(diào)試裝置中的紅外激光器經(jīng)pbs和1/4波片發(fā)出的紅外激光設為基準光,并調(diào)試基準光發(fā)射至諧振腔;

步驟2:通過諧振腔成對的小孔光闌調(diào)節(jié)諧振腔內(nèi)反射光路的準直,使得基準光經(jīng)反射鏡反射至激光晶體后再經(jīng)反射鏡反射至全反鏡;

步驟3:調(diào)節(jié)激光晶體使其端面與基準光垂直;

步驟4:調(diào)節(jié)泵浦源發(fā)出的泵浦光和光學耦合系統(tǒng)使泵浦光與基準光重合;

步驟5:調(diào)節(jié)諧振腔內(nèi)的全反鏡,使基準光經(jīng)pbs的反射光與經(jīng)全反鏡的反射光重合;

步驟6:調(diào)節(jié)諧振腔內(nèi)的輸出鏡,使全反鏡的反射光與經(jīng)輸出鏡的反射光重合,完成調(diào)試。

有益效果:本發(fā)明利用紅外激光器、pbs和1/4波片組成激光調(diào)試裝置,使泵浦光與基準光重合,使經(jīng)過全反鏡和輸出鏡反射的基準光重合,保證了整個諧振腔的端面平行度,可以高效的調(diào)試激光u型腔,調(diào)試方法簡單、準確。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合附圖,對本發(fā)明的實施案例進行詳細的描述;

如圖1所示,本發(fā)明所述的可高效調(diào)試的u型腔激光器,包括諧振腔、激光調(diào)試裝置、諧振腔內(nèi)的激光晶體9、諧振腔兩端對稱設置的泵浦源16;21和光學耦合系統(tǒng)18;19,泵浦源16;21發(fā)出的泵浦光經(jīng)光學耦合系統(tǒng)18;19準直聚焦后經(jīng)過激光晶體9中心。泵浦源16;21優(yōu)選為激光二極管。泵浦源16;21與光學耦合系統(tǒng)18;19之間通過光纖17;20連接。

諧振腔包括全反鏡14、兩個反射鏡7;11、輸出鏡4,全反鏡14、兩個反射鏡7;11和輸出鏡4構成的u型折疊腔;諧振腔內(nèi)還有成對設置的小孔光闌5;6;8;10;12;13,其用于調(diào)節(jié)諧振腔內(nèi)光路的準直;具體為輸出鏡4與反射鏡7之間設置了小孔光闌5;6,反射鏡7與反射鏡11之間設置了小孔光闌8;10,反射鏡11與全反鏡14之間設置了小孔光闌12;13。反射鏡7;11優(yōu)選為45°反射鏡,小孔光闌5;6;8;10;12;13的直徑在0.1mm-2mm范圍內(nèi)可調(diào),且孔中心高度與光路高度一致。

用于發(fā)出基準光調(diào)試諧振腔的激光調(diào)試裝置,其包括紅外激光器1、pbs2和1/4波片3;紅外激光器1經(jīng)由pbs2和1/4波片3向諧振腔發(fā)射基準光,該基準光經(jīng)反射鏡7反射至激光晶體9后再經(jīng)反射鏡11反射至全反鏡14。紅外激光器1優(yōu)選為1064nm紅外激光器。

本發(fā)明所述的一種可高效調(diào)試的u型腔激光器的調(diào)試方法,該方法包括如下步驟:

步驟1:開啟并調(diào)節(jié)激光調(diào)試裝置,將激光調(diào)試裝置中的紅外激光器1經(jīng)pbs2和1/4波片3發(fā)出的紅外激光設為基準光,并調(diào)試基準光發(fā)射至諧振腔。

步驟2:通過諧振腔成對的小孔光闌5;6;8;10;12;13調(diào)節(jié)諧振腔內(nèi)反射光路的準直,使得基準光經(jīng)反射鏡7反射至激光晶體9后再經(jīng)反射鏡11反射至全反鏡14。使用小孔光闌5;6調(diào)節(jié)紅外激光器1在軸線方向上的準直,調(diào)節(jié)諧振腔光路中的反射鏡7,利用小孔光闌8;10,使反射鏡7反射的光通過兩光闌的中心,固定反射鏡7;調(diào)節(jié)諧振腔光路中的反射鏡11,利用小孔光闌12;13,使反射鏡11反射的光通過兩光闌的中心,固定反射鏡11。

步驟3:調(diào)節(jié)激光晶體9使其端面與基準光垂直,即基準光垂直與激光晶體9端面中心通過。

步驟4:調(diào)節(jié)泵浦源16;21發(fā)出的泵浦光和光學耦合系統(tǒng)18;19使泵浦光與基準光重合;

步驟5:調(diào)節(jié)諧振腔內(nèi)的全反鏡14,使基準光經(jīng)pbs2的反射光與經(jīng)全反鏡14的反射光重合,并利用ccd15來標定位置;

步驟6:調(diào)節(jié)諧振腔內(nèi)的輸出鏡4,使全反鏡14的反射光與經(jīng)輸出鏡4的反射光重合,并利用ccd15來標定位置,完成調(diào)試。

本發(fā)明用1064nm紅外激光器、pbs和1/4波片組成激光調(diào)試裝置,調(diào)節(jié)1064nm激光為基準光,使用成對的小孔光闌調(diào)節(jié)基準光準直;再使用成對的小孔光闌調(diào)節(jié)反射光路準直,調(diào)節(jié)激光晶體使其端面與基準光垂直;調(diào)節(jié)激光二極管和光學耦合系統(tǒng)使泵浦光與基準光重合;調(diào)節(jié)全反鏡,使基準光經(jīng)pbs的反射光與經(jīng)全反鏡的反射光重合;調(diào)節(jié)輸出鏡,使全反鏡的反射光與經(jīng)輸出鏡的反射光重合。本發(fā)明利用激光調(diào)試裝置使泵浦光與基準光重合,經(jīng)過全反鏡和輸出鏡反射的基準光重合,保證了整個諧振腔的端面平行度,可以高效的調(diào)試激光u型腔,調(diào)試方法簡單、準確。



技術特征:

技術總結
本發(fā)明公開了一種可高效調(diào)試的U型腔激光器及其調(diào)試方法,用1064nm紅外激光器、PBS和1/4波片組成激光調(diào)試裝置,調(diào)節(jié)1064nm激光為基準光,使用成對的小孔光闌調(diào)節(jié)基準光準直;再使用成對的小孔光闌調(diào)節(jié)反射光路準直,調(diào)節(jié)激光晶體使其端面與基準光垂直;調(diào)節(jié)激光二極管和光學耦合系統(tǒng)使泵浦光與基準光重合;調(diào)節(jié)全反鏡,使基準光經(jīng)PBS的反射光與經(jīng)全反鏡的反射光重合;調(diào)節(jié)輸出鏡,使全反鏡的反射光與經(jīng)輸出鏡的反射光重合。本發(fā)明利用激光調(diào)試裝置使泵浦光與基準光重合,經(jīng)過全反鏡和輸出鏡反射的基準光重合,保證了整個諧振腔的端面平行度,可以高效的調(diào)試激光U型腔,調(diào)試方法簡單、準確。

技術研發(fā)人員:王延成;周軍;于廣禮;任樹青;吳佳濱
受保護的技術使用者:南京先進激光技術研究院
技術研發(fā)日:2017.08.01
技術公布日:2017.09.29
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