專利名稱：排氣處理的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及防止管件被阻塞的裝置和方法。本發(fā)明在減少半導(dǎo)體或平板顯示器工業(yè)中所用的濕式洗滌器或其他設(shè)備的入口被堵塞方面尤為有用。
背景技術(shù)：
許多半導(dǎo)體工藝使用或者產(chǎn)生固態(tài)、可凝結(jié)或升華的化合物。例如，低壓化學(xué)氣相沉積氮化硅(LPCVD氮化物)工藝往往使用氯代硅烷(例如二氯硅烷或三氯硅烷)和氨水來產(chǎn)生均勻的氮化硅層，以使襯底絕緣。這些工藝往往產(chǎn)生非常厚的氮化硅膜，因此需要很長的沉積周期，通常3到8小時。結(jié)果，作為此工藝的副產(chǎn)品而產(chǎn)生很多粉末。這樣的副產(chǎn)品包括氯硅酸銨復(fù)合鹽，例如六氯硅酸銨，其在大氣壓下120℃時升華。
當(dāng)這些材料進(jìn)入濕式洗滌器的入口時它們冷卻，并且可能凝結(jié)并與從濕式洗滌器回流的水蒸氣反應(yīng)。例如，六氯硅酸銨可以形成襯墊濕式洗滌器入口的玻璃狀沉積。如果允許沉積積聚不中斷地持續(xù)，其可以完全阻塞入口，導(dǎo)致生產(chǎn)的故障時間和損失。例如，大多數(shù)工藝工具制造商(OEM)在離線狀態(tài)下機(jī)械清潔處理室，這允許固體沉積不中斷地積聚。

發(fā)明內(nèi)容
在第一方面，本發(fā)明提供了一種用于減小管道堵塞的裝置，所述裝置包括具有開口端的主體，該開口端適合于可拆卸地連接到所述管道的孔；可在所述主體內(nèi)相對于所述主體移動的軸；附裝到所述軸的一端上的刮擦裝置；用于往復(fù)移動所述軸以促動所述刮擦裝置進(jìn)入所述管道中來移除所述管道內(nèi)沉積的微粒和將所述刮擦裝置從所述管道撤回的設(shè)備；以及圍繞所述主體延伸、用于將加熱壓縮氣體注入所述主體中來阻止其中的微粒沉積的設(shè)備。
因此，本發(fā)明可以確保例如處理工具的排放和到濕式洗滌器或其他設(shè)備的入口之間的管道接口基本上保持免于受阻。這可以提高處理工具的可用性，減小維護(hù)和運(yùn)行成本。
優(yōu)選地在50到200℃范圍內(nèi)，最優(yōu)選地在80到120℃范圍內(nèi)的溫度下將熱凈化氣引入主體中，可以增大從濕式洗滌器回流的水蒸氣的分壓，由此減小在主體內(nèi)凝結(jié)的風(fēng)險。這是因為任何凝結(jié)的水蒸氣將形成冷點(diǎn)并促進(jìn)材料在主體內(nèi)的沉積。此外，刮擦裝置的外表面可以保持熱而干燥，并且可以在主體內(nèi)維持惰性氣氛。
原理上可以使用任何壓縮氣體。兩種通常可用的氣體是潔凈干燥的空氣(CDA)和氮?dú)?。氮?dú)馐莾?yōu)選的，因為其不會與管道中通常存在的化學(xué)物質(zhì)反應(yīng)，這與CDA中存在的氧氣不同；氧氣將與氫化硅反應(yīng)而形成固態(tài)沉積，例如硅烷、二氯硅烷和三氯硅烷。
優(yōu)選地，注入設(shè)備包括用于注入凈化氣到主體中的一個或多個孔，優(yōu)選地以最小化在主體內(nèi)形成渦流的風(fēng)險的方式；這樣的渦流可以促進(jìn)固體形成。
該裝置優(yōu)選地包括加熱設(shè)備，其圍繞所述主體延伸以將其中溫度維持在50到200℃的范圍內(nèi)，優(yōu)選地在80到150℃的范圍內(nèi)。這也可以有助于防止“冷指”進(jìn)入主體并加速沉積速率。
原理上機(jī)械刮刀可以是當(dāng)其在管道中移動時從管道壁移除微粒的任何機(jī)械裝置。但是，如果刮刀是剛性的，堅韌的沉積物可能使得刮刀變形并且損壞軸。所以，優(yōu)選的實施例是螺旋線圈，因為其先天的柔性和用于清除堅韌沉積物的多個表面。線圈可以采用任何方便的形式，雖然當(dāng)線圈在管道中移動時通過管道任何一部分的線圈數(shù)量越大，清除效率越高。例如，優(yōu)選實施例使用節(jié)距約18mm長度超過110mm的螺旋線圈。刮擦裝置優(yōu)選地由化學(xué)惰性而機(jī)械穩(wěn)定的固體材料形成，例如不銹鋼。
優(yōu)選地，移動設(shè)備包括附裝在軸的另一端上的活塞，活塞在缸內(nèi)可往復(fù)移動。大量的氣壓缸可從商業(yè)途徑獲得(例如，單向或雙向作用、有或沒有復(fù)位彈簧、有固定或旋轉(zhuǎn)軸)，這些全部都可以使用。優(yōu)選實施例使用具有旋轉(zhuǎn)軸、磁性活塞和減振端部止動器的雙向作用氣壓缸。沒有復(fù)位彈簧的雙向作用氣壓缸的優(yōu)點(diǎn)在于其可以被驅(qū)動到縮回位置中并且可以容易克服由進(jìn)入的處理氣體作用于刮刀上的力，在伸出或者縮回期間沒有力的損失并且旋轉(zhuǎn)的軸使得螺旋線圈能夠切穿非常硬的沉積物。
磁性活塞允許位置指示器(例如舌簧開關(guān))驗證缸的位置(伸出或者縮回)，并將此信息反饋回控制系統(tǒng)以確保裝置優(yōu)化地運(yùn)行。
設(shè)置氣壓減振端部止動器可以防止對驅(qū)動軸端部的損壞。驅(qū)動軸應(yīng)當(dāng)具有足夠的機(jī)械強(qiáng)度來防止彎曲或其他機(jī)械損壞。在優(yōu)選實施例中，使用實心12mm直徑的不銹鋼軸，雖然原理上軸可以由任何方便的尺寸或材料形成。
在優(yōu)選實施例中，驅(qū)動行程足以在刮刀的端部不被洗滌液變濕的情況下清潔入口管道的端部，并且至少基本上將刮擦裝置從經(jīng)過入口管道的氣流完全縮回。因此，當(dāng)軸處于完全縮回位置中時刮擦裝置優(yōu)選地至少部分(最優(yōu)選地充分)容納在主體內(nèi)。如果刮刀留在氣流中其可能用作管道阻塞的催化劑。例如，在本發(fā)明的不同實施例中使用120和250mm的行程。
氣壓的選擇是另一個重要因素。驅(qū)動器應(yīng)當(dāng)提供足夠的力來清除硬且頑固的沉積物而不會損壞其他精密部件。理論上任何正壓都可接受，例如0-10bar表壓，雖然在實踐中發(fā)現(xiàn)2-4bar表壓就足夠了。
在正常操作期間，當(dāng)刮刀移動到(較冷的)管道中時固體材料可能積聚在驅(qū)動軸上。此裝置因此優(yōu)選地包括在軸從管道撤回時防止沉積在軸上的微粒被抽入移動設(shè)備內(nèi)的設(shè)備。例如，此裝置包括用于在軸的移動期間從所述軸刮擦微粒的刮擦設(shè)備，如軸從其穿過的環(huán)形密封件。沒有額外的刮刀密封件，這些沉積物可能通過驅(qū)動器前端密封件被拖回。原理上可以使用任何密封材料；到目前我們已發(fā)現(xiàn)PEEKTM(聚醚醚酮)是在承受升高的運(yùn)行溫度的同時最小化軸磨損的最有效材料。
如上所述，此裝置在清潔到濕式洗滌器或其他清除裝置的入口管道方面尤為有用，并且因此在本發(fā)明的第二方面中提供了一種用于減小到濕式洗滌器的入口管道堵塞的裝置，所述裝置包括具有開口端的主體，該開口端適合于可拆卸地連接到所述入口管道的孔周圍；可在所述主體內(nèi)相對于所述主體移動的軸；附裝到所述軸的一端上的刮擦裝置；用于往復(fù)移動所述軸以促動所述刮擦裝置進(jìn)入所述入口管道中來移除所述管道內(nèi)沉積的微粒和將所述刮擦裝置從所述入口管道撤回的設(shè)備；以及圍繞所述主體延伸、用于將加熱壓縮氣體注入所述主體中來阻止其中的微粒沉積的設(shè)備。
在第三方面，本發(fā)明提供了一種減小管道堵塞的方法，所述方法包括將附件可拆卸地連接到所述管道的孔，所述附件包括主體、可在所述主體內(nèi)相對于所述主體移動的軸、和附裝到所述軸的一端上的刮擦裝置；往復(fù)移動所述軸以促動所述刮擦裝置進(jìn)入所述管道中來移除所述管道內(nèi)沉積的微粒并將所述刮擦裝置從所述管道撤回；以及將加熱壓縮氣體注入所述主體中來阻止其中的微粒沉積。
在第四方面，本發(fā)明提供了一種減小到濕式洗滌器的入口管道堵塞的方法，所述方法包括將附件可拆卸地連接到所述入口管道的孔，所述附件包括主體、可在所述主體內(nèi)相對于所述主體移動的軸、和附裝到所述軸的一端上的刮擦裝置；往復(fù)移動所述軸以促動所述刮擦裝置進(jìn)入所述入口管道中來移除所述管道內(nèi)沉積的微粒并將所述刮擦裝置從所述入口管道撤回；以及將加熱壓縮氣體注入所述主體中來阻止其中的微粒沉積。
結(jié)合本發(fā)明的裝置方面的上述特征可等效地應(yīng)用到本發(fā)明的方法方面，反之亦然。


現(xiàn)在將參照附圖描述本發(fā)明的優(yōu)選特征，其中圖1圖示了用于減少到濕式洗滌器的入口管道的堵塞的裝置示例的剖視圖；圖2圖示了用于移動圖1所示裝置的刮刀的氣壓缸的一個示例的剖視圖；和圖3圖示了用于移動圖1所示裝置的刮刀的氣壓缸的另一個示例的剖視圖。
具體實施例方式
如圖1所示，該裝置為附件10的形式，其連接到通向濕式洗滌器的入口管道14的法蘭端12，雖然附件10可以附裝到要求頻繁解除阻塞的任何其他管道的端部。附件10包括具有法蘭開口端18的套筒16，法蘭開口端18可通過任何適當(dāng)?shù)难b置連接到管道14的法蘭端12。例如，作為示例可以使用NW系統(tǒng)19，其包括具有O形環(huán)的中心環(huán)和將法蘭保持在一起的夾具。這樣的裝配可以提供套筒16相對于入口管道14的定向的完全控制?；蛘撸梢允褂靡粋€或多個螺栓將套筒16連接到入口管道14。入口管道14優(yōu)選地由在80到250℃范圍中(最優(yōu)選在120到170℃范圍中)具有高熱穩(wěn)定性的塑料材料形成。適當(dāng)?shù)牟牧习ǖ幌抻诰郾?、聚四氟乙烯、聚砜、聚醚砜、聚醚酰亞胺和聚二氟乙烯?br> 加熱器20圍繞套筒16的外部延伸以將套筒16內(nèi)的溫度通常維持在50到200℃的范圍內(nèi)，優(yōu)選地在80到150℃的范圍內(nèi)。
圓筒形法蘭裝配件22設(shè)置在套筒16的另一端。裝配件22設(shè)置有注口24，用于從氣源(未示出)接收通常以2到10slpm流率注入的熱壓縮凈化氣(例如氮?dú)饣蛘咔鍧嵏稍锏目諝?的流。氣體在50到200℃范圍內(nèi)(優(yōu)選地80到120℃范圍內(nèi))的溫度下被注入。注口24與圍繞裝配件22內(nèi)孔定位的螺旋通道26液連通。凈化氣在通道26的基部處被接收，并且在套筒的外側(cè)上盤繞通道26向上。在通道26的頂部，凈化氣通過在套筒16中形成的一個或多個孔28進(jìn)入套筒16。多個孔28可以圍繞套筒16在圓周上間隔開，雖然可以按照要求設(shè)置任何數(shù)量(即一個或多個)孔。
在套筒內(nèi)建立熱而干燥的惰性環(huán)境可以最小化套筒內(nèi)微粒沉積的可能性。氣體注入還增大從濕式洗滌器回流的任何水蒸氣的分壓，由此減少了在套筒內(nèi)凝結(jié)的風(fēng)險并且還防止套筒內(nèi)微粒的沉積。
由于穿過裝配件22中形成的通道26的凈化氣具有升高的溫度，裝配件22優(yōu)選地由PEEKTM(聚醚醚酮)形成，使得從凈化氣到裝配件的熱傳遞率較低。這減小了凈化氣的熱損失和裝配件22外表面的溫度。
裝配件22的孔接納可移動的不銹鋼驅(qū)動軸30。不銹鋼螺旋線圈形式的刮刀34附裝到軸30的一端32。例如，如圖1所示，線圈的一端可以被夾持在軸30的法蘭部分36和擰到軸30一端32上的螺母38之間。
軸30形成氣壓缸40的一部分，該氣壓缸40設(shè)置來使刮刀36相對于套筒16移動。缸40設(shè)置有法蘭端42，該法蘭端42設(shè)置有軸30穿過其的孔。缸40的法蘭端42通過任何適當(dāng)?shù)难b置附裝到裝配件22的法蘭端44。例如，作為示例可以使用NW系統(tǒng)45，其包括具有O形環(huán)的中心環(huán)和將法蘭保持在一起的夾具?；蛘?，可以使用一個或多個螺栓來將缸40連接到裝配件42。
熟知的是，氣壓缸40包括可在諸如室48中的壓縮空氣的壓力下在圓筒形室48內(nèi)移動的活塞46。驅(qū)動軸30的另一端連接到活塞46。在圖1和2所示的示例中，氣壓缸40是具有復(fù)位彈簧50的單向作用氣壓缸。壓縮空氣或氮?dú)獗蛔⑷胧?8中以促動活塞46克服彈簧50的力向下(作為示例)，并由此使得軸30移動以促動刮刀34朝向入口管道14。當(dāng)解除氣壓時，彈簧50促動活塞46回到復(fù)位位置，由此將軸30向上(作為示例)移動到圖1所示的縮回位置。在圖3所示的示例中，氣壓缸40a是雙向作用缸。進(jìn)入氣壓缸中的壓縮空氣或氮?dú)獗蛔⑷牖钊?6上(作為示例)側(cè)上的室48中以促動活塞46向下(作為示例)朝向入口管道14，并且壓縮空氣或氮?dú)獗蛔⑷牖钊喾磦?cè)上的室48以促動活塞離開入口管道14。
在氣壓缸40包括磁性活塞的情況下，例如如果使用雙向作用氣壓缸，圖1圖示了舌簧開關(guān)52可以設(shè)置在氣壓缸40的外側(cè)以產(chǎn)生指示氣壓缸內(nèi)磁性活塞位置的信號，用于供應(yīng)到控制系統(tǒng)54來控制氣壓缸40的操作。
在使用中，控制系統(tǒng)54操作氣壓缸40以往復(fù)移動軸30，從而促動刮刀34進(jìn)入入口管道14中以移除沉積在入口管道14內(nèi)的微粒，并且將線圈從入口管道14撤回套筒16內(nèi)而離開從處理工具流到入口管道14中的處理氣體(標(biāo)示為56)。該附件可以在定期的“預(yù)編程”定時器下(范圍從每30秒至每周事件，優(yōu)選地每3小時)或者從遠(yuǎn)程觸發(fā)來操作。操作頻率可以針對入口管道14內(nèi)部的沉積速率、對軸30和刮刀34的機(jī)械損壞和在刮擦機(jī)構(gòu)端部上沉積的積聚進(jìn)行優(yōu)化。
在驅(qū)動期間，固體沉積物可能在刮刀34上積聚，這可能暫時地阻塞管道而導(dǎo)致生產(chǎn)損失。如果機(jī)械清潔僅在處理工具閑置時進(jìn)行則可以消除以上情況。如圖1所示，環(huán)形PEEKTM刮刀密封件58可以設(shè)置在氣壓缸40法蘭端的孔中，以從(移動的)驅(qū)動軸30的表面刮擦微粒。
氣壓閥可以控制驅(qū)動器操作?？墒褂枚喾N構(gòu)造。
簡言之，用于到濕式洗滌器或其他設(shè)備的入口管道的附件包括套筒，該套筒具有適合于可拆卸地連接到入口管道法蘭端的開口端。軸在套筒內(nèi)可移動，并且刮刀附裝到軸的一端。該軸形成附裝到套筒另一端的氣壓缸的一部分。在使用中，軸被往復(fù)移動以使得刮刀移除管內(nèi)沉積的微粒。諸如氮?dú)饣蚋稍锟諝獾募訜釟怏w被注入套筒中，以防止洗滌液在套筒內(nèi)凝結(jié)并由此阻止其內(nèi)的微粒沉積。
如上所述，雖然已經(jīng)參照本發(fā)明在清潔到濕式洗滌器的入口管道的內(nèi)表面方面的使用對其進(jìn)行了描述，但本發(fā)明可以用來清潔易于由處理氣體不期望地沉積微粒的清除裝置或者其他系統(tǒng)中任何適當(dāng)?shù)谋砻妗?br> 除了半導(dǎo)體處理系統(tǒng)，設(shè)備可以用作其他類型的化學(xué)處理系統(tǒng)的一部分，該系統(tǒng)中存在易于由處理氣體沉積化學(xué)微粒的表面。
就濕式洗滌器入口而言，半導(dǎo)體金屬刻蝕工藝可能產(chǎn)生作為副產(chǎn)品的氯化鋁。氯化鋁自身非?？焖俚嘏c水反應(yīng)而產(chǎn)生固態(tài)副產(chǎn)品(氧化鋁)和酸性氣體(氯化氫)。控制濕與干之間的相互關(guān)系對防止固體積聚和液態(tài)酸非常關(guān)鍵。濃縮的酸性溶液隨時間過去將腐蝕任何金屬管件，導(dǎo)致生產(chǎn)損失和費(fèi)用增加。同樣，熱氣體凈化將防止水蒸氣凝結(jié)和形成液池。
聚氯乙烯(PVC)已經(jīng)由于其化學(xué)、機(jī)加工和焊接屬性而成為為濕式洗滌器入口所選擇的材料。不幸地是，PVC機(jī)械強(qiáng)度在60℃以上嚴(yán)重惡化。在引入加熱器以將氣體溫度升高到60℃以上的情況下，制造商不得不增加冷卻回路來減小入口溫度。這增加了加工和操作成本。在單個故障情況下，冷卻的損失將使入口受到熱應(yīng)力并且損壞。這可能導(dǎo)致機(jī)器被迫關(guān)閉，機(jī)器關(guān)閉又再增加單元的運(yùn)行成本。
使用通常在80到250℃范圍中(優(yōu)選地在120到170℃范圍中)具有更高熱穩(wěn)定性(熔融點(diǎn))的塑料消除了對此冷卻通道的需求并使得入口能夠在高得多的溫度下起作用，從而減小了沉積速率并增大維護(hù)間隔的時間。例如，主體可以由聚丙烯、聚四氟乙烯、聚砜、聚醚砜、聚醚酰亞胺和聚二氟乙烯之一形成。
權(quán)利要求
1.一種用于減小管道堵塞的裝置，所述裝置包括具有開口端的主體，該開口端適合于可拆卸地連接到所述管道的孔；可在所述主體內(nèi)相對于所述主體移動的軸；附裝到所述軸的一端上的刮擦裝置；用于往復(fù)移動所述軸以促動所述刮擦裝置進(jìn)入所述管道中來移除所述管道內(nèi)沉積的微粒和將所述刮擦裝置從所述管道撤回的設(shè)備；以及圍繞所述主體延伸、用于將加熱壓縮氣體注入所述主體中來阻止其中的微粒沉積的設(shè)備。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述注入設(shè)備包括位于所述主體的內(nèi)表面上的一個或多個孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其中該氣體在50到200℃范圍內(nèi)的溫度下被注入，該溫度優(yōu)選地在80到150℃范圍內(nèi)。
4.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其中所述氣體包括干燥空氣或者氮?dú)狻?br> 5.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，包括加熱設(shè)備，其圍繞所述主體延伸以將所述主體內(nèi)的溫度維持在50到200℃的范圍內(nèi)，優(yōu)選地在80到150℃的范圍內(nèi)。
6.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其中所述刮擦裝置具有開式結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其中所述刮擦裝置包括螺旋線圈。
8.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其中所述刮擦裝置由化學(xué)惰性和機(jī)械穩(wěn)定的固體材料形成，如不銹鋼。
9.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其中所述移動設(shè)備包括附裝在所述軸的另一端上的活塞，所述活塞在缸內(nèi)可往復(fù)移動。
10.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其中所述移動設(shè)備布置為轉(zhuǎn)動所述軸以由此使所述刮擦裝置在所述管道內(nèi)轉(zhuǎn)動。
11.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其中，當(dāng)完全從所述管道撤回時，所述刮擦裝置基本上容納在所述主體內(nèi)以不暴露到所述管道內(nèi)的氣體。
12.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的裝置，包括用于在所述軸從所述管道撤回時防止微粒被抽入所述移動設(shè)備內(nèi)的設(shè)備。
13.根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置，包括用于在所述軸的移動期間從所述軸刮擦微粒的刮擦設(shè)備。
14.根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其中所述刮擦設(shè)備包括環(huán)形密封件，所述軸穿過所述環(huán)形密封件。
15.一種用于減小到濕式洗滌器的入口管道的堵塞的裝置，所述裝置包括具有開口端的主體，該開口端適合于可拆卸地連接到所述入口管道的孔周圍；可在所述主體內(nèi)相對于所述主體移動的軸；附裝到所述軸的一端上的刮擦裝置；用于往復(fù)移動所述軸以促動所述刮擦裝置進(jìn)入所述入口管道中來移除所述管道內(nèi)沉積的微粒和將所述刮擦裝置從所述入口管道撤回的設(shè)備；以及圍繞所述主體延伸、用于將加熱壓縮氣體注入所述主體中來阻止其中的微粒沉積的設(shè)備。
16.一種減小管道堵塞的方法，所述方法包括將附件可拆卸地連接到所述管道的孔，所述附件包括主體、可在所述主體內(nèi)相對于所述主體移動的軸、和附裝到所述軸的一端上的刮擦裝置；往復(fù)移動所述軸以促動所述刮擦裝置進(jìn)入所述管道中來移除所述管道內(nèi)沉積的微粒并將所述刮擦裝置從所述管道撤回；以及將加熱壓縮氣體注入所述主體中來阻止其中的微粒沉積。
17.一種減小到濕式洗滌器的入口管道的堵塞的方法，所述方法包括將附件可拆卸地連接到所述入口管道的孔，所述附件包括主體、可在所述主體內(nèi)相對于所述主體移動的軸、和附裝到所述軸的一端上的刮擦裝置；往復(fù)移動所述軸以促動所述刮擦裝置進(jìn)入所述入口管道中來移除所述管道內(nèi)沉積的微粒并將所述刮擦裝置從所述入口管道撤回；以及將加熱壓縮氣體注入所述主體中來阻止其中的微粒沉積。
全文摘要
一種用于到濕式洗滌器或者其他裝置的入口管道(14)的附件(10)包括具有開口端(18)的套筒(16)，該開口端適合于可拆卸地連接到所述入口管道(14)的法蘭端(12)。軸(30)可在所述套筒(16)內(nèi)移動，并且刮刀(34)附裝到所述軸(30)的一端上。軸(30)形成附裝到套筒(16)另一端上的氣壓缸(40)的一部分。在使用中，軸(30)被往復(fù)移動以使得刮刀(34)移除管道(14)內(nèi)沉積的微粒。諸如氮?dú)饣蚋稍锟諝獾募訜釟怏w被注入套筒(16)中來防止洗滌液在套筒(16)內(nèi)凝結(jié)，并由此阻止其中的微粒沉積。
文檔編號B08B9/045GK1882398SQ200480033938
公開日2006年12月20日 申請日期2004年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2003年11月17日
發(fā)明者C·J·P·克萊門茨, I·R·懷塔克 申請人:英國氧氣集團(tuán)有限公司