專利名稱：一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷的恒溫裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷(POCl3)的無(wú)水干式恒溫裝置。
背景技術(shù)：
擴(kuò)散工藝是太陽(yáng)能電池工藝的核心，直接關(guān)系到太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率，很多因素都會(huì)影響擴(kuò)散工藝，其中擴(kuò)散源三氯氧磷(POCI3)溫度的恒定對(duì)擴(kuò)散工藝至關(guān)重要，因此擴(kuò)散源三氯氧磷(POCI3)溫度需要一種恒溫裝置確保其溫度恒定?，F(xiàn)在通用的擴(kuò)散源三氯氧磷(POCl3)恒溫方式為水浴恒溫式，是將石英源瓶放在恒溫水槽中，通過(guò)壓縮機(jī)制冷帶動(dòng)水循環(huán)，溫度傳感器也置于水中，其存在溫度控制不精。由于擴(kuò)散爐的尾氣通常是從氣源柜中排出，而尾氣是酸性氣體，如果密封性不好，尾氣就會(huì)泄漏到氣源柜中，同時(shí)恒溫水槽也放在氣源柜中，氯元素及磷元素酸溶于水，因此在容易腐蝕導(dǎo)致恒溫槽的壓縮機(jī)等器件損壞。更重要的是如果石英源瓶爆瓶或者泄漏時(shí)三氯氧磷(POCI3)與水會(huì)發(fā)生劇烈反應(yīng)，產(chǎn)生大量的熱和濃煙，甚至爆炸，給擴(kuò)散間的生產(chǎn)帶來(lái)安全隱患。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷 (POCl3)恒溫裝置，可實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散源三氯氧磷(POCl3)的無(wú)水干式恒溫。本發(fā)明的技術(shù)方案為，一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷的恒溫裝置，包括石英源瓶，且石英源瓶上設(shè)有石英源瓶接口，所述恒溫裝置還包括源盒、基座、控制盒和電源盒，源盒放置在基座上并在源盒頂部加裝源盒蓋，所述石英源瓶置于源盒內(nèi)，石英源瓶?jī)?nèi)設(shè)溫度傳感器，且溫度傳感器與補(bǔ)償導(dǎo)線一端相連而補(bǔ)償導(dǎo)線另一端接至控制盒；所述基座從上到下依次包括傳熱鋁塊、帕爾貼組和散熱裝置。以下對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。所述源盒內(nèi)裝有檢測(cè)石英源瓶?jī)?nèi)擴(kuò)散源液位的液位傳感器，當(dāng)液位傳感器檢測(cè)到液面時(shí)，恒溫裝置的控制器將信號(hào)通過(guò)通訊模塊將信息發(fā)送到控制中心提示更換擴(kuò)散源。源盒側(cè)面設(shè)有觀察石英源瓶?jī)?nèi)擴(kuò)散源液位的液位觀察窗，操作人員可以通過(guò)液位觀察窗觀察石英源瓶?jī)?nèi)液位情況。所述源盒蓋上設(shè)有使石英源瓶接口穿過(guò)的通孔。所述控制盒內(nèi)設(shè)有溫度傳感器放大模塊、液位傳感器模塊、控制器和通訊模塊，控制器裝有散熱風(fēng)扇，補(bǔ)償導(dǎo)線通過(guò)補(bǔ)償導(dǎo)線孔與溫度傳感器放大模塊連接，液位傳感器與液位傳感器模塊通過(guò)屏蔽導(dǎo)線連接。電源盒內(nèi)設(shè)有變壓器模塊和開關(guān)基板，變壓器模塊將市電變?yōu)樗龊銣匮b置用電，為所述恒溫裝置供電，開關(guān)基板由控制器控制給帕爾貼組供電。 所述散熱裝置包括散熱風(fēng)扇和散熱片。所述帕爾貼組與傳熱鋁塊之間用導(dǎo)熱硅膠密封。本發(fā)明所述太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷(POCl3)的恒溫裝置通過(guò)溫度傳感器對(duì)石英源瓶?jī)?nèi)的擴(kuò)散源三氯氧磷(POCI3)的溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)，檢測(cè)到的溫度經(jīng)控制器分析?？刂破鞲鶕?jù)對(duì)溫度的分析來(lái)控制帕爾貼組的開關(guān)基板開關(guān)，進(jìn)而控制帕爾貼組電流通斷實(shí)現(xiàn)溫度調(diào)節(jié)，滿足擴(kuò)散源三氯氧磷(POCI3)的溫度要求。 由以上可知，本發(fā)明所述太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷(POCl3)的恒溫裝置通過(guò)通訊模塊可以與控制中心進(jìn)行數(shù)據(jù)交換，方便控制中心對(duì)恒溫裝置的實(shí)時(shí)監(jiān)控，實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散源三氯氧磷(POCI3)的無(wú)水干式恒溫。


圖1為本發(fā)明太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷的恒溫裝置結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明基座俯視示意圖3為本發(fā)明太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷恒溫裝置俯視示意圖； 圖4為本發(fā)明基座內(nèi)帕爾貼組示意圖； 圖5為本發(fā)明控制盒示意圖； 圖6為本發(fā)明電源盒示意圖； 在上述附圖中各序號(hào)分別表示
1-基座， 5-溫度傳感器， 9-散熱裝置，
2-源盒， 6-控制盒， 10-液位觀察窗，
3-石英源瓶， 7-補(bǔ)償導(dǎo)線， 11-傳熱鋁塊，
4-源盒蓋， 8-顯示屏， 12-電源盒，
13-通訊接口， 14-電源開關(guān)， 15-補(bǔ)償導(dǎo)線孔
16-溫度傳感器孔，17-石英源瓶接口，18-源盒蓋石英瓶接口孔，
19-源盒內(nèi)壁， 20-帕爾貼組， 21-變壓器模塊，22-開關(guān)基板，
23-溫度傳感器放大模塊，24-液位傳感器模塊，25-控制器，
26-通訊模塊，27-設(shè)置按鈕，28-液位傳感器。
具體實(shí)施例方式如圖1-圖4所示，一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷(POCl3)的恒溫裝置，包括石英源瓶3，且石英源瓶3上設(shè)有石英源瓶接口 17，恒溫裝置還包括源盒2、基座1、控制盒6和電源盒12，源盒2放置在基座1上并在源盒2頂部加裝源盒蓋4，所述石英源瓶3置于源盒 2內(nèi)，石英源瓶3內(nèi)設(shè)溫度傳感器5，且溫度傳感器5與補(bǔ)償導(dǎo)線7 —端相連而補(bǔ)償導(dǎo)線7 另一端接至控制盒6，而將石英源瓶3內(nèi)的溫度信號(hào)傳導(dǎo)到控制盒6 ；所述基座1從上到下依次包括傳熱鋁塊11、帕爾貼組20和散熱裝置9，散熱裝置9包括散熱風(fēng)扇和散熱片，帕爾貼組20與傳熱鋁塊11之間用導(dǎo)熱硅膠密封。源盒蓋4的中心設(shè)有溫度傳感器孔16，孔的直徑略大于溫度傳感器5直徑。源盒蓋石英瓶接口孔18為2個(gè)，對(duì)稱內(nèi)切源盒內(nèi)壁19，本實(shí)施例中孔直徑為2cm。源盒蓋石英瓶接口 17穿過(guò)源盒蓋石英瓶接口孔18，本實(shí)施例中露出源盒蓋2. 5cm。源盒2是空心圓柱體，本實(shí)施例中源盒2外殼的材質(zhì)為硬質(zhì)聚醚型塑料，源盒內(nèi)壁 19為白色保溫泡沫塑料，液位傳感器28安裝在距源盒2底部高2cm的地方源盒2側(cè)面設(shè)有觀察石英源瓶3內(nèi)擴(kuò)散源液位的液位觀察窗10。源盒蓋4上設(shè)有可令石英源瓶接口 17穿過(guò)的石英源瓶接口孔18。
如圖5所示，所控制盒內(nèi)設(shè)有溫度傳感器放大模塊23、液位傳感器模塊24、控制器 25和通訊模塊26，控制器25裝有散熱風(fēng)扇，顯示屏8、設(shè)置按鈕27位于控制盒6正面，通訊接口 13、電源開關(guān)14位于控制盒6頂部，補(bǔ)償導(dǎo)線7通過(guò)補(bǔ)償導(dǎo)線孔15與溫度傳感器放大模塊23連接，液位傳感器28與液位傳感器模塊24通過(guò)屏蔽導(dǎo)線連接。如圖5所示，電源盒12內(nèi)設(shè)有變壓器模塊21和開關(guān)基板22，變壓器模塊21將市電變?yōu)樗龊銣匮b置用電，開關(guān)基板22由控制器25控制給帕爾貼組20供電。
權(quán)利要求
1.一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷的恒溫裝置，包括石英源瓶(3)，且石英源瓶(3)上設(shè)有石英源瓶接口(17)，其特征是，所述恒溫裝置還包括源盒(2)、基座(1)、控制盒(6)和電源盒(12)，源盒(2)放置在基座(1)上并在源盒(2)頂部加裝源盒蓋(4)，所述石英源瓶 (3)置于源盒(2)內(nèi)，石英源瓶(3)內(nèi)設(shè)溫度傳感器(5)，且溫度傳感器(5)與補(bǔ)償導(dǎo)線(7) 一端相連而補(bǔ)償導(dǎo)線(7)另一端接至控制盒(6)；所述基座(1)從上到下依次包括傳熱鋁塊(11)、帕爾貼組(20)和散熱裝置(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷的恒溫裝置，其特征是，所述源盒 (2)內(nèi)裝有檢測(cè)石英源瓶(3)內(nèi)擴(kuò)散源液位的液位傳感器(28)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷的恒溫裝置，其特征是，源盒(2)側(cè)面設(shè)有觀察石英源瓶(3)內(nèi)擴(kuò)散源液位的液位觀察窗(10)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷的恒溫裝置，其特征是，所述源盒蓋(4)上設(shè)有可令石英源瓶接口(17)穿過(guò)的石英源瓶接口孔(18)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷的恒溫裝置，其特征是，所述控制盒內(nèi)設(shè)有溫度傳感器放大模塊(23)、液位傳感器模塊(24)、控制器(25)和通訊模塊(26)， 控制器(25)裝有散熱風(fēng)扇，補(bǔ)償導(dǎo)線(7)通過(guò)補(bǔ)償導(dǎo)線孔(15)與溫度傳感器放大模塊 (23)連接，液位傳感器(28)與液位傳感器模塊(24)通過(guò)屏蔽導(dǎo)線連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷的恒溫裝置，其特征是，電源盒 (12)內(nèi)設(shè)有變壓器模塊(21)和開關(guān)基板(22)，變壓器模塊(21)將市電變?yōu)樗龊銣匮b置用電，開關(guān)基板(22)由控制器(25)控制給帕爾貼組(20)供電。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷的恒溫裝置，其特征是，所述散熱裝置(9)包括散熱風(fēng)扇和散熱片。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷的恒溫裝置，其特征是，所述帕爾貼組(20)與傳熱鋁塊(11)之間用導(dǎo)熱硅膠密封。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷(POCl3)的無(wú)水干式恒溫裝置，恒溫裝置還包括源盒、基座、控制盒和電源盒，源盒放置在基座上并在源盒頂部加裝源盒蓋，所述石英源瓶置于源盒內(nèi)，石英源瓶?jī)?nèi)設(shè)溫度傳感器，且溫度傳感器與補(bǔ)償導(dǎo)線一端相連而補(bǔ)償導(dǎo)線另一端接至控制盒；所述基座從上到下依次包括傳熱鋁塊、帕爾貼組和散熱裝置。本發(fā)明所述太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散源三氯氧磷(POCl3)的恒溫裝置通過(guò)通訊模塊可以與控制中心進(jìn)行數(shù)據(jù)交換，方便控制中心對(duì)恒溫裝置的實(shí)時(shí)監(jiān)控，實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散源三氯氧磷(POCl3)的無(wú)水干式恒溫。
文檔編號(hào)C30B31/16GK102392307SQ201110386769
公開日2012年3月28日 申請(qǐng)日期2011年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月29日
發(fā)明者呂文利, 毛朝斌, 謝建國(guó), 賈京英 申請(qǐng)人:湖南紅太陽(yáng)光電科技有限公司