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一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置的制造方法

文檔序號:10319561閱讀:799來源:國知局
一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,更具體地說,涉及一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著石油、天然氣、煤炭等不可再生能源的日益減少,人類面臨著越來越嚴(yán)重的能源危機,從而促進(jìn)了世界各國對風(fēng)能、潮汐能和太陽能等可再生能源的開發(fā)和利用。其中,太陽能作為一種可再生能源,以其取之不盡、用之不竭、無污染、廉價等優(yōu)點越來越受到人類的重視。太陽能發(fā)電裝置又稱為太陽能電池或光伏發(fā)電,可以將太陽能直接轉(zhuǎn)換為電能,其發(fā)電原理是基于半導(dǎo)體PN結(jié)的光生伏特效應(yīng)。
[0003]目前,晶硅太陽能電池以其良好的穩(wěn)定性和成熟的工藝流程已被大規(guī)模應(yīng)用到各個領(lǐng)域其中,擴散工序是晶硅太陽能電池生產(chǎn)中的關(guān)鍵步驟,主要用于在硅片上制備PN結(jié)?,F(xiàn)有太陽能電池的擴散工序主要在管式擴散爐內(nèi)進(jìn)行,由于在擴散工序過程中會產(chǎn)生殘余的廢氣,因此,通常會在管式擴散爐上設(shè)置尾氣出口,尾氣出口通過尾氣輸出管道與尾氣處理裝置入口的排廢管相連,從而將擴散尾氣輸送至尾氣處理裝置,大部分尾氣經(jīng)尾氣處理裝置的接液瓶冷凝為液體或固體,殘存的尾氣則通過尾氣排放管道由風(fēng)排抽走。
[0004]但由于現(xiàn)有技術(shù)中的尾氣處理裝置冷卻路徑較短,從而導(dǎo)致廢氣沒有完全冷卻即直接被風(fēng)排抽走,當(dāng)尾氣到達(dá)尾氣排放管道時開始冷卻,從而造成尾氣排放管道堵塞和接液瓶內(nèi)部積霜,嚴(yán)重時,排廢管內(nèi)由于聚集太多偏磷酸而斷裂,且過多的偏磷酸也會使尾氣輸出管道與尾氣處理裝置入口的排廢管黏連拔不出來,需要拆除尾氣輸出管道并水洗才能拔除排廢管,嚴(yán)重影響了設(shè)備的稼動率。
[0005]如,中國專利申請?zhí)?201320470628.9,申請日:2013年08月02日,發(fā)明創(chuàng)造名稱為:太陽能電池擴散尾氣處理裝置,該申請案中的擴散爐管即通過尾氣輸出管道將擴散尾氣輸送至尾氣處理機構(gòu),大部分?jǐn)U散尾氣在尾氣處理機構(gòu)的殘液罐內(nèi)冷凝為液體或固體,部分?jǐn)U散尾氣則通過尾氣排泄管道進(jìn)行排放。由于該申請案中尾氣處理機構(gòu)的冷卻行程較短,大部分尾氣易進(jìn)入尾氣排泄管道內(nèi)發(fā)生冷凝,從而導(dǎo)致尾氣排泄管道堵塞,嚴(yán)重影響設(shè)備的正常運行。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]1.實用新型要解決的技術(shù)問題
[0007]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有太陽能電池擴散尾氣處理裝置的冷卻路徑較短,對擴散尾氣的冷卻效果較差,從而易導(dǎo)致尾氣排放管道堵塞和接液瓶內(nèi)部積霜的不足,提供了一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置。通過使用本實用新型的擴散尾氣處理裝置,可顯著提高對擴散尾氣的冷凝效果,防止尾氣排放管道堵塞和接液瓶內(nèi)部積霜。
[0008]2.技術(shù)方案
[0009]為達(dá)到上述目的,本實用新型提供的技術(shù)方案為:
[0010]本實用新型的一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置,包括一級接液瓶和二級接液瓶,所述的一級接液瓶的進(jìn)氣口通過排廢管與擴散爐的尾氣輸出管道相連,一級接液瓶的出氣口通過管道與二級接液瓶的進(jìn)氣口相連,所述二級接液瓶的進(jìn)氣口位于其側(cè)壁底部,二級接液瓶頂部的排氣口與尾氣排放管道相連,且在二級接液瓶內(nèi)部填充有石英玻珠。
[0011 ]更進(jìn)一步地,在所述的二級接液瓶的側(cè)面設(shè)有排風(fēng)扇。
[0012]更進(jìn)一步地,所述的尾氣排放管道還通過氣管與氣源相連,且在氣管上設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥。
[0013]更進(jìn)一步地,所述的氣源為氮氣源。
[0014]3.有益效果
[0015]采用本實用新型提供的技術(shù)方案,與現(xiàn)有技術(shù)相比,具有如下有益效果:
[0016](I)本實用新型的一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置,其通過設(shè)置兩級接液瓶在一定程度上可以增長廢氣的冷卻行程,增大冷卻效果。本實用新型中二級接液瓶的進(jìn)氣口位于其側(cè)壁底部,二級接液瓶頂部的排氣口與尾氣排放管道相連,且在二級接液瓶內(nèi)部填充有大量石英玻珠,從而可以顯著增大廢氣的冷卻接觸面積,保證廢氣在二級接液瓶內(nèi)可以進(jìn)行充分冷卻,從而可以有效防止廢氣在尾氣排放管道中發(fā)生冷凝,造成尾氣排放管道的堵塞和接液瓶內(nèi)部積霜,進(jìn)而能夠防止排廢管內(nèi)由于聚集太多偏磷酸而斷裂以及尾氣輸出管道與排廢管之間發(fā)生黏連,大大提高了設(shè)備的稼動率,減少了維護(hù)周期。
[0017](2)本實用新型的一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置,在二級接液瓶的側(cè)面設(shè)有排風(fēng)扇,從而可以進(jìn)一步增強對廢氣的冷卻效果。
[0018](3)本實用新型的一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置,其尾氣排放管道還通過氣管與氣源相連,且在氣管上設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥,從而可以對尾氣排放管道進(jìn)行定時沖洗,避免長時間使用后尾氣排放管道上聚積大量偏磷酸,保證設(shè)備的正常運行。
[0019](4)本實用新型的一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置,結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,原理簡單,便于推廣使用。
【附圖說明】
[0020]圖1為本實用新型的一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021 ] 不意圖中的標(biāo)號說明:
[0022]1、擴散爐;101、尾氣輸出管道;2、排廢管;301、一級接液瓶;302、二級接液瓶;4、石英玻珠;5、排風(fēng)扇;6、尾氣排放管道;7、氣源。
【具體實施方式】
[0023]為進(jìn)一步了解本實用新型的內(nèi)容,現(xiàn)結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作詳細(xì)描述。
[0024]實施例1
[0025]如圖1所示,本實施例的一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置,包括一級接液瓶301和二級接液瓶302。一級接液瓶301的進(jìn)氣口通過排廢管2與擴散爐I的尾氣輸出管道1I相連,一級接液瓶301的出氣口通過管道與二級接液瓶302的進(jìn)氣口相連。所述二級接液瓶302的進(jìn)氣口位于其側(cè)壁底部,二級接液瓶302頂部的排氣口與尾氣排放管道6相連,且在二級接液瓶302內(nèi)部填充有大量石英玻珠4。電池片在擴散爐I中進(jìn)行擴散處理產(chǎn)生的廢氣通過尾氣輸出管道101向尾氣處理裝置輸送,廢氣首先通過排廢管2進(jìn)入一級接液瓶301進(jìn)行初步冷凝,由于冷卻行程較短,在一級接液瓶301中只有少量廢氣發(fā)生冷凝,大部分廢氣進(jìn)入二級接液瓶302進(jìn)行冷凝。由于二級接液瓶302內(nèi)填充有大量石英玻珠4,大大增大了廢氣的冷卻接觸面積,保證廢氣在二級接液瓶302內(nèi)可以進(jìn)行充分冷卻,從而可以有效防止廢氣在尾氣排放管道6中發(fā)生冷凝,造成尾氣排放管道6的堵塞和接液瓶內(nèi)部積霜,進(jìn)而能夠防止排廢管2內(nèi)由于聚集太多偏磷酸而斷裂以及尾氣輸出管道101與排廢管2之間發(fā)生黏連,大大提高了設(shè)備的稼動率,減少了維護(hù)周期。在上述二級接液瓶302的側(cè)面設(shè)有排風(fēng)扇5,從而可以進(jìn)一步提高對廢氣的冷卻效果,在實際生產(chǎn)中,可根據(jù)生產(chǎn)需要在二級接液瓶302的四周設(shè)置多個排風(fēng)扇5。本實施例中尾氣排放管道6還通過氣管與氣源7相連,且在氣管上設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥,從而可以對尾氣排放管道6進(jìn)行定時沖洗,避免長時間使用后尾氣排放管道6上聚積大量偏磷酸,保證了設(shè)備的正常運行,生產(chǎn)中可以根據(jù)需要通過調(diào)節(jié)流量調(diào)節(jié)閥對沖洗氣體的流量進(jìn)行調(diào)節(jié),本實施例的氣源7采用氮氣源。
[0026]以上示意性的對本實用新型及其實施方式進(jìn)行了描述,該描述沒有限制性,附圖中所示的也只是本實用新型的實施方式之一,實際的結(jié)構(gòu)并不局限于此。所以,如果本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員受其啟示,在不脫離本實用新型創(chuàng)造宗旨的情況下,不經(jīng)創(chuàng)造性的設(shè)計出與該技術(shù)方案相似的結(jié)構(gòu)方式及實施例,均應(yīng)屬于本實用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項】
1.一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置,包括一級接液瓶(301)和二級接液瓶(302),所述的一級接液瓶(301)的進(jìn)氣口通過排廢管(2)與擴散爐(I)的尾氣輸出管道(101)相連,一級接液瓶(301)的出氣口通過管道與二級接液瓶(302)的進(jìn)氣口相連,其特征在于:所述二級接液瓶(302)的進(jìn)氣口位于其側(cè)壁底部,二級接液瓶(302)頂部的排氣口與尾氣排放管道(6)相連,且在二級接液瓶(302)內(nèi)部填充有石英玻珠(4)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置,其特征在于:在所述的二級接液瓶(302)的側(cè)面設(shè)有排風(fēng)扇(5)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置,其特征在于:所述的尾氣排放管道(6)還通過氣管與氣源(7)相連,且在氣管上設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置,其特征在于:所述的氣源(7)為氮氣源。
【專利摘要】本實用新型公開了一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置,屬于太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。本實用新型的一種高效冷凝的太陽能電池擴散尾氣處理裝置,包括一級接液瓶和二級接液瓶,所述的一級接液瓶的進(jìn)氣口通過排廢管與擴散爐的尾氣輸出管道相連,一級接液瓶的出氣口通過管道與二級接液瓶的進(jìn)氣口相連,所述二級接液瓶的進(jìn)氣口位于其側(cè)壁底部,二級接液瓶頂部的排氣口與尾氣排放管道相連,且在二級接液瓶內(nèi)部填充有石英玻珠。通過使用本實用新型的太陽能電池擴散尾氣處理裝置,可以顯著提高廢氣的冷卻效果,保證廢氣在接液瓶內(nèi)的充分冷凝,從而能夠防止廢氣排放管道堵塞和接液瓶內(nèi)部積霜,大大提高了設(shè)備的稼動率。
【IPC分類】C30B31/16, H01L31/18
【公開號】CN205231091
【申請?zhí)枴緾N201521106816
【發(fā)明人】華重慶, 柯貴軍, 朱鈺
【申請人】安徽銀陽光伏科技有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請日】2015年12月25日
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