專利名稱：一種熱阱的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于尾氣處理裝置技術領域，尤其涉及一種熱阱。
背景技術：
金屬有機化學氣相沉積是制備化合物半導體薄膜的一項關鍵技術，也是應用于太陽能電池行業(yè)的一項關鍵技術。它利用較易揮發(fā)的有機物如Si(C2H5)2等作為較難揮發(fā)的金屬原子的源反應物，通過載氣Ar攜帶到反應器中，與H2O發(fā)生反應，在加熱的基片上生成ZnO薄膜，作為太陽能電池的緩沖層，起到陷光和增加光程的作用。金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)一般包括源供給系統(tǒng)、氣體輸送系統(tǒng)、反應室、加熱系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、 晶片取放系統(tǒng)。尾氣處理系統(tǒng)中的廢氣包括反應后殘留的Si(C2H5)2氣體、殘留的水蒸氣、 Ar載氣及IH6等摻雜氣體。Zn(C2H5)2氣體與水蒸氣在常溫下會發(fā)生反應生成&ι0。因此對于殘留的Si(C2H5)2氣體和水蒸氣，會在尾氣處理系統(tǒng)的排氣線及干泵中生成白色粉末狀 ZnO0排氣線需要定期進行清洗，以防沉積的粉末堵塞管道，維護周期可根據設備保養(yǎng)周期來定。而對于干泵，由于采用爪式結構，葉片之間的間隙非常小，這些ZnO如果沉積在葉片上，就會使葉片之間的間隙越來越小，造成干泵功率的增加，甚至損壞干泵。因此，需要經常性的拆卸及清理干泵內的粉末，這個保養(yǎng)周期比較短，一般視生產情況在1個月左右，由此會造成生產線的停產，對生產造成影響，降低生產線產能。

實用新型內容本實用新型要解決的技術問題就是提供一種可以降低尾氣對干泵的威脅，大大延長干泵的維護周期，提高生產線產能的熱阱。為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為包括帶有進氣口、出氣口和上蓋的殼體，所述的殼體內設置有與上蓋相連接的加熱管，加熱管內設置有加熱絲和熱電偶，加熱管外設置有葉片。其附加技術特征為所述的加熱管為三個；所述的葉片上下多層，各層葉片通過與上蓋相連接的固定桿相連接；所述的殼體包括內層和外層，外層為網狀。本實用新型所提供的一種熱阱使用時，將其出氣口與干泵相連接，用加熱絲、熱電偶對加熱管進行加熱和控溫，加熱管將與之焊接在一起的葉片加熱。當廢氣從熱阱殼體底部的進氣口通入后，氣體會與高溫的葉片充分接觸，殘留的Si(C2H5)2氣體與水蒸氣會在葉片處充分反應生成白色粉末狀&10，剩余氣體由出氣口進入干泵，此時進入干泵的氣體相對較為清潔，不含ai (C2H5) 2氣體與水蒸氣，使干泵內的旋轉葉片不會發(fā)生堵塞而損害干泵。加熱管可為三個。葉片上下多層，各層葉片通過與上蓋相連接的固定桿相連接，使得上蓋、加熱管、葉片成為一體，熱阱使用一段時間后，可整體將上蓋、加熱管、葉片從殼體中取出進行清理，非常方便。因為熱阱為高溫設備，因此殼體包括內層和外層，外層為網狀，可防止人體接觸到內層殼體而燙傷。
圖1為本實用新型一種熱阱的結構示意圖。
具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型所提供的一種熱阱的具體結構和使用原理做進一步詳細說明。如圖1所示，本實用新型所提供的一種熱阱包括殼體1，殼體1帶有進氣口 2、出氣口 3和上蓋4，殼體1內設置有與上蓋4相連接的加熱管5，加熱管5內設置有加熱絲6和熱電偶7，加熱管5外設置有葉片8，加熱管5可為如圖的三個，葉片8可為如圖的上下三層， 各層葉片8通過與上蓋4相連接的固定桿9相連接，殼體1包括內層10和外層11，外層11 為網狀。本實用新型所提供的一種熱阱使用時，將其出氣口 3與干泵相連接，用加熱絲6、 熱電偶7對加熱管5進行加熱和控溫，加熱管5將與之焊接在一起的葉片8加熱。當廢氣從熱阱殼體1底部的進氣口 2通入后，氣體會與高溫的葉片8充分接觸，殘留的Si (C2H5) 2氣體與水蒸氣會在葉片8處充分反應生成白色粉末狀&ι0，剩余氣體由出氣口 3進入干泵，此時進入干泵的氣體相對較為清潔，不含Si(C2H5)2氣體與水蒸氣，使干泵內的旋轉葉片不會發(fā)生堵塞而損害干泵。加熱管5可為三個。葉片8上下多層，各層葉片8通過與上蓋4相連接的固定桿9相連接，使得上蓋4、加熱管5、葉片8成為一體，熱阱使用一段時間后，可整體將上蓋4、加熱管5、葉片8從殼體1中取出進行清理，非常方便。因為熱阱為高溫設備， 因此殼體1包括內層10和外層11，外層11為網狀，可防止人體接觸到內層殼體而燙傷。
權利要求1.一種熱阱，包括帶有進氣口、出氣口和上蓋的殼體，其特征在于所述的殼體內設置有與上蓋相連接的加熱管，加熱管內設置有加熱絲和熱電偶，加熱管外設置有葉片。
2.根據權利要求1所述的一種熱阱，其特征在于所述的加熱管為三個。
3.根據權利要求1所述的一種熱阱，其特征在于所述的葉片上下多層，各層葉片通過與上蓋相連接的固定桿相連接。
4.根據權利要求1所述的一種熱阱，其特征在于所述的殼體包括內層和外層，外層為網狀。
專利摘要本實用新型屬于尾氣處理裝置技術領域，公開了一種熱阱。其主要技術特征為包括帶有進氣口、出氣口和上蓋的殼體，所述的殼體內設置有與上蓋相連接的加熱管，加熱管內設置有加熱絲和熱電偶，加熱管外設置有葉片。本實用新型所提供的一種熱阱使用時，將其出氣口與干泵相連接，用加熱絲、熱電偶對加熱管進行加熱和控溫，加熱管將與之焊接在一起的葉片加熱。當廢氣從熱阱殼體底部的進氣口通入后，氣體會與高溫的葉片充分接觸，殘留的Zn(C2H5)2氣體與水蒸氣會在葉片處充分反應生成白色粉末狀ZnO，剩余氣體由出氣口進入干泵，此時進入干泵的氣體相對較為清潔，不含Zn(C2H5)2氣體與水蒸氣，使干泵內的旋轉葉片不會發(fā)生堵塞而損害干泵。
文檔編號H05B3/40GK201978651SQ20102067931
公開日2011年9月21日 申請日期2010年12月24日 優(yōu)先權日2010年12月24日
發(fā)明者安會靜, 張金娟, 李順軍, 薛俊明, 雷青松 申請人:河北漢盛光電科技有限公司