專利名稱：X射線照射系統(tǒng)以及x射線照射裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種X射線照射系統(tǒng)以及X射線照射裝置。
背景技術：
一直以來x射線照射裝置是眾所周知的(例如參照日本專利文獻 1、 2)。在日本專利文獻2中記載了，使用例如來自于日本專利文獻1 所記載的X射線照射裝置的軟X射線，除去產生于基板的靜電的系統(tǒng)。 特別是在該系統(tǒng)中，進行控制以使軟X射線不會對基板照射規(guī)定時間 以上并對基板進行去除靜電，由此抑制例如像顯影不均勻的存于基板 上的不良狀況。:日本專利公開2004-356056號公報:日本專利公開2000-217M號公報

發(fā)明內容
在如上所述的系統(tǒng)中，優(yōu)選例如在將抗蝕劑涂布于基板上的裝置
內配置X射線照射裝置，在該抗蝕劑涂布裝置內在空氣流動的面上x 射線照射裝置和除此之外的部分相隔離。也就是說，不優(yōu)選x射線照
射裝置內的氣體等從x射線照射裝置冒出并大量地流入到抗蝕劑涂布
裝置內，或者抗蝕劑涂布裝置內的氣體(有機溶劑)等流入x射線照 射裝置內。因為，當x射線照射裝置內的氣體從x射線照射裝置中泄
露并大量流入到抗蝕劑涂布裝置內時，成為對抗蝕劑涂布裝置的污染 和清潔度下降的原因。另外，在涂布抗蝕劑的工序中所存在的自由基
(radical)氣體侵入到X射線照射裝置內時，因該氣體使X射線照射 裝置內的部件等受到損壞。另外，在充滿可燃性的例如有機溶劑的情 況下，當該可燃性溶劑混入到X射線照射裝置時，因在X射線照射裝 置內發(fā)生的火花等，存在在X射線照射裝置內發(fā)生點火或者爆炸的危 險。另外，在如上所述使用可燃性的溶劑或使裝置污染且潔凈度下降的情況，并不只局限于抗蝕劑涂布裝置，例如在顯影處理裝置中也會 有同樣的問題。
因此，本發(fā)明鑒于上述事實，其目的在于提供一種X射線照射系 統(tǒng)及X射線照射裝置，可提高X射線照射裝置的密閉性。
為了解決上述課題，本發(fā)明的x射線照射系統(tǒng)具備，上述x射線 照射系統(tǒng)具備，照射x射線的x射線照射裝置、控制上述x射線照射
裝置的X射線控制裝置、電連接上述X射線照射裝置以及上述X射線 控制裝置的電纜；上述X射線照射裝置具備X射線管、驅動上述X 射線管的驅動部、容納上述X射線管以及上述驅動部并具有開口部的 筐體、設置于上述筐體并在對應于上述開口部的位置上具有開口的板 狀的部件；上述電纜具備設置于該電纜的一端，用于將該電纜的一
端與電連接于上述驅動部的連接端子裝卸自如地連接的連接器、包圍
上述連接器的筒狀的部件；上述驅動部和上述電纜，利用上述連接端
子以及上述連接器，經由上述筐體的上述開口部以及上述板狀的部件 的上述開口，裝卸自如地電連接。此時，優(yōu)選在上述筒狀的部件的一 端，使配置在上述一端上的雄螺紋部和配置在上述板狀的部件的上述 開口上的雌螺紋部相旋合，在上述筒狀的部件的另一端設置有用于夾 鉗上述電纜的夾鉗部件，并且上述另一端和上述夾鉗部件相旋合。
在如此的本發(fā)明的X射線照射系統(tǒng)中，連接器裝卸自如地連接電 纜和X射線照射裝置。因此，例如將夾鉗部件從筒狀的部件上松懈并 且在將筒狀的部件從板狀的部件上進行松懈之后就能夠把電纜從X射 線照射裝置上拆卸下來，由此，就能夠在X射線照射系統(tǒng)中單獨更換 X射線照射裝置。其結果，與X射線照射裝置的壽命無關，除了X射 線照射裝置之外的部分，總之，例如X射線照射裝置即使是到了其壽 命之后也能夠就這樣繼續(xù)使用電纜或者X射線控制裝置。還有，也可 以對應于X射線管的管球的壽命來進行對X射線照射裝置的更換，在 該情況下，在X射線照射系統(tǒng)中不論X射線管的管球的壽命而能夠繼 續(xù)使用X射線照射裝置以外的部分。
再則，筒狀的部件包圍有連接器，筒狀的部件的一端是由板狀的 部件的開口被旋合，而筒狀的部件的另一端是與夾緊電纜的夾鉗部件 相旋合。由以上的構成就能夠保持在板狀的部件、筒狀的部件以及夾鉗部件上的密閉性，其結果，也就能夠抑制在板狀的部件、筒狀的部 件以及夾鉗部件的周邊發(fā)生氣體的流出與流入。
在本發(fā)明的X射線照射系統(tǒng)中，優(yōu)選在所述筒狀的部件的一端上 具備為了密閉所述板狀的部件和該筒狀的部件的第1密封部件，在所 述筒狀的部件的另一端上具備為了密封所述夾鉗部件和該筒狀的部件
的第2密封部件。
通過在板狀的部件和筒狀的部件之間具備第1密封部件，并且在 夾鉗部件和筒狀的部件之間具備第2密封部件，從而能夠進一步提高 在板狀的部件、筒狀的部件以及夾鉗部件上的密閉性，其結果，也就 能夠更加切實地抑制在板狀的部件、筒狀的部件以及夾鉗部件的周邊 發(fā)生氣體的流出與流入。
在本發(fā)明的X射線照射系統(tǒng)中，所述連接器優(yōu)選具備連接器本體 部以及在與所述連接端子相連接的一側覆蓋所述連接器本體部的一部 分的外周部，在由操作者將所述外周部向所述連接器本體部的另一個 部分只拉所規(guī)定的部分的狀態(tài)下，所述連接器本體部被連接于所述連 接端子，并且在該連接狀態(tài)下通過所述第1密封部件的存在維持所述 外周部的該被拉伸的狀態(tài)。
在連接器本體部和連接端子被連接的狀態(tài)下，如果維持外周部的 該被拉伸的狀態(tài)，那么在從連接端子拔掉連接器的時候操作者即使暫 時不向本體部的上述另一部分進行拉伸連接器的外周部也能夠完成其
工作。由此，就能夠提高從連接端子拔掉連接器的時候的操作性。
另外，本發(fā)明的X射線照射裝置，其特征在于具備X射線管、 驅動所述X射線管的驅動部、容納所述X射線管以及所述驅動部的筐 體、設置于所述筐體并為了將氣體導入到所述筐體內的氣體導入部、 設置于所述筐體并為了排放所述筐體內氣體的氣體排氣部。
如此，通過設置氣體導入部以及氣體排氣部，從而能夠將氣體導 入到X射線照射裝置內并且能夠將X射線照射裝置內的氣體排放到外 部。在此，通過適當地控制氣體的流量，從而就能夠將X射線照射裝 置內的壓力控制到高于X射線照射裝置外的壓力。以如此的方式通過 把X射線照射裝置內控制在正壓，就能夠防止X射線照射裝置外的氣體侵入到X射線照射裝置內，從而也就能夠提高X射線照射裝置的密閉性。
另外，來自于外部的氣體通過氣體導入部被導入到x射線照射裝 置內，并且由于x射線照射裝置內的氣體通過氣體排氣部被排放至外
部，所以該氣體又能夠起到一個冷卻x射線照射裝置內的角色。
另外，本發(fā)明的X射線照射系統(tǒng)，其特征在于具備對第l基板
進行抗蝕劑涂布處理的抗蝕劑涂布處理裝置、對第2基板進行顯影處
理的顯影處理裝置、設置于所述抗蝕劑涂布處理裝置以及所述顯影處
理裝置的至少一方并且通過將X射線照射于所述第1基板以及所述第 2基板中的至少一方從而除去該至少一方的基板的靜電的X射線照射 裝置、控制所述X射線照射裝置的X射線控制裝置、電連接所述X射 線照射裝置以及所述X射線控制裝置的電纜；所述X射線照射裝置具 備為了將X射線照射到所述第1基板或者第2基板的X射線管、啟動 所述X射線管的驅動部、容納所述X射線管以及所述驅動部并具有開 口部的筐體、配置于所述筐體并在對應于所述開口部的位置上具有開 口的板狀的部件、配置于所述筐體并為了將氣體導入到所述筐體內的 氣體導入部、配置于所述筐體并為了排放所述筐體內氣體的氣體排放 裝置；所述電纜具備設置于該電纜的一端并為了裝卸自如地連接該電 纜的一端和被電連接于所述驅動部的連接端子的連接器、包圍所述連 接器的筒狀的部件；所述驅動部和所述電纜是由所述連接端子以及所 述連接器并通過所述筐體的所述開口部以及所述板狀的部件的所述開 口進行裝卸自如地電連接的。
根據像這樣的本發(fā)明的X射線照射系統(tǒng)，通過設置氣體導入部以 及氣體排氣部，從而能夠把氣體導入到X射線照射裝置內并且將X射 線照射裝置內的氣體排放至外部。在此，通過適當地控制氣體的流量， 從而就能夠將X射線照射裝置內的壓力控制到高于X射線照射裝置外 的壓力，總之，例如高于抗蝕劑涂布裝置或者顯影處理裝置內的壓力。 以如此的方式通過把X射線照射裝置內控制在正壓，就能夠防止抗蝕 劑涂布裝置或者顯影處理裝置內的氣體侵入到X射線照射裝置內，從 而也就能夠提高X射線照射裝置的密閉性。
8再有，連接器是裝卸自如地連接電纜和X射線照射裝置的部件。 因此，例如將夾鉗部件從筒狀的部件上松懈并且在將筒狀的部件從板 狀的部件上進行松懈之后就能夠把電纜從X射線照射裝置上拆卸下
來，由此，就能夠在x射線照射系統(tǒng)中單獨更換x射線照射裝置。其 結果，與x射線照射裝置的壽命無關，除了x射線照射裝置之外的部 分，總之，例如x射線照射裝置即使是到了其壽命之后也能夠就這樣 繼續(xù)使用電纜、x射線控制裝置、抗蝕劑涂布裝置以及顯影處理裝置 等。還有，也可以對應于x射線管的管球的壽命來進行對x射線照射 裝置的更換，在該情況下，在x射線照射系統(tǒng)中不論x射線管的管球
的壽命而能夠繼續(xù)使用X射線照射裝置以外的部分。
另外，在本發(fā)明的x射線照射系統(tǒng)中，在所述筒狀的部件的一端，
優(yōu)選旋合配置于所述一端的雄螺紋部和配置于所述板狀的部件的所述 開口的雌螺紋部，并在所述筒狀的部件的另一端設置為了夾鉗所述電 纜的夾鉗部件，然后旋合所述另一端和所述夾鉗部件。
在此情況下，筒狀的部件包圍有連接器，筒狀的部件的一端是由 板狀的部件的開口被旋合，而筒狀的部件的另一端是與夾緊電纜的夾 鉗部件相旋合。由以上的構成就能夠保持在板狀的部件、筒狀的部件 以及夾鉗部件上的密閉性，其結果，也就能夠抑制在板狀的部件、筒
抑制^射線照射裝i內的^體從X射線照射裝置泄漏出而流入抗蝕劑
涂布裝置或顯影處理裝置內，以及抑制抗蝕劑涂布裝置或顯影處理裝
置內的氣體流入x射線照射裝置內。
另外，來自于外部的氣體通過氣體導入部被導入到x射線照射裝
置內，并且由于x射線照射裝置內的氣體通過氣體排氣部被排放至外
部，所以該氣體又能夠起到一個冷卻x射線照射裝置內的角色。
在本發(fā)明的x射線照射系統(tǒng)中，優(yōu)選在所述筒狀的部件的一端上
具備為了密閉所述板狀的部件和該筒狀的部件的第1密封部件，在所 述筒狀的部件的另一端上具備為了密封所述夾鉗部件和該筒狀的部件
的第2密封部件。
通過在板狀的部件和筒狀的部件之間具備第1密封部件，并且在
夾鉗部件和筒狀的部件之間具備第2密封部件，從而能夠進一步提高在板狀的部件、筒狀的部件以及夾鉗部件上的密閉性，其結果，也就 能夠更加切實地抑制在板狀的部件、筒狀的部件以及夾鉗部件的周邊 發(fā)生氣體的流出與流入。因此，就能夠更加切實地抑制X射線照射裝
置內的氣體從x射線照射裝置泄漏出而流入抗蝕劑涂布裝置或顯影處
理裝置內，以及抑制抗蝕劑涂布裝置或顯影處理裝置內的氣體流入x
射線照射裝置內。
在本發(fā)明的x射線照射系統(tǒng)中，優(yōu)選更進一步具備為了通過所述
氣體導入部而將來自于外部裝置的所述氣體導入到所述筐體內的氣體 導入管、為了通過所述氣體排氣部而將所述筐體內的所述氣體排放至 外部的氣體排放管。
氣體導入管是為了通過氣體導入部把來自于例如外部的氣體供給
源的氣體導入到x射線照射裝置內的部件，氣體排放管是為了通過氣 體排氣部把x射線照射裝置內的氣體排放到例如外部的氣體回收設備
的部件。作為使用該氣體的為了氣冷的手段，這些氣體導入管以及氣 體排放管也可以與氣體導入部以及氣體排氣部一起來被使用。
根據本發(fā)明，能夠提供一個提高x射線照射裝置的密閉性為可能 的X射線照射系統(tǒng)以及X射線照射裝置。


圖1是表示第1實施方式的X射線照射裝置1的分解立體圖。 圖2是由圖1所表示的X射線照射裝置1的截面圖。 圖3是沿圖2的III-III線的截面圖。 圖4是表示X射線管8的截面圖。
圖5是由圖2所表示的X射線照射裝置1的主要部分擴大截面圖。 圖6是表示X射線管8組合配置于前面面板5的狀態(tài)的立體圖。 圖7是表示第1實施方式的X射線照射系統(tǒng)100的構成的方塊圖。 圖8是表示第2實施方式的涂布/顯影裝置200的平面概略圖。 圖9是表示將X射線照射裝置1配置于涂布/顯影裝置200的各個 處理單元300的圖。 符號說明
1、 X射線照射裝置 2、保護外殼 6、背面面板8、 X射線管 23、連接端子 35、驅動部
36、板狀的部件38、氣體導入部39、氣體排氣部
40、氣體導入管41、氣體排氣管42、電纜
43、電纜本體44、連接器45、筒狀的部件
46、第1密封墊圈47、第2密封墊圈48、連結蓋帽
70、控制部80、輔助設備100、 X射線照射
系統(tǒng)
200、涂布/顯影裝置230、抗蝕劑涂布單元
280、顯影單元 308、氣體導入設備 309、氣體排氣設備
具體實施例方式
以下，參照附圖詳細地說明本發(fā)明所涉及的X射線照射裝置以及 X射線照射系統(tǒng)的優(yōu)選實施方式。另外，在圖面的說明中對于相同的
要素標注相同的符號，從而省略重復說明。
首先，參照附圖對本發(fā)明的第1實施方式所涉及的x射線照射裝 置1以及x射線照射系統(tǒng)ioo加以說明。
如圖1~圖3所示，X射線照射裝置1具有由箱體型構成的保護外 殼2 (筐體)，該保護外殼2是由熱傳導性良好的材料構成的，被分成 3個部分。即，保護外殼2由如下部分構成，即由不銹鋼形成的四方柱 形狀的外殼本體部4、由鋁形成的平板狀的前面面板5、由鋁形成的平 板狀的背面面板6，并構成3分割型的箱體。然后，在該保護外殼2 中，其全長大約為100mm，前面面板5的板厚被設定為大約10mm左 右。因此，前面面板5的板厚達到全長的大約1/10，通過增大前面面 板5的板厚，能夠期待高散熱性。還有，由鋁構成的安裝用基底板7 被螺絲固定在保護外殼2上。
在如此的保護外殼2內，配置有產生軟X射線并用于消除靜電等 的X射線管8。如圖4所示，該X射線管8具有科瓦鐵鎳鈷合金玻璃 (kovar glass)制的真空管9，在該真空管9的末端形成具有排氣管10 的芯柱(stem) 11，在真空管9的開放端焊接有形成圓筒狀的科瓦鐵鎳 鈷合金金屬制的輸出窗保持部12。另外，以堵塞其中央口 12a的方式，利用銀(Ag)焊接在該輸出窗保持部12上固定圓板狀的輸出窗13， 在輸出窗13的內面?zhèn)?，蒸鍍有利用電子束的撞擊產生X射線的靶14。 再則，在芯柱11上固定有2根芯柱銷15、 15，在真空管9內設置 有作為以規(guī)定的電壓來放出電子束的陰極的燈絲16，該燈絲16是被固 定于芯柱銷15的前端。另外，在一方的芯柱銷15上，固定有形成圓 筒狀的不銹鋼制的聚焦器17。然后，該輸出窗保持部12因為是由科瓦 鐵鎳鈷合金金屬形成的，在熱傳導性以及導電性為良好的同時，因為 是電連接于被接地的保護外殼2，所以成為接地電位，因此，靶14也 被維持在接地電位。
在此，從后述的電壓產生部21向X射線管8的芯柱銷15提供 -9.5kV的高電位，從燈絲16向接地電位的靶14照射電子束。此時， 通過電子束的撞擊從耙14放射出軟X射線，該X射線從輸出窗13向 外部放射。通過由如此的形式構成X射線管8，從而能夠將真空管9 制成直徑為15mm、長度為30mm左右的大小，因此，就有可制得全長 為40mm左右的小型X射線管8。還有，在使用的時候，小型X射線 管8的靶14會成為高溫，為了維持X射線的產生效率并防止靶14的 損壞，有必要讓靶14的熱適當排放至外部。
再有，如圖1以及圖2所示，在保護外殼2內容納有驅動部35。 驅動部35包含線路基板20、搭載于該線路基板20上的電壓產生部21 、 連接端子23等。電壓產生部21是向芯柱銷15提供-9.5kV的高電位并 驅動X射線管的裝置。首先，在電壓產生部21內的低電壓產生部位將 電位提高至-lkV，然后，在高電壓產生部位將電位提高至-9.5kV。線 路基板20通過螺絲固定在鋼制的基底平板22上。而后，從電壓產生 部21的高電壓產生部位延伸的配線21a連線于X射線管8的芯柱銷 15，在X射線管8的真空管9上固定有覆蓋芯柱銷15的圓筒狀的罩
(cap) 19。另外，在罩19內，在配線21a和芯柱銷15的連線之后充 填硅樹脂P (參照圖6)。還有，在線路基板20上設置有內藏CPU61
(參照圖7)的首部電路60 (參照圖7)，來自首部電路60的控制信號 通過規(guī)定的配線向電壓產生部21輸出。
在該基底平板22的前端， 一體設置以L字狀豎立的第1安裝片 22a，在基底平板22的后端也是一體設置以L字狀豎立的第2安裝片22b。并且，第1安裝片22a用于將電壓產生部21固定于保護外殼2， 第2安裝片22b用于與線路基板20上的低電壓產生部位連接的連接端 子23的安裝。例如，第1安裝片22a通過固定螺絲25以壓合于前面 面板5的方式固定，連接端子23通過緊固螺帽24固定于第2安裝片 22b，背面面板6通過螺絲28以壓合于第2安裝片的方式固定。如此， 由熱傳導性良好的鋁構成的平板狀的前面面板5和背面面板6因為是 通過鋼制的基底平板22進行連接的，所以也能夠利用背面面板6進行 散熱，能夠實現憑借保護外殼2的高散熱性。
再有，在將上述的X射線管8固定于保護外殼2的時候，X射線 管8被固定于由鋁構成的前面面板5。如圖1以及圖5所示，在該前面 面板5上形成X射線管8的輸出窗保持部12被插入的圓柱狀的開口部 26，在制作出該開口部26的壁面26a上，形成向內部的環(huán)狀的突起部 27。于是， 一體設置于輸出窗保持部12的前端的環(huán)狀凸緣部18與該 突起部27抵接。
進一步，在開口部26的壁面26a上形成有雌螺紋部29，在該雌螺 紋部29上旋合具有外螺紋30a的固定螺帽30。該固定螺帽30是由熱 傳導性良好的黃銅所構成，同時由插入到開口部26的大致圓筒形狀的 軀干部31和形成六角螺帽的六角首部32構成。
在此，在將X射線管8的輸出窗保持部12插入到前面面板5的開 口部26內的狀態(tài)下，以使固定螺帽30的外螺紋部30a旋合于雌螺紋 部29的方式鎖緊固定螺帽30。然后，通過充分地鎖緊固定螺帽30， 使設置于X射線管8的輸出窗保持部12的環(huán)狀的凸緣部18與前面面 板5的突起部27相抵接。結果，利用固定螺帽30的前端30b將凸緣 部18向突起部27擠壓，而將X射線管8固定于前面面板5(參照圖6)。 因此，通過使用如上所述固定螺帽30，能夠在保護外殼2內既簡單又 確實地固定X射線管8。而且，固定螺帽30因為是由熱傳導性良好的 材質形成的，所以就能夠提高從X射線管8的輸出窗保持部12向前面 面板5的熱傳導性，由于接近于攝氏IOO度的輸出窗保持部12的熱容 易被釋放，因而就能夠維持X射線產生效率并方盒子靶14的損壞。
另外，在固定螺帽30的內壁面上，形成向內部突起的定位面30c， 該定位面30c與輸出窗保持部12的外面12a相接觸。由此，就能夠簡
13單又確實地實現憑靠固定螺帽30對X射線管8進行定位，而且，能夠 更進一步提高從設置于X射線管8的輸出窗保持部12向前面面板5的 熱傳導性。因此，就能夠更進一步維持X射線產生效率并防止靶14的 損壞。
另外，在利用固定螺帽30的前端30b和輸出窗保持部12的凸緣 部18夾入橡膠圈34時，通過旋緊固定螺帽30使凸緣部18相對于突 起部27具有恰當的擠壓力并確實地固定。另外，在采用所述的固定螺 帽30時，前面面板5的板厚必然會變大，隨之而來的就能夠期待在前 面面板5上的高散熱性。而且，由于通過鋼制的基底平板22使由熱傳 導性良好的鋁構成的前面面板5和背面面板6相熱連結，因此在背面 面板6上也有可能進行散熱，實現了憑借保護外殼2的高散熱性。
參照圖1~圖3，利用多個螺絲37將鋁制的板狀的部件36螺絲固 定在背面面板6上。背面面板6以及板狀的部件36在分別所對應的位 置上具有開口部6a以及開口 36a，而連接端子23就被固定在與這些開 口部6a以及開口 36a臨近的位置上。
背面面板6還具有開口部6b，氣體導入部38位于該開口部6b。 氣體導入部38為大致筒狀的形狀，用于向保護外殼2內導入氣體。另 外，背面面板6還具有開口部6c，氣體排氣部39是位于該開口部6c。 氣體排氣部39為大致筒狀的形狀，用于將保護外殼2內的氣體排放到 外部。在本實施方式中，在開口部6b、 6c形成各個雌螺紋部6d、 6e， 將形成在氣體導入部38以及氣體排氣部39各自外周面一端上的雄螺 紋部38a、 39a，分別與雌螺紋部6d、 6e相旋合。由此，利用開口部6b、 6c分別將氣體導入部38以及氣體排氣部39固定于背面面板6。另外， 經由氣體導入部38將來自氣體導入管40的例如氮氣導入到保護外殼2 內，并通過氣體排氣管41將保護外殼2內的該氮氣排放至外部。
進一步參照圖1 圖3，電纜42具備，電纜本體43、連接器44、 筒狀的部件45、第1密封墊圈46 (第1密封部件)、第2密封墊圈47 (第2密封部件)以及連結蓋帽48 (夾鉗部件)。連接器44被設置于 電纜本體43的X射線照射裝置一側的一端，用于在開口部6a以及開 口 36a的位置上裝卸自如地連接電纜本體43的一端和連接端子23。通 過連接器44使電纜本體43和連接端子23連接，從而使X射線照射裝裝置1和后述的控制部70 (參照圖7)電氣連接。
鋁制的筒狀的部件45通過被制成筒狀的形狀，而包圍連接器44。 因此，筒狀的部件45能夠起到用于保護連接器44的部件的功能。在 筒狀的部件45的一端設置有雄螺紋部45a，該雄螺紋部45a，與形成 在成為板狀的部件36的開口 36a的壁面36b上的雌螺紋部36c相旋合。 另外，在該壁面36b上向內部設置有突起部36d，雄螺紋部45a和雌螺 紋部36c相旋合，直到筒狀的部件45的端部45b隔著后述的第1密封 墊圈46與該突起部36d抵接，由此能夠保持板狀的部件36和筒狀的 部件45之間的密閉性。
在此，在板狀的部件36和筒狀的部件45之間，即，在板狀的部 件36的突起部36d和筒狀的部件45的端部45b之間，還設置有第1 密封墊圈46，由此，能夠進一步提高板狀的部件36和筒狀的部件45 之間的密閉性。該第1密封墊圈46例如由合成橡膠構成。
另外，作為連接器44，如圖1所示，具有連接器本體部44b，以 及在與連接端子23連接的一側覆蓋連接器本體部44b的一部分的外周 部44a。使用如上所述連接器44，操作者可以暫時用手指掐著外周部 44a，并向連接器本體部44b的其他部分(未被外周部44a覆蓋的部分) 僅牽拉例如距離dl，就能夠進行與連接端子23的裝卸。在此情況下， 如圖2、圖3以及圖6所示，在連接器44被連接于連接端子23的狀態(tài) 下，因第1密封墊圈46的存在，使連接器44的外周部44a成為總是 向連接器本體部44b的其他部分僅牽拉該距離dl的狀態(tài)。在連接器44 與連接端子23連接時，例如外周部44a的前端部分44c與第1密封墊 圈46相接，但是外周部44a被牽拉的程度(上述距離dl)與第l密封 墊圈46的厚度的程度(由圖1所表示的d2)例如大致一致時，在前端 部分44c與第1密封墊圈46相接后，即使上述被牽拉的外周部44a與 操作者的手離開，因該第1密封墊圈46的存在也不會使其復原。因此， 在從連接端子23拔除連接器44時，操作者即使不向連接器本體部44b 的其他部分暫時牽拉連接器44的外周部44a也能完成。由此，就能夠 提高從連接端子23拔除連接器44的時候的操作性。
在筒狀的部件45的另一端側，具備用于夾緊電纜本體43的連結 蓋帽48。連結蓋帽48由本體部件49、套管(套筒)50以及鎖緊部51的3個部件構成。作為連結蓋帽48的一個例子，可以使用例如曰本 ABC公司(工< 7V— 、>一株式會社)制的"短腳型尼龍超級密 封壓蓋(短足型Nylon super gand (于^ 口 乂7—八。一夕、、，乂 K) (A 型)70-015"。
連結蓋帽48的本體部件49，其在兩端上分別形成有雄螺紋49a、 49b，該雄螺紋49a與設置于筒狀的部件45的另一端的雌螺紋45c相 旋合。由此，就能夠保證在連結蓋帽48和筒狀的部件45之間的密閉 性。在此，通過在連結蓋帽48的本體部件49和筒狀的部件45之間進 一步設置第2密封墊圈47，能夠進一步提高在連結蓋帽48和筒狀的部 件45之間的密閉性。該第2密封墊圈47例如由合成橡膠構成。
另外，套管50，在使電纜本體43通過設置于其內部的空洞的狀態(tài) 下，推入本體部件49的空洞。然后，鎖緊部51通過套管50與本體部 件49旋合，套管50陷入電纜42而固定。而且，在鎖緊部51上形成 雌螺紋51a，該雌螺紋51a與本體部件49的雄螺紋49b相旋合。
如以上所述，包圍連接器44的筒狀的部件45通過第1密封墊圈 46與板狀的部件36相旋合，并且筒狀的部件45通過第2密封墊圈47 與連結蓋帽48相旋合，而且，通過使套管50在向半徑方向上陷入電 纜本體43，形成板狀的部件36、筒狀的部件45以及連結蓋帽48上的 密封狀態(tài)，使導入到X射線照射裝置1的內部的氣體(例如氮氣)難 以從連接器部分向外部泄露。
另外，通過松開連結蓋帽48并從板狀的部件36拆卸筒狀的部件 45，由此可以從連接端子23拔除連接器44。由此，在包含X射線照 射裝置1的裝置(例如參照圖7后述的X射線照射系統(tǒng)100或者參照 圖8以及圖9后述的涂布/顯影裝置200)中，能夠僅更換X射線照射 裝置1。其結果，與X射線照射裝置1的壽命無關而能夠繼續(xù)使用除 了X射線照射裝置1之外的部分。還有，也可以對應于X射線管8的 管球的壽命來進行X射線照射裝置1的更換，在此情況下，與X射線 管8的管球的壽命無關而能夠繼續(xù)使用除了 X射線照射裝置i之外的 部分。
另外，在本實施方式中，前面面板5和電纜本體4之間、背面面 板6和電纜本體4之間、背面面板6和板狀的部件36之間、以及用于
16把電源部固定在外殼本體4的螺紋部52和電纜本體4之間，通過涂布 涂布材料，來維持密封性。還有，在圖2中，把涂布涂布材料的部分 表示為部分A。
圖7表示X射線照射裝置1以及其周邊裝置的構成。如圖7所示， X射線照射裝置1通過連接端子23 (參照圖1~圖3)以及電纜42 (參 照圖1~圖3)與控制部70 (X射線控制裝置)連接，而控制部70與輔 助設備80連接。為了進行X射線照射裝置1的控制，而由X射線照 射裝置1的使用者使用控制部70。另外，由X射線照射裝置1以及控 制部70的管理公司使用輔助設備80。這些X射線照射裝置1、電纜 42、控制部70以及輔助設備80構成了 X射線照射系統(tǒng)100。
在X射線照射裝置1中，通過電壓產生部21 (參照圖2)使首部 電路60的CPU61與X射線管8連接，該CPU61監(jiān)視由電壓產生部21 對X射線管8的通電時間，由此測量并積算X射線管8的X射線照射 時間(即，X射線管8的工作時間)。利用CPU61，將被積算的X射 線管工作積算時間，與X射線照射裝置1的生產序號、生產日期、檢 驗者姓名、在X射線照射裝置1中所固有的編碼等的信息一起，存儲 在首部電路60內的未圖示的EEPROM (Electrically Erasable and Programmable ROM)內。
在控制部70中，設置有CPU71、表示X射線管8的工作狀態(tài)的 監(jiān)視器72。 CPU71測量并積算控制部70的工作時間。利用CPU71, 將被積算的控制部工作積算時間與X射線照射裝置1的生產序號、生 產日期、檢驗者姓名、在X射線照射裝置1中所固有的編碼等的信息 一起，存儲在控制部70內的未圖示的EEPROM中。
在輔助設備80中，設置有對首部電路60的CPU61以及控制部70 的CPU71進行一統(tǒng)管理的CPU81、表示信息的顯示部82、由輸入信 息的鍵盤等構成的輸入部83。如圖7所示，通過連接X射線照射裝置 1、控制部70以及輔助設備80，管理公司的工作人員可以把存儲在X 射線照射裝置1的EEPROM中的信息以及存儲在控制部70的 EEPROM中的信息表示在顯示部82上，從而能夠根據從輸入部83輸 入的信息來改寫這些信息。
例如，在僅僅更換X射線照射裝置1的時候，管理公司的工作人員能夠把存儲在控制部70中的EEPROM的更換前的X射線照射裝置 1的生產序號、生產日期、檢驗者姓名以及更換前的X射線照射裝置1 的所固有的號碼的信息改寫成新的X射線照射裝置1的生產序號、生 產日期、檢驗者姓名以及新的X射線照射裝置1的所固有的號碼的信 息。
另外，管理公司的工作人員可以將由首部電路60的CPU61積算 的X射線管8的工作積算時間以及由控制部70的CPU71積算的控制 部70的工作積算時間表示在顯示部82上，從而就能夠正確地把握X 射線管8以及控制部70的工作積算時間。特別是，由于X射線管8具 有一定壽命，因此具有，通過正確地把握X射線管8的工作積算時間， 能夠恰當地進行X射線照裝置1的產品管理的優(yōu)點。
以下是就有關本發(fā)明的第2實施方式的涂布/顯影裝置200 (X射 線照射系統(tǒng))加以說明。
〈涂布/顯影裝置200的構成〉
8是表示第2實施方式的涂布/顯影裝置200。涂布/顯影裝置200 是連接多個處理單元并進行一系列的處理的裝置，將曝光機250、字幕 機(titler) 260以及邊緣曝光機270相連接，在照相平版印刷工序中從 抗蝕劑涂布前的清洗到抗蝕劑涂布 曝光 顯影為止可連續(xù)進行。還 有，在此將連接多個處理單元的全體系統(tǒng)作為本發(fā)明的X射線照射系 統(tǒng)的涂布/顯影裝置200，但是也可以將各個處理單元認為是本發(fā)明的 X射線照射系統(tǒng)，另外，也能夠分別將各個處理單元的主要的處理部 認為是本發(fā)明的X射線照射系統(tǒng)。另外，曝光機250等也分別是本發(fā) 明的X射線照射系統(tǒng)。
涂布/顯影裝置200主要具備，索引(indexer)部202、清洗單元 210、脫水烘烤單元220a、220b、抗蝕劑涂布單元230、預烘烤單元240a、 240b、顯影單元280、主烘烤單元290a、 290b、空氣冷卻單元299的 各個處理部和旋轉機器人204a 204e。在從索引部202到曝光機250的 行進生產線上，配置有清洗單元210、主烘烤單元290b、脫水烘烤單 元220a、抗蝕劑涂布單元230、預烘烤單元240a等。在從曝光機250的返回生產線上配置有預烘烤單元240b、顯影單元280、脫水烘烤單 元220b、主烘烤單元290a、空氣冷卻單元299等。另外，在旋轉機器 人204e的附近，設置有對曝光機250交接基板時的交接場所或者臨時 的避開等待場所的緩沖部208a 208c。該涂布/顯影裝置200為單元盒 式，從搭載于索引部202的盒203中取出玻璃基板(以下稱之為"基 板")并送往各個處理部，把完成各個處理工序的基板收納于相同的 盒203。利用保持基板具有可旋轉的臂，并可沿著盒203的列移動的索 引機器人202a進行從盒203中取出以及收納于盒203中。
清洗單元210是連續(xù)葉片式的處理部，由搬入部212、清洗部213、 液滴除去部214以及搬出部215構成。另外，在搬入部212的上部設 置有UV臭氧清洗室211。 g卩，在清洗單元210的上面重疊了UV臭氧 清洗室211 。從UV臭氧清洗室211到搬入部212為止是由索引機器人 202a來搬送基板。從搬入部212到搬出部215為止是由傳送帶來一邊 搬送基板， 一邊進行清洗或者液滴除去等的處理。在清洗部213中， 進行通過使用純水或者藥液的毛刷、超聲波以及高壓噴淋等的清洗。 另外，傳送帶是采用對應于無塵室內的出塵性小的滾輪傳送帶。
脫水烘烤單元220a、 220b是多段性地疊加了靜止式的加熱處理室 以及冷卻處理室、緊密附著強化室，傳送帶室、緩沖室、通過室的單 元?？刮g劑涂布單元230是葉片式的處理裝置，由搬入部231、旋轉涂 布機部232、整平處理部233、洗邊部234以及搬出部235構成。從搬 入部231到搬出部235為止由按順序向鄰接的處理部傳送基板的滑送 機205a 205d來搬送基板。
預烘烤單元240a、 240b多段疊加了靜止式的加熱處理室以及冷卻 處理室、傳送帶室、通過室。顯影單元280是連續(xù)葉片式的處理部， 由搬入部281、顯影部282、水洗部283、干燥部284以及搬出部285 構成。從搬入部281到搬出部285為止通過傳送帶并以水平方向來搬 送基板。主烘烤單元290a、 290b多段疊加了靜止式的加熱處理室以及 冷卻處理室、傳送帶室、緩沖室、通過室。
旋轉機器人204a 204e能夠旋轉但是沒有能夠在水平方向上移動 的結構，即為所謂的組合型機器人?；蜋C205a 205d由矩形運動相 對于一個方向僅以規(guī)定的距離使基板的位置滑動的機器，被配置于抗
19蝕劑涂布單元230的各個部分之間。
〈涂布/顯影裝置200的基板處理〉
以下是就有關基于涂布/顯影裝置200的基板處理按順序加以說 明。在索引部202中由索引機器人202a從盒203取出的基板首先被送 往UV臭氧清洗室211，由紫外線的照射從而氧化分解表面的有機污染 物。完成該處理的基板被索引機器人202a移入搬入部212?；灞皇?行從搬入部212被運往清洗部213、由滾輪毛刷的拋刷清洗、超聲波噴 淋清洗以及由高壓噴淋的純水清洗。在此處的清洗也可以是使用堿性 清洗液等來進行處理的方法。此后，基板在液滴除去部214中由風刀 吹掉殘留于表面的純水的液滴。
完成在清洗單元210的處理并被移至搬出部215的基板由未圖示 的傳送帶通過主烘烤單元290b之中從而被送入脫水烘烤單元220a。在 脫水烘烤單元220a、 220b中，基板由旋轉204a被運往各個處理室。 被搬送至脫水烘烤單元220a的傳送帶室的基板被運往加熱室。在此， 基板熱平板被加熱從而除去基板上的水分。還有，此時，在進行后段 的曝光機250中的照相底版更換或者旋轉涂布機部232的裝置清洗等 的時候等，基板在適當的緩沖室被作臨時保管后，被運往加熱室。然 后基板被運往緊密附著強化室。在緊密附著強化室中，把提高抗蝕劑 膜和基板的緊密附著性作為目的，相對于基板一邊施以加熱處理一邊 以蒸汽狀態(tài)涂布HMDS。此后，基板再被運送到冷卻室，由冷卻平板 對基板加以冷卻。如此，作為抗蝕劑涂布處理的前處理并被施以脫水 烘烤的基板被運送至抗蝕劑涂布單元230的搬入部231。
抗蝕劑涂布單元230中，首先由滑送機205a把基板運往旋轉涂布 機部232，然后相對于基板就進行抗蝕劑的涂布。旋轉涂布機部232 是由抗蝕劑供給系統(tǒng)、旋轉馬達以及容器等所構成，通過在被整平了 的基板上滴下抗蝕劑并使基板旋轉，從而在基板上形成一層均勻的抗 蝕劑膜?？刮g劑膜被形成的基板由滑送機205b被運往整平處理部233， 并進行抗蝕劑膜的整平處理以及干燥處理。此后，基板由滑送機205c 被移送至洗邊部234。在洗邊部234中，為了防止基板端面的抗蝕劑膜 剝落而產生垃圾和灰塵，進行用溶劑去除基板表面的周邊或者端面部分的抗蝕劑的處理。完成這些與抗蝕劑涂布有關的各個處理的基板由
滑送機205d被運送至搬出部235。
從搬出部235被運送至鄰接于搬出部235的預烘烤單元240a的基 板由旋轉機器人204c被移送至加熱室。在此，是把基板上的抗蝕劑膜 中的殘留溶劑的蒸發(fā)和基板的緊密附著性強化作為目的來進行加熱處 理。之后，基板在冷卻室中被冷卻，然后由旋轉機器人204c被運往多 段交接部209。
再則，基板由旋轉機器人204d、 204e被移送至曝光機250，并被 施以曝光處理。具體是施以相對于基板上的抗蝕劑使在原圖形上的線 路圖形感光的處理。被感光的基板從曝光機250由旋轉機器人204e被 取出，并通過緩沖部208c被保持在旋轉機器人204d。還有，向曝光機 250的搬入在搬出的時候如果有必要基板可以在緩沖部208a、 208b以 及208c作暫時保管。
然后，基板從旋轉機器人204d被移送至字幕機(litler) 260以及 邊緣曝光機270并分別進行印字的印象制作以及邊框曝光。在邊緣曝 光機上，作應該對除了基板上的顯示部的基板周邊的抗蝕劑進行去除 的曝光處理。在此，雖然把邊緣曝光機270設置于這個工序的位置上， 但是對應于必要也可以將背面曝光單元設置于此。另外，作為取代字 幕機(litler) 260那么也可以設置背面曝光單元。完成這些處理的基板 由旋轉機器人204d被移送至多段交接部209，并由未圖示的滑送機被 裝載于傳送帶部279。于是，基板從傳送帶部279通過預烘烤單元240b 被送往顯影單元280的搬入部281 。
在顯影單元280中，基板由傳送帶從搬入部281被搬送至搬出部 285。于是，在顯影部282中，實施以淋浴狀從噴淋嘴將噴霧狀的顯影 液噴灑到基板表面的噴淋顯影、或者在基板上形成顯影液的積存的槳 攪拌顯影。在水洗部283和干燥部284中，相對于顯影后的基板進行 由純水等的淋洗液的清洗以及干燥。完成這些處理的基板由通過預烘 烤單元220b的未圖示的傳送帶從搬出部285被運送到主烘烤單元 290a。
在主烘烤單元290a、 290b中，蒸發(fā)去除基板上的抗蝕劑膜中或者 殘留于表面的淋洗液，從而進行把抗蝕劑的固化以及與基板的緊密附著性強化作為目的的熱處理。具體是由加熱室的熱平板對基板進行加 熱，之后由冷卻室的冷平板對基板進行冷卻。另外，基板在適當的緩 沖室里被作臨時的保管。被實施了這些處理的基板被運往空氣冷卻單
元299。于是，在空氣冷卻單元299中被冷卻的基板由索引機器人202a 被收容于原來的盒203中。
〈涂布/顯影裝置200中的X射線照射裝置1〉
在上述的各個處理單元的各個處理部或者各個處理室、曝光機 250、字幕機260、邊緣曝光機270、緩沖部208a、 208b、 208c中，分 別配備了在第1實施方式所說明的X射線照射裝置1。這些X射線照 射裝置1是利用軟X射線的除靜電裝置，利用軟X射線所具有的電離 作用在照射范圍的空間內生成高濃度的離子，從而可在瞬間除去帶電 物體的靜電。另外，是光照射方式的裝置，它不會有微粒子、臭氧以 及介電電壓等的發(fā)生。
圖9是表示將第1實施方式的X射線照射裝置1適用于涂布/顯影 裝置200的各個處理單元的一個例子的圖。作為第1實施方式的X射 線照射裝置1被適用的場所，列舉有抗蝕劑涂布單元230 (抗蝕劑涂布 處理裝置)或者顯影單元280 (顯影處理裝置)等的各個處理單元的各 個處理部或者各個處理室、曝光機250、字幕機260、邊緣曝光機270、 緩沖部208a、 208b、 208c等。以下把X射線照射裝置1被適用的部分 總稱為"各個處理單元300"。
如圖9所示，在機座301上配置有載臺(stage)302，基板303 (第1 基板和第2基板)位于該載臺302上?；?03由未圖示的自動搬送 裝置被搬入到各個處理單元300內。給基板的抗蝕劑的供給是由定量 分料器304來進行的。另外，X射線照射裝置1在各個處理單元300 內被配置于能夠將軟X射線照射于基板303的位置。X射線照射裝置 1 ，使用連接固定器307將安裝在X射線照射裝置1上的支持棒305和 安裝在機座301上的支柱306固定，從而配置在規(guī)定的位置上。由以 上的那樣的構成，X射線照射裝置1在例如抗蝕劑涂布處理前后或者 在抗蝕劑涂布處理中就能夠由軟X射線照射來去除基板303的靜電。 還有，在圖9中從X射線照射裝置1將照射于基板303的軟X射線表 示為X。另外，X射線照射裝置l通過電纜42與控制部70進行電連接。X 射線照射裝置1和電纜42之間的連接構造正如在第1實施方式中參照 圖l-圖3所作的說明。由此，就能夠保證X射線照射裝置1和電纜42 之間的密封性，X射線照射裝置1內的氣體(例如氮氣)就不會往X 射線照射裝置1的外部滲漏，即不會滲漏至例如抗蝕劑涂布單元230 或者顯影單元280等的各個處理單元300內。
另外，松開連結蓋帽48 (參照圖1~圖3)并從板狀的部件36取下 筒狀的部件45 (參照圖1 圖3)，從而能夠從連接端子23拔除連接器 44。由此，在例如抗蝕劑涂布單元230或者顯影單元280等的各個處 理單元300中，能夠單獨更換X射線照射裝置1。其結果，與X射線 照射裝置1的壽命無關而能夠繼續(xù)使用除了 X射線照射裝置1之外的 部分。還有，也可以根據X射線管8的管球的壽命來進行X射線照射 裝置1的更換，在該情況下，與X射線管8的管球的壽命無關，能夠 繼續(xù)使用除X射線照射裝置1之外的部分。
另外，X射線照射裝置1是通過氣體導入管40 (氣體導入管)與 氣體導入設備308相連接的。氣體導入設備308是例如提供氮氣的設 備。另外，X射線照射裝置1是通過氣體排氣管41 (氣體排放管)與 氣體排氣設備309相連接的。氣體排氣設備309是回收來自于氣體排 氣管41的氮氣的裝置例如排氣泵。另外，氣體導入管40以及氣體排 氣管41能夠裝卸自如地分別被安裝于X射線照射裝置1的氣體導入部 38以及氣體排氣部39。作為氣體導入管40以及氣體排氣管41是使用 例如聚四氟乙烯制的管。利用以上的構成，氮氣從氣體導入設備308 被導入到X射線照射裝置1內，并且X射線照射裝置1內的氮氣被排 放到氣體排氣設備309。該構成用于將X射線照射裝置1內的壓力維 持在高于X射線照射裝置1之外的壓力，即使其維持在高于各個處理 單元300內的壓力。
如上所述，通過使X射線照射裝置內的壓力比例如抗蝕劑涂布單 元230內的壓力或者顯影單元280內的壓力稍高，可防止抗蝕劑涂布 單元230或者顯影單元280內的環(huán)境氣體侵入到X射線照射裝置1內。 在抗蝕劑涂布單元230或者顯影單元280等當中例如使用有機溶劑， 在抗蝕劑涂布單元230或者顯影單元280等當中的各個工序的環(huán)境氣體中就會充滿該有機類的氣體。X射線照射裝置1配置上述的環(huán)境氣 體中而進行使用，當涂布抗蝕劑的工序等中存在于環(huán)境氣體中的自由 基的氣體侵入到X射線照射裝置時，因自由基的氣體使X射線照射裝 置內的部件等損壞。另外，在氣體為可燃性的情況下， 一旦進入X射
線照射裝置l內則x射線照射裝置由于使用高電壓，存在在x射線照 射裝置l內發(fā)生點火或者爆炸的危險。雖然可通過提高x射線照射裝
置的密封性來降低危險度，但是在結構上難以完全密封X射線照射裝 置。所以在本實施方式中，通過防止抗蝕劑涂布單元230內的氣體或 者顯影單元280內的氣體進入到X射線照射裝置1內，從而能夠減少 X射線照射裝置1內的部件的損壞或者減少在X射線照射裝置內的起 火和爆炸的危險性。另外，因為不必進行完全密封，所以不會使X射 線照射裝置的構造復雜化，能夠簡化其構造，從而也能夠制作出小型 的X射線照射裝置。
另外，為了將X射線照射裝置1內維持在正壓，具有大的開口的 連接器44部分的密封性很重要，利用本發(fā)明的連接器部分的構造可使 X射線照射裝置1內維持在適當的正壓。如果提高該連接器部分的密 封性，則由于存在于其它部分的間隙較小，因此就能夠減小因從X射 線照射裝置內泄漏出來的氣體對各個處理單元的影響。還有，對于較 小的間隙所放出的氣體就少，也可以用具有耐環(huán)境氣體的性質的樹脂 材料等來堵塞間隙。
另外，在本實施方式中，為了使X射線照射裝置1內維持在正壓 而使用氮氣，但是并不只限于此，只要是不活潑氣體而不限于氮氣， 例如也可以使用氬氣或者氦氣等的稀有氣體。
另外，在本實施方式中，調節(jié)氣體導入設備308的氮氣的流量以 及氣體排氣設備309的氮氣的流量的雙方并將X射線照射裝置1內的 壓力控制在正壓，但是并不只限于此，也可以調節(jié)氣體導入設備308 以及氣體排氣設備309中的任意一方，而將X射線照射裝置1內部的 壓力控制在正壓。此時，例如在環(huán)境允許的情況下，也可以不使用氣 體排氣設備309直接向外部排放來自氣體排氣管41的氣體。以下是就有關本發(fā)明的第1實施方式的X射線照射裝置1以及X
射線照射系統(tǒng)100、第2實施方式所涉及的涂布/顯影裝置200的作用 以及效果加以說明。
根據本發(fā)明的上述實施方式，筒狀的部件45包圍連接器44，使筒 狀的部件45的一端旋合在板狀的部件36的開口 36a上，筒狀的部件 45的另一端與夾鉗電纜本體43的連結蓋帽48旋合。由以上的構成， 能夠保證板狀的部件36、筒狀的部件45以及連結蓋帽48的密閉性， 其結果，就能夠抑制在板狀的部件36、筒狀的部件45以及連結蓋帽 48的周邊發(fā)生氣體的流入與流出。因此，能夠抑制X射線照射裝置1 內的氣體從X射線照射裝置1中流出并流到抗蝕劑涂布單元230內或 者顯影單元280內，并可抑制抗蝕劑涂布單元230內或者顯影單元280 內的氣體進入到X射線照射裝置1內。
再有，連接器44，其將連接電纜42和X射線照射裝置1裝卸自 如地連接。因此，例如在從筒狀的部件45松開連結蓋帽48并從板狀 的部件36松開筒狀的部件后，能夠從X射線照射裝置1取下電纜42。 由此，能夠在X射線照射系統(tǒng)中單獨更換X射線照射裝置1。其結果， 與X射線照射裝置1的壽命無關即使是X射線照射裝置1己達到其壽 命也能夠繼續(xù)使用除了X射線照射裝置1之外的部分，即，例如電纜 42、控制部70、抗蝕劑涂布單元23以及顯影單元280等。還有，也可 以根據X射線管8的管球的壽命來進行X射線照射裝置1的更換，在 此情況下，在涂布/顯影裝置200中，與X射線管8的管球的壽命無關， 可繼續(xù)使用除了X射線照射裝置1之外的部分。由以上所述，使涂布/ 顯影裝置200的維護保養(yǎng)就變得容易。
另外，通過設置氣體導入部38以及氣體排氣部39，能夠把氣體導 入到X射線照射裝置1并且將X射線照射裝置1內的氣體排放至外部。 在此，通過適當控制氣體的流量，能夠將X射線照射裝置1內的壓力 控制到高于X射線照射裝置1外的壓力，即例如使其高于抗蝕劑涂布 單元230或者顯影單元280內的壓力。如上所述，通過把X射線照射 裝置1內控制在正壓，就能夠防止抗蝕劑涂布單元230或者顯影單元 280內的氣體侵入到X射線照射裝置1內，能夠提高X射線照射裝置 1的密閉性。
25另外，因為來自外部的氣體是通過氣體導入部38被導入到X射線 照射裝置1內，并且X射線照射裝置1內的氣體是通過氣體排氣部39 被排放至外部，所以該氣體能夠起到一個冷卻X射線照射裝置1內的 角色。
另外，通過在板狀的部件36和筒狀的部件45之間具備第1密封 墊圈46，并且通過在連結蓋帽48和筒狀的部件45之間具備第2密封 墊圈47，從而能夠更加提高在板狀的部件36、筒狀的部件45以及連 結蓋帽48上的密閉性，其結果，就能夠更加切實地抑制在板狀的部件 36、筒狀的部件45以及連結蓋帽48的周邊發(fā)生氣體的流出與流入。 因此，就能夠更加切實地抑制X射線照射裝置1內的氣體從X射線照 射裝置1中出來而流到抗蝕劑涂布單元230內或者顯影單元280內、 或者抑制抗蝕劑涂布單元230內或者顯影單元280內的氣體進入到X 射線照射裝置l內。
權利要求
1.一種X射線照射系統(tǒng)，其特征在于所述X射線照射系統(tǒng)具備，照射X射線的X射線照射裝置、控制所述X射線照射裝置的X射線控制裝置、電連接所述X射線照射裝置以及所述X射線控制裝置的電纜；所述X射線照射裝置具備X射線管、驅動所述X射線管的驅動部、容納所述X射線管以及所述驅動部并具有開口部的筐體、設置于所述筐體并在對應于所述開口部的位置上具有開口的板狀的部件；所述電纜具備設置于該電纜的一端，用于將該電纜的一端與電連接于所述驅動部的連接端子裝卸自如地連接的連接器、包圍所述連接器的筒狀的部件；所述驅動部和所述電纜，利用所述連接端子以及所述連接器，經由所述筐體的所述開口部以及所述板狀的部件的所述開口，裝卸自如地電連接。
2. 如權利要求1所述的X射線照射系統(tǒng)，其特征在于在所述筒狀的部件的一端，使配置在所述一端上的雄螺紋部和配 置在所述板狀的部件的所述開口上的雌螺紋部相旋合，在所述筒狀的部件的另一端設置有用于夾鉗所述電纜的夾鉗部 件，并且所述另一端和所述夾鉗部件相旋合。
3. 如權利要求項1或2所述的X射線照射系統(tǒng)，其特征在于在所述筒狀的部件的一端具備用于密閉所述板狀的部件和該筒狀 的部件的第1密封部件，在所述筒狀的部件的另一端具備用于密閉所述夾鉗部件和該筒狀的部件的第2密封部件。
4. 如權利要求3所述的X射線照射系統(tǒng)，其特征在于 所述連接器具備連接器本體部、以及在與所述連接端子相連接側覆蓋所述連接器本體部的一部分的外周部，在由操作者將所述外周部向所述連接器本體部的其他部分僅牽拉 規(guī)定的量的狀態(tài)下，所述連接器本體部與所述連接端子相連接，并且 在該連接狀態(tài)下利用所述第1密封部件的存在來維持所述外周部的該 牽拉的狀態(tài)。
5. —種X射線照射裝置，其特征在于，具備 X射線管、驅動所述X射線管的驅動部、容納所述X射線管以及所述驅動部的筐體、設置于所述筐體，用于將氣體導入到所述筐體內的氣體導入部、 設置于所述筐體，用于排放所述筐體內氣體的氣體排氣部。
6. —種X射線照射系統(tǒng)，具備對第1基板進行抗蝕劑涂布處理的 抗蝕劑涂布處理裝置、對第2基板進行顯影處理的顯影處理裝置、設置于所述抗蝕劑涂布處理裝置以及所述顯影處理裝置的至少一者中，并且通過對所述第1基板以及所述第2基板的至少一方照射X射線對 該至少一方的基板除去靜電的X射線照射裝置、控制所述X射線照射 裝置的X射線控制裝置、電連接所述X射線照射裝置以及所述X射線控制裝置的電纜，其特征在于 所述X射線照射裝置具備用于對所述第1基板或所述第2基板照射X射線的X射線管、 驅動所述X射線管的驅動部、容納所述X射線管以及所述驅動部并具有開口部的筐體、 設置于所述筐體并在對應于所述開口部的位置上具有開口的板狀 的部件、設置于所述筐體并用于將氣體導入到所述筐體內的氣體導入部、 設置于所述筐體并用于排放所述筐體內氣體的氣體排氣部；所述電纜具備-設置于該電纜的一端，用于將該電纜的一端與電連接于所述驅動 部的連接端子裝卸自如地連接的連接器、 包圍所述連接器的筒狀的部件；所述驅動部和所述電纜，利用所述連接端子以及所述連接器，經 由所述筐體的所述開口部以及所述板狀的部件的所述開口，裝卸自如 地電連接。
7. —種權利要求項6所記載的X射線照射系統(tǒng)，其特征在于在所述筒狀的部件的一端，配置在所述一端上的雄螺紋部和配置 在所述板狀的部件的所述開口上的雌螺紋部相旋合，在所述筒狀的部件的另一端設置有用于夾鉗所述電纜的夾鉗部 件，并且所述另一端和所述夾鉗部件相旋合。
8. 如權利要求6或7所述的X射線照射系統(tǒng)，其特征在于在所述筒狀的部件的一端具備用于密閉所述板狀的部件和該筒狀 的部件的第1密封部件，在所述筒狀的部件的另一端具備用于密閉所述夾鉗部件和該筒狀的部件的第2密封部件。
9. 如權利要求6或7所述的X射線照射系統(tǒng)，其特征在于-還具備，用于將來自外部的裝置的所述氣體通過所述氣體導入部導入到所述筐體內的氣體導入管、和用于將所述筐體內的所述氣體通過所述氣體排氣部向外部排氣的 氣體排放管。
10. 如權利要求8所述的X射線照射系統(tǒng)，其特征在于 還具備，用于將來自外部的裝置的所述氣體通過所述氣體導入部導入到所述筐體內的氣體導入管、和用于將所述筐體內的所述氣體通過所述氣體排氣部向外部排氣的 氣體排放管。
全文摘要
一種X射線照射裝置(1)，其特征在于具備X射線管(8)、驅動X射線管(8)的驅動部(35)、容納X射線管(8)以及驅動部(35)并具有開口部(6a)的保護外殼(2)、設置于保護外殼(2)并在對應于開口部(6a)的位置上具有開口(36a)的板狀的部件；電纜(42)具備為了設置于該電纜(42)的一端并在開口部(6a)以及開口(36a)的位置上將該電纜(42)的一端和驅動部(35)與X射線照射裝置(1)裝卸自如地相連接的連接器(44)、包圍連接器(44)的筒狀的部件(45)；在筒狀的部件(45)的一端，旋合配置于一端的雄螺紋部(45a)和配置于板狀的部件(36)的開口(36a)的雌螺紋部(36c)。在筒狀的部件(45)的另一端設置為了夾鉗電纜(42)的連結蓋帽(48)，旋合該另一端和連結蓋帽(48)。
文檔編號H05G1/00GK101616532SQ200810146779
公開日2009年12月30日 申請日期2008年8月29日 優(yōu)先權日2008年6月25日
發(fā)明者日野利彥, 鋒治幸 申請人:浜松光子學株式會社