專(zhuān)利名稱(chēng)：測(cè)量電阻用的連接件、電路板的電阻測(cè)量設(shè)備和測(cè)量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用來(lái)測(cè)量電阻的連接件、電路板的電阻測(cè)量設(shè)備和測(cè)量方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，隨著需要加快電子部件以及包含這種電子部件的電子設(shè)備里的信號(hào)傳輸，對(duì)于用來(lái)制造諸如BGA和CSP的LSI組件的電路板或者其上安裝這些半導(dǎo)體器件的電路板，要求在電極之間的布線的低電阻。從而，在電路板的電氣檢查中以高精度測(cè)量這種電路板的電極之間的布線電阻是特別重要的。
在測(cè)量電路板的電阻時(shí)，如圖11中所示，迄今例如采用四探測(cè)器方法，其中用于供電的探測(cè)器PA和PD以及用于電壓測(cè)量的探測(cè)器PB和PC貼著各個(gè)被檢查的電極91和92并且與之接觸，這些電極在被檢查的電路板90中彼此電氣連接。在該狀態(tài)下，從電源93向探測(cè)器PA和PD之間提供電流，并且同時(shí)在電子信號(hào)處理器94中處理由用于電壓測(cè)量的探測(cè)器PB和PC檢測(cè)到的電壓信號(hào)，從而查出被檢查的電極91和92之間的電阻值。
但是，在上面說(shuō)明的方法中，探測(cè)器的貼壓可能損傷被檢查的電極91和92的表面，因?yàn)楸仨毻ㄟ^(guò)相當(dāng)大的壓力使用來(lái)供電的探測(cè)器PA和PD以及用來(lái)測(cè)量電壓的探測(cè)器PB和PC分別和要檢測(cè)的電極91和92接觸，所以這些探測(cè)器是用金屬做成的并且它們的端頭是尖的。從而該電路板變成不能使用。在這樣的情況下，不能對(duì)要作為產(chǎn)品的全部電路板進(jìn)行電阻測(cè)量，而是只能進(jìn)行所謂的采樣檢查，因此，不能提高該產(chǎn)品的產(chǎn)量。
為了解決這種問(wèn)題，已經(jīng)提出了電阻測(cè)量設(shè)備，其中和被檢查的電極接觸的連接件是用導(dǎo)電彈性體做成的。
例如，(i)日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)26446/1997公開(kāi)了一種電阻測(cè)量設(shè)備，其中在分別用來(lái)供電或測(cè)量電壓的電極處設(shè)置由通過(guò)導(dǎo)電顆粒和彈性體相結(jié)合而得到的導(dǎo)電橡膠做成的彈性連接件；(ii)日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)2000-74965公開(kāi)了一種具有由各向異性導(dǎo)電彈性體做成的公用彈性連接件的電阻測(cè)量設(shè)備，該連接件和用來(lái)供電的電極的表面以及用來(lái)測(cè)量電壓的電極的表面接觸，這些電極和被檢查的電極電氣上連接；以及(iii)日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)2000-241 485公開(kāi)了一種包含被檢查的電路板的電阻測(cè)量設(shè)備，在該電路板上形成多個(gè)檢查電極并且在該被檢查的電路板的表面上設(shè)置一個(gè)由導(dǎo)電彈性體做成的彈性連接件，其中在通過(guò)該連接件使這些待檢查電極已和該多個(gè)檢查電極電連接的狀態(tài)下，選擇這些檢查電極中的二個(gè)電極，這二個(gè)電極中的一個(gè)作為供電的電極而另一個(gè)電極作為測(cè)量電壓的電極，從而測(cè)量電阻。
依據(jù)這種電阻測(cè)量設(shè)備，用來(lái)供電的電極以用來(lái)測(cè)量電壓的電極通過(guò)該彈性連接件與被檢查電路板的被檢查電極接觸，由此實(shí)現(xiàn)電連接，從而可在不損傷被檢查電極情況下進(jìn)行電阻的測(cè)量。
但是，通過(guò)結(jié)構(gòu)(i)或(ii)的電阻測(cè)量設(shè)備測(cè)量電極之間的電阻涉及以下問(wèn)題。
近年來(lái)，出于達(dá)到高度集成的目的，電路板中電極的尺寸和間距或電極間距離趨于變小。但是，在結(jié)構(gòu)(i)或(ii)的電阻測(cè)量設(shè)備中，必須通過(guò)該彈性連接件同時(shí)使用來(lái)供電的電極及用來(lái)測(cè)量電壓的電極分別和受到電阻測(cè)量的被檢查電路板中的被檢查電極電連接，因此，對(duì)于其上高密度地排列小尺寸的被檢查電極的被檢查電路板，在測(cè)量電阻的電阻測(cè)量設(shè)備中必須在等于或小于被檢查電極所占據(jù)的區(qū)間的范圍內(nèi)，按相應(yīng)于被檢查的各個(gè)小尺寸電極的、彼此隔離的狀態(tài)形成用來(lái)供電的電極和用來(lái)測(cè)量電壓的電極，即，必須以特別短的距離按彼此隔離的狀態(tài)形成尺寸小于被檢查電極的用來(lái)供電的電極和用來(lái)測(cè)量電壓的電極。
另一方面，為了改進(jìn)生產(chǎn)率，采用生產(chǎn)多塊彼此隔離的電路板的生產(chǎn)過(guò)程，在該生產(chǎn)過(guò)程中從基板材料生產(chǎn)由多個(gè)連接在一起的電路板組成的組合電路板，在該狀態(tài)下，對(duì)阻合電路板的每塊電路板集體地進(jìn)行電氣檢查并且接著切開(kāi)該組合的電路板。
但是，由于作為檢查目標(biāo)的組合電路板的面積相當(dāng)大，并且被檢查的電極數(shù)量也相當(dāng)大，尤其當(dāng)生產(chǎn)多層電路板時(shí)，生產(chǎn)過(guò)程中的工序數(shù)量大而且熱處理中遭受熱滯后的次數(shù)多，從而經(jīng)常在相對(duì)于規(guī)定的排列位置對(duì)準(zhǔn)不良的狀態(tài)下形成被檢查的電極。當(dāng)用結(jié)構(gòu)(i)或(ii)的電阻測(cè)量設(shè)備對(duì)面積大并且具有大量相對(duì)于規(guī)定排列位置為對(duì)準(zhǔn)不良狀態(tài)的被檢查電極的被檢查電路板進(jìn)行電阻測(cè)量時(shí)，要同時(shí)使用來(lái)供電的電極以及用來(lái)測(cè)量電壓的電極分別和被檢查的電極電氣連接是特別困難的。
通過(guò)一個(gè)具體例子加以說(shuō)明。當(dāng)要測(cè)量用圖12中所示的直徑L為300μm的被檢查電極T的電阻時(shí)，和該被檢查電極T電氣連接的用來(lái)供電的電極A和用來(lái)測(cè)量電壓的電極V之間的間隙D約為150μm。當(dāng)如圖13(a)和13(b)中所示，被檢查電極T的位置在用來(lái)供電的電極A以及用來(lái)測(cè)量電壓的電極V對(duì)齊被檢查電路板的方向上，相對(duì)于用來(lái)供電的電極A以及用來(lái)測(cè)量電壓的電極V偏離圖12所示的規(guī)定位置75μm時(shí)，不能實(shí)現(xiàn)用來(lái)供電的電極A或用來(lái)測(cè)量電壓的電極V和被測(cè)量電極T之間的電氣連接，從而不能進(jìn)行必需的電阻測(cè)量。
作為解決這種問(wèn)題的一種手段，設(shè)想使用來(lái)供電的電極A和用來(lái)測(cè)量電壓的電極V之間的間隙D較小，例如在100μm或更小的范圍。但是事實(shí)上制造這種電阻測(cè)量設(shè)備是特別困難的。
另一方面，依據(jù)電阻測(cè)量設(shè)備(iii)，不需要形成和各個(gè)被檢查電極對(duì)應(yīng)的用來(lái)供電的電極和用來(lái)測(cè)量電壓的電極，從而即使要經(jīng)受電阻測(cè)量的被檢查電路板的面積大并具有大量被檢查的電極而且按高密度排列小尺寸的被檢查電極，對(duì)被檢查電極的對(duì)準(zhǔn)不良的容量變大。此外，容易制造這種電阻測(cè)量設(shè)備。
但是，由于它是依據(jù)所謂的偽四探測(cè)器方法的測(cè)量設(shè)備，這種電阻測(cè)量設(shè)備的測(cè)量誤差范圍大，從而難以以高精度對(duì)電阻低的電路板進(jìn)行電阻測(cè)量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是根據(jù)上面的情況做出的，并且它的第一個(gè)目的是提供一種用于測(cè)量電阻的連接件、一種用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備以及一種測(cè)量電阻的方法，通過(guò)它們即使被檢查的電路板面積大并且具有大量小尺寸的被檢查電極，仍可保證對(duì)要經(jīng)受電阻測(cè)量的被檢查電路板實(shí)現(xiàn)必需的電氣連接，并且可以保證以高精度對(duì)電阻進(jìn)行期望的測(cè)量。
依據(jù)本發(fā)明，提供一種用于測(cè)量電阻的連接件，其包括絕緣基板，多個(gè)設(shè)置在該絕緣基板的前表面上的、包括核心電極和環(huán)狀電極的連接電極對(duì)，這些核心電極按照和經(jīng)受電阻測(cè)量的被檢查電路板中的多個(gè)被檢查電極的圖案相對(duì)應(yīng)的圖案排列，而這些環(huán)狀電極在和核心電極電隔離的狀態(tài)下排列成圍繞各個(gè)核心電極，以及多個(gè)設(shè)置在該絕緣基板的后表面上的、并且和連接電極對(duì)中的核心電極或環(huán)狀電極之一電氣連接的中繼電極。
依據(jù)本發(fā)明，提供一種用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備，其包括設(shè)置在要經(jīng)受電阻測(cè)量的被檢查電路板的一面上的、用于測(cè)量電阻的上述連接件，其中該用于測(cè)量電阻的連接件的各連接電極對(duì)中的核心電極和環(huán)狀電極同時(shí)與該被檢查電路板中各個(gè)一面上的被檢查電極電連接，從而實(shí)現(xiàn)可測(cè)量狀態(tài)，以及在該可測(cè)量狀態(tài)下，與一個(gè)指定的一面上的被檢查電極電氣連接的核心電極和環(huán)狀電極中的一個(gè)充當(dāng)用來(lái)供電的電極，另一個(gè)充當(dāng)用來(lái)測(cè)量電壓的電極，從而相對(duì)于該指定的一面上的被檢查電極進(jìn)行電阻測(cè)量。
依據(jù)本發(fā)明的該用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備最好包括一塊用于檢查的一側(cè)電路板，該電路板通過(guò)一塊各向異性導(dǎo)電板設(shè)置在該用于測(cè)量電阻的連接件的后表面上，并且在該一側(cè)電路板的表面上具有按照和該用于測(cè)量電阻的連接件的中繼電極的圖案對(duì)應(yīng)的圖案排列的檢查電極，其中在該可測(cè)量狀態(tài)下，通過(guò)該各向異性導(dǎo)電板，這些檢查電極和與它們對(duì)應(yīng)的中繼電極電氣連接。
該用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備最好還包括一塊設(shè)置在該被檢查電路板的另一面上的用于檢查的另一側(cè)電路板，其中該用于檢查的另一側(cè)電路板在其表面上具有用來(lái)供電的檢查電極和用來(lái)測(cè)量電壓的檢查電極，這些電極對(duì)應(yīng)于被檢查的電路板的另一面上的被檢查電極按彼此分離的狀態(tài)排列，并且與相同的另一面上的被檢查電極電氣連接。
依據(jù)本發(fā)明，提供一種用于測(cè)量電路板的電阻的方法，該方法包括在要經(jīng)受電阻測(cè)量的被檢查電路板的一面上設(shè)置上面說(shuō)明的用于測(cè)量電阻的連接件，同時(shí)使該用于測(cè)量電阻的連接件的連接電極對(duì)的核心電極和環(huán)狀電極與該要被檢查電路板的各個(gè)一面上的被檢查電極電氣連接，從而實(shí)現(xiàn)可測(cè)量狀態(tài)，以及在該可測(cè)量狀態(tài)下，把與一指定的一面上的被檢查電極電氣連接的核心電極和環(huán)狀電極中的一個(gè)用作為用來(lái)供電的電極，而另一個(gè)用作為用來(lái)測(cè)量電壓的電極，從而對(duì)該指定的一面上的被檢查電極進(jìn)行電阻測(cè)量。
依據(jù)按上述構(gòu)建的用于測(cè)量電阻的連接件，該連接件具有多個(gè)按照和被檢查電路板中的被檢查電極的圖案對(duì)應(yīng)的圖案排列的核心電極以及多個(gè)排列成圍繞各個(gè)核心電極的環(huán)狀電極，由此，只要按照使至少一部分的核心電極位于被檢查的電極上的方式進(jìn)行對(duì)齊，則至少一部分的環(huán)狀電極會(huì)位于該被檢查的電路板中的被檢查電極上，從而確保實(shí)現(xiàn)核心電極以及環(huán)狀電極對(duì)被檢查的電極的電氣連接。
另外，由于核心電極和環(huán)狀電極彼此電氣隔離，通過(guò)把電氣上與被檢查電極連接的核心電極和環(huán)狀電極中的一個(gè)用作為用來(lái)供電的電極并且把另一個(gè)用作為用來(lái)測(cè)量電壓的電極，可以以高精度測(cè)量被檢查電路板的電阻。


圖1是示出依據(jù)本發(fā)明的用于測(cè)量電阻的示例連接件的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖2示出圖1示中所示的用于測(cè)量電阻的連接件的前表面上的電極排列。
圖3示出圖1中所示的用于測(cè)量電阻的連接件的背面上的電極排列。
圖4是示出圖1中所示的用于測(cè)量電阻的連接件安放在一塊被檢查的電路板的一個(gè)表面上的狀態(tài)的剖面圖。
圖5示出在被檢查的電極和連接電極對(duì)之間出現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)不良的狀態(tài)。
圖6是被檢查的電路板的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖7是示出依據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的用于測(cè)量電阻的連接件的主要部分的剖面圖。
圖8是示意示出依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的帶著一塊被檢查的電路板的用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖9是按放大比例示出圖8中示出的用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備的主要部分的剖面圖。
圖10是示意示出依據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的帶著一塊被檢查的電路板的用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備的主要部分結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖11示出通過(guò)用來(lái)供電的探測(cè)器和用來(lái)測(cè)量的探測(cè)器測(cè)量電路板中電極間的電阻的典型設(shè)備。
圖12示出常規(guī)測(cè)量電路板電阻的設(shè)備中，在被檢查的電極上正確排列用來(lái)供電的電極以及用來(lái)測(cè)量電壓的電極的狀態(tài)。
圖13示出常規(guī)測(cè)量電路板電阻的設(shè)備中，在被檢查的電極上用來(lái)供電的電極和用來(lái)測(cè)量電壓的電極的對(duì)齊不良狀態(tài)。
1被檢查的電路板2一面上的被檢查電極3另一面上的被檢查電極5各向異性導(dǎo)電板
10用于測(cè)量電阻的連接器11絕緣基板12導(dǎo)體13核心電極14中繼電極15環(huán)狀電極16連接電極對(duì)17中繼電級(jí)18布線部分19短路部分20第一上側(cè)各向異性導(dǎo)電板21導(dǎo)電路徑形成部分22絕緣部分25第三上側(cè)各向異性導(dǎo)電板40上側(cè)適配器41用于檢查的一側(cè)電路板42檢查電極43端電極47第二上側(cè)各向異性導(dǎo)電板48電極板49標(biāo)準(zhǔn)排列電極50下側(cè)適配器51用于檢查的另一側(cè)電路板52用來(lái)供電的檢查電極52a用來(lái)供電的端電極53用來(lái)測(cè)量電壓的檢查電極53a用來(lái)測(cè)量電壓的端電極56彈性連接件57保持件
59測(cè)試器60電極板61標(biāo)準(zhǔn)排列電極62下側(cè)各向異性導(dǎo)電板90被檢查的電路板91，92被檢查的電極93電源設(shè)備94電信號(hào)處理器PA，PD用來(lái)供電的探測(cè)器PB，PC用來(lái)測(cè)量電壓的探測(cè)器A用來(lái)供電的電極V用來(lái)測(cè)量電壓的電極T被檢查的電極P導(dǎo)電顆粒具體實(shí)施方式
下面詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例，<用于測(cè)量電阻的連接件>
圖1是示出依據(jù)本發(fā)明的用于測(cè)量電阻的示范連接件的部分結(jié)構(gòu)的剖面圖。該用于測(cè)量電阻的連接件10用來(lái)測(cè)量電路板中電極之間的電阻。
圖1中示出的用于測(cè)量電阻的連接件具有一塊絕緣基板11。在該絕緣基板11中，按照與要經(jīng)受電阻測(cè)量的電路板中的被檢查電極的圖案相對(duì)應(yīng)的圖案，形成多個(gè)直徑從正面到背面逐漸加大的截錐狀導(dǎo)體12，從而它們沿該絕緣基板的厚度方向延伸并且從其二個(gè)表面突起。通過(guò)每個(gè)導(dǎo)體12正面?zhèn)鹊亩瞬啃纬珊诵碾姌O13，并且通過(guò)導(dǎo)體12背面?zhèn)鹊牧硪粋€(gè)端部形成中繼電極14。
如圖2中示出那樣，還在正面(圖1中的下表面)上圍繞各個(gè)核心電極13排列多個(gè)環(huán)狀電極15，并且使它們?cè)诤秃诵碾姌O13電氣隔離的狀態(tài)下從該絕緣基板11的正面突起。利用各個(gè)核心電極13以及圍繞它的環(huán)狀電極15形成一個(gè)和被檢查電路板中的一個(gè)被檢查電極電氣連接的連接電極對(duì)16。在該示出的實(shí)施例中，核心電極13以及環(huán)狀電極15從絕緣基板11表面的突起的高度彼此大致相同。
還如圖3中示出那樣，通過(guò)絕緣基板11的背面(圖1中的上表面)上的毗連導(dǎo)體12在中繼電極14之間的位置上形成多個(gè)通過(guò)導(dǎo)體12與中繼電極14分離的中繼電極17。通過(guò)在絕緣基板11的正面上形成的布線部分18以及沿絕緣基板11的厚度方向延伸的短路部分19，每個(gè)中繼電極17與其對(duì)應(yīng)的環(huán)狀電極15電氣連接。
作為形成絕緣基板11的材料，可以使用聚酰亞胺樹(shù)脂、玻璃纖維強(qiáng)化聚酰亞胺樹(shù)脂、玻璃纖維強(qiáng)化環(huán)氧樹(shù)脂、玻璃纖維強(qiáng)化雙馬來(lái)酰亞胺三嗪樹(shù)脂等。絕緣基板11可以是單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)。
絕緣基板11的厚度最好例如為50至1000μm，100至500μm更好。
作為形成核心電極13即導(dǎo)體12的材料，可以使用例如鎳、鐵、鈷、銅、金、銀或鋁的金屬，它們的合金，它們的疊層，或者包含著這些金屬的粉末的導(dǎo)電膠的固化產(chǎn)品。但是，最好使用金屬以達(dá)到高導(dǎo)電率。
核心電極13的直徑是根據(jù)和各個(gè)核心電極13電氣連接的被檢查電極的直徑預(yù)先設(shè)定的，并且最好的是被檢查電極的直徑的30％至80％，而且40％至60％更佳，從而可以保證實(shí)現(xiàn)和被檢查電極的電氣連接。
核心電極13從絕緣基板11突起的高度最好為20至100μm，并且30至70μm更佳。
作為形成環(huán)狀電極15的材料，可以使用銅、鎳、金或者這些金屬的疊層。
環(huán)狀電極15的內(nèi)徑是根據(jù)和各個(gè)環(huán)狀電極15電氣連接的被檢查電極的直徑預(yù)先設(shè)定的，并且最好是被檢查電極直徑的50％至110％，更佳為70％至100％，75％至95％尤佳，從而可以保證實(shí)現(xiàn)和被檢查電極的電氣連接。
從確實(shí)保持核心電極13和環(huán)狀電極15之間的絕緣特性的角度考慮，環(huán)狀電極15的內(nèi)徑最好是核心電極13的直徑的1.1到2倍，更佳為1.2到1.7倍。
環(huán)狀電極15從絕緣基板11的突起高度最好為20至100μm，更佳為30至70μm。
例如可以這樣形成導(dǎo)體12通過(guò)適當(dāng)手段，例如鉆孔或激光束加工，在絕緣基板11上形成通孔，并在這些通孔中通過(guò)電鍍處理等填充金屬或者在通孔中填充要受到固化處理的導(dǎo)電膠。
可以通過(guò)制造印制布線板常用的方法形成環(huán)狀電極15、中繼電極17、布線部分18和短路部分19。
例如通過(guò)一塊各向異性導(dǎo)電板5按照如圖4中所示那樣使用于測(cè)量電阻的連接件10中的各個(gè)核心電極13位于被檢查的電路板1的各個(gè)一面上的電極2上的方式，把用于測(cè)量電阻的連接件10安放在要經(jīng)受電阻測(cè)量的被檢查電路板1的一個(gè)表面上，并且通過(guò)適當(dāng)手段按壓，從而該用于測(cè)量電阻的連接件10的各個(gè)連接電極對(duì)16通過(guò)各向異性導(dǎo)電板5和該被檢查電路和板1的一面上的被檢查電極2電氣連接。
此時(shí)，即使核心電極13的中心位置如圖5中所示偏離一面上的對(duì)應(yīng)的被檢查電極2的中央位置，只要核心電極13和一面上的對(duì)應(yīng)的被檢查電極2電氣連接，環(huán)狀電極15肯定和一面上的被檢查電極2電氣連接，因?yàn)榄h(huán)狀電極15按圍繞各自的核心電極13形成。
在這種狀態(tài)下，指定該被檢查電路板1中多個(gè)一面上的被檢查電極2中的一個(gè)，并且使和該指定的被檢查電極2電氣連接的核心電極13以及環(huán)狀電極15中的一個(gè)用作為用來(lái)供電的電極而另一個(gè)用作為用來(lái)測(cè)量電壓的電極，從而對(duì)該指定的被檢查電極2進(jìn)行電阻測(cè)量。
要經(jīng)受電阻測(cè)量的被檢查電路板1可以是下述任一如圖6(a)中所示，只在其一個(gè)表面上形成一面上的被檢查電極2，并且只有在這些一面上的電極2之間形成電路4a的電路板；如圖6(b)所示，在其一個(gè)表面上形成一面上的被檢查電極2以及在其另一表面上形成另一面上的被檢查電極3，并且只有在一面上的被檢查電極2和另一面上的被檢查電極3之間形成電路4b的電路板；以及如圖6(c)所示，在其一個(gè)表面上形成一面上的被檢查電極2以及在其另一表面上形成另一面上的被檢查電極3，并且在一面上的被檢查電極2之間形成電路4a以及在一面上的被檢查電極2和另一面上的被檢查電極3之間形成電路4b的電路板。
根據(jù)上面說(shuō)明那樣構(gòu)建的用于測(cè)量電阻的連接件10，在按照與被檢查電路板1中一面上的被檢查電極2的圖案相對(duì)應(yīng)的圖案排列的各個(gè)核心電極13的周?chē)纬森h(huán)狀電極15從而其包圍各個(gè)核心電極13，由此，只要按使核心電極13的至少一部分位于一面上的被檢查電極2上的方式進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，環(huán)狀電極15的至少一部分會(huì)位于被檢查的電路板1中的一面上的被檢查電極2上。因此，即使被檢查的電路板1面積大并且具有大量小尺寸的一面上的被檢查電極2，仍可保證實(shí)現(xiàn)核心電極13和環(huán)狀電極15對(duì)一面上的被檢查電極2的電氣連接。另外，由于核心電極13和環(huán)狀電極15彼此電氣隔離，通過(guò)把和一面上的被檢查電極2電氣連接的核心電極13和環(huán)狀電極15中的一個(gè)用作為用來(lái)供電的電極而另一個(gè)用作為用來(lái)測(cè)量電壓的電極，可以按高精度對(duì)被檢查的電路板測(cè)量電阻。
在該依據(jù)本發(fā)明的用于測(cè)量電阻的連接件中，可在不在受到上面說(shuō)明實(shí)施例的限制下添加各種改變或修改。
例如，如圖7中所示，連接件12可以具有支持它沿絕緣基板11的厚度方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，具體地，在絕緣基板11中形成在其厚度方向上延伸的、并且直徑從基板11的前表面到背表面逐漸變大的錐形通孔，并且每個(gè)裝配到各個(gè)通孔中的截錐狀連接件12被支持成在厚度方向上可移動(dòng)，從而可和通孔的內(nèi)壁表面分離和接觸。
依據(jù)這種結(jié)構(gòu)，核心電極13，即連接件12根據(jù)被檢查電極的突起高度在厚度方向上移動(dòng)，從而可以有效地應(yīng)用設(shè)置在用于測(cè)量電阻的連接件10的正面上的各向異性導(dǎo)電板的不規(guī)則吸收特性，由此，即使被檢查的電路板具有例如突起的被檢查電極并且所述突起被檢查電極的突起高度分散性大，仍可實(shí)現(xiàn)高可靠的連接。由此，可以保證按高精度進(jìn)行必須的電阻測(cè)量。
<用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備>
圖8示出依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備的結(jié)構(gòu)，而圖9是按放大比例示出圖8中所示用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備的主要部分的剖面圖。
通過(guò)垂直地在要對(duì)其測(cè)量電阻的被檢查電路板1的一面(圖8中的上表面)上安放一個(gè)上側(cè)適配器40并在該被檢查電路板1的另一面(圖8中的下表面)上安放一個(gè)下側(cè)適配器50，構(gòu)建該用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備，其中這二個(gè)適配器彼此相對(duì)。
在該上側(cè)適配器40中，設(shè)置一個(gè)安放在該被檢查的電路板1的一側(cè)(圖8中的上側(cè))上的、例如按圖1所示的構(gòu)建的用于測(cè)量電阻的連接件10。在用于測(cè)量電阻的連接件10的背面(圖8中的上表面)上，通過(guò)第一上側(cè)各向異性導(dǎo)電板20安放用于檢查的一側(cè)電路板41。按照和該用于測(cè)量電阻的連接件10中的中繼電極14、17的圖案對(duì)應(yīng)的圖案，在該用于檢查的一側(cè)電路板41的正面(圖8中的下表面)上設(shè)置多個(gè)檢查電極42。在該用于檢查的一面電路板41的背面(圖8中的上表面)上，按照與后面將說(shuō)明的電極板48的標(biāo)準(zhǔn)排列電極49的排列圖案對(duì)應(yīng)的圖案設(shè)置各個(gè)端電極43，并且各個(gè)端電極43電氣上和它們的對(duì)應(yīng)檢查電極42連接。
通過(guò)第二上側(cè)各向異性導(dǎo)電板47，在用于檢查的一側(cè)電路板41的背面上設(shè)置電極板48。該電極板48在其正面(圖8中的下表面)上具有按間距例如為2.54mm、1.8mm或1.27mm的標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)格點(diǎn)排列的標(biāo)準(zhǔn)排列電極49。這些標(biāo)準(zhǔn)排列電極49通過(guò)該第二上側(cè)各向異性導(dǎo)電板47與用于檢查的一側(cè)電路板41的端電極43電氣連接，并且通過(guò)電極板48的內(nèi)部布線(未示出)與測(cè)試器59連接。
在用于測(cè)量電阻的連接件10的正面上安放第三上側(cè)各向異性導(dǎo)電板25。
該實(shí)施例中的第一上側(cè)各向異性導(dǎo)電板20是所謂的不均勻分布型各向異性導(dǎo)電板，其包括多個(gè)按照與該用于測(cè)量電阻的連接件10的中繼電極14、17的圖案對(duì)應(yīng)的圖案排列的、并在厚度方向上延伸的導(dǎo)電路徑形成部分21，以及多個(gè)設(shè)置于這些導(dǎo)電路徑形成部分21之間并相互隔離這些導(dǎo)電路徑形成部分的隔離部分22。
各個(gè)導(dǎo)電路徑形成部分21這樣形成，即，使呈現(xiàn)磁性的導(dǎo)電顆粒在被定向?yàn)檠氐谝簧蟼?cè)導(dǎo)電板20厚度對(duì)齊的狀態(tài)下，以高密度包含在構(gòu)成該第一上側(cè)各向異性導(dǎo)電板20的基材料的彈性聚合材料中。通過(guò)各條導(dǎo)電顆粒P鏈形成導(dǎo)電路徑。另一方面，隔離部分22完全不包含或者幾乎不包含導(dǎo)電顆粒P。
作為構(gòu)成導(dǎo)電路徑形成部分21的導(dǎo)電顆粒P的例子，可以是呈現(xiàn)磁性的材料如鎳、鐵和鈷的顆粒，它們合金的顆粒以及包含這種金屬的顆粒；利用這些顆粒作為核心顆粒并對(duì)這些核心顆粒鍍上導(dǎo)電率良好的金屬如金、銀、鈀或銠得到的顆粒；以及利用非磁性金屬無(wú)機(jī)顆粒例如玻璃珠顆粒或聚合物顆粒作為核心顆粒并對(duì)這些核心顆粒鍍上諸如鎳或鈷的導(dǎo)電磁性材料得到的顆粒。
在其中，優(yōu)選使用通過(guò)把鎳顆粒用作為核心顆粒再鍍上導(dǎo)電率良好的金屬如金或銀得到的顆粒。
導(dǎo)電顆粒P的顆粒直徑最好為3到200μm，尤其為10至100μm，以便使得到的導(dǎo)電路徑形成部分21容易在壓力下產(chǎn)生變形，并且在導(dǎo)電路徑形成部分21中的導(dǎo)電顆粒P之間實(shí)現(xiàn)充分的電氣接觸。
導(dǎo)電顆粒P中的水含量最好最多為5％，最多為3％較佳，最多為2％更佳，最多為1％尤佳。在滿足這些條件下使用導(dǎo)電顆?？梢苑乐够蛞种圃诘谝簧蟼?cè)各向異性導(dǎo)電板20的形成過(guò)程中出現(xiàn)氣泡。
導(dǎo)電顆粒P在導(dǎo)電路徑形成部分21中的比例按體積百分比最好為5到60％，7到50％更佳，10到40％尤佳。如果該比例低于5％，在一些情況下難以形成電阻值足夠低的導(dǎo)電路徑。另一方面若該比例超過(guò)60％，所產(chǎn)生的導(dǎo)電路徑形成部分21變成脆性，從而在一些情況下不能達(dá)到對(duì)導(dǎo)電路徑形成部分要求的彈性。
構(gòu)成第一上側(cè)各向異性導(dǎo)電板20的基材料的絕緣彈性聚合材料最好是帶有交聯(lián)結(jié)構(gòu)的聚合材料。作為可以用來(lái)得到帶有交聯(lián)結(jié)構(gòu)的聚合材料的聚合材料，可以使用各種材料。具體例子包括共軛二烯橡膠，例如聚丁二烯橡膠、天然橡膠、聚異戊二烯橡膠、丁苯共聚橡膠、丙烯腈-丁二烯共聚橡膠以及它們的氫化產(chǎn)品；成塊共聚橡膠，例如丁苯成塊共聚橡膠和其氫化產(chǎn)品；以及硅酮橡膠，含氟橡膠，硅酮改性含氟橡膠，乙烯-丙烯聚合橡膠，聚氨酯橡膠，聚酯橡膠，氯丁二烯橡膠和表氯醇橡膠。
其中優(yōu)選使用硅酮橡膠和硅酮改性含氟橡膠，因?yàn)樗鼈兊哪Ｖ颇芰?、加工能力以及電絕緣性好。
第二上側(cè)各向異性導(dǎo)電板47和第三上側(cè)各向異性導(dǎo)電板25是所謂的彌散型各向異性導(dǎo)電板，其中彈性聚合材料中包含的導(dǎo)電顆粒P處于被定向?yàn)檠刂飨虍愋詫?dǎo)電板厚度方向排成行以形成鏈的狀態(tài)，并且導(dǎo)電顆粒P形成的鏈在該導(dǎo)電板平面方向上散布。
作為構(gòu)成第二上側(cè)各向異性導(dǎo)電板47和第三上側(cè)各向異性導(dǎo)電板25的彈性聚合材料和導(dǎo)電顆粒P，可以采用與構(gòu)成第一上側(cè)各向異性導(dǎo)電板20的彈性聚合材料和導(dǎo)電顆粒P相同的材料。
在下側(cè)適配器50中設(shè)置用于檢查的另一側(cè)電路板51，并且在該用于檢查的另一側(cè)電路板51的正面(圖8中的上表面)上安置一對(duì)由用來(lái)供電的檢查電極52和用來(lái)測(cè)量電壓的檢查電極53組成的檢查電極對(duì)，這對(duì)電極在彼此隔離的狀態(tài)下，按照與另一面上的被檢查電極3的排列圖案對(duì)應(yīng)的圖案，對(duì)著被檢查的電路板1的一個(gè)另一面上的被檢查電極3，從而位于和該另一面上的被檢查電極3占據(jù)的區(qū)域相等的面積區(qū)域內(nèi)。在用于檢查的另一側(cè)電路板51的背面上，按照和后面將說(shuō)明的電極板60的標(biāo)準(zhǔn)排列電極61的排列圖案對(duì)應(yīng)的圖案，排列用來(lái)供電的端電極52a和用來(lái)測(cè)量電壓的端電極53a。這些用來(lái)供電的端電極52a和用來(lái)測(cè)量電壓的端電極53a電氣上分別與和它們對(duì)應(yīng)的用來(lái)供電的檢查電極52和用來(lái)測(cè)量電壓的檢查電極53連接。
在用于檢查的另一側(cè)電路板51的正面上設(shè)置各個(gè)與構(gòu)成檢查電極對(duì)的供電的檢查電極52和測(cè)量電壓的檢查電極53二者的表面(圖8中的上表面)接觸的公用彈性連接件56。這些彈性連接件56由一個(gè)設(shè)置在用于檢查的另一側(cè)電路板51的正面上的板狀保持件57保持在使它們的表面(圖8中的上表面)從該保持件57的表面突起的狀態(tài)。在該圖示出的實(shí)施例中，設(shè)置多個(gè)彼此獨(dú)立的彈性連接件56，以和被檢查的電路板1中的各個(gè)被檢查的另一面上的電極3對(duì)應(yīng)。
通過(guò)下側(cè)各向異性導(dǎo)電板62在用于檢查的另一側(cè)電路板51的背面(圖8中的下表面)上設(shè)置電極板60。
電極板60和下側(cè)各向異性連接板62分別與上側(cè)適配器40中的電極板48和第二上側(cè)各向異性導(dǎo)電板47對(duì)應(yīng)。電極板60在它的表面(圖8中的上表面)上具有在例如間距為2.54mm、1.8mm或1.27mm的標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)格點(diǎn)上排列的標(biāo)準(zhǔn)排列電極61。標(biāo)準(zhǔn)排列電極61通過(guò)下側(cè)各向異性導(dǎo)電板62與用于檢查的另一側(cè)電路板51的用來(lái)供電的端電極52a或用來(lái)測(cè)量電壓的端電極53a電氣連接，并且通過(guò)電極板60的內(nèi)部布線(未示出)與測(cè)試器59電氣連接。
彈性連接件56最好例如由在其厚度方向上呈現(xiàn)高導(dǎo)電率的各向異性導(dǎo)電彈性體構(gòu)成。在這種各向異性導(dǎo)電彈性體中，以沿厚度方向(各圖中的垂直方向)對(duì)準(zhǔn)的定向狀態(tài)，在絕緣彈性聚合材料中填充導(dǎo)電顆粒，從而在厚度方向上呈現(xiàn)高導(dǎo)電率。特別地，優(yōu)選壓敏各向異性導(dǎo)電彈性體，當(dāng)在厚度方向上受壓和壓縮時(shí)其形成沿厚度方向延伸的導(dǎo)電路徑。
可以根據(jù)任何適當(dāng)工藝，例如日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)2000-74965號(hào)公開(kāi)的工藝，形成這種彈性連接件56。
每個(gè)彈性連接件56最好在它的厚度方向具有比垂直于厚度方向的表面方向更高的導(dǎo)電率。具體地，彈性連接件56厚度方向上的電阻值與表面方向的電阻值之比最好為1或更低，尤其為0.5或更低。
如果該比率超過(guò)1，經(jīng)彈性連接件56在用來(lái)供電的檢查電極52和用來(lái)測(cè)量電壓的檢測(cè)電極53之間流動(dòng)的電流變大，從而在一些情況下難以以高精度測(cè)量電阻。
出于這種觀點(diǎn)，當(dāng)通過(guò)在絕緣彈性聚合材料中包含導(dǎo)電顆粒來(lái)形成彈性連接件56時(shí)，導(dǎo)電顆粒的填充率最好按體積為5％至50％。
在用于檢查的另一側(cè)電路板51上，用來(lái)供電的檢查電極52和用來(lái)測(cè)量電壓的電極53之間的間距最好至少為10μm。如果該間距短于10μm，則經(jīng)彈性連接件56在用來(lái)供電的檢查電極52和用來(lái)測(cè)量電壓的檢查電極53之間流動(dòng)的電流變大，從而在一些情況下難以以高精度測(cè)量電阻。
另一方面，該間距的上限是由各個(gè)檢查電極的尺寸以及和它們對(duì)應(yīng)的另一面上的被檢查電極3的尺寸和間距決定的，并且通常最大為500μm。若該間距太長(zhǎng)，在一些情況下難以對(duì)著另一面上的被檢查電極3適當(dāng)?shù)匕卜胚@二個(gè)檢查電極。
在上面說(shuō)明的用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備中，按下述方式測(cè)量被檢查電路板1中任何一個(gè)一面上的被檢查電極2和與它對(duì)應(yīng)的另一面上的被檢查電極3之間的電阻。
把被檢查的電路板1安放在上側(cè)適配器40和下側(cè)適配器50之間的適當(dāng)位置上，在此狀態(tài)下降低上側(cè)適配器40并且升高下側(cè)適配器50，從而在壓力下使第三上側(cè)各向異性導(dǎo)電板25和被檢查的電路板1的一個(gè)表面接觸，并且同時(shí)在壓力下使下側(cè)適配器50的彈性連接件56和被檢查的電路板1的另一個(gè)表面接觸。該狀態(tài)是可測(cè)量狀態(tài)。
具體地參照?qǐng)D9加以說(shuō)明，在該可測(cè)量狀態(tài)下，用于測(cè)量電阻的連接件10中的核心電極13和環(huán)狀電極15通過(guò)第三上側(cè)各向異性導(dǎo)電板25中形成的導(dǎo)電路徑同時(shí)與被檢查的電路板1的和它們對(duì)應(yīng)的一面上的被檢查電極2電氣連接。核心電極13和環(huán)狀電極15處于電氣上彼此獨(dú)立的狀態(tài)。
另一方面，由用來(lái)供電的檢查電極52和用來(lái)測(cè)量電壓的檢查電極53組成的各檢查電極對(duì)通過(guò)彈性連接件56與被檢查的電路板1的和它們對(duì)應(yīng)的另一面上的被檢查電極3電氣連接。
在這種狀態(tài)下，指定該被檢查的電路板1中的多個(gè)一面上的被檢查電極2中的一個(gè)，并且把和該指定的被檢查的電極2電氣連接的核心電極13和環(huán)狀電極15中的一個(gè)用作為用來(lái)供電的電極，而另一個(gè)用作為用來(lái)測(cè)量電壓的電極，從而在充當(dāng)用來(lái)供電的電極的核心電極13或環(huán)狀電極15與電氣上和該指定的一面上的被檢查電極2相對(duì)應(yīng)的另一面上的被檢查電極3連接的檢查電極對(duì)中的用來(lái)供電的檢查電極52之間提供電流，并且同時(shí)，測(cè)量充當(dāng)用來(lái)測(cè)量電壓的電極的核心電極13或環(huán)狀電極15與電氣上和該指定的一面上的被檢查電極2相對(duì)應(yīng)的另一面上的被檢查電極3連接的檢查電極對(duì)中的用來(lái)測(cè)量電壓的檢查電極53之間的電壓，從而可以完成該指定的一面上的被檢查電極2和與它對(duì)應(yīng)的另一面上的被檢查電極3之間的電阻測(cè)量。
依據(jù)具有上面描述結(jié)構(gòu)的用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備，提供具有圖1所示結(jié)構(gòu)的用來(lái)測(cè)量電阻的連接件10，因此，只要按照使得用于測(cè)量電阻的連接件10的核心電極13的至少一部分位于一面上的被檢查電極2的上的方式進(jìn)行對(duì)齊，則至少一部分的環(huán)狀電極15位于被檢查的電路板1中一面上的被檢查電極2上，從而，即使被檢查的電路板1面積大并且具有大量小尺寸的一面上的被檢查電極，仍可保證實(shí)現(xiàn)核心電極13以及環(huán)狀電極15兩者對(duì)一面上的被檢查電極2的電氣連接。另外，由于核心電極13和環(huán)狀電極15電氣上彼此隔離，通過(guò)把電氣上和一面上的被檢查電極2連接的核心電極13和環(huán)狀電極15中的一個(gè)用作為用來(lái)供電的電極而另一個(gè)用作為用來(lái)測(cè)量電壓的電極，可以高精度對(duì)被檢查的電路板1測(cè)量電阻。
本發(fā)明不受上面說(shuō)明的實(shí)施例的限制，而是可對(duì)它添加下面說(shuō)明的各種改變或修改。
例如，第三上側(cè)各向異性導(dǎo)電板25不是必不可少的，從而可以把用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備構(gòu)建成使用于測(cè)量電阻的連接件10中的核心電極13和環(huán)狀電極15直接與一面上的被檢查電極2接觸。
至于下側(cè)適配器50的用于檢查的另一側(cè)電路板51，只要可以實(shí)現(xiàn)使構(gòu)成檢查電極對(duì)的用來(lái)供電的檢查電極52和用來(lái)測(cè)量電壓的檢查電極53電氣上與另一面上的被檢查電極3之一連接的狀態(tài)，它們可以采取各種類(lèi)型。
至于彈性連接件56，也可以使用具有導(dǎo)電路徑形成部分和隔離部分的各向?qū)詫?dǎo)電彈性體，其中這些導(dǎo)電路徑形成部分彼此獨(dú)立地在與用來(lái)供電的檢查電極52以及用來(lái)測(cè)量電壓的檢查電極53相對(duì)應(yīng)的位置上沿厚度方向延伸，而這些隔離部分用于使這些導(dǎo)電路徑形成部分彼此電氣隔離。
其末梢上設(shè)置有導(dǎo)電彈性體并且若允許還設(shè)置著探針的檢查電極也可以用作為檢查電極。
當(dāng)要經(jīng)受電阻測(cè)量的被檢查電路板具有突起的一面上的被檢查電極時(shí)，用于測(cè)量電阻的連接件10最好采用圖7中示出的結(jié)構(gòu)。
依據(jù)如圖10中示出的具有用于測(cè)量電阻的連接件10的電阻測(cè)量設(shè)備，當(dāng)在壓力下第三上側(cè)各向異性導(dǎo)電板25和一面上的被檢查電極2接觸時(shí)，用于測(cè)量電阻的連接件10的導(dǎo)體12根據(jù)突起的一面上的被檢查電極2的凸出高度沿厚度方向移動(dòng)，從而可以有效利用第二上側(cè)各向異性導(dǎo)電極20以及第三上側(cè)各向異性導(dǎo)電板25的不規(guī)則吸收性質(zhì)。從而，即使被檢查的電路板1具有從一個(gè)表面上凸起的一面上的被檢查的突起電極2并且所述一面上的被檢查的突起電極2的凸起高度散布大，仍可實(shí)現(xiàn)高可靠的連接。結(jié)果，可以保證以高精度進(jìn)行必要的電阻測(cè)量。
下面具體地通過(guò)以下的例子說(shuō)明本發(fā)明。但是，本發(fā)明不受此的限制。
在下面的例子中，一塊具有以下規(guī)格的單面印制電路板用作為被檢查的電路板。
一塊單面印制電路板4cm長(zhǎng)15cm寬，在其一個(gè)表面上共形成6個(gè)電極組，每個(gè)電極組包括64個(gè)直徑為300μm和間距為0.5mm的被檢查的電極(被檢查的電極的總數(shù)384)，并且每個(gè)電極組中64個(gè)被檢查的電極中的每二個(gè)電極通過(guò)內(nèi)部布線相互電氣連接以形成一個(gè)電路(每個(gè)電極組中的電路數(shù)32，總的電路數(shù)192)。
<例1>
提供通過(guò)在由玻璃纖維強(qiáng)化環(huán)氧樹(shù)脂構(gòu)成并且寬5cm長(zhǎng)18cm的絕緣基板上雙面整體形成厚度為12μm的銅箔得到的基板材料，并且利用NC鉆孔機(jī)在該基板材料上形成和預(yù)期的用于測(cè)量電阻的連接件中的短路部分相對(duì)應(yīng)的多個(gè)直徑為120μm的用于短路部分的通孔。形成這些用于短路部分的通孔的位置是和預(yù)期的用于測(cè)量電阻的連接件中的各核心電極的中心位置相隔250μm的位置。
接著，該已形成用于短路部分的通孔的基板材料在25℃和45分鐘的條件下經(jīng)受鍍銅處理，從而在這些用于短路部分的通孔內(nèi)形成短路部分。接著進(jìn)行光刻和蝕刻處理，從而在該絕緣基板的正面上分別形成用于形成直徑為150μm的環(huán)狀電極的圓形電極層以及用于使圓形電極層和短路部分連接的布線部分。
然后，利用NC鉆機(jī)在該基板材料上形成各個(gè)內(nèi)徑為100μm并且延伸穿過(guò)該絕緣基板以及圓形電極層的通孔，從而形成外徑為150μm和內(nèi)徑為100μm的環(huán)狀電極。然后，在每個(gè)通孔中填入液體硅橡膠并且固化，從而在各個(gè)通孔中形成柱狀填充件。
接著，從背面?zhèn)仁垢鱾€(gè)填充件經(jīng)受激光光束加工，從而形成用來(lái)構(gòu)成導(dǎo)體的截錐狀通孔。用來(lái)構(gòu)成導(dǎo)體的這些通孔在正面上具有80μm的開(kāi)孔直徑并且在背面上具有100μm的開(kāi)孔直徑。接著，各個(gè)填充件中的用來(lái)形成導(dǎo)體的通孔的內(nèi)側(cè)經(jīng)受鍍銅處理，從而形成由銅構(gòu)成的截錐狀導(dǎo)體，在這些用來(lái)構(gòu)成導(dǎo)體的通孔中，它們的正面端面形成直徑為70μm的核心電極而它們的背面端面形成直徑為100μm的中繼電極。
接著，該絕緣基板背面上形成的銅箔經(jīng)受光刻和蝕刻處理，從而形成直徑100μm的中繼電極，這些中繼電極通過(guò)各個(gè)短路部分和布線部分與和它們對(duì)應(yīng)的環(huán)狀電極電氣連接，由此產(chǎn)生用于測(cè)量電阻的連接件。
順便指出，在上面說(shuō)明的過(guò)程中，除表面處理期間之外，在該絕緣基板的二個(gè)表面上形成保護(hù)層以便保護(hù)基板。
以這種方式產(chǎn)生的用于電阻測(cè)量的連接件用于生產(chǎn)只具有圖8中所示的上側(cè)適配器的電阻測(cè)量設(shè)備。
<對(duì)比例1>
根據(jù)日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)2000-74965，制造一個(gè)帶有供檢查的電路板的電阻測(cè)量設(shè)備，在該電路板的正面上形成和被檢查的電極對(duì)應(yīng)的用來(lái)供電的電極以及用來(lái)測(cè)量電壓的電極，該測(cè)量設(shè)備帶有設(shè)置在該供檢查的電路板的正面上的由導(dǎo)電彈性體構(gòu)成的連接件，并且具有保持件。
在該用于檢查的電路板上，用來(lái)供電的電極和用來(lái)測(cè)量電壓的電極各具有50μm×100μm的尺寸，用來(lái)供電的電極和用來(lái)測(cè)量電壓的電極之間的間距為150μm，該連接件的厚度為0.4mm，硅橡膠充當(dāng)用來(lái)形成該連接件的彈性聚合材料，平均顆粒直徑為40μm的鍍金的鎳顆粒充當(dāng)導(dǎo)電顆粒。

總共提供100塊具有前面說(shuō)明技術(shù)規(guī)格的被檢查的電路板，并且通過(guò)依據(jù)例1以及對(duì)比例1的電阻測(cè)量設(shè)備測(cè)量這些被檢查的電路板中每個(gè)電路的電阻，以便在電路中的電阻測(cè)出值等于或大于1歐時(shí)做出不良連接的判斷，并且對(duì)不良連接的數(shù)量計(jì)數(shù)。
結(jié)果，在依據(jù)例1的電阻測(cè)量設(shè)備中的19,200個(gè)電路(192個(gè)電路×100)中呈現(xiàn)電阻值等于或大于1歐的電路數(shù)量為0，而在依據(jù)對(duì)比例的電阻測(cè)量設(shè)備中的19,200個(gè)電路里該數(shù)量為510。
如上面說(shuō)明那樣，依據(jù)本發(fā)明可以提供用于測(cè)量電阻的連接件、用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備以及測(cè)量電阻的方法，通過(guò)它們，即使被檢查的電路板面積大并具有大量小尺寸的被檢查的電極，仍可以保證實(shí)現(xiàn)對(duì)被檢查的電路板的必需的電氣連接，而且可以保證以高精度進(jìn)行對(duì)電阻的預(yù)期測(cè)量。
權(quán)利要求
1.一種用于測(cè)量電阻的連接件，包括絕緣基板，多個(gè)設(shè)置在該絕緣基板的前表面上的、包括核心電極和環(huán)狀電極的連接電極對(duì)，所述核心電極按照與要經(jīng)受電阻測(cè)量的被檢查電路板中的多個(gè)被檢查電極的圖案相對(duì)應(yīng)的圖案排列，以及，所述環(huán)狀電極在和核心電極電隔離的狀態(tài)下排列成圍繞各個(gè)核心電極，以及多個(gè)設(shè)置在該絕緣基板的后表面上的、并且與所述連接電極對(duì)中的核心電極或環(huán)狀電極之一電氣連接的中繼電極。
2.一種用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備，其包括放置在要經(jīng)受電阻測(cè)量的被檢查電路板的一面上的、依據(jù)權(quán)利要求1的用于測(cè)量電阻的連接件，其中該用于測(cè)量電阻的連接件的連接電極對(duì)中的核心電極和環(huán)狀電極同時(shí)與該被檢查電路板中各個(gè)一面上的被檢查電極電連接，從而實(shí)現(xiàn)可測(cè)量狀態(tài)，以及在該可測(cè)量狀態(tài)下，與一個(gè)指定的一面上的被檢查電極電氣連接的核心電極和環(huán)狀電極中的一個(gè)用作為用來(lái)供電的電極，而另一個(gè)用作為用來(lái)測(cè)量電壓的電極，從而進(jìn)行與該指定的一面上的被檢查電極相關(guān)的電阻測(cè)量。
3.依據(jù)權(quán)利要求2的用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備，其包括一塊用于檢查的一側(cè)電路板，該電路板通過(guò)一塊各向異性導(dǎo)電板安放在該用于測(cè)量電阻的連接件的后表面上，并且在該一側(cè)電路板表面上具有按照和該用于測(cè)量電阻的連接件中的中繼電極的圖案對(duì)應(yīng)的圖案排列的檢查電極，其中在該可測(cè)量狀態(tài)下，所述檢查電極通過(guò)該各向異性導(dǎo)電板與和這些檢查電極對(duì)應(yīng)的中繼電極電氣連接。
4.依據(jù)權(quán)利要求2或3的用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備，其包括一塊安放在該被檢查電路板的另一側(cè)的用于檢查的另一側(cè)電路板，其中該用于檢查的另一側(cè)電路板在其表面上具有用來(lái)供電的檢查電極和用來(lái)測(cè)量電壓的檢查電極，這些電極對(duì)應(yīng)于被檢查的電路板的另一面上的被檢查電極按彼此分離的狀態(tài)排列，并且和相同的另一面上的被檢查電極電氣連接。
5.一種測(cè)量電路板的電阻的方法，該方法包括在要經(jīng)受電阻測(cè)量的被檢查的電路板的一面上安放依據(jù)權(quán)利要求1的用于測(cè)量電阻的連接件，同時(shí)使得該用于測(cè)量電阻的連接件的連接電極對(duì)的核心電極和環(huán)狀電極與該被檢查電路板的各個(gè)一面上的被檢查電極電氣連接，從而實(shí)現(xiàn)可測(cè)量狀態(tài)，以及在該可測(cè)量狀態(tài)下，把與一個(gè)指定的一面上的被檢查電極電氣連接的核心電極和環(huán)狀電極中的一個(gè)用作為用來(lái)供電的電極，而另一個(gè)用作為用來(lái)測(cè)量電壓的電極，從而進(jìn)行與該指定的一面上的被檢查電極相關(guān)的電阻測(cè)量。
全文摘要
公開(kāi)用于測(cè)量電阻的連接件、用于電路板的電阻測(cè)量設(shè)備以及測(cè)量電阻的方法，通過(guò)它們，即使被檢查的電路板面積大并且具有大量小尺寸的被檢查的電極，仍可以保證實(shí)現(xiàn)對(duì)被檢查的電路板的必要電氣連接，而且可以保證以高精度進(jìn)行對(duì)電阻的預(yù)期測(cè)量。該用于測(cè)量電阻的連接件包括一塊絕緣基板；多個(gè)設(shè)置在該絕緣基板的前表面上的包括核心電極和環(huán)狀電極的連接電極對(duì)，這些核心電極按照和被檢查電路板中的多個(gè)被檢查電極的圖案相對(duì)應(yīng)的圖案排列，而這些環(huán)狀電極在和核心電極電隔離的狀態(tài)下排列成圍繞各個(gè)核心電極；以及多個(gè)設(shè)置在該絕緣基板的后表面上的并且和連接電極對(duì)中的核心電極或環(huán)狀電極之一電氣連接的中繼電極。
文檔編號(hào)H05K1/02GK1650176SQ0380947
公開(kāi)日2005年8月3日 申請(qǐng)日期2003年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2002年5月1日
發(fā)明者木村潔, 小山憲一, 原富士雄 申請(qǐng)人:Jsr株式會(huì)社