基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置，更為詳細(xì)地，涉及一種當(dāng)使安裝有基板的安裝部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而在掩模上對準(zhǔn)基板時，能夠防止因旋轉(zhuǎn)載物臺的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)軸被扭曲的現(xiàn)象的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以數(shù)字融合及普適(Ubiquitous)為代表的信息技術(shù)的革命，帶來了電子設(shè)備飛快的發(fā)展。其中，構(gòu)成核心的技術(shù)之一是顯示技術(shù)。最近，對具有進(jìn)一步優(yōu)異的可視性、低成本及低耗電的顯示器的要求逐漸增加。隨之，PDP (Plasma Display Panel，等離子顯示板)、液晶顯示裝置(IXD:Liquid Crystal Display)及有機(jī)發(fā)光二極管(OLED:Organic LightEmitting D1de)備受關(guān)注。
[0003]有機(jī)發(fā)光二極管為電流流過就發(fā)光的自發(fā)光裝置，響應(yīng)速度相比液晶顯示器快千倍以上，并且視角較寬。此外，無需液晶顯示裝置所需的背光及濾色鏡等，并且實(shí)現(xiàn)為柔性顯示器，而且不僅在性能方面，還在配件價格方面也具有很大的優(yōu)點(diǎn)。
[0004]在有機(jī)發(fā)光二極管的制作中使用的有機(jī)薄膜在高真空狀態(tài)下采用真空沉積方式在基板的表面上依次形成。為了形成有機(jī)發(fā)光二極管的全彩顯示器(full colordisplay)，必須具備一種高精度沉積圖案。為了形成這種沉積圖案，使用形成有圖案的掩模。為了提高沉積圖案的精度，不僅掩模本身的圖案要精密，并且使基板和掩模在機(jī)械方面精密對準(zhǔn)(alignment)也非常重要。因此，首先固定掩模后，在掩模上精確對準(zhǔn)基板。
[0005]當(dāng)在固定的掩模上對準(zhǔn)基板時，使安裝有基板的安裝部沿掩模的長度方向及寬度方向移動，并且使安裝部轉(zhuǎn)動來最終與掩模對準(zhǔn)。
[0006]此時，當(dāng)通過可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置的載物臺使安裝部轉(zhuǎn)動時，會產(chǎn)生因旋轉(zhuǎn)軸細(xì)微移動而扭曲的問題。即，當(dāng)電機(jī)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)載物臺時，用于連接旋轉(zhuǎn)載物臺和安裝部并且起到旋轉(zhuǎn)軸作用的連接部的位置細(xì)微移動。這在要求掩模和基板的精密對準(zhǔn)的沉積裝置中會降低精度，并且導(dǎo)致沉積質(zhì)量的下降等問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]因此，本發(fā)明是為了解決如上所述的問題而提出的，其目的是提供一種基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置，該基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置當(dāng)使安裝有基板的安裝部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而在掩模上對準(zhǔn)基板時，能夠防止因加壓力等而旋轉(zhuǎn)軸被扭曲的現(xiàn)象，從而能夠精密對準(zhǔn)。
[0008]所述目的通過本發(fā)明的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置來達(dá)到，該基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置為在沉積工藝中在掩模上對準(zhǔn)基板的裝置，包括:連接柱，與用于安裝所述基板的安裝部連接；旋轉(zhuǎn)載物臺，設(shè)置為圓形，用于固定所述連接柱，在外周面上交替形成有向內(nèi)側(cè)凹陷的凹陷部和向外側(cè)凸出的凸出部；動力傳遞部，包括彼此按規(guī)定間隔隔開配置的多個滾輪銷，其中至少一個所述滾輪銷在對所述旋轉(zhuǎn)載物臺的區(qū)域的凹陷部加壓緊貼的狀態(tài)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以向所述旋轉(zhuǎn)載物臺傳遞動力；及固定部，在彼此按規(guī)定間隔隔開配置的多個固定銷中至少一個固定銷緊貼于所述旋轉(zhuǎn)載物臺的另一區(qū)域的凹陷部，從而使固定部具有與所述動力傳遞部向所述旋轉(zhuǎn)載物臺的加壓力相反方向的力的矢量。
[0009]在此，優(yōu)選在所述動力傳遞部中，所述滾輪銷之間的間隔被設(shè)置為至少兩個所述滾輪銷與各自對應(yīng)的凹陷部緊貼。
[0010]在此，優(yōu)選所述動力傳遞部進(jìn)一步包括:固定板，供所述多個滾輪銷的兩端部分別插入；和軸承，設(shè)置在所述固定板和所述滾輪銷之間。
[0011]在此，優(yōu)選在所述固定部中，所述固定銷之間的間隔被設(shè)置為至少兩個所述固定銷分別與所述凹陷部緊貼。
[0012]在此，優(yōu)選進(jìn)一步包括:旋轉(zhuǎn)電機(jī)，用于使所述動力傳遞部轉(zhuǎn)動；及加壓電機(jī)，用于使所述動力傳遞部向所述旋轉(zhuǎn)載物臺側(cè)緊貼。
[0013]在此，優(yōu)選控制為驅(qū)動所述加壓電機(jī)后驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)。
[0014]通過本發(fā)明，提供一種基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置，該基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置當(dāng)使安裝有基板的安裝部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而在掩模上對準(zhǔn)基板時，能夠防止因加壓力等而旋轉(zhuǎn)軸被扭曲的現(xiàn)象，從而能夠精密對準(zhǔn)。
[0015]此外，動力傳遞部的滾輪銷設(shè)置為緊貼于旋轉(zhuǎn)載物臺的凹陷部，從而防止在旋轉(zhuǎn)時的游隙(backlash)。
[0016]此外，通過設(shè)置固定部，能夠防止因動力傳遞部的加壓力引起的連接柱的位置誤差，該固定部具有與動力傳遞部向旋轉(zhuǎn)載物臺的加壓力相反方向的力的矢量。
[0017]此外，滾輪銷設(shè)置為總是有至少兩個以上的滾輪銷與凹陷部接觸，從而能夠防止在旋轉(zhuǎn)電機(jī)的開/關(guān)時旋轉(zhuǎn)載物臺的逆轉(zhuǎn)現(xiàn)象。
【附圖說明】
[0018]圖1為本發(fā)明的實(shí)施例的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置的示意的立體圖，
[0019]圖2為圖1的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置的旋轉(zhuǎn)載物臺的俯視圖，
[0020]圖3為圖1的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置的動力傳遞部的立體圖，
[0021]圖4為圖1的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置的動力傳遞部的分解立體圖，
[0022]圖5為圖1的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置的動力傳遞部的剖開立體圖，
[0023]圖6為表示圖1的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置的旋轉(zhuǎn)載物臺和動力傳遞部的緊貼狀態(tài)的圖，
[0024]圖7為表示圖1的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置的運(yùn)行的圖。
[0025]附圖標(biāo)記說明
[0026]100:基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置110:連接柱
[0027]120:旋轉(zhuǎn)載物臺130:動力傳遞部
[0028]140:固定部150:旋轉(zhuǎn)電機(jī)
[0029]S:安裝部
【具體實(shí)施方式】
[0030]下面，參照附圖對本發(fā)明的一個實(shí)施例的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0031]本發(fā)明的一個實(shí)施例的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置涉及一種當(dāng)對使安裝有基板的安裝部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而在掩模上對準(zhǔn)基板時，能夠防止因加壓力而旋轉(zhuǎn)軸被扭曲的現(xiàn)象，從而能夠精密對準(zhǔn)的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置。
[0032]圖1為本發(fā)明的一個實(shí)施例的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置的示意的立體圖。參照圖1，本發(fā)明的一個實(shí)施例的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置包括連接柱110、用于固定設(shè)置連接柱110的旋轉(zhuǎn)載物臺120、與旋轉(zhuǎn)載物臺120的區(qū)域彼此嚙合而傳遞動力的動力傳遞部130、與旋轉(zhuǎn)載物臺120的另一區(qū)域彼此嚙合的固定部140、用于驅(qū)動動力傳遞部130的旋轉(zhuǎn)電機(jī)150及用于使動力傳遞部130緊貼于旋轉(zhuǎn)載物臺120的加壓電機(jī)(未圖示)。
[0033]在對本發(fā)明進(jìn)行說明之前，對本實(shí)施例中使用的安裝部S簡單說明如下:本實(shí)施例的沉積裝置為從下方通過掩模沉積沉積原料的向上式沉積裝置，在安裝部S的下面固定基板。即，為了與掩模的上面對準(zhǔn)，基板固定在安裝部S的下面，在安裝部S的兩側(cè)面形成有用于安裝基板的多個指狀物從而安裝基板。
[0034]連接柱110起到用于安裝基板的安裝部S的旋轉(zhuǎn)軸的作用，連接柱的一端固定設(shè)置于安裝部S的上面，連接柱的另一端插入固定于旋轉(zhuǎn)載物臺120的中央部的貫通孔內(nèi)。即，連接柱插入于旋轉(zhuǎn)載物臺120中，并且使旋轉(zhuǎn)載物臺120的內(nèi)周面包覆連接柱110的另一端。此時，為了連接柱110和旋轉(zhuǎn)載物臺120之間的更為牢固的結(jié)合，可進(jìn)一步設(shè)置有額外的結(jié)合構(gòu)件。另外，雖然以連接柱110的一端與安裝部S直接連接為例進(jìn)行說明，但并不一定局限于此，在安裝部S上設(shè)置有其他結(jié)構(gòu)時，連接柱110也可設(shè)置為與其他結(jié)構(gòu)連接并使安裝部S轉(zhuǎn)動。
[0035]圖2為圖1的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置的旋轉(zhuǎn)載物臺的俯視圖。參照圖2，旋轉(zhuǎn)載物臺120是一個為了在掩模上對準(zhǔn)基板而使連接柱110轉(zhuǎn)動的結(jié)構(gòu)。在旋轉(zhuǎn)載物臺120的中央部形成有具有與連接柱110的剖面的直徑相同直徑的插入孔，并且連接柱110的一端部插入固定于插入孔中。
[0036]在旋轉(zhuǎn)載物臺120的外周面上交替形成有向內(nèi)側(cè)凹陷的凹陷部和向外側(cè)凸出的凸出部。即，在旋轉(zhuǎn)載物臺120的邊緣上交替形成有以假想圓周為基準(zhǔn)向內(nèi)側(cè)凹陷的凹陷部和向外側(cè)凸出的凸出部。動力傳遞部130的滾輪銷131在加壓緊貼于凹陷部的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)，從而使旋轉(zhuǎn)載物臺120旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而使連接柱110旋轉(zhuǎn)以在掩模上對準(zhǔn)基板。
[0037]S卩，旋轉(zhuǎn)載物臺120是一個設(shè)置成小齒輪(pin1n gear)狀，并且與滾輪銷131彼此嚙合，使連接柱110進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。
[0038]圖3為圖1的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置的動力傳遞部的立體圖，圖4為圖1的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置的動力傳遞部的分解立體圖，圖5為圖1的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置的動力傳遞部的剖切立體圖，圖6為表示圖1的基板旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)裝置的旋轉(zhuǎn)載物臺和動力傳遞部的緊貼狀態(tài)的圖。參照圖3?圖6，動力傳遞部130設(shè)置為與旋轉(zhuǎn)載物臺120彼此嚙合，是一個用于向旋轉(zhuǎn)載物臺120傳遞動力的結(jié)構(gòu)。動力傳遞部包括滾輪銷131、固定板132及軸承133。
[0039]滾輪銷131為加壓緊貼于凹陷部并且與旋轉(zhuǎn)載物臺120彼此嚙合，從而使旋轉(zhuǎn)載物臺120進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。
[0040]滾輪銷131設(shè)置為多個，在本實(shí)施例中滾輪銷131配置