機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明涉及機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體料片生產(chǎn)的前道工序中，常需要利用取料機(jī)構(gòu)將料片從一工位取放到下一工位。傳統(tǒng)的取料機(jī)構(gòu)采用真空吸附的方式對(duì)料片進(jìn)行拿取，然而其存在幾點(diǎn)問(wèn)題。
[0003]第一，由于半導(dǎo)體料片體積小，采用真空吸附方式，其吸附力差，易掉料。
[0004]第二，成本高，耗電。
[0005]故一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，低成本，低功耗，且不易掉料的機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)亟待提出。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提出了機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)，該機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、低成本、低功耗、且在轉(zhuǎn)移料片的過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)掉料的現(xiàn)象，提高料片的生產(chǎn)效率。
[0007]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0008]機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)，包括:基座;驅(qū)動(dòng)裝置;壓板，壓板與驅(qū)動(dòng)裝置傳動(dòng)連接，驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)壓板升降;料爪，壓板的一端或相對(duì)兩端與料爪通過(guò)拉簧傳動(dòng)連接，料爪包括與拉簧連接的連接部以及用于抓取料片的抓取部;料爪固定塊，固定設(shè)置于基座上，且料爪連接部與料爪固定塊通過(guò)連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接;驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)壓板升降，壓板帶動(dòng)料爪的抓取部以連接軸為圓心做圓弧運(yùn)動(dòng)。
[0009]本發(fā)明一種機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)巧妙，在運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中，只有驅(qū)動(dòng)裝置需要進(jìn)行供電，相比傳統(tǒng)的真空吸附取料的方式，其更省電，更低功耗。而本發(fā)明采用料爪對(duì)料片進(jìn)行抓取，在轉(zhuǎn)移的過(guò)程中，不會(huì)發(fā)生脫料的現(xiàn)象，更安全。
[0010]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，還可做如下改進(jìn):
[0011]作為優(yōu)選的方案，料爪成對(duì)設(shè)置于壓板的一端或相對(duì)兩端，每個(gè)料爪的連接部均通過(guò)拉簧與壓板傳動(dòng)連接。
[0012]采用上述優(yōu)選的方案，料爪從料片的兩端進(jìn)行抓取，抓取更穩(wěn)定，不會(huì)脫料。
[0013]作為優(yōu)選的方案，在基座上還設(shè)有導(dǎo)向柱，壓板與導(dǎo)向柱連接，驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)壓板沿導(dǎo)向柱升降。
[0014]采用上述優(yōu)選的方案，保證壓板升降的穩(wěn)定性。
[0015]作為優(yōu)選的方案，壓板通過(guò)連接塊與導(dǎo)向柱連接。
[0016]采用上述優(yōu)選的方案，結(jié)構(gòu)更穩(wěn)定。
[0017]作為優(yōu)選的方案，在導(dǎo)向柱上設(shè)有復(fù)位彈簧。
[0018]采用上述優(yōu)選的方案，驅(qū)動(dòng)裝置只需要進(jìn)行一個(gè)方向驅(qū)動(dòng)后，復(fù)位彈簧自動(dòng)將壓板復(fù)位，降低其功耗。
[0019]作為優(yōu)選的方案，在基座上用于感應(yīng)料片的料片感應(yīng)裝置。
[0020]采用上述優(yōu)選的方案，用于實(shí)時(shí)感應(yīng)監(jiān)測(cè)料片是否到達(dá)待取料工位。
[0021]作為優(yōu)選的方案，在壓板上還設(shè)有用于調(diào)節(jié)壓板高度的高度調(diào)節(jié)裝置。
[0022]采用上述優(yōu)選的方案，通過(guò)高度調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)壓板的最大高度，從而調(diào)節(jié)料爪張開(kāi)的最大角度，便于抓取不同寬度的料片。
[0023]作為優(yōu)選的方案，料爪的抓取部呈勾狀。
[0024]采用上述優(yōu)選的方案，料片的抓取更穩(wěn)定。
【附圖說(shuō)明】
[0025]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0027]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)的待料狀態(tài)下的局部結(jié)構(gòu)示意圖。
[0028]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)的取料狀態(tài)下的局部結(jié)構(gòu)示意圖。
[0029]其中:I基座、2驅(qū)動(dòng)裝置、3壓板、4料爪、41連接部、42抓取部、5料爪固定塊、6拉簧、7連接軸、8導(dǎo)向柱、9復(fù)位彈簧、10連接塊、11料片感應(yīng)裝置、12料片、13高度調(diào)節(jié)裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0030]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。
[0031 ]為了達(dá)到本發(fā)明的目的，機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)的其中一些實(shí)施例中，
[0032]機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)，包括:基座1、驅(qū)動(dòng)裝置2、壓板3、料爪4以及料爪固定塊5。在本實(shí)施例中驅(qū)動(dòng)裝置2采用氣缸。
[0033]壓板3的上端面與氣缸的輸出軸傳動(dòng)連接，氣缸驅(qū)動(dòng)壓板3升降。在壓板3的相對(duì)兩端與料爪4通過(guò)拉簧6傳動(dòng)連接。料爪4成對(duì)設(shè)置于壓板3的相對(duì)兩端，且每個(gè)料爪4包括與拉簧6連接的連接部41以及用于抓取料片12的抓取部42，料爪的抓取部42呈勾狀。一個(gè)料爪4通過(guò)一個(gè)拉簧6與壓板3傳動(dòng)連接。
[0034]料爪固定塊5固定設(shè)置于基座I上，且料爪連接部41與料爪固定塊5通過(guò)連接軸7轉(zhuǎn)動(dòng)連接;驅(qū)動(dòng)裝置2驅(qū)動(dòng)壓板3升降，壓板3帶動(dòng)料爪的抓取部42以連接軸7為圓心做圓弧運(yùn)動(dòng)。
[0035]在基座I設(shè)有四根導(dǎo)向柱8，在每根導(dǎo)向柱8上設(shè)有復(fù)位彈簧9，壓板3通過(guò)兩個(gè)連接塊10與導(dǎo)向柱8連接，每個(gè)連接塊10連接兩根導(dǎo)向柱8，壓板3的兩端分別與兩個(gè)連接塊10連接。在本實(shí)施例中，導(dǎo)向柱8為線性軸承。
[0036]在基座I上用于感應(yīng)料片12的料片感應(yīng)裝置11。
[0037]本發(fā)明一種機(jī)械取料機(jī)構(gòu)的工作過(guò)程如下:
[0038]在待料狀態(tài)下，氣缸驅(qū)動(dòng)壓板3沿導(dǎo)向柱7向下運(yùn)動(dòng)，壓板3對(duì)復(fù)位彈簧8進(jìn)行壓縮，對(duì)拉簧6進(jìn)行拉伸，料爪的抓取部42以連接軸7為圓心做圓弧運(yùn)動(dòng)張開(kāi)料爪4。
[0039]在取料狀態(tài)下，料片感應(yīng)裝置11感應(yīng)到料片12到達(dá)工位，氣缸回收，壓板3在復(fù)位彈簧8的作用下沿導(dǎo)向柱7向上運(yùn)動(dòng)到端部，料爪4在拉簧6回收力的作用下以連接軸7為圓心做圓弧運(yùn)動(dòng)閉合料爪4，料片12抓取成功。氣缸驅(qū)動(dòng)壓板3再向上運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)整個(gè)機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)到達(dá)下個(gè)工位。
[0040]本發(fā)明一種機(jī)械取料機(jī)構(gòu)的有益效果如下:
[0041]第一，與真空吸附式取料機(jī)構(gòu)相比，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，低功耗、低成本，且真空吸附式取料機(jī)構(gòu)采用吸附盤(pán)吸附料片，其與料片12的接觸面積大，易對(duì)吸附盤(pán)造成磨損，需要定期更換新的吸附盤(pán)。而本發(fā)明采用勾狀的料爪4抓取部42對(duì)料片12進(jìn)行抓取，接觸面積小，且抓取牢固。
[0042]第二，采用機(jī)械式取料的方式，取料更穩(wěn)定，不會(huì)發(fā)生掉料、脫料，可以有效加快取料速度，提高生產(chǎn)效率。
[0043]第三，采用機(jī)械式取料的方式，故障少。
[0044]第四，在取料的過(guò)程中，復(fù)位彈簧8自動(dòng)將壓板3復(fù)位，料爪4在拉簧6回收力的作用下以連接軸7為圓心做圓弧運(yùn)動(dòng)閉合料爪4，成功抓取料片12，其過(guò)程無(wú)需添加外力，節(jié)省成本，功耗低。
[0045]為了進(jìn)一步地優(yōu)化本發(fā)明的實(shí)施效果，在本發(fā)明機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)的另一些實(shí)施方式中，在上述內(nèi)容的基礎(chǔ)上，在壓板3上還設(shè)有用于調(diào)節(jié)壓板3高度的高度調(diào)節(jié)裝置13。高度調(diào)節(jié)裝置13為設(shè)置于壓板3上的螺栓，螺栓的一端與壓板3螺紋連接。
[0046]采用上述實(shí)施例的方案，通過(guò)高度調(diào)節(jié)裝置13調(diào)節(jié)壓板3的最大高度，從而調(diào)節(jié)料爪4張開(kāi)的最大角度，便于抓取不同寬度的料片12。
[0047]新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括: 基座； 驅(qū)動(dòng)裝置； 壓板，所述壓板與所述驅(qū)動(dòng)裝置傳動(dòng)連接，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述壓板升降； 料爪，所述壓板的一端或相對(duì)兩端與料爪通過(guò)拉簧傳動(dòng)連接，所述料爪包括與所述拉簧連接的連接部以及用于抓取料片的抓取部； 料爪固定塊，固定設(shè)置于所述基座上，且所述料爪連接部與所述料爪固定塊通過(guò)連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接； 所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述壓板升降，所述壓板帶動(dòng)所述料爪的抓取部以連接軸為圓心做圓弧運(yùn)動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述料爪成對(duì)設(shè)置于所述壓板的一端或相對(duì)兩端，所述每個(gè)料爪的連接部均通過(guò)拉簧與所述壓板傳動(dòng)連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述基座上還設(shè)有導(dǎo)向柱，所述壓板與所述導(dǎo)向柱連接，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述壓板沿所述導(dǎo)向柱升降。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述壓板通過(guò)連接塊與所述導(dǎo)向柱連接。5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述導(dǎo)向柱上設(shè)有復(fù)位彈貪O6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述基座上用于感應(yīng)料片的料片感應(yīng)裝置。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述壓板上還設(shè)有用于調(diào)節(jié)所述壓板高度的高度調(diào)節(jié)裝置。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述料爪的抓取部呈勾狀。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)，機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)包括：基座；驅(qū)動(dòng)裝置；壓板，壓板與驅(qū)動(dòng)裝置傳動(dòng)連接，驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)壓板升降；料爪，壓板的一端或相對(duì)兩端與料爪通過(guò)拉簧傳動(dòng)連接，料爪包括與拉簧連接的連接部以及用于抓取料片的抓取部；料爪固定塊，固定設(shè)置于基座上，且料爪連接部與料爪固定塊通過(guò)連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接；驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)壓板升降，壓板帶動(dòng)料爪的抓取部以連接軸為圓心做圓弧運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明機(jī)械式取料機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、低成本、低功耗、且在轉(zhuǎn)移料片的過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)掉料的現(xiàn)象，提高料片的生產(chǎn)效率。
【IPC分類】H01L21/687, H01L21/677
【公開(kāi)號(hào)】CN105552012
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610036815
【發(fā)明人】劉曉成, 史曉華
【申請(qǐng)人】蘇州光越微納科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年5月4日
【申請(qǐng)日】2016年1月20日