本實用新型涉及光學(xué)領(lǐng)域，具體涉及一種微焦點X射線管。

背景技術(shù)：

目前公知的x射線管焦點比較大，在X射線成像領(lǐng)域的的使用分辨率較低，不能滿足在某些領(lǐng)域(如精密的線路板，集成電路，科學(xué)研究)的使用。開發(fā)微焦點x射線管勢在必行。隨著我國的現(xiàn)代化建設(shè)和科學(xué)研究的深入發(fā)展，對于具有高分辨率的X射線成像設(shè)備需要量越來越多?，F(xiàn)有的技術(shù)無法實現(xiàn)X射線管無法滿足較高精細分辨率的問題。因此，需對現(xiàn)有技術(shù)加以改進。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型提供了一種微焦點X射線管，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中無法實現(xiàn)較高精細分辨率的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是：

一種微焦點X射線管，所述射線管包括外殼、陰極發(fā)射極、陽極、透射窗，所述陰極發(fā)射極和所述陽極設(shè)置在所述外殼內(nèi)，所述透射窗設(shè)置在所述外殼表面，所述陰極發(fā)射極包括發(fā)射端、加速極、聚焦極；所述發(fā)射端發(fā)射出電子經(jīng)過所述聚焦極和所述加速極送至所述陽極，經(jīng)過陽極發(fā)送到所述透射窗發(fā)送至外界。

進一步的改進在于，所述聚焦極包括一級聚焦極和二級聚焦極，所述二級聚焦極設(shè)置在所述一級聚焦極遠離所述發(fā)射端的一側(cè)，所述發(fā)射端、所述一級聚焦極、所述二級聚焦極的中心線在同一條直線上，所述加速極設(shè)置在所述一級聚焦極和所述二級聚焦極之間。

進一步的改進在于，所述一級聚焦極和所述二級聚焦極外接有聚焦電壓控制器。

進一步的改進在于，所述陽極包括一反射面、進入口、外出口，所述反射面位于所述進入口和所述外出口之間。

進一步的改進在于，所述透射窗相對于所述反射面和所述發(fā)射端呈直角角度設(shè)置。

進一步的改進在于，所述反射面接有散熱單元。

進一步的改進在于，所述透射窗為鈹窗口，所述外殼為金屬和陶瓷相互銜接的外殼。

進一步的改進在于，所述發(fā)射端包括一發(fā)射頭、N根電極線、燈絲，(N＞1)；所述電極線穿過所述發(fā)射頭側(cè)面，所述燈絲安裝在所述電極線內(nèi)側(cè)的端點。

進一步的改進在于，所述加速極外接有加速電壓控制器。

本實用新型由于使用以上技術(shù)方案，使其具有的有益效果是：

本實用新型通過設(shè)置聚焦極，讓射線在射線管內(nèi)直接聚焦之后再穿射透射窗發(fā)射到射線管外，解決現(xiàn)有技術(shù)中無法實現(xiàn)較高精細分辨率的問題。通過進一步設(shè)計，使將加設(shè)加速電壓控制器、聚焦電壓控制器，實現(xiàn)更好的加速、聚焦控制。通過陽極的窗口進出及反射面進一步篩選電子束，進一步提高了適用性。

附圖說明

圖1為本實用新型一種微焦點X射線管的示意圖。

具體實施方式

為了使實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)造特征、達成目的和功效易于明白了解，以下結(jié)合附圖，進一步闡述本實用新型。

本實用新型的一種微焦點X射線管，如圖1所示，射線管包括外殼1、陰極發(fā)射極、陽極2、透射窗3，陰極發(fā)射極和陽極2設(shè)置在外殼1內(nèi)，透射窗3設(shè)置在外殼1表面，陰極發(fā)射極包括發(fā)射端4、外接有加速電壓控制器的加速極5、聚焦極。

聚焦極包括外接有聚焦電壓控制器的一級聚焦極6和外接有聚焦電壓控制器的二級聚焦極7，二級聚焦極7設(shè)置在一級聚焦極6遠離發(fā)射端4的一側(cè)，加速極5設(shè)置在一級聚焦極6和二級聚焦極7之間。發(fā)射端4、一級聚焦極6、加速極5、二級聚焦極7的中心線在同一條直線上。

陽極2包括一接有金屬散熱單元的反射面8、進入口9、外出口10。由于金屬具有較好的導(dǎo)熱性，可以更好的將反射面上的熱量傳遞出去。反射面8位于進入口9和外出口10之間，進入口9和外出口10所在平面呈相互垂直狀態(tài)，反射面8和進入口9所在平面及外出口10所在平面均呈光線對稱反射角度。

另外，透射窗3和發(fā)射端4、一級聚焦極6、加速極5、二級聚焦極7的中心線呈垂直設(shè)置。

透射窗3為鈹窗口，外殼1為金屬和陶瓷相互銜接的外殼，其中以便捷而且密封性較好的凹凸槽銜接模式較好。

更要說明的是，發(fā)射端4包括一發(fā)射頭11、兩根電極線12、燈絲13。兩根電極線12穿過發(fā)射頭11側(cè)面，燈絲13安裝在兩根電極線12內(nèi)側(cè)的端點。

發(fā)射端4發(fā)射出電子經(jīng)過一級聚焦極6、加速極5、二級聚焦極7送至陽極2的進入口9，再由反射面8反射至外出口10，發(fā)送到透射窗3發(fā)送至外界。完成發(fā)射端4發(fā)射的直徑1000微米電子束匯聚成直徑5微米的電子束打到靶上，即形成微焦點的目的。由于聚焦電壓控制器和加速電壓控制器的控制，更好的調(diào)節(jié)和控制電子束的狀況。

本實用新型通過設(shè)置聚焦極，讓射線在射線管內(nèi)直接聚焦之后再穿射透射窗發(fā)射到射線管外，解決了現(xiàn)有技術(shù)中無法實現(xiàn)較高精細分辨率的問題。通過進一步設(shè)計，使將加設(shè)加速電壓控制器、聚焦電壓控制器，實現(xiàn)更好的加速、聚焦控制。通過陽極的窗口進出及反射面進一步篩選電子束，進一步提高了適用性。

以上對實用新型的具體實施例進行了描述。需要理解的是，實用新型并不局限于上述特定實施方式，其中未盡詳細描述的設(shè)備和結(jié)構(gòu)應(yīng)該理解為用本領(lǐng)域中的普通方式予以實施；本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變形或修改做出若干簡單推演、變形或替換，這并不影響實用新型的實質(zhì)內(nèi)容。