本發(fā)明涉及半導體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種翻轉(zhuǎn)裝置。

背景技術(shù)：

在半導體專用設(shè)備制造過程中，實現(xiàn)硅片(晶片)的自動取、放和自動傳輸是一項關(guān)鍵技術(shù)。在現(xiàn)代化的生產(chǎn)設(shè)備中，常見的對晶片抓取裝置有：夾持式、電磁吸附式、真空吸盤吸附式等。其中夾持式晶片抓取裝置容易造成晶片損壞，電磁吸附式晶片抓取裝置和真空吸盤吸附式晶片抓取裝置結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，零件加工難度大，還存在難于控制的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供一種翻轉(zhuǎn)裝置。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

根據(jù)本發(fā)明實施例的翻轉(zhuǎn)裝置，用于裝有半導體的固定環(huán)的翻轉(zhuǎn)，所述翻轉(zhuǎn)裝置包括：

夾持機構(gòu)，所述夾持機構(gòu)可活動以夾持或松開所述固定環(huán)；

連接件，所述連接件與所述夾持機構(gòu)相連；

翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)與所述連接件相連以通過驅(qū)動所述連接件翻轉(zhuǎn)帶動所述固定環(huán)翻轉(zhuǎn)。

進一步地，所述夾持機構(gòu)包括兩個，兩個所述夾持機構(gòu)設(shè)在所述固定環(huán)的相對兩側(cè)，所述連接件形成為長條形，兩個所述夾持機構(gòu)分別與所述連接件相連，所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)與所述連接件的一端相連以驅(qū)動所述連接件翻轉(zhuǎn)。

進一步地，每個所述夾持機構(gòu)分別包括：

連接塊，所述連接塊設(shè)在所述連接件上；

驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置可活動地設(shè)在所述連接塊上；

夾持塊，所述夾持塊與所述驅(qū)動裝置相連，所述夾持塊由所述驅(qū)動裝置驅(qū)動以夾持或松開所述固定環(huán)。

進一步地，所述驅(qū)動裝置形成為氣缸，所述氣缸具有沿其軸向可伸縮的驅(qū)動軸，所述連接塊形成為氣缸安裝座。

進一步地，每個所述夾持機構(gòu)還包括：

墊板，所述連接塊通過所述墊板安裝在所述連接件上。

進一步地，每個所述夾持機構(gòu)還包括：

第一銷軸，所述第一銷軸設(shè)在所述驅(qū)動軸的自由端；

連桿，所述連桿的一端與所述第一銷軸可樞轉(zhuǎn)地相連，所述連桿的另一端與所述夾持塊可樞轉(zhuǎn)地相連；

第二銷軸，所述第二銷軸設(shè)在所述連接塊上，所述夾持塊通過所述第二銷軸與所述連接塊可樞轉(zhuǎn)地相連。

進一步地，每個所述夾持機構(gòu)還包括：

連接板，所述連接板設(shè)在所述連接塊上且一端與所述連接塊相連，所述第二銷軸設(shè)在所述連接板的另一端上且與所述夾持塊相連。

進一步地，每個所述夾持機構(gòu)分別包括兩個所述連接板，兩個所述連接板分別與所述連接塊的兩側(cè)相連，所述第二銷軸和所述夾持塊設(shè)在兩個所述連接板之間。

進一步地，所述驅(qū)動裝置為cdqsb20-75dc型氣缸。

進一步地，所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)包括：

安裝座；

翻轉(zhuǎn)氣缸，所述翻轉(zhuǎn)氣缸設(shè)在所述安裝座上，所述翻轉(zhuǎn)氣缸與所述連接件相連以驅(qū)動所述連接件翻轉(zhuǎn)。

本發(fā)明上述技術(shù)方案的有益效果如下：

本發(fā)明實施例的翻轉(zhuǎn)裝置，通過夾持機構(gòu)和翻轉(zhuǎn)機構(gòu)實現(xiàn)了對晶片的夾持和翻轉(zhuǎn)，使翻轉(zhuǎn)裝置整體結(jié)構(gòu)更加緊湊，也保證了運行的平穩(wěn)，整體結(jié)構(gòu)簡單實用，方便可靠，且成本較低。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例所述的翻轉(zhuǎn)裝置的一個結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實施例所述的翻轉(zhuǎn)裝置的另一個結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標記：

翻轉(zhuǎn)裝置100；

固定環(huán)10；

翻轉(zhuǎn)機構(gòu)20；安裝座21；翻轉(zhuǎn)氣缸22；

夾持機構(gòu)30；連接塊31；驅(qū)動裝置32；夾持塊33；墊板34；第一銷軸35；連桿36；第二銷軸37；連接板38；驅(qū)動軸39；

連接件40。

具體實施方式

為使本發(fā)明實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實施例的附圖，對本發(fā)明實施例的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例?；谒枋龅谋景l(fā)明的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

下面結(jié)合附圖具體描述根據(jù)本發(fā)明實施例的翻轉(zhuǎn)裝置100。

如圖1和圖2所示，根據(jù)本發(fā)明實施例的翻轉(zhuǎn)裝置100，用于裝有半導體的固定環(huán)10的翻轉(zhuǎn)，翻轉(zhuǎn)裝置100包括夾持機構(gòu)30、連接件40和翻轉(zhuǎn)機構(gòu)20。

具體地，夾持機構(gòu)30可活動以夾持或松開固定環(huán)10，連接件40與夾持機構(gòu)30相連，翻轉(zhuǎn)機構(gòu)20與連接件40相連以通過驅(qū)動連接件40翻轉(zhuǎn)帶動固定環(huán)10翻轉(zhuǎn)。

換言之，翻轉(zhuǎn)裝置100用于對裝有半導體的固定環(huán)10進行翻轉(zhuǎn)，主要由夾持機構(gòu)30、連接件40和翻轉(zhuǎn)機構(gòu)20組成。夾持機構(gòu)30可活動以夾持或松開固定環(huán)10，連接件40與夾持機構(gòu)30相連，翻轉(zhuǎn)機構(gòu)20與連接件40相連以通過驅(qū)動連接件40翻轉(zhuǎn)帶動固定環(huán)10翻轉(zhuǎn)。

由此，根據(jù)本發(fā)明實施例的翻轉(zhuǎn)裝置100，通過夾持機構(gòu)30對固定環(huán)10進行夾持或松開，既保證了翻轉(zhuǎn)過程中固定環(huán)10的平穩(wěn)可靠性，又能夠方便地在翻轉(zhuǎn)結(jié)束后對固定環(huán)10進行更換，翻轉(zhuǎn)機構(gòu)20通過連接件40對固定環(huán)10進行翻轉(zhuǎn)，使翻轉(zhuǎn)過程更方便，且運行平穩(wěn)，結(jié)構(gòu)緊湊，整個翻轉(zhuǎn)裝置100方便實用，結(jié)構(gòu)簡單，成本較低。

根據(jù)本發(fā)明一個具體的實施例，夾持機構(gòu)30包括兩個，兩個夾持機構(gòu)30設(shè)在固定環(huán)10的相對兩側(cè)，連接件40形成為長條形，兩個夾持機構(gòu)30分別與連接件40相連，翻轉(zhuǎn)機構(gòu)20與連接件40的一端相連以驅(qū)動所述連接件40翻轉(zhuǎn)。兩個夾持機構(gòu)30設(shè)在固定環(huán)10的相對兩側(cè)進一步確保翻轉(zhuǎn)過程中固定件的平穩(wěn)性，連接件40為長條形能夠減小連接件40占用固定環(huán)10圈內(nèi)的面積，不妨礙固定環(huán)10圈內(nèi)的晶環(huán)的加工，從而整個結(jié)構(gòu)更加緊湊。

具體地，每個夾持機構(gòu)30分別包括連接塊31、驅(qū)動裝置32和夾持塊33，連接塊31設(shè)在連接件40上，驅(qū)動裝置32可活動地設(shè)在連接塊31上，夾持塊33與驅(qū)動裝置32相連，夾持塊33由驅(qū)動裝置32驅(qū)動以夾持或松開固定環(huán)10。連接塊31使翻轉(zhuǎn)裝置100帶動固定環(huán)10翻轉(zhuǎn)時，驅(qū)動裝置32也能隨之翻轉(zhuǎn)，避免翻轉(zhuǎn)受到牽絆，運行平穩(wěn)，驅(qū)動裝置32驅(qū)動夾持塊33以夾持或松開固定環(huán)10實現(xiàn)了更換固定環(huán)10的自動化，有利于提高生產(chǎn)效率。

進一步地，驅(qū)動裝置32形成為氣缸，氣缸具有沿其軸向可伸縮的驅(qū)動軸39，連接塊31形成為氣缸安裝座21。每個夾持機構(gòu)30的驅(qū)動裝置32同步驅(qū)動夾持塊33以夾持或松開固定環(huán)10，具體地，可使所有氣缸由同一路氣源供氣，以保證夾持或松開的同步性。另外，氣缸結(jié)構(gòu)簡單，輕便，且便于維護。

具體地，每個夾持機構(gòu)30還包括墊板34，連接塊31通過墊板34安裝在連接件40上。墊板34可用于放置固定環(huán)10，墊板34與夾持塊33共同配合進一步確保固定環(huán)10固定的可靠性。當夾持塊33還未開始工作時，墊板34起到暫時存放固定環(huán)10的作用，同時也更方便翻轉(zhuǎn)機構(gòu)20與其他工序上的裝置進行配合。

在本發(fā)明一個優(yōu)選的實施例中，每個夾持機構(gòu)30還包括第一銷軸35、連桿36和第二銷軸37，第一銷軸35設(shè)在驅(qū)動軸39的自由端，連桿36的一端與第一銷軸35可樞轉(zhuǎn)地相連，連桿36的另一端與夾持塊33可樞轉(zhuǎn)地相連，第二銷軸37設(shè)在連接塊31上，夾持塊33通過第二銷軸37與連接塊31可樞轉(zhuǎn)地相連。具有第一銷軸35、連桿36和第二銷軸37的夾持機構(gòu)30能夠更加平穩(wěn)靈活的夾持或松開固定環(huán)10，且夾持過程較為輕柔，避免對固定環(huán)10造成損壞。

具體地，每個夾持機構(gòu)30還包括連接板38，連接板38設(shè)在連接塊31上且一端與連接塊31相連，第二銷軸37設(shè)在連接板38的另一端上且與夾持塊33相連。連接板38提高了夾持機構(gòu)30的可安裝性和靈活性。

進一步地，每個夾持機構(gòu)30分別包括兩個連接板38，兩個連接板38分別與連接塊31的兩側(cè)相連，第二銷軸37和夾持塊33設(shè)在兩個連接板38之間。設(shè)置兩個連接板38能夠保證夾持塊33運行的平穩(wěn)性。

在本發(fā)明一個具體的實施例中，驅(qū)動裝置32為cdqsb20-75dc型氣缸。具體地，驅(qū)動裝置32可選用smc公司生產(chǎn)的柔性型cdqsb20-75dc氣缸，該氣缸具有夾持力輕、穩(wěn)、準的優(yōu)點。

根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選的實施例，翻轉(zhuǎn)機構(gòu)20包括安裝座21和翻轉(zhuǎn)氣缸22，翻轉(zhuǎn)氣缸22設(shè)在安裝座21上，翻轉(zhuǎn)氣缸22與連接件40相連以驅(qū)動連接件40翻轉(zhuǎn)。優(yōu)選地，翻轉(zhuǎn)氣缸22為smc公司生產(chǎn)的高精度型msqa20a-m9bw氣缸，該氣缸翻轉(zhuǎn)精度較高。

根據(jù)本發(fā)明實施例的翻轉(zhuǎn)裝置100在使用時，在夾持塊33未處于夾持狀態(tài)(即松開狀態(tài))下，將裝有半導體(如晶片)的固定環(huán)10放置在墊板34上，然后啟動驅(qū)動裝置32，驅(qū)動裝置32驅(qū)動夾持塊33對固定環(huán)10進行夾持，接著翻轉(zhuǎn)機構(gòu)20的翻轉(zhuǎn)氣缸22通過驅(qū)動連接件40翻轉(zhuǎn)帶動固定環(huán)10翻轉(zhuǎn)，使半導體的兩個側(cè)面能夠頻繁交換位置，以便加工，待加工完成后，驅(qū)動裝置32驅(qū)動夾持塊33再次處于松開狀態(tài)，更換下一個固定環(huán)10，重復(fù)以上過程進行加工，如此反復(fù)。

總而言之，根據(jù)本發(fā)明實施例的翻轉(zhuǎn)裝置100，能夠有效實現(xiàn)裝有半導體的固定環(huán)10的翻轉(zhuǎn)，夾持機構(gòu)30保證了固定環(huán)10翻轉(zhuǎn)過程中的穩(wěn)定性和可靠性，整個裝置結(jié)構(gòu)緊湊，方便實用，成本較低。

以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。