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薄膜晶體管及其制作方法、顯示基板及顯示裝置與流程

文檔序號:12612996閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種薄膜晶體管,包括形成在襯底上的源電極、漏電極和有源層,所述有源層包括用于與所述源電極接觸的源電極接觸區(qū)、與所述漏電極接觸的漏電極接觸區(qū)以及位于所述源電極接觸區(qū)和所述漏電極接觸區(qū)之間的溝道區(qū),其特征在于,所述薄膜晶體管還包括:

至少分布在所述有源層的溝道區(qū)的第一導(dǎo)電圖形,所述第一導(dǎo)電圖形與所述溝道區(qū)接觸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述薄膜晶體管還包括:

與所述有源層的源電極接觸區(qū)接觸且與所述第一導(dǎo)電圖形間隔開的第二導(dǎo)電圖形;和/或

與所述有源層的漏電極接觸區(qū)接觸且與所述第一導(dǎo)電圖形間隔開的第三導(dǎo)電圖形。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述第一導(dǎo)電圖形呈陣列排布。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄膜晶體管,其特征在于,每一所述第一導(dǎo)電圖形的延伸方向與從所述源電極到所述漏電極的第一方向平行。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述第一導(dǎo)電圖形、所述第二導(dǎo)電圖形和所述第三導(dǎo)電圖形均是金屬納米線。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜晶體管,其特征在于,每一所述第一導(dǎo)電圖形的長度為Lx,在第一方向上相鄰第一導(dǎo)電圖形之間的間距為Ly,Ly/Lx的取值為0.3~0.7。

7.一種顯示基板,其特征在于,包括如權(quán)利要求1-6中任一項所述的薄膜晶體管。

8.一種顯示裝置,其特征在于,包括如權(quán)利要求7所述的顯示基板。

9.一種薄膜晶體管的制作方法,包括在襯底上形成源電極、漏電極和有源層的步驟,所述有源層包括用于與所述源電極接觸的源電極接觸區(qū)、與所述漏電極接觸的漏電極接觸區(qū)以及位于所述源電極接觸區(qū)和所述漏電極接觸區(qū)之間的溝道區(qū),其特征在于,所述制作方法還包括:

形成至少分布在所述有源層的溝道區(qū)的第一導(dǎo)電圖形,所述第一導(dǎo)電圖形與所述溝道區(qū)接觸。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的薄膜晶體管的制作方法,其特征在于,形成所述第一導(dǎo)電圖形的步驟包括:

在待形成所述第一導(dǎo)電圖形的襯底上涂覆光刻膠;

通過壓印將模板上的圖案轉(zhuǎn)印在光刻膠上,形成光刻膠保留區(qū)域和光刻膠未保留區(qū)域,光刻膠未保留區(qū)域?qū)?yīng)所述圖案;

沉積導(dǎo)電層,所述導(dǎo)電層包括位于光刻膠保留區(qū)域上的第一部分和位于光刻膠未保留區(qū)域與所述襯底相接觸的第二部分;

對光刻膠進行曝光顯影,去除光刻膠保留區(qū)域的光刻膠和所述第一部分,保留所述第二部分形成所述第一導(dǎo)電圖形。

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