技術(shù)總結(jié)
本實用新型揭示了一種溝槽功率器件。本實用新型提供的一種溝槽功率器件，通過在第一溝槽和第二溝槽的上部形成具有一定厚度第一介質(zhì)層，使得溝槽柵極區(qū)域距離半導(dǎo)體襯底表面有一定距離，再淀積第一阻止層定義出接觸孔在半導(dǎo)體襯底表面的最小尺寸，從而在進行接觸孔刻蝕時，可以使接觸孔的線寬進一步做的更小。并且保證接觸孔到第一溝槽和第二溝槽的間距，從而使接觸孔與第一溝槽和第二溝槽的套刻有足夠的余量，實現(xiàn)更小線寬的器件結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)，同時使產(chǎn)品的參數(shù)和可靠性滿足要求。

技術(shù)研發(fā)人員：楊彥濤;夏志平;陳元金;陳文偉;李慶華
受保護的技術(shù)使用者：杭州士蘭集成電路有限公司
文檔號碼：201620745746
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.12
技術(shù)公布日：2017.01.25