本發(fā)明涉及通信領(lǐng)域，尤其涉及一種標(biāo)定映射尺寸的方法及裝置。

背景技術(shù)：

劃片機(jī)主要包括砂輪劃片機(jī)和激光劃片機(jī)，其中，砂輪劃片機(jī)結(jié)合水電氣、空氣靜壓高速主軸、精密機(jī)械傳動(dòng)、傳感器及自動(dòng)化控制等技術(shù)的精密數(shù)控設(shè)備；激光劃片機(jī)是利用高能激光束照射在工件表面，使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達(dá)到劃片的目的。在劃片機(jī)設(shè)備中經(jīng)常通過機(jī)器視覺設(shè)備來實(shí)現(xiàn)自動(dòng)識(shí)別功能，需要標(biāo)定劃片機(jī)設(shè)備在對(duì)應(yīng)的顯微鏡倍率下的映射尺寸，從而轉(zhuǎn)換工作臺(tái)的坐標(biāo)和機(jī)器視覺設(shè)備的坐標(biāo)。目前，標(biāo)定映射尺寸的方法主要是使用手工標(biāo)定，為了使標(biāo)定精度更加準(zhǔn)確，需要采用多次標(biāo)定測量的方法，這樣，劃片機(jī)設(shè)備標(biāo)定映射尺寸的操作過程過于復(fù)雜和繁瑣。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明實(shí)施例提供一種標(biāo)定映射尺寸的方法及裝置，以解決現(xiàn)有的劃片機(jī)設(shè)備標(biāo)定映射尺寸的操作過程過于復(fù)雜和繁瑣的問題。

第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種標(biāo)定映射尺寸的方法，應(yīng)用于劃片機(jī)設(shè)備，包括：

在晶圓的橫向坐標(biāo)軸方向與參考橫向坐標(biāo)軸方向平行的情況下，采集所述晶圓的圖像信息；

根據(jù)用戶設(shè)定的模板確定所述圖像信息中的晶粒數(shù)量，并根據(jù)各晶粒內(nèi)的模板的位置計(jì)算各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息；

根據(jù)所述圖像信息中的晶粒數(shù)量、所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息以及預(yù)先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸。

可選地，所述圖像信息的橫向坐標(biāo)軸方向的模板數(shù)大于或者等于2，以及所述圖像信息的縱向坐標(biāo)軸方向的模板數(shù)大于或者等于2。

可選地，所述根據(jù)所述圖像信息中的晶粒數(shù)量、所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息以及預(yù)先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸的步驟，包括：

基于所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息、所述圖像信息中的橫向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量，以及預(yù)先確定的所述晶圓橫向坐標(biāo)軸方向的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的橫向坐標(biāo)軸的映射尺寸；

基于所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息、所述圖像信息中的縱向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量以及預(yù)先確定的所述晶圓縱向坐標(biāo)軸方向的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的縱向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸。

可選地，所述基于所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息、所述圖像信息中的橫向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量，以及預(yù)先確定的所述晶圓橫向坐標(biāo)軸方向的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的橫向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸的步驟，包括：

提取所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息中最小橫坐標(biāo)值和最大橫坐標(biāo)值；

計(jì)算所述最大橫坐標(biāo)值與最小橫坐標(biāo)值的差值；

計(jì)算所述差值，與所述圖像信息中的橫向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量減1得到的數(shù)值的商值；

將所述預(yù)先確定的所述晶圓的橫向坐標(biāo)軸方向的分度值與所述商值的比值作為所述劃片機(jī)設(shè)備的坐標(biāo)橫向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸。

可選地，所述基于所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息、所述圖像信息中的縱向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量，以及預(yù)先確定的所述晶圓縱向坐標(biāo)軸方向的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的縱向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸的步驟，包括：

提取所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息中最小縱坐標(biāo)值和最大縱坐標(biāo)值；

計(jì)算所述最大縱坐標(biāo)值與最小縱坐標(biāo)值的差值；

計(jì)算所述差值與所述圖像信息中的縱向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量減1得到的數(shù)值的商值；

將所述預(yù)先確定的所述晶圓的縱向坐標(biāo)軸方向的分度值與所述商值的比值作為所述劃片機(jī)設(shè)備的坐標(biāo)縱向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸。

第二方面，本發(fā)明實(shí)施例還提供了標(biāo)定映射尺寸的裝置，應(yīng)用于劃片機(jī)設(shè)備，包括：

采集模塊，用于在晶圓的橫向坐標(biāo)軸方向與參考橫向坐標(biāo)軸方向平行的情況下，采集所述晶圓的圖像信息；

第一確定模塊，用于根據(jù)用戶設(shè)定的模板確定所述圖像信息中的晶粒數(shù)量，并根據(jù)各晶粒內(nèi)的模板的位置計(jì)算各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息；

第二確定模塊，用于根據(jù)所述圖像信息中的晶粒數(shù)量、所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息以及預(yù)先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸。

可選地，所述圖像信息的橫向坐標(biāo)軸方向的模板數(shù)大于或者等于2，以及所述圖像信息的縱向坐標(biāo)軸方向的模板數(shù)大于或者等于2。

可選地，，所述第二確定模塊包括：

第一確定單元，用于基于所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息、所述圖像信息中的橫向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量，以及預(yù)先確定的所述晶圓橫向坐標(biāo)軸方向的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的橫向坐標(biāo)軸的映射尺寸；

第二確定單元，用于基于所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息、所述圖像信息中的縱向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量以及預(yù)先確定的所述晶圓縱向坐標(biāo)軸方向的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的縱向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸。

可選地，所述第一確定單元包括：

第一提取子單元，用于提取所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息中最小橫坐標(biāo)值和最大橫坐標(biāo)值；

第一計(jì)算子單元，用于計(jì)算所述最大橫坐標(biāo)值與最小橫坐標(biāo)值的差值；

第二子算子單元，用于計(jì)算所述差值，與所述圖像信息中的橫向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量減1得到的數(shù)值的商值；

第三計(jì)算子單元，用于將所述預(yù)先確定的所述晶圓的橫向坐標(biāo)軸方向的分度值與所述商值的比值作為所述劃片機(jī)設(shè)備的坐標(biāo)橫向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸。

可選地，所述第二確定單元包括：

第二提取子單元，用于提取所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息中最小縱坐標(biāo)值和最大縱坐標(biāo)值；

第四計(jì)算子單元，用于計(jì)算所述最大縱坐標(biāo)值與最小縱坐標(biāo)值的差值；

第五計(jì)算子單元，計(jì)算所述差值，與所述圖像信息中的縱向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量減1得到的數(shù)值的商值；

第六計(jì)算子單元，將所述預(yù)先確定的所述晶圓的縱向坐標(biāo)軸方向的分度值與所述商值的比值作為所述劃片機(jī)設(shè)備的坐標(biāo)縱向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸。

本發(fā)明實(shí)施例中，在晶圓的橫向坐標(biāo)軸方向與參考橫向坐標(biāo)軸方向平行的情況下，采集所述晶圓的圖像信息；根據(jù)用戶設(shè)定的模板確定所述圖像信息中的晶粒數(shù)量，并根據(jù)各晶粒內(nèi)的模板的位置計(jì)算各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息；根據(jù)所述圖像信息中的晶粒數(shù)量、所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息以及預(yù)先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸。這樣，不需要手工多次標(biāo)定，只要校準(zhǔn)晶圓的坐標(biāo)以及設(shè)定模板就可以精準(zhǔn)的確定劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸，使劃片機(jī)設(shè)備標(biāo)定映射尺寸的過程更加簡單和便捷，同時(shí)還可以提高生產(chǎn)效率和節(jié)約成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)本發(fā)明實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種標(biāo)定映射尺寸的方法的流程圖；

圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓圖像的示意圖；

圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種標(biāo)定映射尺寸的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種標(biāo)定映射尺寸的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的標(biāo)定映射尺寸的裝置中的第一確定單元的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明實(shí)施例提供的標(biāo)定映射尺寸的裝置中的第二確定單元的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

第一實(shí)施例

參見圖1，圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種標(biāo)定映射尺寸的方法的流程圖，如圖1所示，包括以下步驟：

步驟101、在晶圓的橫向坐標(biāo)軸方向與參考橫向坐標(biāo)軸方向平行的情況下，采集所述晶圓的圖像信息。

該步驟中，上述晶圓上印有圖案，可以選取精度較好的光刻片即印刷圖案的分度準(zhǔn)確，保證圖像信息的橫向坐標(biāo)軸方向的模板數(shù)大于或者等于2，以及所述圖像信息的縱向坐標(biāo)軸方向的模板數(shù)大于或者等于2的情形下的晶圓的分度值越小越好；調(diào)整晶圓的橫向坐標(biāo)軸方向與參考橫向坐標(biāo)軸方向平行，以使對(duì)準(zhǔn)晶圓，其中，對(duì)準(zhǔn)的過程可以是手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)也可以是設(shè)備自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)；控制圖像采集設(shè)備采集晶圓的圖像信息，如控制攝像頭采集晶圓的圖像信息，并把圖像信息進(jìn)行存儲(chǔ)。這樣，使設(shè)備獲取圖像信息中的晶粒數(shù)、晶粒的坐標(biāo)信息、晶粒的分度值等信息更加方便。

步驟102、根據(jù)用戶設(shè)定的模板確定所述圖像信息中的晶粒數(shù)量，并根據(jù)各晶粒內(nèi)的模板的位置計(jì)算各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息。

該步驟中，上述模板是晶粒的特征信息，用戶設(shè)定的模板要求在晶粒內(nèi)是不重復(fù)的，這樣就可以通過檢測圖像中模板的數(shù)量就可以確定圖像信息中的晶粒數(shù)量；并且通過模板的位置信息計(jì)算各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息，如圖2所示的晶圓圖像信息，假設(shè)用戶設(shè)定的模板是菱形，用F表示，通過確定菱形的數(shù)量就可以確定晶粒的數(shù)量，圖2中的晶粒數(shù)為20個(gè)，橫向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)為4個(gè)，縱向坐標(biāo)方向的晶粒數(shù)為5個(gè)，并且可以識(shí)別模板的坐標(biāo)信息，如模板的各個(gè)邊緣的坐標(biāo)信息，根據(jù)這些邊緣的坐標(biāo)信息就可以計(jì)算各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息。

步驟103、根據(jù)所述圖像信息中的晶粒數(shù)量、所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息以及預(yù)先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸。

該步驟中，上述映射尺寸為終端控制設(shè)備與劃片機(jī)設(shè)備之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，如通過用戶在電腦終端上的進(jìn)行操作，然后劃片機(jī)設(shè)備會(huì)根據(jù)其映射尺寸來進(jìn)行相應(yīng)的操作。確定所述劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸可以分別確定所述劃片機(jī)設(shè)備的橫向坐標(biāo)軸的映射尺寸以及確定所述劃片機(jī)設(shè)備的縱向坐標(biāo)軸的映射尺寸來確定所述劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸，其詳細(xì)過程在后面進(jìn)行描述，為了避免重復(fù)此處不再累述；上述預(yù)先確定的所述晶圓的分度值可以通過基準(zhǔn)線來測量兩個(gè)晶粒之間的距離，如可以通過基準(zhǔn)線來測量晶圓的橫向坐標(biāo)軸方向或者晶圓的縱向坐標(biāo)軸方向的兩個(gè)晶粒之間的距離以確定所述晶圓的分度值。

可選地，所述圖像信息的橫向坐標(biāo)軸方向的模板數(shù)大于或者等于2，以及所述圖像信息的縱向坐標(biāo)軸方向的模板數(shù)大于或者等于2。

該實(shí)施方式中，通過選取符合橫向坐標(biāo)軸方向的模板數(shù)大于或者等于2，以及所述晶圓的縱向坐標(biāo)軸方向的模板數(shù)大于或者等于2的晶圓，這樣，確定劃片機(jī)的映射尺寸的時(shí)候會(huì)更加準(zhǔn)確。

可選地，所述根據(jù)所述圖像信息中的晶粒數(shù)量、所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息以及預(yù)先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸的步驟，包括：

基于所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息、所述圖像信息中的橫向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量，以及預(yù)先確定的所述晶圓橫向坐標(biāo)軸方向的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的橫向坐標(biāo)軸的映射尺寸；

基于所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息、所述圖像信息中的縱向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量以及預(yù)先確定的所述晶圓縱向坐標(biāo)軸方向的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的縱向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸。

該實(shí)施方式中，通過分別確定所述劃片機(jī)設(shè)備的橫向坐標(biāo)軸的映射尺寸以及確定所述劃片機(jī)設(shè)備的縱向坐標(biāo)軸的映射尺寸來確定所述劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸，不需要手工多次標(biāo)定，只要校準(zhǔn)晶圓的坐標(biāo)以及設(shè)定模板就可以精準(zhǔn)的確定劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸，使劃片機(jī)設(shè)備標(biāo)定映射尺寸的過程更加簡單和便捷，同時(shí)還可以提高生產(chǎn)效率和節(jié)約成本。

可選地，所述基于所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息、所述圖像信息中的橫向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量，以及預(yù)先確定的所述晶圓橫向坐標(biāo)軸方向的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的橫向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸的步驟，包括：

提取所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息中最小橫坐標(biāo)值和最大橫坐標(biāo)值；

計(jì)算所述最大橫坐標(biāo)值與最小橫坐標(biāo)值的差值；

計(jì)算所述差值，與所述圖像信息中的橫向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量減1得到的數(shù)值的商值；

將所述商值與所述預(yù)先確定的所述晶圓的橫向坐標(biāo)軸方向的分度值的比值作為所述劃片機(jī)設(shè)備的坐標(biāo)橫向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸。

該實(shí)施方式中，各個(gè)晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息(W_xi，W_yi)，W_xi(W_x1，W_x2….i表示索引,從0開始)，W_yi(W_y1，W_y2…i表示索引，從0開始)。對(duì)上述晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息根據(jù)W_xi值進(jìn)行從小到大排序，排序結(jié)果用(W_xi'，W_yi')表示；同理對(duì)上述晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息根據(jù)W_yi值進(jìn)行從小到大排序，排序結(jié)果用(V_xi'，V_yi')表示。根據(jù)排序結(jié)果可以知道各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息中最小縱坐標(biāo)值和最大縱坐標(biāo)值，假設(shè)最大橫坐標(biāo)值為B，最小橫坐標(biāo)值為A，預(yù)先確定的所述晶圓橫向坐標(biāo)軸方向的分度值為X_i，計(jì)算得到所述晶圓橫向坐標(biāo)軸方向的分度值為V_x＝(B-A)/(X_a-1)那么劃片機(jī)設(shè)備的坐標(biāo)橫向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸為X_i/V_x，，其中X_a為圖像信息中的橫向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量，分度值X_i最好是平均值。

可選地，所述基于所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息、所述圖像信息中的縱向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量，以及預(yù)先確定的所述晶圓縱向坐標(biāo)軸方向的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的縱向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸的步驟，包括：

提取所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息中最小縱坐標(biāo)值和最大縱坐標(biāo)值；

計(jì)算所述最大縱坐標(biāo)值與最小縱坐標(biāo)值的差值；

計(jì)算所述差值，與所述圖像信息中的縱向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量減1得到的數(shù)值的商值；

將所述商值與所述預(yù)先確定的所述晶圓的縱向坐標(biāo)軸方向的分度值的比值作為所述劃片機(jī)設(shè)備的坐標(biāo)縱向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸。

該實(shí)施方式中，每個(gè)晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息(W_xi，W_yi)，W_xi(W_x1，W_x2….i表示索引,從0開始)，W_yi(W_y1，W_y2…i表示索引，從0開始)。對(duì)上述晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息根據(jù)W_xi值進(jìn)行從小到大排序，排序結(jié)果用(W_xi'，W_yi')表示；同理對(duì)上述晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息根據(jù)W_yi值進(jìn)行從小到大排序，排序結(jié)果用(V_xi'，V_yi')表示。根據(jù)排序結(jié)果可以知道各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息中最小縱坐標(biāo)值和最大縱坐標(biāo)值，假設(shè)最大縱坐標(biāo)值為D，最小縱坐標(biāo)值為C，預(yù)先確定的所述晶圓縱向坐標(biāo)軸方向的分度值為Y_i，計(jì)算得到所述晶圓縱向坐標(biāo)軸方向的分度值為V_y＝(D-C)/(X_b-1)那么劃片機(jī)設(shè)備的坐標(biāo)縱向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸為Y_i/V_y，其中，X_b為圖像信息中的縱向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量，分度值Y_i最好是平均值。

本發(fā)明實(shí)施例中，上述方法的可以是劃片機(jī)的中央處理器或者控制終端來執(zhí)行，在晶圓的橫向坐標(biāo)軸方向與參考橫向坐標(biāo)軸方向平行的情況下，采集所述晶圓的圖像信息；根據(jù)用戶設(shè)定的模板確定所述圖像信息中的晶粒數(shù)量，并根據(jù)各晶粒內(nèi)的模板的位置計(jì)算各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息；根據(jù)所述圖像信息中的晶粒數(shù)量、所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息以及預(yù)先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸。這樣，不需要手工多次標(biāo)定，只要校準(zhǔn)晶圓的坐標(biāo)以及設(shè)定模板就可以精準(zhǔn)的確定劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸，使劃片機(jī)設(shè)備標(biāo)定映射尺寸的過程更加簡單和便捷，同時(shí)還可以提高生產(chǎn)效率和節(jié)約成本。

第二實(shí)施例

參見圖3，圖3是本發(fā)明實(shí)施提供的標(biāo)定映射尺寸的裝置的結(jié)構(gòu)圖，如圖3所示，標(biāo)定映射尺寸的裝置300包括：

采集模塊301，用于在晶圓的橫向坐標(biāo)軸方向與參考橫向坐標(biāo)軸方向平行的情況下，采集所述晶圓的圖像信息；

第一確定模塊302，用于根據(jù)用戶設(shè)定的模板確定所述圖像信息中的晶粒數(shù)量，并根據(jù)各晶粒內(nèi)的模板的位置計(jì)算各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息；

第二確定模塊303，用于根據(jù)所述圖像信息中的晶粒數(shù)量、所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息以及預(yù)先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸。

可選地，所述圖像信息的橫向坐標(biāo)軸方向的模板數(shù)大于或者等于2，以及所述圖像信息的縱向坐標(biāo)軸方向的模板數(shù)大于或者等于2。

可選地，如圖4所示，所述第二確定模塊303包括：

第一確定單元3031，用于基于所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息、所述圖像信息中的橫向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量，以及預(yù)先確定的所述晶圓橫向坐標(biāo)軸方向的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的橫向坐標(biāo)軸的映射尺寸；

第二確定單元3032，用于基于所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息、所述圖像信息中的縱向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量以及預(yù)先確定的所述晶圓縱向坐標(biāo)軸方向的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的縱向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸。

可選地，如圖5所示，第一確定單元3031包括：

第一提取子單元30311，用于提取所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息中最小橫坐標(biāo)值和最大橫坐標(biāo)值；

第一計(jì)算子單元30312，用于計(jì)算所述最大橫坐標(biāo)值與最小橫坐標(biāo)值的差值；

第二子算子單元30313，用于計(jì)算所述差值，與所述圖像信息中的橫向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量減1得到的數(shù)值的商值；

第三計(jì)算子單元30314，用于將所述預(yù)先確定的所述晶圓的橫向坐標(biāo)軸方向的分度值與所述商值的比值作為所述劃片機(jī)設(shè)備的坐標(biāo)橫向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸。

可選地，如圖5所示，所述第二確定單元3032包括：

第二提取子單元30321，用于提取所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息中最小縱坐標(biāo)值和最大縱坐標(biāo)值；

第四計(jì)算子單元30322，用于計(jì)算所述最大縱坐標(biāo)值與最小縱坐標(biāo)值的差值；

第五計(jì)算子單元30323，計(jì)算所述差值，與所述圖像信息中的縱向坐標(biāo)軸方向的晶粒數(shù)量減1得到的數(shù)值的商值；

第六計(jì)算子單元30324，將所述預(yù)先確定的所述晶圓的縱向坐標(biāo)軸方向的分度值與所述商值的比值作為所述劃片機(jī)設(shè)備的坐標(biāo)縱向坐標(biāo)軸方向的映射尺寸。

標(biāo)定映射尺寸的裝置300能夠?qū)崿F(xiàn)圖1所述方法實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)的各個(gè)過程，且能達(dá)到相同的技術(shù)效果，為避免重復(fù)，這里不再贅述。

本發(fā)明實(shí)施例的標(biāo)定映射尺寸的裝置300，在晶圓的橫向坐標(biāo)軸方向與參考橫向坐標(biāo)軸方向平行的情況下，采集所述晶圓的圖像信息；根據(jù)用戶設(shè)定的模板確定所述圖像信息中的晶粒數(shù)量，并根據(jù)各晶粒內(nèi)的模板的位置計(jì)算各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息；根據(jù)所述圖像信息中的晶粒數(shù)量、所述各晶粒的中心點(diǎn)坐標(biāo)信息以及預(yù)先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸。這樣，不需要手工多次標(biāo)定，只要校準(zhǔn)晶圓的坐標(biāo)以及設(shè)定模板就可以精準(zhǔn)的確定劃片機(jī)設(shè)備的映射尺寸，使劃片機(jī)設(shè)備標(biāo)定映射尺寸的過程更加簡單和便捷，同時(shí)還可以提高生產(chǎn)效率和節(jié)約成本。

本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以意識(shí)到，結(jié)合本文中所公開的實(shí)施例描述的各示例的單元及算法步驟，能夠以電子硬件、或者計(jì)算機(jī)軟件和電子硬件的結(jié)合來實(shí)現(xiàn)。這些功能究竟以硬件還是軟件方式來執(zhí)行，取決于技術(shù)方案的特定應(yīng)用和設(shè)計(jì)約束條件。專業(yè)技術(shù)人員可以對(duì)每個(gè)特定的應(yīng)用來使用不同方法來實(shí)現(xiàn)所描述的功能，但是這種實(shí)現(xiàn)不應(yīng)認(rèn)為超出本發(fā)明的范圍。

所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以清楚地了解到，為描述的方便和簡潔，上述描述的系統(tǒng)、裝置和單元的具體工作過程，可以參考前述方法實(shí)施例中的對(duì)應(yīng)過程，在此不再贅述。

在本申請(qǐng)所提供的實(shí)施例中，應(yīng)該理解到，所揭露的裝置和方法，可以通過其它的方式實(shí)現(xiàn)。例如，以上所描述的裝置實(shí)施例僅僅是示意性的，例如，所述單元的劃分，僅僅為一種邏輯功能劃分，實(shí)際實(shí)現(xiàn)時(shí)可以有另外的劃分方式，例如多個(gè)單元或組件可以結(jié)合或者可以集成到另一個(gè)系統(tǒng)，或一些特征可以忽略，或不執(zhí)行。另一點(diǎn)，所顯示或討論的相互之間的耦合或直接耦合或通信連接可以是通過一些接口，裝置或單元的間接耦合或通信連接，可以是電性，機(jī)械或其它的形式。

所述作為分離部件說明的單元可以是或者也可以不是物理上分開的，作為單元顯示的部件可以是或者也可以不是物理單元，即可以位于一個(gè)地方，或者也可以分布到多個(gè)網(wǎng)絡(luò)單元上。可以根據(jù)實(shí)際的需要選擇其中的部分或者全部單元來實(shí)現(xiàn)本發(fā)明實(shí)施例方案的目的。

另外，在本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例中的各功能單元可以集成在一個(gè)處理單元中，也可以是各個(gè)單元單獨(dú)物理存在，也可以兩個(gè)或兩個(gè)以上單元集成在一個(gè)單元中。

所述功能如果以軟件功能單元的形式實(shí)現(xiàn)并作為獨(dú)立的產(chǎn)品銷售或使用時(shí)，可以存儲(chǔ)在一個(gè)計(jì)算機(jī)可讀取存儲(chǔ)介質(zhì)中。基于這樣的理解，本發(fā)明的技術(shù)方案本質(zhì)上或者說對(duì)現(xiàn)有技術(shù)做出貢獻(xiàn)的部分或者該技術(shù)方案的部分可以以軟件產(chǎn)品的形式體現(xiàn)出來，該計(jì)算機(jī)軟件產(chǎn)品存儲(chǔ)在一個(gè)存儲(chǔ)介質(zhì)中，包括若干指令用以使得一臺(tái)計(jì)算機(jī)設(shè)備(可以是個(gè)人計(jì)算機(jī)，服務(wù)器，或者網(wǎng)絡(luò)設(shè)備等)執(zhí)行本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例所述方法的全部或部分步驟。而前述的存儲(chǔ)介質(zhì)包括：U盤、移動(dòng)硬盤、ROM、RAM、磁碟或者光盤等各種可以存儲(chǔ)程序代碼的介質(zhì)。

以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。