技術總結
本發(fā)明公開了一種生瓷片去膜裝置及方法。所述裝置包括真空吸盤、流體控制閥和真空發(fā)生裝置；在真空吸盤的下表面下方設有一個與所述真空吸盤的下表面連通的密封腔體；該密封腔體通過管路與流體控制閥連接，流體控制閥通過管路與真空發(fā)生裝置連接。本發(fā)明通過將生瓷片真空吸附在真空吸盤的上表面上，可以保證在去除聚酯膜時生瓷片不會發(fā)生變形現(xiàn)象，因此生瓷片的尺寸不會改變，有利于提高疊片時的對準精度；另外，生瓷片去除聚酯膜時會產生靜電，本發(fā)明使用消除靜電毛刷將生瓷片上的靜電導走，疊片時生瓷片之間不會由于靜電吸引而難以調整位置，提高疊片效率和精度。

技術研發(fā)人員：宋振國;王斌;胡瑩璐;桑錦正;付延新;趙秉玉;路波
受保護的技術使用者：中國電子科技集團公司第四十一研究所
文檔號碼：201611015517
技術研發(fā)日：2016.11.18
技術公布日：2017.05.17