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基板的貼合裝置和貼合方法以及電子器件的制造方法與流程

文檔序號(hào):12513925閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
隔著吸附層貼合第1基板和第2基板。第1輥在使第2基板撓曲變形的狀態(tài)下向第1基板按壓第2基板,并且,該第1輥一邊滾動(dòng)一邊在第1力的作用下將第2基板的整個(gè)面粘貼于第1基板。第2輥一邊滾動(dòng)一邊對(duì)將第2基板的整個(gè)面粘貼于第1基板而成的層疊體施加比第1力大的第2力,從而使第2基板的整個(gè)面壓接于第1基板。

技術(shù)研發(fā)人員:宇津木洋;伊藤泰則;大坪豊
受保護(hù)的技術(shù)使用者:旭硝子株式會(huì)社
文檔號(hào)碼:201580055520
技術(shù)研發(fā)日:2015.11.19
技術(shù)公布日:2017.05.31

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