技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種用于將工件夾持到靜電夾具(ESC)的系統(tǒng)和方法包括將第一工件放置在ESC的表面上，并且將第一組夾持參數(shù)施加到ESC，其中用第一夾持力將第一工件夾持到ESC的表面。確定工件到ESC的夾持程度，并且基于工藝配方停止將第一組夾持參數(shù)施加到ESC。在停止將第一組夾持參數(shù)施加到ESC之后，將第二組夾持參數(shù)施加到ESC，并且當(dāng)工件到ESC的夾持程度小于或近似等于閾值夾持值時(shí)，在將第二組夾持參數(shù)施加到ESC的同時(shí)，從ESC的表面移除工件ESC。在從ESC的表面移除工件之后，再停止到ESC的第二組夾持參數(shù)。

技術(shù)研發(fā)人員：愛(ài)德華·麥金太爾;坦·源
受保護(hù)的技術(shù)使用者：艾克塞利斯科技公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.09.17
技術(shù)公布日：2017.08.18