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用于石墨烯與絕緣體和器件的集成的石墨烯氟化作用的制作方法

文檔序號:12288825閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本公開內(nèi)容的實施例描述了包括氟化的石墨烯的層的多層石墨烯組件、包含這樣的結(jié)構(gòu)的管芯和系統(tǒng)、以及制造的方法。氟化的石墨烯向其它石墨烯層提供了絕緣界面,同時維持非氟化的石墨烯層的期望的特性。所述組件為在集成電路器件中利用石墨烯以及將石墨烯與其它材料界面接合提供新的選項??梢悦枋龊?或要求保護其它實施例。

技術(shù)研發(fā)人員:R·考迪羅;U·阿維奇
受保護的技術(shù)使用者:英特爾公司
文檔號碼:201480078805
技術(shù)研發(fā)日:2014.06.13
技術(shù)公布日:2017.02.22

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