單層電容器裸芯粒分選測試機(jī)用微調(diào)吸片裝置制造方法
【專利摘要】發(fā)明公開了一種單層電容器裸芯粒分選測試機(jī)用微調(diào)吸片裝置，包括吸頭安裝座滑動套，其上兩側(cè)對稱設(shè)有導(dǎo)向緩沖機(jī)構(gòu)與導(dǎo)向安裝架連接，在所述導(dǎo)向安裝架中部的螺孔上連接微調(diào)機(jī)構(gòu)，該微調(diào)機(jī)構(gòu)與安裝在吸頭安裝座滑動套內(nèi)的吸取裝置連接成一體，所述的吸取裝置分別與吸頭安裝座滑動套之間設(shè)有限位機(jī)構(gòu)和真空氣源接口。本發(fā)明減少吸片裝置在高速吸取過程中由于慣量過大造成吸嘴吸取裸芯粒過程中出現(xiàn)過沖和抖動，造成裸芯顆粒吸取過程中劃傷、損傷和崩角等質(zhì)量問題，還可能造成吸偏，影響分選測試結(jié)果。
【專利說明】單層電容器裸芯粒分選測試機(jī)用微調(diào)吸片裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明用于半導(dǎo)體裝備制造行業(yè)，應(yīng)用在通用型單層電容器裸芯粒分選測試機(jī)上。用于對通用型單層電容器裸芯粒進(jìn)行吸取，并傳輸至測試點(diǎn)進(jìn)行測試。本發(fā)明不僅適通用型單層電容器裸芯粒分選測試機(jī)上微調(diào)吸片。還可以用于二極管、電阻、電容等裸芯粒芯片吸取，尤其適用于薄脆和易損傷的裸芯粒芯片的拾取和傳送。
【背景技術(shù)】
[0002]通用型單層電容器，在軍事領(lǐng)域和高端民用領(lǐng)域均得到廣泛應(yīng)用，如雷達(dá)、導(dǎo)彈遙控、衛(wèi)星通訊、定位、電視衛(wèi)星接收器、無線局域等系統(tǒng)，其裸芯粒芯片產(chǎn)品尺寸從
0.254mmX0.254mmX0.127mm 至 2.29mmX2.29mmX0.254mm，該電容器裸芯粒芯片具有體積小、薄、脆、鍍金涂層易劃傷等特點(diǎn)，而吸片裝置是分選測試機(jī)的設(shè)備的重要部件，吸片過程不僅影響通用型單層電容器裸芯粒芯片的測試結(jié)果，還影響芯片的產(chǎn)品質(zhì)量，引起劃傷、損傷和崩角等質(zhì)量問題。目前，廠家通常采用人工拾取的方式，通過鑷子拾取，在拾取過程中由于工人的熟練程度以及使用的夾持力不同，對芯片會照成不同程度的損傷，拾放的力度不同都會造成芯片的破損，拾放在測試點(diǎn)時(shí)，相對測試頭的位置偏差也會影響到測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于上述現(xiàn)狀，本發(fā)明提供了一種單層電容器裸芯粒分選測試機(jī)用微調(diào)吸片裝置，替代了現(xiàn)有手動拾取，解決了人工操作所帶來的影響產(chǎn)品質(zhì)量的一系列問題，大大降低了人工勞動強(qiáng)度，增加了產(chǎn)品的質(zhì)量的一致性和可靠性，降低工人勞動強(qiáng)度和人力。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)解決方案是:一種單層電容器裸芯粒分選測試機(jī)用微調(diào)吸片裝置，包括吸頭安裝座滑動套，其上兩側(cè)對稱設(shè)有導(dǎo)向緩沖機(jī)構(gòu)與導(dǎo)向安裝架連接，在所述導(dǎo)向安裝架中部的螺孔上連接微調(diào)機(jī)構(gòu)，該微調(diào)機(jī)構(gòu)與安裝在吸頭安裝座滑動套內(nèi)的吸取裝置連接成一體，所述的吸取裝置分別與吸頭安裝座滑動套之間設(shè)有限位機(jī)構(gòu)和真空氣源接□。
[0005]本發(fā)明中，所涉及的導(dǎo)向緩沖機(jī)構(gòu)，包括固定設(shè)置在吸頭安裝座滑動套上的活動軸，及其上安裝的彈簧，使活動軸一端插入導(dǎo)向安裝架的導(dǎo)向套內(nèi)。當(dāng)導(dǎo)向安裝架受到外力沖擊后，通過彈簧緩解了對吸頭安裝座滑動套的沖擊力。
[0006]本發(fā)明中，所涉及的吸取裝置，包括帶有腔體的吸取安裝套，該吸取安裝套一端裝有密封的吸頭，及吸取安裝套的徑向開有吸口與吸頭安裝座滑動套上的真空氣源接口連通。
[0007]本發(fā)明中，所涉及的限位機(jī)構(gòu)，包括吸取安裝套，及徑向設(shè)有導(dǎo)向限位銷，該導(dǎo)向限位銷的引出端位于吸頭安裝座滑動套上開有的限位孔內(nèi)。這樣，通過導(dǎo)向限位銷限制吸取安裝套的起到至終點(diǎn)的位移距離。
[0008]本發(fā)明中，所涉及微調(diào)機(jī)構(gòu)，包括微調(diào)主軸，該微調(diào)主軸的兩端分別帶有內(nèi)、外螺紋，其中外螺紋與導(dǎo)向安裝架連接，其內(nèi)螺紋與吸取安裝套上的外螺紋連接。因此，通過液壓或氣壓作用于導(dǎo)向安裝架與吸取安裝套同步位移。
[0009]進(jìn)一步地，所涉及微調(diào)機(jī)構(gòu)，包括微調(diào)主軸，該微調(diào)主軸一端帶有外螺紋，該端外螺紋與導(dǎo)向安裝架連接，另一端分別依次安裝有軸承、旋轉(zhuǎn)架、保持架和轉(zhuǎn)套，通過轉(zhuǎn)套上的外螺紋與吸取安裝套上的內(nèi)螺紋連接。
[0010]進(jìn)一步地，所述的微調(diào)主軸是一個(gè)實(shí)心軸，或是空心軸，通過空心軸的微調(diào)主軸與氣源連接。這樣，可通過氣壓方式控制微調(diào)主軸帶動導(dǎo)向安裝架及吸取安裝套同步位移。
[0011]本發(fā)明減少吸片裝置在高速吸取過程中由于慣量過大，造成吸嘴吸取裸芯粒芯片過程中出現(xiàn)過沖和抖動對造成裸芯顆粒吸取過程中劃傷、損傷和崩角等質(zhì)量問題，以及在吸取過程中吸偏芯片，影響分選測試結(jié)果。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本發(fā)明的示意圖；
圖2是圖1剖視圖；
圖3是圖2微調(diào)機(jī)構(gòu)局部剖視圖。 【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0014]見圖1至圖3所示的單層電容器裸芯粒分選測試機(jī)用微調(diào)吸片裝置。包括吸頭安裝座滑動套6，其上兩側(cè)對稱設(shè)有導(dǎo)向緩沖機(jī)構(gòu)與導(dǎo)向安裝架2連接，在所述導(dǎo)向安裝架2中部的螺孔上連接微調(diào)機(jī)構(gòu)，該微調(diào)機(jī)構(gòu)與安裝在吸頭安裝座滑動套6內(nèi)的吸取裝置連接成一體，所述的吸取裝置分別與吸頭安裝座滑動套6之間設(shè)有限位機(jī)構(gòu)和真空氣源接口16。本實(shí)施例中，所涉及的導(dǎo)向緩沖機(jī)構(gòu)，包括固定設(shè)置在吸頭安裝座滑動套6上的活動軸4，及其上安裝的彈簧5，使活動軸4 一端插入導(dǎo)向安裝架2的導(dǎo)向套3內(nèi)。當(dāng)導(dǎo)向安裝架2受到外力沖擊后，通過彈簧5緩解了對吸頭安裝座滑動套6的沖擊力，使吸頭安裝座滑動套6通過滑動軸4相對導(dǎo)向套安裝架2之間位移。本實(shí)施例中，所涉及的吸取裝置，包括帶有腔體的吸取安裝套13，該吸取安裝套13 —端裝有密封圈14與吸頭8連接，及吸取安裝套13的徑向開有吸口與吸頭安裝座滑動套6上的真空氣源接口 16連通。本實(shí)施例中，所涉及的限位機(jī)構(gòu)，包括吸取安裝套13，及徑向設(shè)有導(dǎo)向限位銷7，該導(dǎo)向限位銷7的引出端位于吸頭安裝座滑動套6上開有的限位孔內(nèi)。這樣，通過導(dǎo)向限位銷7限制吸取安裝套13的起到至終點(diǎn)的位移距離。本實(shí)施例中，所涉及微調(diào)機(jī)構(gòu)，包括微調(diào)主軸10，該微調(diào)主軸10 —端帶有外螺紋，該端外螺紋與導(dǎo)向安裝架2螺紋連接，另一端分別依次安裝有軸承11、旋轉(zhuǎn)架18、保持架17和轉(zhuǎn)套12，通過轉(zhuǎn)套12上的外螺紋與吸取安裝套13上的內(nèi)螺紋連接，所述的軸承11通過軸承安裝座9固定在吸頭安裝座滑動套6上。本實(shí)施例是通過旋轉(zhuǎn)架18在保持架17中360度旋轉(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行微調(diào)。因此，通過微調(diào)機(jī)構(gòu)滿足液壓或氣壓作用于導(dǎo)向安裝架2與吸取安裝套13同步位移的要求。
[0015]上述中，所涉及的微調(diào)機(jī)構(gòu)除上述結(jié)構(gòu)之外，還可采用如下設(shè)計(jì)。包括微調(diào)主軸，該微調(diào)主軸的兩端分別帶有內(nèi)、外螺紋，其中外螺紋與導(dǎo)向安裝架2連接，其內(nèi)螺紋與吸取安裝套13上的外螺紋連接。[0016]進(jìn)一步地，所述的微調(diào)主軸是一個(gè)實(shí)心軸，或是空心軸，通過空心軸的微調(diào)主軸與氣源連接。這樣，可通過氣壓方式控制微調(diào)主軸10帶動導(dǎo)向安裝架2及吸取安裝套13同步位移。
[0017]上述中，保持架17和旋轉(zhuǎn)架18是采用彈性材料制成，保證兩體配合后具有一定彈性。另外，保持架17截面為U型，旋轉(zhuǎn)架18截面為T型。
[0018]上述中，所述吸頭8的一端面設(shè)有一個(gè)銷孔，吸頭8圓周面上開有兩組凹槽。
[0019]上述中，吸頭8通過定位銷15與吸取安裝套13連接。
[0020]當(dāng)裝置進(jìn)行吸片動作時(shí)，氣缸推桿將驅(qū)動力作用在導(dǎo)向套安裝架2上，通過安裝在滑動軸4上的壓縮彈簧5緩沖，微調(diào)主軸10連同導(dǎo)向套安裝架2 —同沿垂直方向向下運(yùn)動至目標(biāo)位置，微調(diào)主軸10將運(yùn)動通過旋轉(zhuǎn)架18、保持架17和轉(zhuǎn)套12和吸取安裝套13傳遞給吸頭8，同時(shí)，真空氣源接口 16提供真空，一同完成芯片的吸取。當(dāng)作用在導(dǎo)向套安裝架2上的氣缸推桿將驅(qū)動力撤銷后，由于壓縮彈簧5的反作用力，使吸取安裝套13返回至初始位置，吸頭8連同吸取安裝套13和微調(diào)主軸10—同返回至初始位置，完成一次芯片的拾取。
[0021]本發(fā)明的微調(diào)功能:先旋松鎖緊螺母1，通過手動旋轉(zhuǎn)微調(diào)主軸10控制壓縮彈簧5的壓縮量，控制微調(diào)壓縮力來滿足不同拾取速度時(shí)的工況要求，與吸頭安裝座滑動套6配合滑動的導(dǎo)向銷軸7確 保吸取安裝套13不會隨旋轉(zhuǎn)微調(diào)主軸10時(shí)，同步發(fā)生旋轉(zhuǎn)。
【權(quán)利要求】
1.一種單層電容器裸芯粒分選測試機(jī)用微調(diào)吸片裝置，包括吸頭安裝座滑動套(6)，其上兩側(cè)對稱設(shè)有導(dǎo)向緩沖機(jī)構(gòu)與導(dǎo)向安裝架(2 )連接，在所述導(dǎo)向安裝架(2 )中部的螺孔上連接微調(diào)機(jī)構(gòu)，該微調(diào)機(jī)構(gòu)與安裝在吸頭安裝座滑動套(6)內(nèi)的吸取裝置連接成一體，所述的吸取裝置分別與吸頭安裝座滑動套(6)之間設(shè)有限位機(jī)構(gòu)和真空氣源接口(16)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種單層電容器裸芯粒分選測試機(jī)用微調(diào)吸片裝置，其特征在于:其中導(dǎo)向緩沖機(jī)構(gòu)，包括固定設(shè)置在吸頭安裝座滑動套(6)上的活動軸(4)，及其上安裝的彈簧(5)，使活動軸(4) 一端插入導(dǎo)向安裝架(2)的導(dǎo)向套(3)內(nèi)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種單層電容器裸芯粒分選測試機(jī)用微調(diào)吸片裝置，其特征在于:其中吸取裝置，包括帶有腔體的吸取安裝套(13)，該吸取安裝套(13) 一端裝有密封的吸頭(8)，及吸取安裝套(13)的徑向開有吸口與吸頭安裝座滑動套(6)上的真空氣源接口(16)連通。
4.如權(quán)利要求1所述的一種單層電容器裸芯粒分選測試機(jī)用微調(diào)吸片裝置，其特征在于:其中限位機(jī)構(gòu)，包括吸取安裝套(13)，及徑向設(shè)有導(dǎo)向限位銷(7)，該導(dǎo)向限位銷(7)的引出端位于吸頭安裝座滑動套(6)上開有的限位孔內(nèi)。
5.如權(quán)利要求1所述的一種單層電容器裸芯粒分選測試機(jī)用微調(diào)吸片裝置，其特征在于:其中微調(diào)機(jī)構(gòu)，包括微調(diào)主軸(10)，該微調(diào)主軸的兩端分別帶有內(nèi)、外螺紋，其中外螺紋與導(dǎo)向安裝架(2)連接，其內(nèi)螺紋與吸取安裝套(13)上的外螺紋連接。
6.如權(quán)利要求1所述的一種單層電容器裸芯粒分選測試機(jī)用微調(diào)吸片裝置，其特征在于:所述的微調(diào)主軸(10)是一個(gè)實(shí)心軸，或是空心軸，通過空心軸的微調(diào)主軸與氣源連接。
【文檔編號】H01G13/00GK104021950SQ201410227455
【公開日】2014年9月3日 申請日期:2014年5月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月27日
【發(fā)明者】楊剛, 于國輝, 楊鋒, 陳琛, 李臣友 申請人:秦皇島視聽機(jī)械研究所