一種柔性顯示基板的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明實(shí)施例提供了一種柔性顯示基板的制造方法，涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，可實(shí)現(xiàn)柔性顯示基板的柔性襯底基板和承載基板的均勻剝離；該柔性顯示基板的制造方法包括：在承載基板上形成粘結(jié)層；通過所述粘結(jié)層將柔性襯底基板與所述承載基板固定；在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，形成顯示元件；通過設(shè)置在所述承載基板下方的電磁加熱器，對(duì)所述粘結(jié)層進(jìn)行加熱，將所述柔性襯底基板和所述承載基板剝離，得到柔性顯示基板；其中，所述粘結(jié)層中的粘結(jié)膠為加熱后粘性變差的粘結(jié)膠；所述承載基板至少包括金屬基板。用于柔性顯示基板的制造。
【專利說明】一種柔性顯示基板的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種柔性顯示基板的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]柔性顯示技術(shù)在近幾年有了飛速的發(fā)展，由此帶動(dòng)柔性顯示器從屏幕的尺寸到顯示的質(zhì)量都取得了很大進(jìn)步。無論是瀕臨消失的陰極射線管(Cathode Ray Tube，簡稱CRT),還是現(xiàn)今主流的液晶顯示器(Liquid Crystal Display,簡稱LCD),本質(zhì)上都屬于傳統(tǒng)的剛性顯示器。與傳統(tǒng)的剛性顯示器相比，柔性顯示器具有諸多優(yōu)點(diǎn)，例如耐沖擊，抗震能力強(qiáng)，重量輕，體積小，攜帶更加方便等。
[0003]目前，柔性顯示器主要可分為三種:電子紙(柔性電泳顯示)、柔性有機(jī)電致發(fā)光二級(jí)管(Organic Light-Emitting Diode,簡稱0LED)、以及柔性LCD。其制備方法一般采用貼覆去下法，即:將柔性襯底基板通過粘性層貼覆在硬質(zhì)基板上，待制備完成顯示元件之后再采用高能激光束對(duì)硬質(zhì)基板的背面進(jìn)行掃描，將粘性層老化，從而使柔性襯底基板從硬質(zhì)基板上剝離，得到柔性顯示器。這樣做的目的是因?yàn)樵陲@示器件制造過程中，需要精確固定柔性襯底基板的位置和平坦度，以保證后續(xù)在制備顯示元件時(shí)不會(huì)發(fā)生錯(cuò)位。
[0004]然而，通過上述方法制造的柔性顯示器，剝離的均勻性差，不能實(shí)現(xiàn)大面積剝離。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的實(shí)施例提供一種柔性顯示基板的制造方法，可實(shí)現(xiàn)柔性顯示基板的柔性襯底基板和承載基板的均勻剝離。
[0006]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案:
[0007]提供了一種柔性顯示基板的制造方法，包括:在承載基板上形成粘結(jié)層；
[0008]通過所述粘結(jié)層將柔性襯底基板與所述承載基板固定；
[0009]在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，形成顯示元件；
[0010]通過設(shè)置在所述承載基板下方的電磁加熱器，對(duì)所述粘結(jié)層進(jìn)行加熱，將所述柔性襯底基板和所述承載基板剝離，得到柔性顯示基板；
[0011]其中，所述粘結(jié)層中的粘結(jié)膠為加熱后粘性變差的粘結(jié)膠；
[0012]所述承載基板至少包括金屬基板。
[0013]可選的，所述承載基板為金屬基板。
[0014]可選的，所述承載基板包括金屬基板和設(shè)置在所述金屬基板上的絕緣導(dǎo)熱層；其中，所述粘結(jié)層形成在所述絕緣導(dǎo)熱層上。
[0015]進(jìn)一步可選的，所述絕緣導(dǎo)熱層為陶瓷層，或玻璃層。
[0016]可選的，所述粘結(jié)膠包括硅烷粘結(jié)膠，聚酰亞胺粘結(jié)膠，丙烯酸酯粘結(jié)膠中的至少一種。
[0017]可選的，所述在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，形成顯示元件包括:在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，至少形成陽極、陰極、位于所述陽極和所述陰極之間的有機(jī)材料功能層。
[0018]進(jìn)一步地，在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，還形成薄膜晶體管；其中，所述薄膜晶體管的漏極與所述陽極電連接。
[0019]可選的，所述在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，形成顯示元件包括:在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，至少形成薄膜晶體管、與薄膜晶體管電連接的像素電極。
[0020]可選的，所述在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，形成顯示元件包括:在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，至少形成色層和黑矩陣；其中，所述色層至少包括紅色光阻、綠色光阻和藍(lán)色光阻。
[0021]進(jìn)一步地，所述方法還包括:在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，還形成公共電極。
[0022]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種柔性顯示基板的制造方法，包括:在承載基板上形成粘結(jié)層；通過所述粘結(jié)層將柔性襯底基板與所述承載基板固定；在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，形成顯示元件；通過設(shè)置在所述承載基板下方的電磁加熱器，對(duì)所述粘結(jié)層進(jìn)行加熱，將所述柔性襯底基板和所述承載基板剝離，從而得到所述柔性顯示基板。
[0023]其中，電磁加熱器產(chǎn)生交變磁場，位于所述電磁加熱器上方的承載基板的金屬基板切割交變磁力線，使得金屬基板產(chǎn)生交變的電流(即渦流)，渦流使金屬原子產(chǎn)生高速無規(guī)則運(yùn)動(dòng)，從而使原子互相碰撞、摩擦產(chǎn)生熱能，并將熱能轉(zhuǎn)化施加在粘結(jié)層上，使粘結(jié)層的粘結(jié)膠老化粘性變差從而實(shí)現(xiàn)柔性襯底基板和所述承載基板的剝離；本發(fā)明實(shí)施例提供的方法，所述金屬基板整體均會(huì)產(chǎn)生熱能，且金屬基板的熱能轉(zhuǎn)化率又比較高，使得轉(zhuǎn)化的熱能可以施加在整個(gè)粘結(jié)層上，從而可以實(shí)現(xiàn)柔性襯底基板和所述承載基板的均勻剝離，進(jìn)而可適合用于大面積柔性顯示基板的制造。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0025]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種制造柔性顯示基板的流程示意圖；
[0026]圖2a為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種在由金屬基板構(gòu)成的承載基板上形成依次形成粘結(jié)層和柔性襯底基板的示意圖；
[0027]圖2b為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種在由金屬基板和絕緣導(dǎo)熱層構(gòu)成的承載基板上形成依次形成粘結(jié)層和柔性襯底基板的示意圖；
[0028]圖3a為在圖2a的柔性襯底基板上形成顯示元件的示意圖；
[0029]圖3b為在圖2b的柔性襯底基板上形成顯示元件的示意圖；
[0030]圖4a為在圖3a的承載基板下方設(shè)置電磁加熱器的示意圖；
[0031]圖4b為在圖3b的承載基板下方設(shè)置電磁加熱器的示意圖；
[0032]圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種柔性襯底基板和承載基板剝離的示意圖；
[0033]圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種在承載基板上形成無源OLED的柔性陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種在承載基板上形成有源OLED的柔性陣列基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖8a為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種在承載基板上形成LCD的柔性陣列基板的結(jié)構(gòu)
示意圖一；
[0036]圖Sb為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種在承載基板上形成LCD的柔性陣列基板的結(jié)構(gòu)不意圖二;
[0037]圖9為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種在承載基板上形成LCD的柔性彩膜基板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0038]附圖標(biāo)記:
[0039]10-承載基板；101-金屬基板；102_絕緣導(dǎo)熱層；20_粘結(jié)層；30_柔性襯底基板；40-顯不兀件；401_陽極；402_陰極；403_有機(jī)材料功能層；404_薄膜晶體管；405_像素電極；406_公共電極；4071_紅色光阻；4072_綠色光阻；4073_藍(lán)色光阻；408_黑矩陣；50_電磁加熱器；60-像素隔離層。
【具體實(shí)施方式】
[0040]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0041]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種柔性顯示基板的制造方法，如圖1所示，該方法包括如下步驟:
[0042]S01、如圖2a和2b所示，在承載基板10上形成粘結(jié)層20。
[0043]其中，所述承載基板10至少包括一層金屬基板101，所述金屬基板101例如可以為鐵板、鋼板等由導(dǎo)熱性好的金屬制成的基板。
[0044]所述粘結(jié)層20中的粘結(jié)膠為加熱后粘性變差的粘結(jié)膠。所述粘結(jié)膠例如可以為硅烷粘結(jié)膠，聚酰亞胺粘結(jié)膠，丙烯酸酯粘結(jié)膠中的至少一種。
[0045]S02、如圖2a和2b所示，通過所述粘結(jié)層20將柔性襯底基板30與所述承載基板10固定。
[0046]S03、如圖3a和圖3b所示，在所述柔性襯底基板30相對(duì)所述粘結(jié)層20的另一表面，形成顯示元件40。
[0047]S04、如圖4a和圖4b所示，通過設(shè)置在所述承載基板10下方的電磁加熱器50，對(duì)所述粘結(jié)層20進(jìn)行加熱，并參考圖5所示，將所述柔性襯底基板30和所述承載基板10剝離，從而得到所述柔性顯示基板。
[0048]此處，通過所述電磁加熱器50對(duì)所述粘結(jié)層20進(jìn)行加熱，將所述柔性襯底基板30和所述承載基板10剝離的原理為:電磁加熱器50產(chǎn)生交變磁場，當(dāng)包括金屬基板101的承載基板10放置在所述電磁加熱器50上時(shí),金屬基板101切割交變磁力線而產(chǎn)生交變的電流(即渦流)，渦流使金屬原子產(chǎn)生高速無規(guī)則運(yùn)動(dòng)，從而使原子互相碰撞、摩擦產(chǎn)生熱能，而金屬基板101的熱量轉(zhuǎn)化率又比較高，轉(zhuǎn)化的熱量便可以施加在位于所述金屬基板101上方的粘結(jié)層20上，從而起到加熱粘結(jié)層20的效果，進(jìn)而使粘結(jié)層20的粘結(jié)膠的粘性效果變差，實(shí)現(xiàn)柔性襯底基板30和所述承載基板10的剝離。
[0049]需要說明的是，第一，本發(fā)明實(shí)施例所指的顯示元件40是指實(shí)現(xiàn)顯示的必不可少的、且由各層圖案組成的結(jié)構(gòu)。
[0050]例如當(dāng)所述柔性顯示基板為LCD的陣列基板時(shí)，則對(duì)于該陣列基板的一個(gè)最小顯示單元來說,該顯示元件至少包括薄膜晶體管、像素電極等；當(dāng)所述柔性顯示基板為LCD的彩膜基板時(shí)，則對(duì)于該彩膜基板的一個(gè)最小顯示單元來說，該顯示元件包括紅色或綠色或藍(lán)色光阻以及黑矩陣等；當(dāng)所述柔性顯示基板為OLED的陣列基板時(shí)，則對(duì)于該陣列基板的一個(gè)最小顯示單元來說，該顯示元件至少包括陰極、陽極和發(fā)光層。
[0051]當(dāng)然除此之外，還可以包括一些必要的圖案層例如保護(hù)層等或?yàn)楦纳骑@示效果或某些缺陷增加的一些圖案層。因此，在本發(fā)明實(shí)施例中，所述顯示元件可以理解為，對(duì)應(yīng)顯示基板的一個(gè)最小的顯示單元來說，設(shè)置在襯底基板的各層上的圖案，且顯示基板包括若干個(gè)顯示元件。
[0052]第二，所述承載基板10可以為一層基板，也可以是由至少兩層基板構(gòu)成的復(fù)合結(jié)構(gòu)。不管所述承載基板10是由一層或多層構(gòu)成，對(duì)于所述承載基板10整體來說其為硬質(zhì)基板且具有良好的平坦度。
[0053]此外，根據(jù)上述描述的剝離原理，當(dāng)所述承載基板10包括至少兩層基板時(shí)，除所述金屬基板101外，其他基板優(yōu)選為由優(yōu)良導(dǎo)熱性的材料制成的基板。
[0054]第三，不對(duì)所述承載基板10的厚度進(jìn)行限定；當(dāng)所述承載基板10包括至少兩層基板時(shí)，金屬基板101和除金屬基板外的其他基板的厚度比例也不進(jìn)行限定，只要能使金屬基板101產(chǎn)生的熱量施加在粘結(jié)層20上，從而起到加熱粘結(jié)層20的效果，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)柔性襯底基板30和所述承載基板10的剝離即可。
[0055]第四，為了實(shí)現(xiàn)整個(gè)承載基板10和柔性襯底基板30的剝離，優(yōu)選為所述電磁加熱器50的面積應(yīng)大于等于承載基板10的面積，并將整個(gè)承載基板10完全置于所述電磁加熱器50上。
[0056]此外，不對(duì)所述電磁加熱器50進(jìn)行限定，其可以包括能產(chǎn)生交變磁場的電子線路板。
[0057]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種柔性顯示基板的制造方法，包括:在承載基板10上形成粘結(jié)層20 ;通過所述粘結(jié)層20將柔性襯底基板30與所述承載基板10固定；在所述柔性襯底基板30相對(duì)所述粘結(jié)層20的另一表面，形成顯示元件40 ;通過設(shè)置在所述承載基板10下方的電磁加熱器50，對(duì)所述粘結(jié)層20進(jìn)行加熱，將所述柔性襯底基板30和所述承載基板10剝離，從而得到所述柔性顯示基板。
[0058]其中，電磁加熱器50產(chǎn)生交變磁場,位于所述電磁加熱器50上方的承載基板10的金屬基板101切割交變磁力線，使得金屬基板101產(chǎn)生交變的電流(即渦流)，渦流使金屬原子產(chǎn)生高速無規(guī)則運(yùn)動(dòng)，從而使原子互相碰撞、摩擦產(chǎn)生熱能，并將熱能轉(zhuǎn)化施加在粘結(jié)層20上，使粘結(jié)層20的粘結(jié)膠老化粘性變差從而實(shí)現(xiàn)柔性襯底基板30和所述承載基板10的剝離；本發(fā)明實(shí)施例提供的方法，所述金屬基板101整體均會(huì)產(chǎn)生熱能，且金屬基板101的熱能轉(zhuǎn)化率又比較高，使得轉(zhuǎn)化的熱能可以施加在整個(gè)粘結(jié)層20上，從而可以實(shí)現(xiàn)柔性顯示基板和所述承載基板10的均勻剝離，進(jìn)而可適合用于大面積柔性顯示基板的制造。[0059]可選的，如圖2a、3a、4a所示，所述承載基板10只包括一層金屬基板101，即所述承載基板10即為金屬基板101。
[0060]或者，可選的，如圖2b、3b、4b所示，所述承載基板10包括金屬基板101和設(shè)置在所述金屬基板上的絕緣導(dǎo)熱層102 ;其中，所述粘結(jié)層20形成在所述絕緣導(dǎo)熱層102上。
[0061]進(jìn)一步地，所述絕緣導(dǎo)熱層102可以為由陶瓷材料制成的陶瓷層，或玻璃層。
[0062]基于上述的描述，在所述柔性襯底基板30相對(duì)所述粘結(jié)層20的另一表面，形成顯示元件40，可以具體包括如下幾種情況:
[0063]第一種:如圖6所示，當(dāng)制造的柔性顯示基板為無源OLED的陣列基板時(shí)，在所述柔性襯底基板30相對(duì)所述粘結(jié)層20的另一表面，形成陽極401、陰極402、位于所述陽極401和所述陰極402之間的有機(jī)材料功能層403 ;對(duì)于所述有機(jī)材料功能層403，其可以至少包括電子傳輸層、發(fā)光層和空穴傳輸層，為了能夠提高所述電子和所述空穴注入發(fā)光層的效率，優(yōu)選的，所述有機(jī)材料功能層403還可以包括設(shè)置在所述陰極402與所述電子傳輸層之間的電子注入層，以及在所述陽極401與所述空穴傳輸層之間的空穴注入層。
[0064]其中，任一個(gè)陽極401、與之對(duì)應(yīng)的一個(gè)陰極402、以及位于所述陽極401和所述陰極402之間的有機(jī)材料功能層403構(gòu)成一個(gè)顯示元件40。此外，參考圖6所示，任意相鄰的兩個(gè)顯示元件40之間可以設(shè)置像素隔離層60來隔離所述顯示元件40。
[0065]第二種，如圖7所示，當(dāng)制造的柔性顯示基板為有源OLED的陣列基板時(shí)，在所述柔性襯底基板30相對(duì)所述粘結(jié)層20的另一表面，形成薄膜晶體管404、陽極401、陰極402、位于所述陽極401和所述陰極402之間的有機(jī)材料功能層403 ;所述薄膜晶體管404包括柵極、柵絕緣層、有源層、源極和漏極，所述漏極和所述陽極401電連接。
[0066]其中，任一個(gè)薄膜晶體管404，與所述薄膜晶體管404的漏極電連接的陽極401，與該陽極401對(duì)應(yīng)的一個(gè)陰極，以及位于陽極401和所述陰極402之間的有機(jī)材料功能層403構(gòu)成一個(gè)顯示元件40。當(dāng)然，任意相鄰的兩個(gè)顯示元件40之間也可以設(shè)置像素隔離層60來隔離所述顯示元件40。
[0067]需要說明的是，對(duì)于第一種和第二種情況，不對(duì)所述陽極401和陰極402的形成順序進(jìn)行限定，可以是先形成陽極401，之后形成有機(jī)材料功能層403，然后再形成陰極402 ；也可以是先形成陰極402，之后形成有機(jī)材料功能層403，然后再形成陽極401。
[0068]此外，在形成所述顯示元件后，可以先通過電磁加熱器50將該OLED的陣列基板進(jìn)行剝離，然后通過封裝材料進(jìn)行封裝，也可以是在形成所述顯示元件后，直接進(jìn)行封裝，然后再通過電磁加熱器50將封裝后的OLED顯示面板進(jìn)行剝離。
[0069]第三種情況，如圖8a所示，當(dāng)制造的所述柔性顯示基板為IXD的陣列基板時(shí)，在所述柔性襯底基板30相對(duì)所述粘結(jié)層20的另一表面，形成薄膜晶體管404，以及與所述薄膜晶體管404的漏極電連接的像素電極405。當(dāng)然，如圖8b所示，也可以形成公共電極406。
[0070]其中，任一個(gè)薄膜晶體管404，與所述薄膜晶體管404的漏極電連接的像素電極405構(gòu)成一個(gè)顯示元件40。當(dāng)在所述陣列基板上還形成所述公共電極406時(shí)，任一個(gè)薄膜晶體管404，與所述薄膜晶體管404的漏極電連接的像素電極405，以及與所述像素電極405對(duì)應(yīng)的公共電極406構(gòu)成一個(gè)顯示元件40。
[0071]第四種情況，如圖9所示，當(dāng)制造的所述柔性顯示基板為IXD的彩膜基板時(shí)，在所述柔性襯底基板30相對(duì)所述粘結(jié)層20的另一表面，形成色層和黑矩陣408 ;當(dāng)然，也可以形成公共電極406。對(duì)于所述色層，其包括紅色光阻4071、綠色光阻4072和藍(lán)色光阻4073，也可以包括白色光阻。
[0072]其中，任一種顏色的光阻和周圍的所述黑矩陣408構(gòu)成一個(gè)顯示元件40。
[0073]需要說明的是，針對(duì)第三種和第四種情況，在形成所述顯示元件后，可以先通過電磁加熱器50將所述陣列基板和彩膜基板進(jìn)行剝離后，再將所述陣列基板和所述彩膜基板進(jìn)行對(duì)盒，也可以在形成所述顯示元件后，直接進(jìn)行對(duì)盒，然后再通過電磁加熱器50將對(duì)盒后的液晶顯示面板進(jìn)行剝離。
[0074]此外，還可以在所述柔性襯底基板30相對(duì)所述粘結(jié)層20的另一表面，形成電泳顯示單元，具體根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行設(shè)定，在此不再贅述。
[0075]基于上述描述，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，本發(fā)明實(shí)施例中所有附圖是所述柔性顯示基板制備過程的簡略的示意圖，只為清楚描述本方案中與本發(fā)明點(diǎn)相關(guān)的結(jié)構(gòu)，對(duì)于其他的與本發(fā)明點(diǎn)無關(guān)的結(jié)構(gòu)是現(xiàn)有結(jié)構(gòu)，在附圖中并未體現(xiàn)或只體現(xiàn)部分。
[0076]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種柔性顯示基板的制造方法，其特征在于，包括: 在承載基板上形成粘結(jié)層； 通過所述粘結(jié)層將柔性襯底基板與所述承載基板固定； 在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，形成顯示元件； 通過設(shè)置在所述承載基板下方的電磁加熱器，對(duì)所述粘結(jié)層進(jìn)行加熱，將所述柔性襯底基板和所述承載基板剝離，得到柔性顯示基板； 其中，所述粘結(jié)層中的粘結(jié)膠為加熱后粘性變差的粘結(jié)膠； 所述承載基板至少包括金屬基板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述承載基板為金屬基板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述承載基板包括金屬基板和設(shè)置在所述金屬基板上的絕緣導(dǎo)熱層；其中，所述粘結(jié)層形成在所述絕緣導(dǎo)熱層上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述絕緣導(dǎo)熱層為陶瓷層，或玻璃層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的制造方法，其特征在于，所述粘結(jié)膠包括硅烷粘結(jié)膠，聚酰亞胺粘結(jié)膠，丙烯酸酯粘結(jié)膠中的至少一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于， 所述在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，形成顯示元件包括: 在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，至少形成陽極、陰極、位于所述陽極和所述陰極之間的有機(jī)材料功能層。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制造方法，其特征在于，在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，還形成薄膜晶體管；其中，所述薄膜晶體管的漏極與所述陽極電連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于， 所述在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，形成顯示元件包括: 在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，至少形成薄膜晶體管、與薄膜晶體管電連接的像素電極。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于， 所述在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，形成顯示元件包括: 在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，至少形成色層和黑矩陣； 其中，所述色層至少包括紅色光阻、綠色光阻和藍(lán)色光阻。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的制造方法，其特征在于，所述方法還包括:在所述柔性襯底基板相對(duì)所述粘結(jié)層的另一表面，還形成公共電極。
【文檔編號(hào)】H01L21/77GK103681486SQ201310654927
【公開日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年12月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月6日
【發(fā)明者】程鴻飛, 張玉欣 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司