專利名稱：環(huán)狀屏蔽部件、其構(gòu)成零件和基板載置臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及適用于在處理室內(nèi)載置基板的基板載置臺(tái)的環(huán)狀屏蔽部件、其構(gòu)成零件和具有環(huán)狀屏蔽部件的基板載置臺(tái)。
背景技術(shù)：
在以液晶顯示裝置(LCD)為首的FPD (Flat Panel Display :平板顯示器)制造工序中，已知有對(duì)玻璃基板等的各種基板實(shí)施等離子體處理的基板處理裝置。這種基板處理裝置具有在處理室(以下稱為‘腔室’)內(nèi)載置基板的基板載置臺(tái)；
和隔著處理空間與該基板載置臺(tái)相對(duì)配置的上部電極，基板載置臺(tái)被供給有等離子體生成用的高頻電力(RF)，該基板載置臺(tái)作為下部電極發(fā)揮功能，利用被導(dǎo)入至腔室內(nèi)的處理空間的處理氣體生成等離子體，利用生成的等離子體對(duì)載置于基板載置臺(tái)的基板實(shí)施規(guī)定的等離子體處理。通常，基板載置臺(tái)的基板載置面呈矩形，在其外周部配置有作為環(huán)狀屏蔽部件的屏蔽環(huán)，以提高等離子體的聚焦性以及確保電絕緣性。屏蔽環(huán)由氧化鋁(Al2O3)等的絕緣性的陶瓷構(gòu)成，通過(guò)螺栓(bolt)被固定在基板載置臺(tái)的基材。由于屏蔽環(huán)是將矩形的基板載置面的周圍包圍的矩形的環(huán)狀體，另外伴隨近年來(lái)產(chǎn)業(yè)界的要求，處理基板正在大型化，因此一體成形較為困難，所以屏蔽環(huán)通常由多個(gè)構(gòu)成零件(部件)組合形成。圖13是表示現(xiàn)有的屏蔽環(huán)結(jié)構(gòu)的平面圖。在圖13中，以包圍下部電極(基板載置臺(tái))100的矩形的基板載置面106的周圍的方式配置有屏蔽環(huán)105。屏蔽環(huán)105為在平面圖上大致呈L字狀的四個(gè)環(huán)構(gòu)成零件IOf 104的組合體。各環(huán)構(gòu)成零件IOf 104各自在L字狀的角部的附近和與該角部連設(shè)的長(zhǎng)尺寸部的頂端部附近的兩個(gè)位置具有螺栓孔107，各環(huán)構(gòu)成零件IOf 104通過(guò)安裝于螺栓孔107的固定螺栓，被固定于構(gòu)成下部電極100的基板載置面106的周圍的凸緣部。然而，屏蔽環(huán)105，根據(jù)不同的處理目的，通過(guò)來(lái)自被加熱的下部電極100的傳熱以及等離子體的連續(xù)照射等被加熱，產(chǎn)生熱膨脹。此時(shí)，在相鄰的環(huán)構(gòu)成零件相互的抵接面中，一個(gè)環(huán)構(gòu)成零件在空心箭頭所表示的方向上擠壓另一環(huán)構(gòu)成零件。此時(shí)，另一環(huán)構(gòu)成零件在空心箭頭所表示的方向上僅僅位移螺栓孔107與固定螺栓(未圖示)的間隙量，因此，在屏蔽環(huán)105和基板處理面106之間會(huì)產(chǎn)生間隙。當(dāng)屏蔽環(huán)105和下部電極100之間產(chǎn)生間隙時(shí)，等離子體進(jìn)入該間隙，例如下部電極100的陶瓷噴鍍被削減而露出基材，成為在下部電極100產(chǎn)生異常放電(電弧放電)或腐蝕(侵蝕)的原因。為了防止產(chǎn)生屏蔽環(huán)105和下部電極100之間的間隙，提案設(shè)置有以吸引相鄰的環(huán)構(gòu)成零件的方式加力的加力部件的環(huán)構(gòu)成零件、或設(shè)置有使各環(huán)構(gòu)成零件朝向下部電極的中心部加力的加力部件的屏蔽環(huán)(例如參照專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)I :日本特開2008-311298號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明想解決的問(wèn)題然而，對(duì)構(gòu)成屏蔽環(huán)105的各環(huán)構(gòu)成零件IOf 104組合施加在特定的方向起作用的作用力的加力部件，未必容易。另一方，為了防止由于熱膨脹引起的變形、移動(dòng)，而將各環(huán)構(gòu)成零件IOf 104固定于下部電極的基材100的固定螺栓的連結(jié)力加大時(shí)，存在對(duì)下部電極100的基材的連結(jié)時(shí)或熱膨脹時(shí)，環(huán)構(gòu)成零件IOf 104容易破損的問(wèn)題。本發(fā)明的目的在于提供防止在環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件和基板載置臺(tái)之間產(chǎn)生間隙、并能夠防止構(gòu)成零件的破損的環(huán)狀屏蔽部件、其構(gòu)成零件和具備環(huán)狀屏蔽部件的基板載置臺(tái)。用于解決問(wèn)題的方法為了達(dá)到上述目的，在技術(shù)方案I記載的環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件，其在對(duì)矩形的基板實(shí)施等離子體處理的基板處理裝置的處理室內(nèi)以包圍載置上述基板的基板載置臺(tái)·的矩形的載置面的周圍的方式設(shè)置，上述環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件的特征在于，包括沿上述矩形的載置面的一邊配置的絕緣性的長(zhǎng)尺寸狀物件(長(zhǎng)形狀部件)，具有第一移動(dòng)限制部，其設(shè)置于該長(zhǎng)尺寸狀物件的長(zhǎng)度方向上的一端，限制上述構(gòu)成零件的全方向(全方位)上的移動(dòng)；第二移動(dòng)限制部，在上述長(zhǎng)度方向上與上述第一移動(dòng)限制部離開地設(shè)置，限制上述構(gòu)成零件的(在)上述長(zhǎng)度方向以外的移動(dòng)；和將上述構(gòu)成零件連結(jié)到上述基板載置臺(tái)的至少一個(gè)連結(jié)部。在技術(shù)方案2記載的環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件，其特征在于，在技術(shù)方案I記載的環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件中，上述第一移動(dòng)限制部具有圓筒狀的第一墊圈；第一墊圈孔，其與該第一墊圈動(dòng)配合，在與動(dòng)配合的該第一墊圈的中心軸垂直的面上具有圓形的截面；和第一螺栓，其將動(dòng)配合到該第一墊圈孔中的上述第一墊圈向上述基板載置臺(tái)按壓，上述第一墊圈的側(cè)面和上述第一墊圈孔的側(cè)面的間隙被設(shè)置得小，以限制上述構(gòu)成零件的全方向上的移動(dòng)，上述第二移動(dòng)限制部具有圓筒狀的第二墊圈；第二墊圈孔，其與該第二墊圈動(dòng)配合，在與動(dòng)配合的該第二墊圈的中心軸垂直的面上具有橢圓形的截面；和第二螺栓，其將動(dòng)配合到該第二墊圈孔中的上述第二墊圈向上述基板載置臺(tái)按壓，上述第二墊圈孔的上述橢圓形的截面的長(zhǎng)徑沿上述長(zhǎng)度方向。在技術(shù)方案3記載的環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件，其特征在于，在技術(shù)方案I記載的環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件中，上述第一移動(dòng)限制部具有長(zhǎng)方體狀的第一導(dǎo)向件，其設(shè)置為相對(duì)于上述基板載置臺(tái)不能移動(dòng)；和第一導(dǎo)向件孔，其為與該第一導(dǎo)向件動(dòng)配合的長(zhǎng)方體狀的凹部，上述第一導(dǎo)向件的各個(gè)側(cè)面和上述第一導(dǎo)向件孔的各個(gè)側(cè)面的間隙設(shè)定得小，以限制上述構(gòu)成零件的全方向上的移動(dòng)，上述第二移動(dòng)限制部具有長(zhǎng)方體狀的第二導(dǎo)向件，其設(shè)置為相對(duì)于上述基板載置臺(tái)不能移動(dòng)；和第二導(dǎo)向件孔，其為與該第二導(dǎo)向件動(dòng)配合的長(zhǎng)方體狀的凹部，上述第二導(dǎo)向件孔的上述長(zhǎng)度方向上的長(zhǎng)度設(shè)定為比上述第二導(dǎo)向件的上述長(zhǎng)度方向上的長(zhǎng)度大。在技術(shù)方案4記載的環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件，其特征在于，在技術(shù)方案I至3中任一項(xiàng)記載的環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件中，上述長(zhǎng)尺寸狀物件沿上述長(zhǎng)度方向被分割為第一長(zhǎng)尺寸部和第二長(zhǎng)尺寸部，上述第一移動(dòng)限制部設(shè)置在上述第一長(zhǎng)尺寸部的上述長(zhǎng)度方向上的一端，上述第二移動(dòng)限制部設(shè)置在上述第二長(zhǎng)尺寸部，上述第一長(zhǎng)尺寸部的上述長(zhǎng)度方向上的另一端與上述第二長(zhǎng)尺寸部的上述長(zhǎng)度方向上的一端抵接，上述第一長(zhǎng)尺寸部和上述第二長(zhǎng)尺寸部各自具有上述連結(jié)部。在技術(shù)方案5記載的環(huán)狀屏蔽部件，其特征在于，在權(quán)利要求4記載的環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件中，上述第一長(zhǎng)尺寸部和上述第二長(zhǎng)尺寸部相互接合，在上述第一長(zhǎng)尺寸部和上述第二長(zhǎng)尺寸部的聯(lián)結(jié)部具有位置偏離防止機(jī)構(gòu)，該位置偏離防止機(jī)構(gòu)防止上述第一長(zhǎng)尺寸部和上述第二長(zhǎng)尺寸部的相對(duì)位置偏離。為了達(dá)到上述目的，在技術(shù)方案6記載的環(huán)狀屏蔽部件，其在對(duì)矩形的基板實(shí)施等離子體處理的基板處理裝置的處理室內(nèi)以包圍載置上述基板的基板載置臺(tái)的矩形的載置面的周圍的方式配置，上述環(huán)狀屏蔽部件的特征在于，包括如權(quán)利要求I至5中任一項(xiàng)上 述的環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件的組合體，各個(gè)上述構(gòu)成零件以一個(gè)上述構(gòu)成零件的上述長(zhǎng)度方向上的一端的端面與相鄰的另一上述構(gòu)成零件的上述長(zhǎng)度方向上的另一端的側(cè)面抵接，且上述一個(gè)上述構(gòu)成零件的上述長(zhǎng)度方向上的另一端的側(cè)面，與不同于相鄰的上述另一上述構(gòu)成零件不同的、相鄰的又一上述構(gòu)成零件的上述長(zhǎng)度方向上的一端的端面抵接的 方式組合。 在技術(shù)方案7記載的環(huán)狀屏蔽部件，其特征在于，在在權(quán)利要求6記載的環(huán)狀屏蔽部件中，上述矩形載置面的各個(gè)角部分別被實(shí)施平面的倒角處理，除上述構(gòu)成零件之外，還具備三角柱狀的間隙嵌合部件，上述間隙嵌合部件對(duì)由各個(gè)上述角部的倒角面和一個(gè)上述構(gòu)成零件的一端的端面以及相鄰的另外的上述構(gòu)成零件的另一端的端面的接合部構(gòu)成的三角柱狀的間隙進(jìn)行填埋。為了達(dá)到上述目的，在技術(shù)方案8記載的基板載置臺(tái)，其特征在于，具備在技術(shù)方案6或者7記載的環(huán)狀屏蔽部件。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，構(gòu)成環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件的長(zhǎng)尺寸狀物件通過(guò)至少一個(gè)連結(jié)部連結(jié)到基板載置臺(tái)，另一方面，通過(guò)第一移動(dòng)限制部限制構(gòu)成零件的全方向上的移動(dòng)，并且通過(guò)第二移動(dòng)限制部限制構(gòu)成零件長(zhǎng)度方向以外的移動(dòng)，所以不必為了防止構(gòu)成零件的變形和移動(dòng)而增大連結(jié)部的連結(jié)力。另外，由于構(gòu)成零件能夠以第一移動(dòng)限制部為起點(diǎn)在長(zhǎng)尺寸狀物件的長(zhǎng)度方向上變形和移動(dòng)，所以沒(méi)有內(nèi)部應(yīng)力因熱膨脹而增加的問(wèn)題。由此，能夠防止構(gòu)成零件的破損。另外，以一個(gè)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向上的一端的端面與相鄰的另一構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向上的另一端的側(cè)面抵接，且一個(gè)構(gòu)成零件的另外一端的側(cè)面，與不同于相鄰的另一構(gòu)成零件的、相鄰的又一構(gòu)成零件長(zhǎng)度方向上的一端的端面抵接的方式，組合構(gòu)成零件，所以，一個(gè)構(gòu)成零件的另一端的端面與相鄰的又一構(gòu)成零件不抵接，一個(gè)構(gòu)成零件由于熱膨脹以設(shè)置于一端的第一移動(dòng)限制部為起點(diǎn)在長(zhǎng)尺寸體的長(zhǎng)度方向上變形和移動(dòng)時(shí)，沒(méi)有一個(gè)構(gòu)成零件的另一端的端面擠壓相鄰的又一構(gòu)成零件的問(wèn)題。另外，沒(méi)有一個(gè)構(gòu)成零件與相鄰的又一構(gòu)成零件抵接的問(wèn)題，即使與一個(gè)構(gòu)成零件相鄰的另一構(gòu)成零件的位置關(guān)系也相同，沒(méi)有一個(gè)構(gòu)成零件的一端的端面被相鄰的另一構(gòu)成零件擠壓的問(wèn)題。由此，相鄰的另外的構(gòu)成零件不會(huì)向一個(gè)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，而且一個(gè)構(gòu)成零件不會(huì)向的另一構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向移動(dòng)。其結(jié)果，能夠防止在環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件和基板載置臺(tái)之間產(chǎn)生間隙。


圖I是示意地表示本發(fā)明的實(shí)施方式的具有環(huán)狀屏蔽部件適用的基板載置臺(tái)的基板處理裝置的結(jié)構(gòu)的截面圖。圖2是示意地表示本實(shí)施方式的屏蔽環(huán)的結(jié)構(gòu)的圖，圖2 (A)為平面圖，圖2 (B)為在圖2 (A)中沿II-II線的截面圖。圖3是圖I中的配置在基座的基板載置面的間隙嵌合部件的立體圖。圖4是示意地表示圖2中的環(huán)構(gòu)成零件的全方向移動(dòng)限制部的結(jié)構(gòu)的圖，圖4(A)為與環(huán)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向垂直的方向上的截面圖，圖4 (B)為環(huán)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向上 的截面圖，圖4 (C)為在圖4 (A)中沿線IV-IV的截面圖。圖5是示意地表示圖2中的環(huán)構(gòu)成零件的單方向移動(dòng)容許部的結(jié)構(gòu)的圖，圖5(A)為與環(huán)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向垂直的方向上的截面圖，圖5 (B)為環(huán)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向上的截面圖，圖5 (C)為在圖5 (A)中沿線V-V的截面圖。圖6是示意地表示圖2中的環(huán)構(gòu)成零件的連結(jié)部的結(jié)構(gòu)的圖，圖6 (A)為與環(huán)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向垂直的方向上的截面圖，圖6 (B)為環(huán)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向上的截面圖，圖6 (C)為在圖6 (A)中沿線VI-VI的截面圖。圖7是表示圖2中的屏蔽環(huán)的各環(huán)構(gòu)成零件發(fā)生了熱膨脹的狀態(tài)的平面圖。圖8是表示圖I中的基座發(fā)生了熱膨脹的狀態(tài)的平面圖。圖9是表不在圖I中的基座載置有基板的狀態(tài)的平面圖。圖10是示意地表示圖2的本實(shí)施方式的屏蔽環(huán)的第一變形例的結(jié)構(gòu)的圖，圖10(A)為第一變形例的平面圖，圖10 (B)為第一變形例中的與全方向移動(dòng)限制部的環(huán)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向垂直的方向上的截面圖，圖10 (C)為第一變形例中的全方向移動(dòng)限制部的環(huán)構(gòu)成零件長(zhǎng)度方向上的截面圖，圖10 (D)為第一變形例中的與單方向移動(dòng)容許部的環(huán)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向垂直的方向上的截面圖，圖10 (E)為第一變形例中的單方向移動(dòng)容許部的環(huán)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向上的截面圖。圖11是示意地表示圖2的本實(shí)施方式的屏蔽環(huán)的第二變形例的結(jié)構(gòu)的平面圖。圖12是表示圖11的第一長(zhǎng)尺寸部件和第二長(zhǎng)尺寸部件的聯(lián)結(jié)部的圖，圖12 (A)為連接部的放大平面圖，圖12 (B)為聯(lián)結(jié)部的放大縱向截面圖，圖12 (C)為圖12 (A)中沿線XII-XII的截面圖。圖13是表示現(xiàn)有的屏蔽環(huán)結(jié)構(gòu)的平面圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明G 基板10基板處理裝置11 腔室12 基座13a基板載置面13b凸緣部15屏蔽環(huán)
41 44、51 54、58 61環(huán)構(gòu)成零件4Ia 44a、5Ia 54a、58aa 6Iaa 固定端41b 44b、51b 54b、58bb 61bb 自由端45、55全方向移動(dòng)限制部45b、46b 塾圈孔45c、46c 塾圈45d、46d 螺栓
46、56單方向移動(dòng)容許部47連結(jié)部48間隙嵌合部件55a、56a 導(dǎo)向件55b、56b 導(dǎo)向件孔58a 61a第一長(zhǎng)尺寸部件58b 61b第二長(zhǎng)尺寸部件
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖I是示意地表示本發(fā)明的實(shí)施方式的具有屏蔽部件適用的基板載置臺(tái)的基板處理裝置的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。該基板處理裝置例如對(duì)液晶顯示裝置(LCD)制造用的玻璃基板進(jìn)行規(guī)定的等離子體處理。在圖I中，基板處理裝置10具有收納例如一邊是數(shù)米的矩形的玻璃基板G (以下單稱為‘基板’)的處理室(腔室)11，在該腔室11內(nèi)部的圖中下方配置有載置基板G的載置臺(tái)(基座)12?；?2例如由表面被鋁陽(yáng)極化處理過(guò)的鋁或不銹鋼等形成的基材13構(gòu)成，基材13隔著絕緣部件14被支承于腔室11的底部?；?3的截面呈凸型，其上部平面為載置基板G的基板載置部13a?；遢d置部13a通過(guò)陶瓷噴鍍被覆蓋，防止基材13露出。在基材13以包圍基板載置面13a的周圍的方式設(shè)置有作為屏蔽部件的屏蔽環(huán)15，屏蔽環(huán)15由例如由氧化鋁等的絕緣性的陶瓷構(gòu)成的長(zhǎng)尺寸狀物件即環(huán)構(gòu)成零件4Γ44(后面敘述)的組合體形成。基材13的上部?jī)?nèi)置靜電電極板16，作為靜電卡盤發(fā)揮功能。靜電電極板16與直流電源17連接，當(dāng)向靜電電極板16施加正的直流電壓時(shí)，在載置于基板載置面13a的基板G的靜電電極板16—側(cè)的表面(以下稱為‘里面’)產(chǎn)生負(fù)電位，由此在靜電電極板16和基板G之間產(chǎn)生電位差，基板G被由該電位差引起的庫(kù)侖力或約翰遜-拉別克(Johnson-Rahbek)力吸附并保持于基板載置面13a。在基材13的內(nèi)部設(shè)置有用于對(duì)基材13和載置于基板載置面13a的基板G的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)的由制冷劑流路構(gòu)成的溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(省略圖示)。該溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)例如循環(huán)供給有冷卻水或galden (另^ r > :注冊(cè)商標(biāo))等的制冷劑，被該制冷劑冷卻的基材13對(duì)基板G進(jìn)行冷卻。在基材13的周圍配置有作為側(cè)環(huán)狀密封部件的絕緣環(huán)18,其覆蓋該基材13的側(cè)面。絕緣環(huán)18由絕緣性的陶瓷例如氧化招構(gòu)成。
在貫通腔室11的底壁、絕緣部件14和基材13的貫通孔，可升降地插通有升降銷21。升降銷21在載置于基板載置面13a的基板G的搬入和搬出時(shí)動(dòng)作，在將基板G搬入到腔室11內(nèi)時(shí)或從腔室11搬出時(shí)，上升至基座12的上方的搬送位置，在此之外的情況下，以埋設(shè)狀態(tài)收納于基板載置面13a內(nèi)。在基板載置面13a，開口有未圖示的多個(gè)傳熱氣體供給孔。多個(gè)傳熱氣體供給孔向基板載置面13a和基板G的里面的間隙供給傳熱氣體例如氦氣(He)氣體。供給至基板載置面13a和基板G的里面的間隙的氦氣氣體，將基板G的熱有效地傳導(dǎo)給基座12?；?2的基材13經(jīng)由匹配器24與用于供給高頻電力的高頻電源23連接。從高頻電源23施加有例如13. 56MHz的高頻電力，基座12作為下部電極發(fā)揮功能。匹配器24降低來(lái)自基座12的高頻電力的反射并使高頻電力對(duì)基座12的供給效率最大。在基板處理裝置10中，由腔室11的內(nèi)側(cè)壁和基座12的側(cè)面形成有側(cè)方排氣路 26。該側(cè)方排氣路26經(jīng)由排氣管27與排氣裝置28連接。作為排氣裝置28的TMP(TurboMolecular Pump :潤(rùn)輪分子泵)以及 DP (Dry Pump :干式泵)和 MBP (Mechanical BoosterPump :直空泵)(均未圖示)對(duì)腔室內(nèi)進(jìn)行抽真空來(lái)進(jìn)行減壓。具體而言，DP或MBP將腔室11內(nèi)從大氣壓減壓至中真空狀態(tài)(例如I. 3X IOPa (O. ITorr)以下)，TMP與DP或MBP協(xié)動(dòng)將腔室11內(nèi)減壓至比中真空狀態(tài)低的壓力的高真空狀態(tài)(例如I. 3X 10_3Pa (LOXl(T5Torr)以下)。并且，腔室11內(nèi)的壓力由APC閥(省略圖示)控制。在腔室11的頂部部分，以與基座12相對(duì)的方式配置有噴淋頭30。噴淋頭30具有內(nèi)部空間31，并且具有向該噴淋頭30和基座12之間的處理空間S排出處理氣體的多個(gè)氣體孔32。噴淋頭30接地，與作為下部電極發(fā)揮功能的基座12 —起構(gòu)成一對(duì)平行平板電極。另外，噴淋頭30經(jīng)由氣體供給管36與處理氣體供給源39連接。在氣體供給管36設(shè)置有開關(guān)閥37和質(zhì)量流量控制器38。另外，在處理腔室11的側(cè)壁設(shè)置有基板搬入搬出口 34，該基板搬入搬出口 34通過(guò)門閥35能夠打開和關(guān)閉。而且，作為處理對(duì)象的基板G，經(jīng)由該門閥35被搬入和搬出。在基板處理裝置10中，從處理氣體供給源39經(jīng)由處理氣體導(dǎo)入管36供給處理氣體。被供給的處理氣體經(jīng)由噴淋頭30的內(nèi)部空間31以及氣體孔32被導(dǎo)入腔室11的處理空間S，該被導(dǎo)入的處理氣體，被從高頻電源23經(jīng)由基座12向處理空間S施加的等離子體生成用的高頻電力激發(fā)而成為等離子體。等離子體中的離子被引向基板G，對(duì)基板G實(shí)施規(guī)定的等離子體處理。基板處理裝置10的各構(gòu)成零件的動(dòng)作，基板處理裝置10所具備的控制部(未圖示)的CPU按照對(duì)應(yīng)等離子體蝕刻處理的程序進(jìn)行控制。圖2是示意地表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的屏蔽環(huán)的結(jié)構(gòu)的圖，圖2 (A)是俯視圖，圖2 (B)是沿圖2 (A)的II - II線的截面圖。在圖2 (A)中，屏蔽環(huán)15以包圍作為下部電極發(fā)揮功能的基座12 (以下稱為‘下部電極’)的矩形的基板載置面13a的周圍的方式配置，包括由沿矩形的基板載置面13a的相對(duì)的兩個(gè)短邊分別配置的由長(zhǎng)方體狀的長(zhǎng)尺寸狀物件構(gòu)成的環(huán)構(gòu)成零件41、42、和由沿矩形的基板載置面13a的相對(duì)的兩個(gè)長(zhǎng)邊分別配置的由長(zhǎng)方體狀的長(zhǎng)尺寸狀物件構(gòu)成的環(huán)構(gòu)成零件43、44的組合體構(gòu)成。
各環(huán)構(gòu)成零件44具有設(shè)置在長(zhǎng)尺寸狀物件的長(zhǎng)度方向(以下單稱為‘長(zhǎng)度方向’)的一端(以下稱為‘固定端’)41a 45a的全方向移動(dòng)限制部45 (第I移動(dòng)限制部);在長(zhǎng)度方向與該全方向移動(dòng)限制部45離開地設(shè)置的單方向移動(dòng)限制部46 (第2移動(dòng)限制部)；和沿長(zhǎng)度方向設(shè)置的兩個(gè)連結(jié)部47。單方向移動(dòng)限制部46和連結(jié)部47均與全方向移動(dòng)限制部45離開地設(shè)置時(shí)，關(guān)于設(shè)置位置無(wú)特別限制，但從使各環(huán)構(gòu)成零件4廣44可靠地在長(zhǎng)度方向上移動(dòng)的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選單方向移動(dòng)限制部46盡可能與全方向移動(dòng)限制部45離開地設(shè)置，例如也可以設(shè)置在長(zhǎng)尺寸狀物件的長(zhǎng)度方向上的另一端(以下稱為‘自由端’)在屏蔽環(huán)15中，以環(huán)構(gòu)成零件41的固定端41a的端面與相鄰的另一環(huán)構(gòu)成零件 43的自由端43b的側(cè)面抵接，自由端41b的側(cè)面與相鄰的又一環(huán)構(gòu)成零件44的固定端44a的端面抵接的方式配置有環(huán)構(gòu)成零件41。另一方面，自由端41b的端面不與環(huán)構(gòu)成零件44的固定端44a抵接。在本實(shí)施方式中，各環(huán)構(gòu)成零件42 44在與各自相鄰的另一環(huán)構(gòu)成零件44、42、41的位置關(guān)系方面，也與環(huán)構(gòu)成零件41同樣配置，而且環(huán)構(gòu)成零件42和44配置為各自關(guān)于基板載置面13a的中心點(diǎn)與環(huán)構(gòu)成零件41和43呈點(diǎn)對(duì)稱。在圖2 (B)中，下部電極12的基材13的截面呈凸?fàn)?，該截面凸?fàn)铙w的上部平面成為基板載置面13a，臺(tái)階部表面成為凸緣部13b?；遢d置面13a的各角部分別被實(shí)施平面的倒角處理，由此，例如，在基板載置面13a的一個(gè)角部的倒角面、和基板環(huán)構(gòu)成零件41的固定端41a的端面以及相鄰的環(huán)構(gòu)成零件43的自由端43b的側(cè)面的接合部之間形成有三角柱狀的間隙，該間隙與如圖3所示的截面呈直角三角形的三角柱狀的間隙嵌合部件48動(dòng)配合。在基板載置面13a的剩余的各角部也形成有同樣的三角柱狀的間隙，各間隙也與間隙嵌合部件48動(dòng)配合。圖4是示意地表示圖2的環(huán)構(gòu)成零件的全方向移動(dòng)限制部的結(jié)構(gòu)的圖，圖4(A)是與長(zhǎng)度方向垂直的方向上的截面圖，圖4 (B)是長(zhǎng)度方向上的截面圖，圖4 (C)是圖4 (A)中的沿線IV-IV的截面圖。在圖4 (A) 圖4 (C)中，全方向移動(dòng)限制部45具有圓形锪孔面45a，其例如從圖4 (A)、圖4 (B)中的上方對(duì)環(huán)構(gòu)成零件41進(jìn)行切削而形成；墊圈(collar :套圈)孔45b(第一墊圈孔)，其在锪孔面45a中心在厚度方向上貫通環(huán)構(gòu)成零件41，由圓柱狀空間形成；圓筒狀墊圈45c (第一墊圈),其與墊圈孔45b動(dòng)配合；和螺栓45d (第一螺栓),其被向墊圈45c內(nèi)部插入，并且向凸緣部13b按壓墊圈45c。環(huán)構(gòu)成零件42 44的全方向移動(dòng)限制部45也具有相同的結(jié)構(gòu)。在全方向移動(dòng)限制部45中，如圖4 (C)所示，墊圈孔45b在與墊圈45c中心軸垂直的面上具有圓形的截面，并且墊圈45c的側(cè)面和墊圈孔45b的側(cè)面的間隙在各個(gè)方向上大體設(shè)定為固定的值。在本實(shí)施方式中，墊圈45c的側(cè)面和墊圈孔45b的側(cè)面的間隙設(shè)定得小，以限制環(huán)構(gòu)成零件41的全方向上的移動(dòng)。具體來(lái)講，由于該間隙例如設(shè)定為
O.0Γ0. 2mm (直徑方向上的兩側(cè)的合計(jì)為O. 02、. 4mm)，所以環(huán)構(gòu)成零件41在全方向移動(dòng)限制部45的附近幾乎不能移動(dòng)。圖5是示意地表示圖2中的環(huán)構(gòu)成零件的單方向移動(dòng)容許部的結(jié)構(gòu)的圖，圖5(A)為與長(zhǎng)度方向垂直的方向上的截面圖，圖5 (B)為長(zhǎng)度方向上的截面圖，圖5 (C)為在圖5(A)中沿線V-V的截面圖。在圖5 (A廣圖5 (C)中，單方向移動(dòng)容許部46具有例如，圓形锪孔面46a，其從圖5 (A)，圖5 (B)中的上方對(duì)環(huán)構(gòu)成零件41進(jìn)行切削而形成；墊圈孔46b (第二墊圈孔)，其在锪孔面46a中心在厚度方向上貫通環(huán)構(gòu)成零件41 ;圓筒狀墊圈46c (第二墊圈)，其與墊圈孔46b動(dòng)配合；和螺栓46d (第二螺栓),其被向墊圈46c內(nèi)部插入，并且向凸緣部13b按壓墊圈46c。環(huán)構(gòu)成零件42 44的單方向移動(dòng)容許部46也具有相同的結(jié)構(gòu)。在單方向移動(dòng)容許部46中，如圖5(C)所示，墊圈孔46b在與墊圈46c的中心軸垂直的面上具有長(zhǎng)圓形的截面，由于該長(zhǎng)圓形截面的長(zhǎng)軸沿其長(zhǎng)度方向，所以在長(zhǎng)度方向上的墊圈46c的側(cè)面和墊圈孔46b的側(cè)面之間產(chǎn)生比較大的間隙，例如在使夾持螺栓46d的兩側(cè)的間隙均等的情況下，在單側(cè)產(chǎn)生例如I. 5^2. 5mm的間隙，由此，設(shè)置有墊圈孔46b的環(huán)構(gòu)成零件41相對(duì)于墊圈46c能夠沿長(zhǎng)度方向 相對(duì)移動(dòng)。另一方面，在與長(zhǎng)度方向垂直的方向(以下單稱為‘垂直方向’)上，墊圈46c的側(cè)面和墊圈孔46b的側(cè)面的間隙設(shè)定得小，以限制環(huán)構(gòu)成零件41的垂直方向上的移動(dòng)。具體來(lái)講，與全方向移動(dòng)限制部45中的間隙相同，該間隙在單側(cè)例如設(shè)定為O. 0Γ0. 2mm,因此環(huán)構(gòu)成零件41在單方向移動(dòng)容許部46幾乎不能在垂直方向上移動(dòng)。即，環(huán)構(gòu)成零件41在單方向移動(dòng)容許部46的附近僅能沿長(zhǎng)度方向移動(dòng)。在此，“長(zhǎng)圓形”是指，兩端為半圓的矩形或橢圓型以及與此類似的具有長(zhǎng)軸和短軸的圖形。以下也相同。如上所述，在本實(shí)施方式中，在環(huán)構(gòu)成零件41發(fā)生熱膨脹的情況下，環(huán)構(gòu)成零件41以全方向移動(dòng)限制部45為起點(diǎn)在長(zhǎng)度方向上移動(dòng)。環(huán)構(gòu)成零件42 44也同樣以全方向移動(dòng)限制部45為起點(diǎn)在長(zhǎng)度方向上移動(dòng)。另外，在全方向移動(dòng)限制部45和單方向移動(dòng)容許部46中，即使如圖4 (A)、圖4(B)、圖5 (A)和圖5 (B)所示，各個(gè)螺栓45d、46d與墊圈45c、46c抵接，也不會(huì)抵接到锪孔面45a、46a。所以，螺栓45d、46d的連結(jié)力不會(huì)作用到環(huán)構(gòu)成零件41 44。圖6是示意地表示圖2中的環(huán)構(gòu)成零件的連結(jié)部的結(jié)構(gòu)的圖，圖6 (A)為與長(zhǎng)度方向垂直的方向上的截面圖，圖6 (B)為長(zhǎng)度方向上的截面圖，圖6 (C)為在圖6 (A)中沿線VI-VI的截面圖。在圖6 (A) 圖6 (C)中，連結(jié)部47具有圓形锪孔面47a，其例如從圖6 (A)、圖6 (B)中的上方對(duì)環(huán)構(gòu)成零件41進(jìn)行切削而形成；螺孔47b，其在锪孔面47a中心在厚度方向上貫通環(huán)構(gòu)成零件41，由長(zhǎng)圓柱狀或圓柱狀空間形成；和螺栓47c，其被向螺孔47b內(nèi)部插入并向凸緣部13b按壓锪孔面47a。在連結(jié)部47中，由于螺栓47c向凸緣部13b按壓锪孔面47a，所以環(huán)構(gòu)成零件41被連結(jié)到基座12的基材13。此外，環(huán)構(gòu)成零件42 44的連結(jié)部47也具有相同的結(jié)構(gòu)。在連結(jié)部47中，如圖6 (C)所示，螺孔47b在與螺栓47c的中心軸垂直的面上具有長(zhǎng)圓形的截面，并且在環(huán)構(gòu)成零件41的長(zhǎng)度方向上具有間隙。在本實(shí)施方式中，螺栓47c的側(cè)面和螺孔47b的側(cè)面的間隙在長(zhǎng)度方向上設(shè)定得大，具體來(lái)講，在使夾持螺栓47c的兩側(cè)的間隙均等的情況下，該間隙在單側(cè)例如設(shè)定為3mm，所以環(huán)構(gòu)成零件41能夠在連結(jié)部47附近自由移動(dòng)。圖7是表示圖2的屏蔽環(huán)的各環(huán)構(gòu)成零件發(fā)生了熱膨脹的狀態(tài)的平面圖。如上所述，雖然屏蔽環(huán)15的環(huán)構(gòu)成零件4廣44由于熱膨脹以全方向移動(dòng)限制部45為起點(diǎn)在長(zhǎng)度方向(圖中空心箭頭所示的方向)上移動(dòng),但是,在屏蔽環(huán)15中，環(huán)構(gòu)成零件41的自由端41b的端面被解放,不與環(huán)構(gòu)成零件44的固定端44a抵接，同樣，環(huán)構(gòu)成零件42的自由端42b的端面被解放,不與環(huán)構(gòu)成零件43的固定端43a抵接，環(huán)構(gòu)成零件43的自由端43b的端面被解放,不與環(huán)構(gòu)成零件41的固定端41a抵接,環(huán)構(gòu)成零件44的自由端44b的端面被解放，不與環(huán)構(gòu)成零件42的固定端42a抵接，因此，如圖7所示，各環(huán)構(gòu)成零件4Γ44不擠壓另一環(huán)構(gòu)成零件。圖8是表示圖I中的基座發(fā)生了熱膨脹的狀態(tài)的平面圖。在圖8中，由于屏蔽環(huán)15的各環(huán)構(gòu)成零件44以與基板載置面13a的各個(gè)邊一對(duì)一地抵接的方式配置，所以當(dāng)基座12沿圖中空心箭頭方向發(fā)生了熱膨脹時(shí)，各環(huán)構(gòu)成零件4廣44僅從對(duì)應(yīng)的基板載置面13a的一邊受到按壓力。所以，各環(huán)構(gòu)成零件4廣44能夠在與對(duì)應(yīng)的基板載置面13a的一邊移動(dòng)方向相同的方向上移動(dòng)，且在各環(huán)構(gòu)成零件44和對(duì)應(yīng)的基板載置面13a的一邊之間不產(chǎn)生間隙。 此外，伴隨著基座12的熱膨脹，在各環(huán)構(gòu)成零件之間，例如在已抵接的固定端41a的端面和自由端43b的側(cè)面之間產(chǎn)生間隙(未圖示)，但通過(guò)在該抵接部采用迷宮(labyrinth)結(jié)構(gòu),能夠使得基材13不露出。迷宮結(jié)構(gòu)例如,能夠通過(guò)在抵接部中在固定端41a和自由端43b各自設(shè)置高低差(臺(tái)階差)并組合該高低差的方式構(gòu)成。圖9是表不在圖I中的基座載置有基板的狀態(tài)的平面圖。在基座12中，當(dāng)在基板載直面13a載直有基板G時(shí),如圖9所不，基板G相對(duì)基板載置面13a偏離，該基板G的角部的作為切口的定向平面49(orientation flat)不覆蓋基板載置面13a的角部，但在基座12的基板載置面13a的各個(gè)角部配置有間隙嵌合部件48，因此，基板載置面13a不露出，僅間隙嵌合部件48露出。由此，沒(méi)有等離子體引起的基板載置面13a的陶瓷噴鍍被削減的問(wèn)題，因而能夠防止在基座12產(chǎn)生異常放電或腐蝕。另外，在基座12，由于在基板載置面13a的全部的角部配置有間隙嵌合部件48，所以即使在相應(yīng)于等離子體處理的內(nèi)容改變了基板G的朝向的情況下，也與定向平面49的位置對(duì)應(yīng)地存在任一間隙嵌合部件48。由此，能夠可靠地防止基板載置面13a的陶瓷噴鍍被削減。即便間隙嵌合部件48由于等離子體而消耗，但是，由于間隙嵌合部件48能夠容易進(jìn)行交換，所以能夠容易維持基座12的等離子體耐受性。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的作為環(huán)狀屏蔽部件的屏蔽環(huán)15，屏蔽環(huán)15的構(gòu)成各環(huán)構(gòu)成零件4廣44的長(zhǎng)尺寸狀物件通過(guò)連結(jié)部47連結(jié)到基座12，但是通過(guò)全方向移動(dòng)限制部45限制各環(huán)構(gòu)成零件4廣44的全方向上的移動(dòng)，通過(guò)單方向移動(dòng)容許部46限制各環(huán)構(gòu)成零件44的長(zhǎng)度方向以外的移動(dòng)，所以為了防止各環(huán)構(gòu)成零件44的變形和移動(dòng)，無(wú)需增大連結(jié)部件47的連結(jié)力。另外，由于各環(huán)構(gòu)成零件4廣44能夠以全方向移動(dòng)限制部45為起點(diǎn)在長(zhǎng)度方向上變形和移動(dòng)，所以沒(méi)有因熱膨脹引起的內(nèi)部應(yīng)力變大的問(wèn)題。由此，能夠防止各環(huán)構(gòu)成零件41 44的破損。另外，各環(huán)構(gòu)成零件41 44組合為一個(gè)環(huán)構(gòu)成零件41(42、43或44)的固定端41a(42a、43a或44a)的端面與相鄰的另一環(huán)構(gòu)成零件43 (44、42或41)的自由端43b (44b、42b或41b)的側(cè)面抵接，且一個(gè)環(huán)構(gòu)部件41 (42,43或44)的自由端41b (42b,43b或44b)的側(cè)面與相鄰的又一環(huán)構(gòu)成零件44 (43、41或42)的固定端44a (43a、41a或42a)的端面抵接，所以，一個(gè)環(huán)構(gòu)成零件41 (42、43或44)的自由端41b (42b、43b或44b)的端面不與相鄰的又一環(huán)構(gòu)成零件44 (43、41或42抵接，當(dāng)一個(gè)環(huán)構(gòu)成零件41 (42、43或44)因熱膨脹以設(shè)置于固定端的全方向移動(dòng)限制部45為起點(diǎn)在長(zhǎng)度方向上變形和移動(dòng)時(shí)，一個(gè)環(huán)構(gòu)成零件41 (42,43或44)的自由端41b不會(huì)擠壓又一環(huán)構(gòu)成零件44 (43,41或42)。由此，又一環(huán)構(gòu)成零件44 (43、41或42)不在第一個(gè)環(huán)構(gòu)成零件41 (42、43或44)的長(zhǎng)度方向上發(fā)生移動(dòng)，其結(jié)果，能夠防止在屏蔽環(huán)15的各環(huán)構(gòu)成零件4廣44和基座12之間產(chǎn)生間隙。以上，使用上述實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說(shuō)明，但是 本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式。例如，在上述的屏蔽環(huán)15中，為了限制各環(huán)構(gòu)成零件4廣44的移動(dòng)而使用有墊圈45c、46c，但是能夠限制移動(dòng)的部件不只限于墊圈。圖10是示意地表示圖2的本實(shí)施方式的屏蔽環(huán)的第一變形例的結(jié)構(gòu)的圖，圖10(A)為第一變形例的平面圖，圖10 (B)為與第一變形例中的全方向移動(dòng)限制部的環(huán)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向垂直的方向上的截面圖，圖10 (C)為第一變形例中的全方向移動(dòng)限制部的環(huán)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向上的截面圖，圖10 (D)為第一變形例中的與單方向移動(dòng)容許部的環(huán)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向垂直的方向上的截面圖，圖10 (E)為第一變形例中的單方向移動(dòng)容許部的環(huán)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向上的截面圖。在圖10 (A)中，屏蔽環(huán)50由各環(huán)構(gòu)成零件5廣54的組合體構(gòu)成，其中，上述各環(huán)構(gòu)成零件51飛4由沿矩形的基板載置面13a的各邊配置的長(zhǎng)方體狀的長(zhǎng)尺寸狀物件構(gòu)成。各環(huán)構(gòu)成零件51 54具有設(shè)置于固定端51a 54a的全方向移動(dòng)限制部55 (第一移動(dòng)限制部)；單方向移動(dòng)容許部56 (第二移動(dòng)限制部)，從該全方向移動(dòng)限制部55在長(zhǎng)度方向上離開地設(shè)置；和沿長(zhǎng)度方向設(shè)置的兩個(gè)連結(jié)部47。在圖10 (B)和圖10 (C)中，全方向移動(dòng)限制部55具有長(zhǎng)方體狀的導(dǎo)向件55a(第一導(dǎo)向件)，其設(shè)置為一部分埋設(shè)于凸緣部13b且相對(duì)于基座12不能發(fā)生移動(dòng)；導(dǎo)向件孔55b (第一導(dǎo)向件孔)，其例如設(shè)置于環(huán)構(gòu)成零件51的與凸緣部13b的接觸面，并且為與導(dǎo)向件55a動(dòng)配合的長(zhǎng)方體狀的凹部。環(huán)構(gòu)成零件52飛4的全方向移動(dòng)限制部55也具有相同的結(jié)構(gòu)。在全方向移動(dòng)限制部55中，導(dǎo)向件55a的側(cè)面和導(dǎo)向件孔55b的側(cè)面的間隙在各個(gè)方向大體上設(shè)定成固定值。在本實(shí)施方式中，導(dǎo)向件55a的側(cè)面和導(dǎo)向件孔55b的側(cè)面的間隙設(shè)定得小，以限制環(huán)構(gòu)成零件51的全方向上的移動(dòng)。具體來(lái)講，與第一實(shí)施方式中的全方向移動(dòng)限制部45相同，該間隙大小例如設(shè)定為O. 0l"O. 2mm (例如,環(huán)構(gòu)成零件的長(zhǎng)度方向上的導(dǎo)向件55a的兩側(cè)的合計(jì)為O. 02、. 4mm),因此環(huán)構(gòu)成零件51在全方向移動(dòng)限制部55的附近幾乎不能移動(dòng)。在圖10 (D)和圖10 (E)中，單方向移動(dòng)容許部56具有長(zhǎng)方體狀的導(dǎo)向件56a(第二導(dǎo)向件)，其一部分埋設(shè)于凸緣部13b且設(shè)置為相對(duì)于基座12不能發(fā)生移動(dòng)；和導(dǎo)向件孔56b (第二導(dǎo)向件孔)，其例如設(shè)置于環(huán)構(gòu)成零件51的與凸緣部13b的接觸面，并且為與導(dǎo)向件56a動(dòng)配合的長(zhǎng)方體狀的凹部。環(huán)構(gòu)成零件52飛4的單方向移動(dòng)容許部56也具有相同的結(jié)構(gòu)。在單方向移動(dòng)容許部56中，如圖10 (E)所示，由于導(dǎo)向件孔56b長(zhǎng)度方向上的長(zhǎng)度設(shè)定得比導(dǎo)向件56a的長(zhǎng)度方向上的長(zhǎng)度大，所以在長(zhǎng)度方向上的導(dǎo)向件56a的側(cè)面和導(dǎo)向件孔56b的側(cè)面之間產(chǎn)生比較大的間隙，例如與第一實(shí)施方式中的單方向移動(dòng)容許部46相同，在使夾持有導(dǎo)向件55a的長(zhǎng)度方向上的兩側(cè)的間隙為均等的情況下，在單側(cè)產(chǎn)生
I.5^2. 5mm的間隙，由此，設(shè)置有導(dǎo)向件孔56b的環(huán)構(gòu)成零件51能夠相對(duì)導(dǎo)向件56a沿長(zhǎng)度方向相對(duì)移動(dòng)。另一方面，在垂直方向上，將導(dǎo)向件56a的側(cè)面和導(dǎo)向件孔56b的側(cè)面的間隙設(shè)定得小，以限制環(huán)構(gòu)成零件51的垂直方向上的移動(dòng)。具體來(lái)講，例如與全方向移動(dòng)限制部55相同，該間隙例如設(shè)定為O. 01^0. 2mm (例如,在垂直方向上的導(dǎo)向件55a的兩側(cè)合計(jì)為O. 02、. 4mm),因此，環(huán)構(gòu)成零件51在單方向移動(dòng)容許部56的附近在垂直方向上幾乎不能移動(dòng)。即，環(huán)構(gòu)成零件51在單方向移動(dòng)容許部56的附近，僅能沿長(zhǎng)度方向移動(dòng)。如上所述，在第一變形例中，在環(huán)構(gòu)成零件51發(fā)生熱膨脹的情況下，環(huán)構(gòu)成零件51以全方向移動(dòng)限制部55為起點(diǎn)在長(zhǎng)度方向上移動(dòng)。環(huán)構(gòu)成零件52 54也同樣以全方向移動(dòng)限制部55為起點(diǎn)在長(zhǎng)度方向上移動(dòng)。在上述的屏蔽環(huán)15中，雖然各環(huán)構(gòu)成零件4廣44由一個(gè)長(zhǎng)尺寸狀物件構(gòu)成，但是各環(huán)構(gòu)成零件也可以由多個(gè)長(zhǎng)尺寸狀物件構(gòu)成。圖11是示意地表示圖2中的本實(shí)施方式的屏蔽環(huán)的第二變形例的結(jié)構(gòu)的平面圖。
在圖11中，屏蔽環(huán)57由各環(huán)構(gòu)成零件58飛I的組合體構(gòu)成，其中，各環(huán)構(gòu)成零件58飛I由沿矩形的基板載置面13a的各邊配置的長(zhǎng)方體狀的長(zhǎng)尺寸狀物件構(gòu)成。各環(huán)構(gòu)成零件58飛I沿長(zhǎng)度方向被分割為第一長(zhǎng)尺寸部件58a飛Ia (第一長(zhǎng)尺寸部)和第二長(zhǎng)尺寸部件58lT61b (第二長(zhǎng)尺寸部件)，例如在環(huán)構(gòu)成零件58中，全方向移動(dòng)限制部45設(shè)置于第一長(zhǎng)尺寸部件58a的長(zhǎng)度方向上的一端(固定端)58aa,單方向移動(dòng)容許部46設(shè)置于第二長(zhǎng)尺寸部件58b，第一長(zhǎng)尺寸部件58a的長(zhǎng)度方向上的另一端(抵接端)58ab與第二長(zhǎng)尺寸部件58b的長(zhǎng)度方向上的一端(抵接端)58ba抵接，第一長(zhǎng)尺寸部件58a和第二長(zhǎng)尺寸部件58b各自具有兩個(gè)以上的連結(jié)部47。此外，如圖12 (A廣圖12 (C)所示，第一長(zhǎng)尺寸部件58a和第二長(zhǎng)尺寸部件58b在相互之間的連接部中利用通過(guò)螺栓等連結(jié)構(gòu)件62相互連結(jié)，另外，在連接部配置有嵌合到銷孔63的定位銷64 (偏離防止機(jī)構(gòu))，以防止相互之間發(fā)生相對(duì)位置偏離。其中，連結(jié)構(gòu)件62不限于螺栓，其也可以是能夠從上表面和下表面挾持連接部的構(gòu)件，另外，當(dāng)僅通過(guò)定位銷64就能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)第一長(zhǎng)尺寸部件58a和第二長(zhǎng)尺寸部件58b的連結(jié)和防止相對(duì)位置偏離時(shí)，也可以不設(shè)置連結(jié)構(gòu)件。由此，即使由分割的長(zhǎng)尺寸部件構(gòu)成環(huán)構(gòu)成零件，也能夠獲得與由一體部件構(gòu)成環(huán)構(gòu)成零件的情況(第一實(shí)施方式)相同的效果。各環(huán)構(gòu)成零件59飛1也具有與環(huán)構(gòu)成零件58相同的結(jié)構(gòu)。在環(huán)構(gòu)成零件57中，環(huán)構(gòu)成零件58配置為，第一長(zhǎng)尺寸部件58a的固定端58aa的端面與相鄰的第二長(zhǎng)尺寸部件60b的長(zhǎng)度方向上的另一端(自由端)60bb的側(cè)面抵接，且第二長(zhǎng)尺寸部件58b的自由端58bb的側(cè)面與相鄰的第一長(zhǎng)尺寸部件61a的固定端61aa的端面抵接。另一方面，第二長(zhǎng)尺寸部件58b的自由端58bb的端面不與第一長(zhǎng)尺寸部件61a的固定端61aa抵接。在本實(shí)施方式中，各環(huán)構(gòu)成零件59飛1也與環(huán)構(gòu)成零件58同樣配置，并且環(huán)構(gòu)成零件59和61配置為，各自關(guān)于基板載置面13a的中心點(diǎn)與環(huán)構(gòu)成零件58和60呈點(diǎn)對(duì)稱。在環(huán)構(gòu)成零件57中，例如在環(huán)構(gòu)成零件58發(fā)生熱膨脹的情況下，第一長(zhǎng)尺寸部件58a因熱膨脹而發(fā)生移動(dòng)，第二長(zhǎng)尺寸部件58b因熱膨脹和第一長(zhǎng)尺寸部件58a的移動(dòng)而發(fā)生移動(dòng)，但是，第一長(zhǎng)尺寸部件58a以全方向移動(dòng)限制部45為起點(diǎn)在長(zhǎng)度方向上移動(dòng)，第二長(zhǎng)尺寸部件58b，被單方向移動(dòng)容許部46限制移動(dòng)方向，在長(zhǎng)度方向上移動(dòng)。環(huán)構(gòu)成零件59飛I也同樣,第一長(zhǎng)尺寸部件59a飛Ia以全方向移動(dòng)限制部45為起點(diǎn)在長(zhǎng)度方向上移動(dòng)，第二長(zhǎng)尺寸部件59lT61b，被單方向移動(dòng)容許部46限制移動(dòng)方向，在長(zhǎng)度方向上移動(dòng)。由此，能夠防止在第一長(zhǎng)尺寸部件58a飛Ia和第一長(zhǎng)尺寸部件58lT61b中因熱膨脹引起的內(nèi)部應(yīng)力變大。另外，在屏蔽環(huán)57中，第二長(zhǎng)尺寸部件58b(59b、60b或61b)的自由端58bb(59bb、60bb或61bb)的端面不與第一長(zhǎng)尺寸部件61a (60a、58a或59a)的固定端61aa (60aa、58aa或59aa)抵接。由此，又一環(huán)構(gòu)成零件61 (60、58或59)不向一個(gè)環(huán)構(gòu)成零件58 (59，60或61)的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，其結(jié)果，能夠防止在屏蔽環(huán)57的各環(huán)構(gòu)成零件58飛I和基座12之間產(chǎn)生間隙。還有，在屏蔽環(huán)57中，由于各環(huán)構(gòu)成零件58飛I被分割成為第一長(zhǎng)尺寸部件58a飛Ia和第二長(zhǎng)尺寸部件58lT61b，因此，操作人員能夠防止操作部件的大小變得過(guò)大并能夠防止操作性的惡化，并且，對(duì)于大型一代的FPD制造裝置、例如使用比第7代FPD基板大的基板的裝置，難以制作一體成形的屏蔽部件，但是通過(guò)將本發(fā)明應(yīng)用于屏蔽部件，能夠獲得與現(xiàn)有的小型FPD制造裝置的所使用的一體成形的屏蔽部件起到的效果相同的效果?！?br> 權(quán)利要求
1.一種環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件，其在對(duì)矩形的基板實(shí)施等離子體處理的基板處理裝置的處理室內(nèi)以包圍載置所述基板的基板載置臺(tái)的矩形的載置面的周圍的方式設(shè)置，所述環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件的特征在于 包括沿所述矩形的載置面的一邊配置的絕緣性的長(zhǎng)尺寸狀物件， 具有第一移動(dòng)限制部，其設(shè)置于該長(zhǎng)尺寸狀物件的長(zhǎng)度方向上的一端，限制所述構(gòu)成零件的全方向上的移動(dòng)； 第二移動(dòng)限制部，在所述長(zhǎng)度方向上與所述第一移動(dòng)限制部離開地設(shè)置，限制所述構(gòu)成零件的所述長(zhǎng)度方向以外的移動(dòng)；和 將所述構(gòu)成零件連結(jié)到所述基板載置臺(tái)的至少一個(gè)連結(jié)部。
2.如權(quán)利要求I所述的環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件，其特征在于， 所述第一移動(dòng)限制部具有圓筒狀的第一墊圈；第一墊圈孔，其與該第一墊圈動(dòng)配合，在與動(dòng)配合的該第一墊圈的中心軸垂直的面上具有圓形的截面；和第一螺栓，其將動(dòng)配合到該第一墊圈孔中的所述第一墊圈向所述基板載置臺(tái)按壓，所述第一墊圈的側(cè)面和所述第一墊圈孔的側(cè)面的間隙被設(shè)置得小，以限制所述構(gòu)成零件的全方向上的移動(dòng)， 所述第二移動(dòng)限制部具有圓筒狀的第二墊圈；第二墊圈孔，其與該第二墊圈動(dòng)配合，在與動(dòng)配合的該第二墊圈的中心軸垂直的面上具有長(zhǎng)圓形的截面；和第二螺栓，其將動(dòng)配合到該第二墊圈孔中的所述第二墊圈向所述基板載置臺(tái)按壓，所述第二墊圈孔的所述長(zhǎng)圓形的截面的長(zhǎng)徑沿所述長(zhǎng)度方向。
3.如權(quán)利要求I所述的環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件，其特征在于， 所述第一移動(dòng)限制部具有長(zhǎng)方體狀的第一導(dǎo)向件，其設(shè)置為相對(duì)于所述基板載置臺(tái)不能移動(dòng)；和第一導(dǎo)向件孔，其為與該第一導(dǎo)向件動(dòng)配合的長(zhǎng)方體狀的凹部，所述第一導(dǎo)向件的各個(gè)側(cè)面和所述第一導(dǎo)向件孔的各個(gè)側(cè)面的間隙設(shè)定得小，以限制所述構(gòu)成零件的全方向上的移動(dòng)， 所述第二移動(dòng)限制部具有長(zhǎng)方體狀的第二導(dǎo)向件，其設(shè)置為相對(duì)于所述基板載置臺(tái)不能移動(dòng)；和第二導(dǎo)向件孔，其為與該第二導(dǎo)向件動(dòng)配合的長(zhǎng)方體狀的凹部，所述第二導(dǎo)向件孔的所述長(zhǎng)度方向上的長(zhǎng)度設(shè)定為比所述第二導(dǎo)向件的所述長(zhǎng)度方向上的長(zhǎng)度大。
4.如權(quán)利要求I至3中任一項(xiàng)所述的環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件，其特征在于 所述長(zhǎng)尺寸狀物件沿所述長(zhǎng)度方向被分割為第一長(zhǎng)尺寸部和第二長(zhǎng)尺寸部，所述第一移動(dòng)限制部設(shè)置在所述第一長(zhǎng)尺寸部的所述長(zhǎng)度方向上的一端，所述第二移動(dòng)限制部設(shè)置在所述第二長(zhǎng)尺寸部，所述第一長(zhǎng)尺寸部的所述長(zhǎng)度方向上的另一端與所述第二長(zhǎng)尺寸部的所述長(zhǎng)度方向上的一端抵接，所述第一長(zhǎng)尺寸部和所述第二長(zhǎng)尺寸部各自具有所述連結(jié)部。
5.如權(quán)利要求4所述的環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件，其特征在于 所述第一長(zhǎng)尺寸部和所述第二長(zhǎng)尺寸部相互接合，在所述第一長(zhǎng)尺寸部和所述第二長(zhǎng)尺寸部的聯(lián)結(jié)部具有位置偏離防止機(jī)構(gòu)，該位置偏離防止機(jī)構(gòu)防止所述第一長(zhǎng)尺寸部和所述第二長(zhǎng)尺寸部的相對(duì)位置偏尚。
6.一種環(huán)狀屏蔽部件，其在對(duì)矩形的基板實(shí)施等離子體處理的基板處理裝置的處理室內(nèi)以包圍載置所述基板的基板載置臺(tái)的矩形的載置面的周圍的方式配置，所述環(huán)狀屏蔽部件的特征在于包括如權(quán)利要求I至5中任一項(xiàng)所述的環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件的組合體， 各個(gè)所述構(gòu)成零件以一個(gè)所述構(gòu)成零件的所述長(zhǎng)度方向上的一端的端面與相鄰的另一所述構(gòu)成零件的所述長(zhǎng)度方向上的另一端的側(cè)面抵接，且所述一個(gè)所述構(gòu)成零件的所述長(zhǎng)度方向上的另一端的側(cè)面，與不同于相鄰的所述另一所述構(gòu)成零件不同的、相鄰的又一所述構(gòu)成零件的所述長(zhǎng)度方向上的一端的端面抵接的方式組合。
7.如權(quán)利要求6所述的環(huán)狀屏蔽部件，其特征在于 所述矩形載置面的各個(gè)角部分別被實(shí)施平面的倒角處理， 除所述構(gòu)成零件之外，還具備三角柱狀的間隙嵌合部件，所述間隙嵌合部件對(duì)由各個(gè)所述角部的倒角面和一個(gè)所述構(gòu)成零件的一端的端面以及相鄰的另外的所述構(gòu)成零件的另一端的端面的接合部構(gòu)成的三角柱狀的間隙進(jìn)行填埋。
8.一種基板載置臺(tái)，其特征在于 具有如權(quán)利要求6或7所述的環(huán)狀屏蔽部件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種防止在環(huán)狀屏蔽部件的構(gòu)成零件和基板載置臺(tái)之間產(chǎn)生間隙并能夠防止構(gòu)成零件破損的環(huán)狀屏蔽部件。屏蔽環(huán)(15)由四個(gè)環(huán)構(gòu)成零件(41)~(44)構(gòu)成，在各環(huán)構(gòu)成零件(41)~(44)的長(zhǎng)度方向上的固定端設(shè)置有全方向移動(dòng)限制部(45)，單方向移動(dòng)容許部(46)與全方向移動(dòng)限制部(45)離開地設(shè)置，例如以一個(gè)環(huán)構(gòu)成零件(41)的固定端(41a)的端面與相鄰的另一環(huán)構(gòu)成零件(43)的自由端(43b)的側(cè)面抵接，一個(gè)環(huán)構(gòu)成零件(41)的自由端(41b)的側(cè)面與相鄰的又一環(huán)構(gòu)成零件(44)的固定端(44a)的端面抵接的方式，組合各環(huán)構(gòu)成零件(41)~(44)。
文檔編號(hào)H01L21/687GK102956431SQ20121030604
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年8月24日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月26日
發(fā)明者佐佐木芳彥, 南雅人 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社