專利名稱：一種用于晶圓制造的傳送手臂的制作方法
—種用于晶圓制造的傳送手臂方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路芯片制造技術(shù)領(lǐng)域，具體地涉及芯片制造工藝中用于晶圓制造的晶圓傳送手臂。背景技術(shù)：
隨著現(xiàn)代集成電路技術(shù)的迅速發(fā)展，晶圓制造向著大尺寸，集成度高的方向發(fā)展， 此類晶圓在減薄過程中，由于晶圓面積較大，線路層與研磨面應力不均勻，減薄后的晶圓翹曲度越來越大，普通手臂在傳送過程中容易造成真空丟失，甚至掉片，嚴重影響設(shè)備的利用率及產(chǎn)品的質(zhì)量。
現(xiàn)有的用于晶圓上料的傳送手臂都是設(shè)計為Y形結(jié)構(gòu)的機械手臂1，傳送手臂的結(jié)構(gòu)圖參看附圖1，Y形機械手臂I上設(shè)置有三個真空吸嘴2，Y形機械手臂I內(nèi)部設(shè)有三個與真空吸嘴2相通的真空通道3，各個真空通道3均接入同一真空系統(tǒng)4，通過一個真空電磁伐控制真空的開關(guān)，使各個真空吸嘴2與晶圓接觸時達到吸附晶圓的效果。這類傳送手臂適用于較厚的晶圓，在整個傳送過程中真空比較穩(wěn)定，但對于吸取翹曲度較大，翹曲方向不規(guī)則的晶圓時，三個吸嘴在同一高度，而翹曲的晶圓背面不在同一水平面，而三個吸嘴又由同一真空伐控制，很容易造成真空丟失。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題是提供一種用于晶圓制造的傳送手臂。
本發(fā)明實現(xiàn)發(fā)明目的采用的技術(shù)方案是，一種用于晶圓制造的傳送手臂，包括一呈Y形的機械手臂和設(shè)置在機械手臂上的至少兩個吸嘴，每個所述吸嘴通過真空通道分別與一獨立的真空系統(tǒng)連通。
優(yōu)選地，所述吸嘴設(shè)置為三個，所述三個吸嘴通過真空通道分別連通三個獨立的真空系統(tǒng)。
更好地，所述三個吸嘴分別設(shè)置在所述Y形的機械手臂的兩個分叉臂和中間臂上。
更好地，所述分叉臂上的吸嘴設(shè)置在所述分叉臂的頂端位置。
更好地，所述中間臂上的吸嘴設(shè)置在中間臂與分叉臂的連接位置。
更好地，所述吸嘴為圓碟形，所述圓碟形吸嘴的底部中心設(shè)置有與所述真空通道連通的真空口。
更好地，與所述中間臂上的吸嘴連通的真空系統(tǒng)設(shè)置有真空檢測裝置，
具體實施時，所述吸嘴為硅橡膠材料；所述機械手臂采用陶瓷材料。
本發(fā)明通過將傳送手臂上的吸嘴分別連通獨立的真空系統(tǒng)，使傳送手臂在吸取翹曲較大的晶圓時，不容易出現(xiàn)真空丟失，解決了晶圓因吸附不牢固而丟失的問題。

圖1，現(xiàn)有傳送手臂的結(jié)構(gòu)圖。
圖2，本發(fā)明傳送手臂的結(jié)構(gòu)圖。
圖3，吸嘴的結(jié)構(gòu)剖視圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進行詳細說明。
一種用于晶圓制造的傳送手臂，參看附圖2，包括一呈Y形的機械手臂、設(shè)置在機械手臂上的三個吸嘴21、22、23，三個吸嘴通過真空通道31、32、33分別與三個獨立的真空系統(tǒng)41、42、43連通，吸嘴21、22、23均設(shè)計為圓碟形，吸嘴21、22、23的底部中心設(shè)置有與真空通道31、32、33連通的真空口 51、52、53 ;Y形的機械手臂由兩個分叉臂11和中間臂12 組成，吸嘴21、22分別設(shè)置在機械手臂的兩個分叉臂11的頂端位置，吸嘴23設(shè)置在中間臂 12與分叉臂11的連接位置，真空系統(tǒng)43設(shè)置有真空檢測裝置，用以檢測吸嘴23的真空狀態(tài)。為獲得較好的吸附效果，吸嘴均采用硅橡膠材料，具體實施時，機械手臂采用陶瓷材料。 吸嘴的結(jié)構(gòu)剖視圖參看附圖3。
本發(fā)明通過將Y形傳送手臂的真空通道31、32、33設(shè)計為三個獨立的通道，分別連接三個單獨的真空系統(tǒng)41、42、43，同時真空系統(tǒng)43連接設(shè)置有真空檢測裝置，真空系統(tǒng) 41,42可無需連接真空檢測裝置，將吸嘴設(shè)為圓碟形，使吸嘴表面有一定向上的弧度，可以增大吸附接觸面積，增強吸附效果。
通過本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下幾個優(yōu)點
1、三個吸嘴21、22、23都有單獨的真空系統(tǒng)41、42、43，在吸附晶圓的背面時，真空值不會受到相互影響，某個吸嘴掉真空時，不會影響到其它兩個吸嘴的真空值；
2、采用表面積較大的硅橡膠吸嘴，硅橡膠本身比較柔軟，可以克服晶圓翹曲的因素，在吸嘴抽真空與晶圓背面貼緊后，吸嘴的整個上表面與晶圓背面之間存在較大的摩擦力，可以克服在傳送過程中晶圓的移位；
3、具體實施時，將吸嘴23的吸附位置接近晶圓的中心，其吸附效果最好，不容易掉真空，同時，以該點的真空值來檢測整個傳送手臂在吸取晶圓時的真空狀況；
4、由于傳送手臂的三個吸嘴21、22、23與晶圓背面無法達到同一個平面，兩測的吸嘴存在掉真空的風險，所以不用加裝真空檢測裝置，避 免設(shè)備的報警太多，影響設(shè)備利用率。
在上述實施例中，僅對本發(fā)明進行了示范性描述，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員在閱讀本專利申請后可以在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下對本發(fā)明進行各種修改。
權(quán)利要求
1.一種用于晶圓制造的傳送手臂，包括一呈Y形的機械手臂和設(shè)置在機械手臂上的至少兩個吸嘴，其特征在于每個所述吸嘴通過真空通道分別與一獨立的真空系統(tǒng)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓制造的傳送手臂，其特征在于所述吸嘴設(shè)置為三個，所述三個吸嘴通過真空通道分別連通三個獨立的真空系統(tǒng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶圓制造的傳送手臂，其特征在于所述三個吸嘴分別設(shè)置在所述Y形的機械手臂的兩個分叉臂和中間臂上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于晶圓制造的傳送手臂，其特征在于所述分叉臂上的吸嘴設(shè)置在所述分叉臂的頂端位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于晶圓制造的傳送手臂，其特征在于所述中間臂上的吸嘴設(shè)置在中間臂與分叉臂的連接位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的用于晶圓制造的傳送手臂，其特征在于所述吸嘴為圓碟形。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于晶圓制造的傳送手臂，其特征在于所述圓碟形吸嘴的底部中心設(shè)置有與所述真空通道連通的真空口。
8.根據(jù)權(quán)利要求3或5所述的用于晶圓制造的傳送手臂，其特征在于與所述中間臂上的吸嘴連通的真空系統(tǒng)設(shè)置有真空檢測裝置。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于晶圓制造的傳送手臂，其特征在于所述吸嘴為硅橡膠材料。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于晶圓制造的傳送手臂，其特征在于所述機械手臂為陶瓷材料。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于晶圓制造的傳送手臂，包括一呈Y形的機械手臂和設(shè)置在機械手臂上的至少兩個吸嘴，每個所述吸嘴通過真空通道分別與一獨立的真空系統(tǒng)連通。其有益效果是，通過將傳送手臂上的吸嘴分別連通獨立的真空系統(tǒng)，使傳送手臂在吸取翹曲較大的晶圓時，不容易出現(xiàn)真空丟失，解決了晶圓因吸附不牢固而丟失的問題。
文檔編號H01L21/683GK103035553SQ20111029745
公開日2013年4月10日 申請日期2011年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月30日
發(fā)明者劉若鵬, 趙治亞, 法布里奇亞·蓋佐, 李國振 申請人:深圳光啟高等理工研究院, 深圳光啟創(chuàng)新技術(shù)有限公司