技術(shù)編號(hào)：7160859
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。—種用于晶圓制造的傳送手臂方法本發(fā)明涉及集成電路芯片制造，具體地涉及芯片制造工藝中用于晶圓制造的晶圓傳送手臂。背景技術(shù)隨著現(xiàn)代集成電路技術(shù)的迅速發(fā)展，晶圓制造向著大尺寸，集成度高的方向發(fā)展， 此類晶圓在減薄過程中，由于晶圓面積較大，線路層與研磨面應(yīng)力不均勻，減薄后的晶圓翹曲度越來越大，普通手臂在傳送過程中容易造成真空丟失，甚至掉片，嚴(yán)重影響設(shè)備的利用率及產(chǎn)品的質(zhì)量。現(xiàn)有的用于晶圓上料的傳送手臂都是設(shè)計(jì)為Y形結(jié)構(gòu)的機(jī)械手臂1，傳送手臂的結(jié)構(gòu)圖參看附圖1，Y形...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。