一種帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，尤其是涉及一種帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓是制造IC芯片的原料，晶圓經(jīng)過(guò)多道加工工序和測(cè)試工序后成為IC芯片，IC芯片經(jīng)過(guò)封裝和測(cè)試后即為成品。
[0003]晶圓盒是晶圓制造過(guò)程中必不可少的中間儲(chǔ)存和轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，在晶圓加工過(guò)程中需要多次將晶圓從晶圓盒中取出送往加工位，加工完成后再送回晶圓盒中，這就需要專業(yè)的晶圓搬運(yùn)機(jī)械手來(lái)完成晶圓的取出和送回，晶圓在各加工位間的轉(zhuǎn)運(yùn)也需要專業(yè)的晶圓搬運(yùn)機(jī)械手來(lái)完成。
[0004]傳統(tǒng)的單爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手將晶圓從晶圓盒中取出后送往加工位，晶圓搬運(yùn)機(jī)械手等待晶圓加工完成才能將晶圓從加工位取下送回晶圓盒并取出下一片待加工的晶圓，晶圓在加工位加工的過(guò)程中，晶圓搬運(yùn)機(jī)械手是空閑的，晶圓搬運(yùn)機(jī)械手將加工完成的晶圓送回晶圓盒并取出下一片待加工晶圓的過(guò)程中，加工位是空閑的，這樣影響了設(shè)備的生產(chǎn)效率，降低了設(shè)備的產(chǎn)能。
[0005]帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手可以有效地解決上述問(wèn)題，帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手在從加工位上取下加工完成的晶圓后，同時(shí)放置一片待加工的晶圓到加工位上供加工，減少了設(shè)備的等待時(shí)間，提高了設(shè)備的生產(chǎn)效率，由于在晶圓搬運(yùn)機(jī)械手上增加了對(duì)位裝置，晶圓搬運(yùn)機(jī)械手的移動(dòng)更加安全、可靠。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的解決上述傳統(tǒng)的單爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手在從加工位上取下加工完成的晶圓后，不能同時(shí)放置一片待加工的晶圓到加工位上的缺點(diǎn)，提供一種帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手。
[0007]本發(fā)明的目的可以通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):
本發(fā)明包括:晶圓搬運(yùn)機(jī)械手A爪、晶圓搬運(yùn)機(jī)械手B爪、固定板、固定塊、A爪傳感器座、B爪傳感器座、A爪對(duì)位傳感器、B爪對(duì)位傳感器，晶圓搬運(yùn)機(jī)械手A爪、晶圓搬運(yùn)機(jī)械手B爪固定在固定板底面上，固定塊固定在固定板頂面上并與外界相連，A爪對(duì)位傳感器通過(guò)A爪傳感器座、B爪對(duì)位傳感器通過(guò)B爪傳感器座分裝在固定板頂面的兩側(cè)。
[0008]本發(fā)明的優(yōu)勢(shì)在于:
1.可以同時(shí)對(duì)晶圓盒和加工位進(jìn)行取晶圓和放晶圓的動(dòng)作，提高了生產(chǎn)效率；
2.增加了A爪對(duì)位傳感器和B爪對(duì)位傳感器，可以使得晶圓搬運(yùn)機(jī)械手在和工作位對(duì)位準(zhǔn)確的情況下實(shí)現(xiàn)取晶圓和放晶圓的動(dòng)作，確保晶圓搬運(yùn)機(jī)械手取晶圓和放晶圓的動(dòng)作的安全、可靠。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本發(fā)明的一種帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明:
如圖1所示，一種帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，該裝置包括:晶圓搬運(yùn)機(jī)械手A爪1、晶圓搬運(yùn)機(jī)械手B爪2、固定板3、固定塊4、A爪傳感器座5、B爪傳感器座6、A爪對(duì)位傳感器7、B爪對(duì)位傳感器8，晶圓搬運(yùn)機(jī)械手A爪1、晶圓搬運(yùn)機(jī)械手B爪2固定在固定板3底面上，固定塊4固定在固定板3頂面上并與外界相連，A爪對(duì)位傳感器7通過(guò)A爪傳感器座5、B爪對(duì)位傳感器8通過(guò)B爪傳感器座6分裝在固定板3頂面的兩側(cè)。
[0011]本發(fā)明的工作過(guò)程如下:
1.帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手移動(dòng)至晶圓盒處，晶圓搬運(yùn)機(jī)械手A爪I從晶圓盒中取出I片待加工的晶圓；
2.帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手移動(dòng)至加工位處，B爪對(duì)位傳感器8檢測(cè)帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手與工作位對(duì)位準(zhǔn)確，晶圓搬運(yùn)機(jī)械手B爪2從工作位上取出加工完成的晶圓；
3.帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手按設(shè)定角度旋轉(zhuǎn)，A爪對(duì)位傳感器7檢測(cè)帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手與工作位對(duì)位準(zhǔn)確，晶圓搬運(yùn)機(jī)械手A爪I將待加工的晶圓放置到加工位上；
4.帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手移動(dòng)至晶圓盒處，晶圓搬運(yùn)機(jī)械手B爪2將加工完成的晶圓送回該晶圓在晶圓盒中原來(lái)的取料位置；
5.帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手按設(shè)定角度旋轉(zhuǎn)，晶圓搬運(yùn)機(jī)械手A爪I從晶圓盒中取出下I片待加工的晶圓；
6.重復(fù)2~5的步驟，直至所有的晶圓加工完成。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，其特征是:該裝置包括晶圓搬運(yùn)機(jī)械手A爪、晶圓搬運(yùn)機(jī)械手B爪、固定板、固定塊、A爪傳感器座、B爪傳感器座、A爪對(duì)位傳感器、B爪對(duì)位傳感器，晶圓搬運(yùn)機(jī)械手A爪、晶圓搬運(yùn)機(jī)械手B爪固定在固定板底面上，固定塊固定在固定板頂面上并與外界相連，A爪對(duì)位傳感器通過(guò)A爪傳感器座、B爪對(duì)位傳感器通過(guò)B爪傳感器座分裝在固定板頂面的兩側(cè)。
【專利摘要】一種帶對(duì)位裝置的雙爪晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，該裝置包括：晶圓搬運(yùn)機(jī)械手A爪、晶圓搬運(yùn)機(jī)械手B爪、固定板、固定塊、A爪傳感器座、B爪傳感器座、A爪對(duì)位傳感器、B爪對(duì)位傳感器，晶圓搬運(yùn)機(jī)械手A爪、晶圓搬運(yùn)機(jī)械手B爪固定在固定板底面上，固定塊固定在固定板頂面上并與外界相連，A爪對(duì)位傳感器通過(guò)A爪傳感器座、B爪對(duì)位傳感器通過(guò)B爪傳感器座分裝在固定板頂面的兩側(cè)。本發(fā)明的優(yōu)勢(shì)在于：1.可以同時(shí)對(duì)晶圓盒和加工位進(jìn)行取晶圓和放晶圓的動(dòng)作，提高了生產(chǎn)效率；2.增加了A爪對(duì)位傳感器和B爪對(duì)位傳感器，確保晶圓搬運(yùn)機(jī)械手取晶圓和放晶圓的動(dòng)作的安全、可靠。
【IPC分類】H01L21/68, H01L21/687, H01L21/677
【公開(kāi)號(hào)】CN105070678
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510435068
【發(fā)明人】盧冬青
【申請(qǐng)人】上海功源電子科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年11月18日
【申請(qǐng)日】2015年7月22日