專利名稱：傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造領(lǐng)域或微電子電路制造領(lǐng)域中的工件傳遞技術(shù)，特別 是涉及一種傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的裝置及方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體加工、微電子電路制造領(lǐng)域中，會(huì)涉及多達(dá)幾十種設(shè)備以及幾百個(gè)加工 處理步驟，這些加工處理步驟中的大部分都必須在真空環(huán)境下進(jìn)行。以半導(dǎo)體制造為例，由于半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)逐漸趨向較大的半導(dǎo)體晶圓(從8英 寸到12英寸，而現(xiàn)在已向18英寸發(fā)展)，單晶圓工藝(一次處理一片晶圓)最近已被廣泛 地采用。在單晶圓工藝中，加工設(shè)備一次只能處理一片晶圓先將一片晶圓從大氣環(huán)境傳遞 至制程腔，然后將制程腔抽至真空狀態(tài)，當(dāng)達(dá)到了所需的真空度后，在該真空制程腔中對(duì)該 晶圓進(jìn)行加工；加工完畢后，對(duì)該制程腔充氣，當(dāng)其中的真空度與大氣環(huán)境相差不多時(shí)停止 充氣，打開該制程腔，將經(jīng)過(guò)加工的晶圓傳遞回大氣環(huán)境；然后再引入另一片晶圓按照同樣 的過(guò)程進(jìn)行加工。上述工藝中采用的工件傳遞方式存在以下缺陷一，頻繁地對(duì)制程腔進(jìn)行抽氣和 充氣會(huì)占用大量的加工時(shí)間，同時(shí)也不利于制程腔中真空環(huán)境的保持和控制；二，處理晶圓 的每個(gè)動(dòng)作之間都有特定的順序，每個(gè)動(dòng)作都必須等待前一個(gè)動(dòng)作完成后才能執(zhí)行，由于 每次只對(duì)一片晶圓進(jìn)行處理，所以各個(gè)動(dòng)作之間的等待也會(huì)占用大量的加工時(shí)間。這些因 素都會(huì)導(dǎo)致加工設(shè)備的生產(chǎn)效率十分低下。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的工件傳遞方式會(huì)導(dǎo)致加工效 率低下的缺陷，提供一種能夠極大地提高加工效率的傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的裝置及方 法。本發(fā)明是通過(guò)下述技術(shù)方案來(lái)解決上述技術(shù)問題的一種傳遞工件進(jìn)出真空制程 腔的裝置，其包括一設(shè)于大氣環(huán)境中的工件堆放區(qū)，用于堆放待加工的及加工完畢的工 件；一設(shè)于該真空制程腔中的工件支架，用于固定工件以對(duì)工件進(jìn)行加工；其特點(diǎn)在于，該 裝置還包括設(shè)于大氣環(huán)境與該真空制程腔之間的一第一進(jìn)件腔和一第二進(jìn)件腔，該第一 和第二進(jìn)件腔可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換；一設(shè)于該真空制程腔中的第一機(jī)械手 臂，用于將該第一或第二進(jìn)件腔中的待加工工件傳遞至該工件支架進(jìn)行加工，并將加工完 畢的工件從該工件支架傳遞回該第一或第二進(jìn)件腔；一設(shè)于大氣環(huán)境中的第三機(jī)械手臂， 用于將待加工工件從該工件堆放區(qū)傳遞至該第一或第二進(jìn)件腔，并將加工完畢的工件從該 第一或第二進(jìn)件腔傳遞回該工件堆放區(qū)。較佳地，該裝置還包括一設(shè)于該真空制程腔中的第二機(jī)械手臂；一設(shè)于該真空 制程腔中的緩沖臺(tái)，該緩沖臺(tái)位于該第一和第二進(jìn)件腔與該工件支架之間，并且位于該第 一與第二機(jī)械手臂之間；其中，該第一機(jī)械手臂用于將待加工工件從該第一進(jìn)件腔傳遞至該緩沖臺(tái)、并將加工完畢的工件從該工件支架傳遞回該第一進(jìn)件腔，同時(shí)該第二機(jī)械手臂 用于將待加工工件從該緩沖臺(tái)傳遞至該工件支架進(jìn)行加工；或者，該第二機(jī)械手臂用于將 待加工工件從該第二進(jìn)件腔傳遞至該緩沖臺(tái)、并將加工完畢的工件從該工件支架傳遞回該 第二進(jìn)件腔，同時(shí)該第一機(jī)械手臂用于將待加工工件從該緩沖臺(tái)傳遞至該工件支架進(jìn)行加工。較佳地，該裝置還包括一設(shè)于大氣環(huán)境中的校準(zhǔn)儀，用于校準(zhǔn)工件的位置和角度， 其中該第三機(jī)械手臂在將待加工工件從該工件堆放區(qū)傳遞至該第一或第二進(jìn)件腔的過(guò)程 中將待加工工件送至該校準(zhǔn)儀進(jìn)行校準(zhǔn)。本發(fā)明的另一技術(shù)方案為一種利用上述裝置實(shí)現(xiàn)的傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的 方法，其特點(diǎn)在于，其包括以下步驟=S1、該第三機(jī)械手臂從該工件堆放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量的待 加工工件，送入切換至大氣狀態(tài)的該第一進(jìn)件腔；s2、該第一進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)，然后 該第一進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第一機(jī)械手臂傳遞至該工件支架進(jìn)行加工、加工完 畢后再由該第一機(jī)械手臂將其從該工件支架傳遞回該第一進(jìn)件腔；與此同時(shí)，該第三機(jī)械 手臂從該工件堆放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入切換至大氣狀態(tài)的該第二進(jìn)件腔，然 后該第二進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)；s3、該第二進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第一機(jī)械手 臂傳遞至該工件支架進(jìn)行加工、加工完畢后再由該第一機(jī)械手臂將其從該工件支架傳遞回 該第二進(jìn)件腔；與此同時(shí)，該第一進(jìn)件腔切換至大氣狀態(tài)，該第三機(jī)械手臂將該第一進(jìn)件腔 中的該些加工完畢的工件傳遞回該工件堆放區(qū)，然后從該工件堆放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工 工件，送入該第一進(jìn)件腔，然后該第一進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)；s4、該第一進(jìn)件腔中的該些 工件逐個(gè)地由該第一機(jī)械手臂傳遞至該工件支架進(jìn)行加工、加工完畢后再由該第一機(jī)械手 臂將其從該工件支架傳遞回該第一進(jìn)件腔；與此同時(shí)，該第二進(jìn)件腔切換至大氣狀態(tài)，該 第三機(jī)械手臂將該第二進(jìn)件腔中的該些加工完畢的工件傳遞回該工件堆放區(qū)，并從該工件 堆放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入該第二進(jìn)件腔，然后該第二進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)； &、重復(fù)執(zhí)行步驟S3、、，直至所有的待加工工件都加工完畢。較佳地，該第三機(jī)械手臂在將待加工工件從該工件堆放區(qū)取出后，先傳遞至一設(shè) 于大氣環(huán)境中的校準(zhǔn)儀校準(zhǔn)工件的位置和角度，然后再傳遞至該第一或第二進(jìn)件腔。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述裝置實(shí)現(xiàn)的傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的 方法，其特點(diǎn)在于，其包括以下步驟=S1、該第三機(jī)械手臂從該工件堆放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量的待 加工工件，送入切換至大氣狀態(tài)的該第一進(jìn)件腔；s2、該第一進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)，然后 該第一進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第一機(jī)械手臂傳遞至該緩沖臺(tái)、然后由該第二機(jī)械 手臂將其從該緩沖臺(tái)傳遞至該工件支架進(jìn)行加工、加工完畢后再由該第一機(jī)械手臂將其從 該工件支架傳遞回該第一進(jìn)件腔；與此同時(shí)，該第三機(jī)械手臂從該工件堆放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量 的待加工工件，送入切換至大氣狀態(tài)的該第二進(jìn)件腔，然后該第二進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)； &、該第二進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第二機(jī)械手臂傳遞至該緩沖臺(tái)、然后由該第一 機(jī)械手臂將其從該緩沖臺(tái)傳遞至該工件支架進(jìn)行加工、加工完畢后再由該第二機(jī)械手臂將 其從該工件支架傳遞回該第二進(jìn)件腔；與此同時(shí)，該第一進(jìn)件腔切換至大氣狀態(tài)，該第三機(jī) 械手臂將該第一進(jìn)件腔中的該些加工完畢的工件傳遞回該工件堆放區(qū)，并從該工件堆放區(qū) 取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入該第一進(jìn)件腔，然后該第一進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)；s4、該 第一進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第一機(jī)械手臂傳遞至該緩沖臺(tái)、然后由該第二機(jī)械手臂將其從該緩沖臺(tái)傳遞至該工件支架進(jìn)行加工、加工完畢后再由該第一機(jī)械手臂將其從該 工件支架傳遞回該第一進(jìn)件腔；與此同時(shí)，該第二進(jìn)件腔切換至大氣狀態(tài)，該第三機(jī)械手臂 將該第二進(jìn)件腔中的該些加工完畢的工件傳遞回該工件堆放區(qū)，并從該工件堆放區(qū)取預(yù)設(shè) 數(shù)量的待加工工件，送入該第二進(jìn)件腔，然后該第二進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)；S5、重復(fù)執(zhí)行 步驟S3、、，直至所有的待加工工件都加工完畢。較佳地，該第三機(jī)械手臂在將待加工工件從該工件堆放區(qū)取出后，先傳遞至一設(shè) 于大氣環(huán)境中的校準(zhǔn)儀校準(zhǔn)工件的位置和角度，然后再傳遞至該第一或第二進(jìn)件腔。本發(fā)明的積極進(jìn)步效果在于本發(fā)明在真空制程腔與大氣環(huán)境之間設(shè)置了兩個(gè)進(jìn) 件腔，當(dāng)其中一個(gè)進(jìn)件腔處于真空狀態(tài)并與真空制程腔連通，以對(duì)該進(jìn)件腔中的待加工工 件逐個(gè)進(jìn)行加工時(shí)，另一個(gè)進(jìn)件腔則可以執(zhí)行充氣至大氣狀態(tài)、移出加工完畢的工件、再次 放入批量的待加工工件、重新抽氣至真空狀態(tài)的多個(gè)操作步驟，從而不但能夠在確保該傳 遞過(guò)程不會(huì)對(duì)真空制程腔的真空度產(chǎn)生任何影響的前提下，使工件能夠批量地在真空與大 氣之間進(jìn)行快速傳遞，還避免了由于充氣或抽氣過(guò)程而導(dǎo)致加工流程停滯的現(xiàn)象，極大地 提高了加工效率。更進(jìn)一步地，通過(guò)第一和第二機(jī)械手臂的相互配合，以及緩沖臺(tái)的中轉(zhuǎn)緩 沖作用，使得對(duì)相鄰的每?jī)膳ぜ约跋噜彽拿績(jī)蓚€(gè)工件的加工過(guò)程能夠相互銜接、連續(xù) 進(jìn)行，不必再因?yàn)榍昂蟛襟E之間的等待而浪費(fèi)寶貴的加工時(shí)間，由此，更是大幅提高了加工 效率。


圖1為本發(fā)明的傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的裝置的第一實(shí)施例的示意圖。圖2為本發(fā)明的傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的裝置的第二實(shí)施例的示意圖一。圖3為本發(fā)明的傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的裝置的第二實(shí)施例的示意圖二。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖給出本發(fā)明較佳實(shí)施例，以詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案。實(shí)施例1如圖1所示，本發(fā)明的傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的裝置包括一設(shè)于大氣環(huán)境中 的工件堆放區(qū)1，用于堆放待加工的及加工完畢的工件；一設(shè)于該真空制程腔中的工件支 架2，用于固定工件以對(duì)工件進(jìn)行加工，例如采用圖1-3中所示的離子束對(duì)工件進(jìn)行注入。 特別地，本發(fā)明的該裝置在大氣環(huán)境與該真空制程腔之間，即在圖1-3中所示的真空-大氣 過(guò)渡區(qū)域中，設(shè)置了一第一進(jìn)件腔3和一第二進(jìn)件腔4，該第一和第二進(jìn)件腔為兩個(gè)較小的 真空盒，可以快速地由大氣狀態(tài)抽氣至所需的真空狀態(tài)，或者快速地由真空狀態(tài)充氣至大 氣狀態(tài)，工件可以通過(guò)它們?cè)谡婵张c大氣之間快速傳遞，并且不會(huì)影響真空制程腔內(nèi)的真 空狀態(tài)。為了執(zhí)行工件的傳遞，該裝置還包括一設(shè)于該真空制程腔中的第一機(jī)械手臂5， 用于將該第一或第二進(jìn)件腔中的待加工工件傳遞至該工件支架2進(jìn)行加工，然后再將加工 完畢的工件從該工件支架2傳遞回該第一或第二進(jìn)件腔；以及一設(shè)于大氣環(huán)境中的第三機(jī) 械手臂6，用于將待加工工件從該工件堆放區(qū)1傳遞至該第一或第二進(jìn)件腔，以及將加工完 畢的工件從該第一或第二進(jìn)件腔傳遞回該工件堆放區(qū)1。其中，當(dāng)該第一和第二進(jìn)件腔處于 真空狀態(tài)時(shí)，它們可以與該真空制程腔連通，并允許該第一機(jī)械手臂5 (以及下文所述的第二機(jī)械手臂8)對(duì)其中的工件執(zhí)行移入或移出操作，而當(dāng)該第一和第二進(jìn)件腔處于大氣狀 態(tài)時(shí)，它們可以與大氣環(huán)境連通，并允許該第三機(jī)械手臂6對(duì)其中的工件執(zhí)行移入或移出 操作。由上述裝置實(shí)現(xiàn)的傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的方法包括以下步驟S1、該第三機(jī)械手臂從該工件堆放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量(例如1件 25件)的待加工工 件，送入初始狀態(tài)即為大氣狀態(tài)或者經(jīng)充氣后被切換至大氣狀態(tài)的該第一進(jìn)件腔。S2、將該第一進(jìn)件腔抽氣至真空狀態(tài)，然后該第一進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由 該第一機(jī)械手臂傳遞至該工件支架進(jìn)行加工、加工完畢后再由該第一機(jī)械手臂將其從該工 件支架傳遞回該第一進(jìn)件腔，即每個(gè)工件均依次按照?qǐng)D1中的箭頭A、B、C、D所示的步驟完 成加工過(guò)程；與此同時(shí)，該第三機(jī)械手臂從該工件堆放區(qū)再次取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送 入初始狀態(tài)即為大氣狀態(tài)或者經(jīng)充氣后被切換至大氣狀態(tài)的該第二進(jìn)件腔，然后該第二進(jìn) 件腔抽氣至真空狀態(tài)。S3、該第二進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第一機(jī)械手臂傳遞至該工件支架進(jìn)行 加工、加工完畢后再由該第一機(jī)械手臂將其從該工件支架傳遞回該第二進(jìn)件腔，其中每個(gè) 工件同樣按照?qǐng)D1中箭頭A、B、C、D所示的順序被傳遞；與此同時(shí)，該第一進(jìn)件腔切換至大 氣狀態(tài)，該第三機(jī)械手臂將該第一進(jìn)件腔中的該些加工完畢的工件傳遞回該工件堆放區(qū)， 然后從該工件堆放區(qū)再次取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入該第一進(jìn)件腔，然后該第一進(jìn)件 腔切換至真空狀態(tài)。S4、該第一進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第一機(jī)械手臂傳遞至該工件支架進(jìn)行 加工、加工完畢后再由該第一機(jī)械手臂將其從該工件支架傳遞回該第一進(jìn)件腔；與此同時(shí)， 該第二進(jìn)件腔切換至大氣狀態(tài)，該第三機(jī)械手臂將該第二進(jìn)件腔中的該些加工完畢的工件 傳遞回該工件堆放區(qū)，并從該工件堆放區(qū)再次取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入該第二進(jìn)件 腔，然后該第二進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)。&、重復(fù)執(zhí)行步驟S3、、，直至所有的待加工工件都加工完畢。該第一和第二進(jìn)件腔的設(shè)置可以帶來(lái)如下益處一，由于該第一和第二進(jìn)件腔為 較小的真空盒，其在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間的切換能夠快速進(jìn)行，同時(shí)還避免了對(duì)真空 制程腔的頻繁抽氣、充氣過(guò)程，節(jié)省了因抽氣和充氣所消耗的時(shí)間；二，該第一和第二進(jìn)件 腔作為工件傳遞過(guò)程中的中轉(zhuǎn)緩沖工位，使得工件在真空制程腔與大氣環(huán)境之間的傳遞得 以批量進(jìn)行，提高了傳遞效率；三，當(dāng)其中一個(gè)進(jìn)件腔處于真空狀態(tài)并與真空制程腔連通， 以對(duì)該進(jìn)件腔中的待加工工件逐個(gè)進(jìn)行加工時(shí)，與此同時(shí)，另一個(gè)進(jìn)件腔則可以執(zhí)行充氣 至大氣狀態(tài)、移出加工完畢的工件、再次移入批量的待加工工件、重新抽氣至真空狀態(tài)的多 個(gè)操作步驟，兩組處理過(guò)程同時(shí)執(zhí)行，避免了由于等待充氣或抽氣完成而導(dǎo)致的加工流程 停滯現(xiàn)象，極大地提高了加工效率。實(shí)施例2在實(shí)施例1的裝置中，真空制程腔中的加工過(guò)程仍然是針對(duì)每個(gè)工件逐個(gè)進(jìn)行 的，下一工件的處理步驟必須等前一工件的加工完成之后才能開始。因此，為了更進(jìn)一步 地提高加工效率，如圖2和圖3所示，本發(fā)明的該裝置在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上還可以進(jìn)一步包 括一設(shè)于該真空制程腔中的第二機(jī)械手臂8 ；以及一設(shè)于該真空制程腔中的緩沖臺(tái)7，該 緩沖臺(tái)7位于該第一和第二進(jìn)件腔與該工件支架2之間，并且位于該第一與第二機(jī)械手臂之間。當(dāng)該第一和第二機(jī)械手臂相互配合，以對(duì)批量工件進(jìn)行連續(xù)的傳遞時(shí)，該緩沖臺(tái)7被 用作工件傳遞過(guò)程中的中轉(zhuǎn)緩沖工位。在設(shè)置有緩沖臺(tái)7和第二機(jī)械手臂8的裝置中，傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的方法 包括以下步驟S1、該第三機(jī)械手臂從該工件堆放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量(例如1件 25件)的待加工工 件，送入初始狀態(tài)即為大氣狀態(tài)或者經(jīng)充氣后被切換至大氣狀態(tài)的該第一進(jìn)件腔。S2、該第一進(jìn)件腔抽氣至真空狀態(tài)，然后該第一進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該 第一機(jī)械手臂傳遞至該緩沖臺(tái)、然后由該第二機(jī)械手臂將其從該緩沖臺(tái)傳遞至該工件支架 進(jìn)行加工、加工完畢后再由該第一機(jī)械手臂將其從該工件支架傳遞回該第一進(jìn)件腔，即來(lái) 自該第一進(jìn)件腔的每個(gè)工件均依次按照?qǐng)D2中的箭頭A、B、C、D、E、F所示的順序完成加工 過(guò)程；與此同時(shí)，該第三機(jī)械手臂從該工件堆放區(qū)再次取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入初始 狀態(tài)即為大氣狀態(tài)或者經(jīng)充氣后被切換至大氣狀態(tài)的該第二進(jìn)件腔，然后該第二進(jìn)件腔抽 氣至真空狀態(tài)。S3、該第二進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第二機(jī)械手臂傳遞至該緩沖臺(tái)、然后 由該第一機(jī)械手臂將其從該緩沖臺(tái)傳遞至該工件支架進(jìn)行加工、加工完畢后再由該第二機(jī) 械手臂將其從該工件支架傳遞回該第二進(jìn)件腔，即來(lái)自該第二進(jìn)件腔的每個(gè)工件均依次按 照?qǐng)D3中的箭頭A、B、C、D、E、F所示的順序完成加工過(guò)程；與此同時(shí)，該第一進(jìn)件腔切換 至大氣狀態(tài)，該第三機(jī)械手臂將該第一進(jìn)件腔中的該些加工完畢的工件傳遞回該工件堆放 區(qū)，并從該工件堆放區(qū)再次取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入該第一進(jìn)件腔，然后該第一進(jìn)件 腔切換至真空狀態(tài)。S4、該第一進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第一機(jī)械手臂傳遞至該緩沖臺(tái)、然后 由該第二機(jī)械手臂將其從該緩沖臺(tái)傳遞至該工件支架進(jìn)行加工、加工完畢后再由該第一機(jī) 械手臂將其從該工件支架傳遞回該第一進(jìn)件腔；與此同時(shí)，該第二進(jìn)件腔切換至大氣狀態(tài)， 該第三機(jī)械手臂將該第二進(jìn)件腔中的該些加工完畢的工件傳遞回該工件堆放區(qū)，并從該工 件堆放區(qū)再次取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入該第二進(jìn)件腔，然后該第二進(jìn)件腔切換至真 空狀態(tài)。&、重復(fù)執(zhí)行步驟S3、、，直至所有的待加工工件都加工完畢。在真空制程腔中，通過(guò)該第一和第二機(jī)械手臂的相互配合，以及緩沖臺(tái)的中轉(zhuǎn)緩 沖作用，本實(shí)施例中的該裝置能夠從以下兩個(gè)方面更進(jìn)一步地提高加工效率一，在對(duì)來(lái)自 該第一或第二進(jìn)件腔的同一批工件的處理過(guò)程中，當(dāng)前一工件還處于加工過(guò)程中時(shí)，例如 還處于圖2或圖3中箭頭E或F等所示的移動(dòng)過(guò)程中，或者是正處于工件支架上接受加工 時(shí)，后續(xù)的一個(gè)甚至多個(gè)工件已經(jīng)可以開始進(jìn)入處理流程，例如逐個(gè)開始進(jìn)行圖2或圖3中 箭頭A或B所示的移動(dòng)過(guò)程，由此便使得相鄰兩個(gè)工件的加工可以連續(xù)進(jìn)行，不必等前一工 件的加工完成之后才開始后一工件的加工，提高了加工效率；二，針對(duì)相鄰兩批工件，例如 當(dāng)真空制程腔中還在執(zhí)行對(duì)前一批(例如來(lái)自該第一進(jìn)件腔)工件中的最后幾個(gè)工件的處 理流程時(shí)，后一批(例如來(lái)自該第二進(jìn)件腔)工件中的前幾個(gè)工件已經(jīng)可以開始進(jìn)入處理 流程，由此，相鄰兩批工件的加工便可以連續(xù)進(jìn)行，不必等前批工件的加工完成之后才開始 進(jìn)行后批工件的加工，更進(jìn)一步地提高了加工效率。另外，為了獲得更高的加工精度，需要在對(duì)工件進(jìn)行加工處理之前，先行校準(zhǔn)其位置和角度，該校準(zhǔn)過(guò)程一般采用校準(zhǔn)儀進(jìn)行。如圖1-3所示，在上述兩個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明 的該裝置還可以設(shè)置一校準(zhǔn)儀9，為了不影響真空制程腔中的工藝步驟的連續(xù)進(jìn)行，較佳地 將該校準(zhǔn)儀9設(shè)于大氣環(huán)境中，該第三機(jī)械手臂6在將待加工工件從該工件堆放區(qū)1取出 后，先傳遞至該校準(zhǔn)儀9進(jìn)行工件位置和角度的校準(zhǔn)，然后再傳遞至該第一或第二進(jìn)件腔 進(jìn)行后續(xù)加工，由此使得該校準(zhǔn)過(guò)程能夠與真空制程腔中的機(jī)械動(dòng)作同時(shí)進(jìn)行，節(jié)省了因 校準(zhǔn)而占用的加工時(shí)間。參考圖2和圖3，以下將以半導(dǎo)體加工領(lǐng)域的單晶圓加工工藝為例，對(duì)本發(fā)明的傳 遞工件進(jìn)出真空制程腔的方法進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。1.第三機(jī)械手臂6從工件堆放區(qū)1取多片晶圓(編號(hào)一 五，注該處以5片為 例，但采用1 25片均可實(shí)現(xiàn))；2.第三機(jī)械手臂6把5片晶圓放到校準(zhǔn)儀9上校準(zhǔn)晶圓的位置和角度；3.第三機(jī)械手臂6把校準(zhǔn)好的5片晶圓放到已經(jīng)處于大氣狀態(tài)的第一進(jìn)件腔3中 (假設(shè)第一進(jìn)件腔3的初始狀態(tài)為大氣狀態(tài)，并且其靠近大氣環(huán)境一側(cè)的門已經(jīng)打開)；4.第一進(jìn)件腔3靠近大氣一側(cè)的門關(guān)閉，并開始抽真空；在步驟4 14中，第三 機(jī)械手臂6從工件堆放區(qū)1取出多片晶圓(編號(hào)六 十)，在對(duì)晶圓進(jìn)行校準(zhǔn)之后，持有著 該些晶圓在第二進(jìn)件腔4外進(jìn)入等待狀態(tài)，此時(shí)如果第二進(jìn)件腔4不處于大氣狀態(tài)，則開始 對(duì)其進(jìn)行充氣，待變?yōu)榇髿鉅顟B(tài)后，再打開其靠近大氣環(huán)境一側(cè)的門，如果第二進(jìn)件腔4已 經(jīng)處于大氣狀態(tài)，則打開其靠近大氣環(huán)境一側(cè)的門；5.第一進(jìn)件腔3靠近真空一側(cè)的門打開；6.第一機(jī)械手臂5從第一進(jìn)件腔3取出晶圓一；7.第一機(jī)械手臂5把晶圓一放到緩沖臺(tái)7上；8.第一機(jī)械手臂5從第一進(jìn)片腔3取出晶圓二，同時(shí)第二機(jī)械手臂8從緩沖臺(tái)7 上取走晶圓一；9.第一機(jī)械手臂5把晶圓二放到緩沖臺(tái)7上，第二機(jī)械手臂8把晶圓一放到工件 支架2上；10.晶圓一在工件支架2上被加工，同時(shí)第一機(jī)械手臂5從第一進(jìn)片腔3取出晶圓 三，且第二機(jī)械手臂8從緩沖臺(tái)7上取走晶圓二 ；11.第一機(jī)械手臂5把晶圓三放到緩沖臺(tái)7上；12.工件支架2從加工狀態(tài)回到裝卸工件狀態(tài)；13.第一機(jī)械手臂5從工件支架2取走晶圓一；14.第一機(jī)械手臂5把晶圓一放回第一進(jìn)件腔3，同時(shí)第二機(jī)械手臂8把晶圓二放 到工件支架2上；15.晶圓二在工件支架2上被加工，同時(shí)第一機(jī)械手臂5從第一進(jìn)片腔3取出晶圓 四，第二機(jī)械手臂8從緩沖臺(tái)7上取走晶圓三；此時(shí)，第三機(jī)械手臂6把校準(zhǔn)好的另外5片 晶圓(編號(hào)六 十)放到已經(jīng)處于大氣狀態(tài)的第二進(jìn)件腔4中，然后第二進(jìn)件腔4開始關(guān) 門抽真空；16.晶圓二在工件支架2上被加工，同時(shí)第一機(jī)械手臂5把晶圓四放到緩沖臺(tái)7 上；17.工件支架2從加工狀態(tài)回到裝卸工件狀態(tài)；機(jī)械手臂8把晶圓三放
-進(jìn)片腔3取出晶圓18.第一機(jī)械手臂5從工件支架2取走晶圓二 ；19.第一機(jī)械手臂5把晶圓二放回第一進(jìn)件腔3，同時(shí)第 到工件支架2上；20.晶圓三在工件支架2上被加工，同時(shí)第一機(jī)械手臂5從第-五，同時(shí)第二機(jī)械手臂8從緩沖臺(tái)7上取走晶圓四；21.晶圓三在工件支架2上被加工，同時(shí)第一機(jī)械手臂5把晶圓五放到緩沖臺(tái)7 上；機(jī)械手臂8把晶圓四放機(jī)械手臂8把晶圓五放進(jìn)件腔4的真空度已經(jīng)
22.工件支架2從加工狀態(tài)回到裝卸工件狀態(tài)；
23.第一機(jī)械手臂5從工件支架2取走晶圓三；
24.第一機(jī)械手臂5把晶圓三放回第一進(jìn)件腔3，同時(shí)第 到工件支架2上；25.晶圓四在工件支架2上被加工，同時(shí)第二機(jī)械手臂8從緩沖臺(tái)7取走晶圓五；26.工件支架2從加工狀態(tài)回到裝卸工件狀態(tài)；27.第一機(jī)械手臂5從工件支架2取走晶圓四；28.第一機(jī)械手臂5把晶圓四放回第一進(jìn)件腔3，同時(shí)第 到工件支架2上；29.晶圓五在工件支架2上被加工；30.工件支架2從加工狀態(tài)回到裝卸工件狀態(tài)；此時(shí)，第 達(dá)到要求，打開其靠近真空一側(cè)的門；31.第一機(jī)械手臂5從工件支架2上取走晶圓五，第二機(jī)械手臂8從第 取走晶圓六；32.第— 沖臺(tái)7上；33.第— 晶圓七；此時(shí)，第-34.第— 沖臺(tái)7上；35.晶圓六在工件支架2上被加工，第-第二機(jī)械手臂8從第二進(jìn)件腔4取走晶圓八；進(jìn)件腔4
-機(jī)械手臂5把晶圓五放回第一進(jìn)件腔3，第二機(jī)械手臂8把晶圓六放到緩
-機(jī)械手臂5從緩沖臺(tái)7取走晶圓六，第二機(jī)械手臂8從第二進(jìn)件腔4取走
-進(jìn)件腔3關(guān)閉其真空一側(cè)的門，開始進(jìn)行充氣；
-機(jī)械手臂5把晶圓六放到工件支架2上，第二機(jī)械手臂8把晶圓七放到緩
4幾械手臂5從工件支架2上取走晶圓七， 36.晶圓六在工件支架2上被加工，同時(shí)第二機(jī)械手臂8把晶圓八放到緩沖臺(tái)7上； 37.工件支架2從加工狀態(tài)回到裝卸工件狀態(tài)； 38.第二機(jī)械手臂8從工件支架2取走晶圓六； 39.第二機(jī)械手臂8把晶圓六放回第二進(jìn)件腔4，同時(shí)第一機(jī)械手臂5把晶圓七放 到工件支架2上；在步驟39 50中，第一進(jìn)件腔3完成充氣，并打開其靠近大氣一側(cè)的門， 第三機(jī)械手臂6把已經(jīng)加工完畢的晶圓(編號(hào)一 五)放回工件堆放區(qū)1，并取出晶圓(編 號(hào)十一 十五)，校準(zhǔn)后放到第一進(jìn)件腔3中，然后第一進(jìn)件腔3開始抽真空； 40.晶圓七在工件支架2上被加工，同時(shí)第一機(jī)械手臂5從緩沖臺(tái)7上取走晶圓 八，第二機(jī)械手臂8從第二進(jìn)件腔4取走晶圓九；
上；
41.晶圓七在工件支架2上被加工，同時(shí)第二機(jī)械手臂8把晶圓九放到緩沖臺(tái)7
42.工件支架2從加工狀態(tài)回到裝卸工件狀態(tài)；
43.第二機(jī)械手臂8從工件支架2取走晶圓七；
44.第二機(jī)械手臂8把晶圓七放回第二進(jìn)件腔4，同時(shí)第-
4幾械手臂5把晶圓八放
到工件支架2上；
九，第 上；
45.晶圓八在工件支架2上被加工，同時(shí)第-機(jī)械手臂8從第二進(jìn)件腔4取走晶圓十；
46.晶圓八在工件支架2上被加工，同時(shí)第:
-機(jī)械手臂5從緩沖臺(tái)7上取走晶圓機(jī)械手臂8把晶圓十放到緩沖臺(tái)7
4幾械手臂5把晶圓九放
-機(jī)械手臂5從緩沖臺(tái)7上取走晶圓
47.工件支架2從加工狀態(tài)回到裝卸工件狀態(tài)；
48.第二機(jī)械手臂8從工件支架2取走晶圓八；
49.第二機(jī)械手臂8把晶圓八放回第二進(jìn)件腔4，同時(shí)第-到工件支架2上；50.晶圓九在工件支架2上被加工，同時(shí)第-十；51.工件支架2從加工狀態(tài)回到裝卸工件狀態(tài)；第一進(jìn)件腔3抽真空完畢，打開其 靠近真空一側(cè)的門；52.第二機(jī)械手臂8從工件支架2取走晶圓九；53.第二機(jī)械手臂8把晶圓九放回第二進(jìn)件腔4，同時(shí)第一機(jī)械手臂5把晶圓十放 到工件支架2上；54.晶圓十在工件支架2上被加工；55.工件支架2從加工狀態(tài)回到裝卸工件狀態(tài)；56.第二機(jī)械手臂8從工件支架2取走晶圓十；同時(shí)第一機(jī)械手臂5從第一進(jìn)件 腔3取出晶圓十一；57.第一機(jī)械手臂5把晶圓i^一放到緩沖臺(tái)7上，同時(shí)第二機(jī)械手臂8把晶圓十放 回第二進(jìn)件腔4;58.第一機(jī)械手臂5從第一進(jìn)件腔3取出晶圓十二，第二機(jī)械手臂8從緩沖臺(tái)7上 取走晶圓十一，同時(shí)第二進(jìn)件腔4關(guān)上其靠近真空一側(cè)的門開始充氣，并且在后續(xù)步驟中 第二進(jìn)件腔4打開其靠近大氣一側(cè)的門，通過(guò)第三機(jī)械手臂6把晶圓(編號(hào)六 十)放回 工件堆放區(qū)1，并從工件堆放區(qū)1取出晶圓(編號(hào)十六 二十)，并對(duì)其進(jìn)行校準(zhǔn)；59.第一機(jī)械手臂5把晶圓十二放到緩沖臺(tái)7上，同時(shí)第二機(jī)械手臂8把晶圓十一 放到工件支架2上；60.不斷地重復(fù)上述的步驟16 58，直到所有工件都被加工完畢為止。在本實(shí)施例中，編號(hào)一 五以及編號(hào)十一 十五的晶圓在真空制程腔中的傳遞路 徑如圖2所示，而編號(hào)六 十以及編號(hào)十六 二十的晶圓在真空制程腔中的傳遞路徑則如 圖3所示，對(duì)相鄰的每?jī)膳A以及對(duì)相鄰的每?jī)蓚€(gè)晶圓的加工流程完全連續(xù)進(jìn)行，因此 加工過(guò)程快速高效。通過(guò)優(yōu)化各個(gè)機(jī)械手臂的動(dòng)作以及各個(gè)進(jìn)件腔的抽氣和充氣時(shí)間等一 系列參數(shù)，并且通過(guò)將一些互不影響的機(jī)械動(dòng)作設(shè)計(jì)為同時(shí)進(jìn)行，便可以實(shí)現(xiàn)工件的高速傳遞，大大地節(jié)省了工件被傳遞進(jìn)出真空所占用的傳輸時(shí)間，從而極大地提高了工件加工 設(shè)備的生產(chǎn)效率。在12英寸的半導(dǎo)體晶圓加工工藝中，如果采用本發(fā)明的該裝置和方法來(lái) 傳遞晶圓，將可以使加工設(shè)備對(duì)晶圓的機(jī)械傳遞生產(chǎn)效率超過(guò)400片/小時(shí)。綜上所述，本發(fā)明不但實(shí)現(xiàn)了對(duì)相鄰的每?jī)膳A以及對(duì)相鄰的每?jī)蓚€(gè)晶圓的加 工流程完全連續(xù)進(jìn)行，還實(shí)現(xiàn)了一些互不影響的機(jī)械動(dòng)作的同時(shí)進(jìn)行，從而能夠在真空與 大氣環(huán)境之間快速地傳遞工件，極大地提高了工件加工設(shè)備的生產(chǎn)效率。雖然以上描述了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，這些 僅是舉例說(shuō)明，本發(fā)明的保護(hù)范圍是由所附權(quán)利要求書限定的。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不背 離本發(fā)明的原理和實(shí)質(zhì)的前提下，可以對(duì)這些實(shí)施方式做出多種變更或修改，但這些變更 和修改均落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的裝置，其包括一設(shè)于大氣環(huán)境中的工件堆放區(qū)，用于堆放待加工的及加工完畢的工件；一設(shè)于該真空制程腔中的工件支架，用于固定工件以對(duì)工件進(jìn)行加工；其特征在于，該裝置還包括設(shè)于大氣環(huán)境與該真空制程腔之間的一第一進(jìn)件腔和一第二進(jìn)件腔，該第一和第二進(jìn) 件腔可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換；一設(shè)于該真空制程腔中的第一機(jī)械手臂，用于將該第一或第二進(jìn)件腔中的待加工工件 傳遞至該工件支架進(jìn)行加工，并將加工完畢的工件從該工件支架傳遞回該第一或第二進(jìn)件 腔；一設(shè)于大氣環(huán)境中的第三機(jī)械手臂，用于將待加工工件從該工件堆放區(qū)傳遞至該第一 或第二進(jìn)件腔，并將加工完畢的工件從該第一或第二進(jìn)件腔傳遞回該工件堆放區(qū)。
2.如權(quán)利要求1所述的傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的裝置，其特征在于，該裝置還包括一設(shè)于該真空制程腔中的第二機(jī)械手臂；一設(shè)于該真空制程腔中的緩沖臺(tái)，該緩沖臺(tái)位于該第一和第二進(jìn)件腔與該工件支架之 間，并且位于該第一與第二機(jī)械手臂之間；其中，該第一機(jī)械手臂用于將待加工工件從該第一進(jìn)件腔傳遞至該緩沖臺(tái)、并將加工 完畢的工件從該工件支架傳遞回該第一進(jìn)件腔，同時(shí)該第二機(jī)械手臂用于將待加工工件從 該緩沖臺(tái)傳遞至該工件支架進(jìn)行加工；或者，該第二機(jī)械手臂用于將待加工工件從該第二 進(jìn)件腔傳遞至該緩沖臺(tái)、并將加工完畢的工件從該工件支架傳遞回該第二進(jìn)件腔，同時(shí)該 第一機(jī)械手臂用于將待加工工件從該緩沖臺(tái)傳遞至該工件支架進(jìn)行加工。
3.如權(quán)利要求1或2所述的傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的裝置，其特征在于，該裝置還包 括一設(shè)于大氣環(huán)境中的校準(zhǔn)儀，用于校準(zhǔn)工件的位置和角度，其中該第三機(jī)械手臂在將待 加工工件從該工件堆放區(qū)傳遞至該第一或第二進(jìn)件腔的過(guò)程中將待加工工件送至該校準(zhǔn) 儀進(jìn)行校準(zhǔn)。
4.一種利用權(quán)利要求1所述的裝置實(shí)現(xiàn)的傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的方法，其特征在 于，其包括以下步驟&、該第三機(jī)械手臂從該工件堆放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入切換至大氣狀態(tài) 的該第一進(jìn)件腔；&、該第一進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)，然后該第一進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第一 機(jī)械手臂傳遞至該工件支架進(jìn)行加工、加工完畢后再由該第一機(jī)械手臂將其從該工件支架 傳遞回該第一進(jìn)件腔；與此同時(shí)，該第三機(jī)械手臂從該工件堆放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工 件，送入切換至大氣狀態(tài)的該第二進(jìn)件腔，然后該第二進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)；53、該第二進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第一機(jī)械手臂傳遞至該工件支架進(jìn)行加 工、加工完畢后再由該第一機(jī)械手臂將其從該工件支架傳遞回該第二進(jìn)件腔；與此同時(shí)，該 第一進(jìn)件腔切換至大氣狀態(tài)，該第三機(jī)械手臂將該第一進(jìn)件腔中的該些加工完畢的工件傳 遞回該工件堆放區(qū)，然后從該工件堆放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入該第一進(jìn)件腔，然 后該第一進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)；54、該第一進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第一機(jī)械手臂傳遞至該工件支架進(jìn)行加 工、加工完畢后再由該第一機(jī)械手臂將其從該工件支架傳遞回該第一進(jìn)件腔；與此同時(shí)，該第二進(jìn)件腔切換至大氣狀態(tài)，該第三機(jī)械手臂將該第二進(jìn)件腔中的該些加工完畢的工件傳 遞回該工件堆放區(qū)，并從該工件堆放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入該第二進(jìn)件腔，然后 該第二進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)；S5、重復(fù)執(zhí)行步驟S3、、，直至所有的待加工工件都加工完畢。
5.如權(quán)利要求4所述的傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的方法，其特征在于，該第三機(jī)械手 臂在將待加工工件從該工件堆放區(qū)取出后，先傳遞至一設(shè)于大氣環(huán)境中的校準(zhǔn)儀校準(zhǔn)工件 的位置和角度，然后再傳遞至該第一或第二進(jìn)件腔。
6.一種利用權(quán)利要求2所述的裝置實(shí)現(xiàn)的傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的方法，其特征在 于，其包括以下步驟S1、該第三機(jī)械手臂從該工件堆放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入切換至大氣狀態(tài) 的該第一進(jìn)件腔；6、該第一進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)，然后該第一進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第一 機(jī)械手臂傳遞至該緩沖臺(tái)、然后由該第二機(jī)械手臂將其從該緩沖臺(tái)傳遞至該工件支架進(jìn)行 加工、加工完畢后再由該第一機(jī)械手臂將其從該工件支架傳遞回該第一進(jìn)件腔；與此同時(shí)， 該第三機(jī)械手臂從該工件堆放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入切換至大氣狀態(tài)的該第二 進(jìn)件腔，然后該第二進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)；53、該第二進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第二機(jī)械手臂傳遞至該緩沖臺(tái)、然后由該 第一機(jī)械手臂將其從該緩沖臺(tái)傳遞至該工件支架進(jìn)行加工、加工完畢后再由該第二機(jī)械手 臂將其從該工件支架傳遞回該第二進(jìn)件腔；與此同時(shí)，該第一進(jìn)件腔切換至大氣狀態(tài)，該第 三機(jī)械手臂將該第一進(jìn)件腔中的該些加工完畢的工件傳遞回該工件堆放區(qū)，并從該工件堆 放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入該第一進(jìn)件腔，然后該第一進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)；54、該第一進(jìn)件腔中的該些工件逐個(gè)地由該第一機(jī)械手臂傳遞至該緩沖臺(tái)、然后由該 第二機(jī)械手臂將其從該緩沖臺(tái)傳遞至該工件支架進(jìn)行加工、加工完畢后再由該第一機(jī)械手 臂將其從該工件支架傳遞回該第一進(jìn)件腔；與此同時(shí)，該第二進(jìn)件腔切換至大氣狀態(tài)，該第 三機(jī)械手臂將該第二進(jìn)件腔中的該些加工完畢的工件傳遞回該工件堆放區(qū)，并從該工件堆 放區(qū)取預(yù)設(shè)數(shù)量的待加工工件，送入該第二進(jìn)件腔，然后該第二進(jìn)件腔切換至真空狀態(tài)；55、重復(fù)執(zhí)行步驟S3、、，直至所有的待加工工件都加工完畢。
7.如權(quán)利要求6所述的傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的方法，其特征在于，該第三機(jī)械手 臂在將待加工工件從該工件堆放區(qū)取出后，先傳遞至一設(shè)于大氣環(huán)境中的校準(zhǔn)儀校準(zhǔn)工件 的位置和角度，然后再傳遞至該第一或第二進(jìn)件腔。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種傳遞工件進(jìn)出真空制程腔的裝置，其包括一設(shè)于大氣環(huán)境中的工件堆放區(qū)；一設(shè)于該真空制程腔中的工件支架；設(shè)于大氣環(huán)境與該真空制程腔之間的一第一進(jìn)件腔和一第二進(jìn)件腔，該第一和第二進(jìn)件腔可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換；一設(shè)于該真空制程腔中的第一機(jī)械手臂，用于將該第一或第二進(jìn)件腔中的待加工工件傳遞至該工件支架進(jìn)行加工，并將加工完畢的工件從該工件支架傳遞回該第一或第二進(jìn)件腔；一設(shè)于大氣環(huán)境中的第三機(jī)械手臂，用于將待加工工件從該工件堆放區(qū)傳遞至該第一或第二進(jìn)件腔，并將加工完畢的工件從該第一或第二進(jìn)件腔傳遞回該工件堆放區(qū)。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)在真空與大氣環(huán)境之間快速地傳遞工件，提高生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102122627SQ20101002255
公開日2011年7月13日 申請(qǐng)日期2010年1月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月8日
發(fā)明者陳炯 申請(qǐng)人:上海凱世通半導(dǎo)體有限公司