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導(dǎo)線架中具有轉(zhuǎn)接焊墊的匯流條的堆疊式芯片封裝構(gòu)造的制作方法

文檔序號(hào):7213532閱讀:192來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:導(dǎo)線架中具有轉(zhuǎn)接焊墊的匯流條的堆疊式芯片封裝構(gòu)造的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種多芯片偏移堆疊封裝結(jié)構(gòu),特別涉及一種在導(dǎo)線架上 設(shè)置有匯流條且匯流條上設(shè)置有轉(zhuǎn)接焊墊的多芯片偏移堆疊封裝結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
近年來(lái),半導(dǎo)體的后段工藝都在進(jìn)行三維空間(Three Dimension; 3D)
的封裝,以期利用最少的面積來(lái)達(dá)到相對(duì)大的半導(dǎo)體集成度(Integrated)
或是內(nèi)存的容量等。為了能達(dá)到此目的,現(xiàn)階段已發(fā)展出使用芯片堆疊 (chip stacked)的方式來(lái)達(dá)成三維空間(Three Dimension; 3D)的封裝。
在公知技術(shù)中,芯片的堆疊方式是將多個(gè)芯片相互堆疊于基板上,然 后使用引線接合工藝(wire bonding process)來(lái)將多個(gè)芯片與基板連接。 圖1A是公知的具有相同或是相近芯片尺寸的堆疊型芯片封裝結(jié)構(gòu)的剖面 示意圖。如圖1A所示,公知的堆疊型芯片封裝結(jié)構(gòu)100包括電路基板 (package substrate) 110、芯片120a、芯片120b、間隔物(spacer) 130、 多條導(dǎo)線M0與封裝膠體(encapsuknt) 150。電路基板110上具有多個(gè)焊 墊112,且芯片120a與120b上亦分別具有多個(gè)焊墊122a與122b,其中 焊墊122a與122b是以外圍型(peripheraltype)排列于芯片120a與120b上。 芯片120a設(shè)置于電路基板110上,且芯片120b經(jīng)由間隔物130而設(shè)置于 芯片120a的上方。導(dǎo)線140的兩端是通過(guò)引線接合工藝而分別連接于焊 墊112與122a,以使芯片120a電連接于電路基板110。而其它部分導(dǎo)線 140的兩端亦通過(guò)引線接合工藝而分別連接于焊墊112與122b,以使芯片 120b電連接于電路基板110。至于封裝膠體150則設(shè)置于電路基板110上, 并包覆這些導(dǎo)線M0、芯片120a與120b。
由于焊墊122a與122b是以外圍型排列于芯片120a與120b上,因此
芯片l加a無(wú)法直接承載芯片120b,是以公知技術(shù)必須在芯片UOa與120b 之間設(shè)置間隔物130,使得芯片120a與120b之間相距適當(dāng)?shù)木嚯x,以利 后續(xù)的引線接合工藝的進(jìn)行。然而,間隔物130的使用卻容易造成公知堆 疊型芯片封裝結(jié)構(gòu)100的厚度無(wú)法進(jìn)一步地縮減。
另外,公知技術(shù)提出另一種具有不同芯片尺寸的堆疊型芯片封裝結(jié) 構(gòu),其剖面示意圖如圖1B所示。請(qǐng)參照?qǐng)D1B,公知的堆疊型芯片封裝結(jié) 構(gòu)10包括電路基板(package substrate) 110、芯片120c、芯片120d、多 條導(dǎo)線140與封裝膠體150。電路基板110上具有多個(gè)焊墊112。芯片120c 的尺寸大于芯片120d的尺寸,且芯片120c與120d上亦分別具有多個(gè)焊 墊122c與122d,其中焊墊122c與122d是以外圍型(peripheral type)排列 于芯片120c與120d上。芯片120c設(shè)置于電路基板110上,且芯片120d 設(shè)置于芯片120c的上方。部分導(dǎo)線140的兩端是通過(guò)引線接合工藝(wire bonding process)而分別連接于焊墊112與122c,以使芯片120c電連接于 電路基板110。而其它部分導(dǎo)線140的兩端亦通過(guò)引線接合工藝而分別連 接于焊墊112與122d,以使芯片120d電連接于電路基板110。至于封裝 膠體150則設(shè)置于電路基板110上,并包覆這些導(dǎo)線140、芯片120c與 120d。
由于芯片120d小于芯片120c,因此當(dāng)芯片120d設(shè)置于芯片120c上 時(shí),芯片120d不會(huì)覆蓋住芯片120c的焊墊122c。但是當(dāng)公知技術(shù)將多個(gè) 不同尺寸大小的芯片以上述的方式堆疊出堆疊型芯片封裝結(jié)構(gòu)10時(shí),由 于越上層的芯片尺寸必須越小,是以堆疊型芯片封裝結(jié)構(gòu)10有芯片的堆 疊數(shù)量的限制。
在上述兩種傳統(tǒng)的堆疊方式中,除了有圖IA使用間隔物130的方式, 容易造成堆疊型芯片封裝結(jié)構(gòu)ioo的厚度無(wú)法進(jìn)一步地縮減的缺點(diǎn)以及圖 IB,由于越上層的芯片尺寸必須越小,如此會(huì)產(chǎn)生芯片在設(shè)計(jì)或使用時(shí)會(huì) 受到限制的問(wèn)題之外;還由于堆疊型芯片封裝結(jié)構(gòu)上的芯片設(shè)計(jì)日益復(fù)雜 而使得芯片上的電路連接必須面跳線或跨線,進(jìn)而在工藝上產(chǎn)生出的問(wèn) 題,例如堆疊型芯片封裝結(jié)構(gòu)的產(chǎn)能或是可靠性可能會(huì)降低。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述發(fā)明背景中所述的芯片堆疊方式的缺點(diǎn)及問(wèn)題,本發(fā)明提供 一種使用多芯片偏移堆疊的方式,來(lái)將多個(gè)尺寸相近似的芯片堆疊成一種 三維空間的封裝結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的主要目的是提供一種在匯流條中設(shè)置有轉(zhuǎn)接焊墊的導(dǎo)線架 來(lái)進(jìn)行多芯片偏移堆疊封裝的結(jié)構(gòu),使其具有較高的封裝積集度以及較 薄的厚度。
本發(fā)明的另一主要目的是提供一種在匯流條中設(shè)置有轉(zhuǎn)接焊墊的導(dǎo) 線架來(lái)進(jìn)行多芯片偏移堆疊封裝的結(jié)構(gòu),使其具有較佳的電路設(shè)計(jì)彈性 及較佳的可靠性。
據(jù)此,本發(fā)明提供一種在導(dǎo)線架設(shè)置有轉(zhuǎn)接焊墊的匯流條的多芯片偏
移堆疊封裝結(jié)構(gòu),包含 一個(gè)由多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群、多個(gè)外引腳群 以及芯片承座所組成的導(dǎo)線架,其中芯片承座設(shè)置于多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引
腳群之間,且與多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群形成高度差;多個(gè)形成堆疊排列
的半導(dǎo)體芯片裝置,設(shè)置于芯片承座上且多個(gè)半導(dǎo)體芯片裝置與多個(gè)相對(duì)
排列的內(nèi)引腳群形成電連接;以及一個(gè)封裝體,用以包覆多個(gè)半導(dǎo)體芯片 裝置及導(dǎo)線架;其中導(dǎo)線架中包括至少一個(gè)匯流條,是設(shè)置于多個(gè)相對(duì)排 列的內(nèi)引腳群與芯片承座之間,且匯流條上還被覆絕緣層,絕緣層上選擇 性地形成多個(gè)金屬焊墊。
本發(fā)明接著提供一種在導(dǎo)線架設(shè)置有匯流條的多芯片偏移堆疊封裝 結(jié)構(gòu),包含由多個(gè)外引腳群、多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群以及芯片承座所 組成的導(dǎo)線架,其中芯片承座設(shè)置于多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群之間,且與 多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群形成高度差;多個(gè)堆疊式芯片結(jié)構(gòu),設(shè)置于芯片 承座上且多個(gè)堆疊式芯片結(jié)構(gòu)與多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群形成電連接;及 封裝體,包覆多個(gè)堆疊式芯片結(jié)構(gòu)及導(dǎo)線架,且將多個(gè)外引腳群伸出于封 裝體外;其中導(dǎo)線架中包括至少一個(gè)匯流條,是設(shè)置于多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi) 引腳群與芯片承座之間,且匯流條上還被覆絕緣層,絕緣層上選擇性地形 成多個(gè)金屬焊墊。
本發(fā)明進(jìn)一步提供一種在匯流條設(shè)置有轉(zhuǎn)接焊墊的導(dǎo)線架結(jié)構(gòu),包含 多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳以及一個(gè)設(shè)置于內(nèi)引腳之間并且與內(nèi)引腳形成高 度差的芯片承座以及至少一個(gè)匯流條設(shè)置于多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳與芯 片承座之間并且匯流條上還被覆絕緣層,而絕緣層上選擇性地形成多個(gè)金
屬焊墊。


圖l是已有技術(shù)的示意圖2A是本發(fā)明的芯片結(jié)構(gòu)的《府視圖2B是本發(fā)明的芯片結(jié)構(gòu)的剖面圖2C 2E是本發(fā)明的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)的剖面圖3A 3C是本發(fā)明的重新分布層制造過(guò)程的示意圖4A 4B是本發(fā)明的重新分布層中的焊線接合區(qū)的剖面圖
圖5A 5C是本發(fā)明的具有重新分布層的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)的剖面
圖6A 6B是本發(fā)明的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)封裝的j府視圖7A 7B是本發(fā)明的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)封裝的另一實(shí)施例的俯視
圖8是本發(fā)明的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)封裝的剖面圖9是本發(fā)明的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)封裝的另一實(shí)施例的剖面圖10是本發(fā)明的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)封裝的另一實(shí)施例的剖面圖11是本發(fā)明的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)封裝的另一實(shí)施例的剖面圖12是本發(fā)明的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)封裝的另一實(shí)施例的剖面圖13是本發(fā)明的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)的另一實(shí)施例的剖面圖14是本發(fā)明的多個(gè)多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)封裝的另一實(shí)施例的剖面圖。主要元件標(biāo)記說(shuō)明
10、 100、 400:堆疊型芯片封裝結(jié)構(gòu) 110、 410:電路基板 112、 122a、 122b、 122c、 122d:焊墊 120a、 120b、 120c、 120d:芯片 130:間隔物
140、 242、 420、 420a、 420b:導(dǎo)線
150、 430:封裝膠體
200:芯片
210:芯片主動(dòng)面
220:芯片背面
230:黏著層
240:焊墊
250:焊線接合區(qū)
260:焊線區(qū)邊緣
30:多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)
310:芯片本體
312a:第一焊墊
312b:第二焊墊
320:焊線接合區(qū)
330:第一保護(hù)層
332:第一開(kāi)口
340:重新分布線路層
344:第三焊墊二開(kāi)口 300:芯片結(jié)構(gòu) 400:重新分布層 50:多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu) 500 (a,b,c,d):芯片結(jié)構(gòu) 600:導(dǎo)線架 610:內(nèi)引腳群 6101 6104:內(nèi)引腳 6121-6124:內(nèi)引腳 620:芯片承座 630:匯流條 6301-6302:匯流條 632:絕緣層 634:金屬焊墊 6341 6343:金屬焊墊 640 (a i):金屬導(dǎo)線 70:多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu) a d:焊墊 a' d':焊墊
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明在此所探討的方向?yàn)橐环N使用芯片偏移量堆疊的方式,來(lái)將多 個(gè)尺寸相近似的芯片堆疊成一種三維空間的封裝結(jié)構(gòu)。為了能徹底地了解 本發(fā)明,將在下列的描述中提出詳盡的步驟及其組成。顯然地,本發(fā)明的
施行并未限定芯片堆疊的方式的所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟習(xí)的特殊細(xì)節(jié)。 另一方面,眾所周知的芯片形成方式以及芯片薄化等后段工藝的詳細(xì)步驟 并未描述于細(xì)節(jié)中,以避免造成本發(fā)明不必要的限制。然而,對(duì)于本發(fā)明 的較佳實(shí)施例,則會(huì)詳細(xì)描述如下,然而除了這些詳細(xì)描述之外,本發(fā)明 還可以廣泛地施行在其它的實(shí)施例中,且本發(fā)明的范圍不受限定,其以權(quán) 利要求為準(zhǔn)。
在現(xiàn)代的半導(dǎo)體封裝工藝中,均是將一個(gè)已經(jīng)完成前段工藝(Front End Process)的晶片(wafer)先進(jìn)行薄化處理(Thinning Process),將芯 片的厚度研磨至2 20mil之間;然后,再涂布(coating)或網(wǎng)印(printing) 一層高分子(polymer)材料于芯片的背面,此高分子材料可以是一種樹(shù) 脂(resine),特別是一種B-Stage樹(shù)脂。再通過(guò)一個(gè)烘烤或是照光工藝, 使得高分子材料呈現(xiàn)一種具有黏稠度的半固化膠;再接著,將一個(gè)可以移 除的膠帶(tape)貼附于半固化狀的高分子材料上;然后,進(jìn)行晶片的切 割(sawing process),使晶片成為一顆顆的芯片(die);最后,就可將一
顆顆的芯片與基板連接并且將芯片形成堆疊芯片結(jié)構(gòu)。
參照?qǐng)D2A及圖2B,是完成前述工藝的芯片200的平面示意圖及剖面 示意圖。如圖2A所示,芯片200具有主動(dòng)面210及相對(duì)主動(dòng)面的背面220, 且芯片背面220上已形成黏著層230;在此要強(qiáng)調(diào),本發(fā)明的黏著層230 并未限定為前述的半固化膠,此黏著層230的目的在與基板或是芯片形成 接合,因此,只要是具有此功能的黏著材料,均為本發(fā)明的實(shí)施方式,例 如膠膜(die attached film)。此外,在本發(fā)明的實(shí)施例中,芯片200的主 動(dòng)面210上設(shè)置有多個(gè)焊墊240,且多個(gè)焊墊240已設(shè)置于芯片200的側(cè) 邊上,因此,可以形成一種多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)30,如圖2C所示。而多 芯片偏移堆疊的結(jié)構(gòu)30以焊線接合區(qū)250的邊緣線260為對(duì)準(zhǔn)線來(lái)形成, 因此可以形成類似階梯狀的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)30,在此要說(shuō)明的是,邊 緣線260實(shí)際上是不存在芯片200上,其僅作為參照線。
此外,在本發(fā)明的實(shí)施例中,形成多芯片偏移堆疊的結(jié)構(gòu)30的最上 面的芯片,其上的多個(gè)焊墊240也可以進(jìn)一步的設(shè)置于芯片的另一側(cè)邊上, 如圖2D所示,以便與基板接合時(shí),可有較多的連接點(diǎn)。同時(shí),形成多芯
片偏移堆疊結(jié)構(gòu)30的最上面的芯片,也可以是另一個(gè)尺寸的芯片,例如 一個(gè)尺寸較小的芯片,如圖2E所示。再次要強(qiáng)調(diào)的是,對(duì)于上述形成多 芯片偏移堆疊的結(jié)構(gòu)的芯片的焊墊240設(shè)置或是芯片的尺寸大小,本發(fā)明 并未加以限制,只要能符合上述說(shuō)明的可形成多芯片偏移堆疊的結(jié)構(gòu),均 為本發(fā)明的實(shí)施方式。
本發(fā)明在多芯片偏移堆疊的另一實(shí)施例中,是使用一種重新分布層 (Redistribution Layer; RDL)來(lái)將芯片上的焊墊設(shè)置到芯片的側(cè)邊上,
以便能形成多芯片偏移堆疊的結(jié)構(gòu),而此重新分布線路層的實(shí)施方式說(shuō)明如下。
請(qǐng)參照?qǐng)D3A 3C,為本發(fā)明的具有重新分布線路層的芯片結(jié)構(gòu)的制 造過(guò)程示意圖。如圖3A所示,首先提供芯片本體310,并且在鄰近于芯 片本體310的單一側(cè)邊規(guī)劃出焊線接合區(qū)320,并將芯片本體310的主動(dòng) 表面上的多個(gè)焊墊312區(qū)分為第一焊墊312a以及第二焊墊312b,其中第 一焊墊312a位于焊線接合區(qū)320內(nèi),而第二焊墊312b則位于焊線接合區(qū) 320外。接著請(qǐng)參照?qǐng)D3B,在芯片本體310上形成第一保護(hù)層330,其中 第一保護(hù)層330具有多個(gè)第一開(kāi)口 332,以暴露出第一焊墊312a與第二焊 墊312b。然后在第一保護(hù)層330上形成重新分布線路層340。而重新分布 線路層340包括多條導(dǎo)線342與多個(gè)第三焊墊344,其中第三焊墊344位 于焊線接合區(qū)320內(nèi),且這些導(dǎo)線342分別從第二焊墊312b延伸至第三 焊墊344,以使第二焊墊312b電連接于第三焊墊344。此外,重新分布線 路層340的材料,可以為金、銅、鎳、鈦化鎢、鈦或其它的導(dǎo)電材料。再 請(qǐng)參照?qǐng)D3C,在形成重新分布線路層340后,將第二保護(hù)層350覆蓋于 重新分布線路層340上,而形成芯片300的結(jié)構(gòu),其中第二保護(hù)層350具 有多個(gè)第二開(kāi)口 352,以暴露出第一焊墊312a與第三焊墊344。
要強(qiáng)調(diào)的是,雖然上述的第一焊墊312a與第二焊墊312b是以外圍型 排列于芯片本體310的主動(dòng)表面上,然而第一焊墊312a與第二焊墊312b 亦可以通過(guò)面陣列形態(tài)(area array type)或其它的形態(tài)排列于芯片本體310 上,當(dāng)然第二焊墊312b亦是通過(guò)導(dǎo)線342而電連接于第三焊墊344 。另 外,本實(shí)施例亦不限定第三焊墊344的排列方式,雖然在圖3B中第三焊墊344與第一焊墊312a排列成兩列,并且沿著芯片本體310的單一側(cè)邊 排列,但是第三焊墊344與第一焊墊312a亦可以以單列、多列或是其它 的方式排列于焊線接合區(qū)320內(nèi)。
請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D4A與圖4B,為圖3C中分別沿剖面線A-A,與B-B,所 表示的剖面示意圖。由上述圖3可知芯片300主要包括芯片本體310以及 重新分布層400所組成,其中重新分布層400由第一保護(hù)層330、重新分 布線路層340與第二保護(hù)層350所形成。芯片本體310具有焊線接合區(qū) 320,且焊線接合區(qū)320鄰近于芯片本體310的單一側(cè)邊。另外,芯片本 體310具有多個(gè)第一焊墊312a以及第二焊墊312b,其中第一焊墊312a 位于焊線接合區(qū)320內(nèi),且第二焊墊312b位于焊線接合區(qū)320外。
第一保護(hù)層330設(shè)置于芯片本體310上,其中第一保護(hù)層330具有多 個(gè)第一開(kāi)口 332,以暴露出這些第一焊墊312a與第二焊墊312b。重新分 布線路層340設(shè)置于第一保護(hù)層330上,其中重新分布線路層340從第二 焊墊312b延伸至焊線接合區(qū)320內(nèi),且重新分布線路層340具有多個(gè)第 三焊墊344,其設(shè)置于焊線接合區(qū)320內(nèi)。第二保護(hù)層350覆蓋于重新分 布線路層340上,其中第二保護(hù)層350具有多個(gè)第二開(kāi)口 352,以暴露出 這些第一焊墊312a與第三焊墊344。由于第一焊墊312a與第三焊墊344 均位于焊線接合區(qū)320內(nèi),因此第二保護(hù)層350上的焊線接合區(qū)320以外 的區(qū)域便能夠提供一個(gè)承載的平臺(tái),以承載另一個(gè)芯片結(jié)構(gòu),因此,可以 形成一種多芯片偏移堆疊的結(jié)構(gòu)30。
請(qǐng)參照?qǐng)D5A,為本發(fā)明的一種多芯片偏移堆疊的結(jié)構(gòu)50。多芯片偏 移堆疊結(jié)構(gòu)50由多個(gè)芯片500堆疊而成,其中芯片500上具有重新分布 層400,故可將芯片上的焊墊312b設(shè)置于芯片的焊線接合區(qū)320之上,因 此這種多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50以焊線接合區(qū)320的邊緣為對(duì)準(zhǔn)線來(lái)形成。 而多個(gè)芯片500之間以高分子材料所形成的黏著層230來(lái)連接。此外,在 本發(fā)明的實(shí)施例中,形成多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50的最上面的芯片,可以 選擇保留焊墊312b的接點(diǎn),如圖5B所示,以便與基板接合時(shí),可有較多 的連接點(diǎn),而形成此芯片結(jié)構(gòu)的方式如圖4B所示。同時(shí),形成多芯片偏 移堆疊結(jié)構(gòu)50的最上面的芯片,也可以是另一個(gè)尺寸的芯片,例如一個(gè)
尺寸較小的芯片,如圖5C所示。再次要強(qiáng)調(diào)的是,對(duì)于上述形成多芯片 偏移堆疊結(jié)構(gòu)的芯片的焊墊設(shè)置或是芯片的尺寸大小,本發(fā)明并未加以限 制,只要能符合上述說(shuō)明的可形成多芯片偏移堆疊的結(jié)構(gòu),均為本發(fā)明的 實(shí)施方式。此外,在本發(fā)明的其它實(shí)施例中,還可以在芯片500的其它邊 緣區(qū)域設(shè)置焊線接合區(qū),例如在焊線接合區(qū)320的對(duì)邊或是相鄰兩側(cè)邊規(guī) 劃出焊線接合區(qū)。由于,這些實(shí)施例只是焊線接合區(qū)位置的改變,故相關(guān) 的細(xì)節(jié),在此不再多作贅述。
接著,本發(fā)明依據(jù)上述的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)30及50還提出一種堆 疊式芯片封裝結(jié)構(gòu),并且詳細(xì)說(shuō)明如下。同時(shí),在如下的說(shuō)明過(guò)程中,將 以多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50為例子進(jìn)行,然而要強(qiáng)調(diào)的是,多芯片偏移堆 疊結(jié)構(gòu)30亦適用本實(shí)施例所披露的內(nèi)容。
首先,請(qǐng)參照?qǐng)D6A及圖6B,為本發(fā)明的堆疊式芯片封裝結(jié)構(gòu)的平面 示意圖。如圖6A及第圖6B所示,堆疊式芯片封裝結(jié)構(gòu)包括導(dǎo)線架600 及多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50所組成,其中導(dǎo)線架600由多個(gè)成相對(duì)排列的 內(nèi)引腳群610、多個(gè)外引腳群(圖中未示出)以及芯片承座620所組成, 其中芯片承座620設(shè)置于多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群610之間,同時(shí)多個(gè)相 對(duì)排列的內(nèi)引腳群610與芯片承座620之間也可以形成高度差或是形成共 平面。在本實(shí)施例中,多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50設(shè)置在芯片承座620之上, 并且通過(guò)金屬導(dǎo)線640將多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50與導(dǎo)線架600的內(nèi)引腳 群610連接。
繼續(xù)請(qǐng)參照?qǐng)D6A及圖6B,在本發(fā)明的堆疊式芯片封裝結(jié)構(gòu)的導(dǎo)線架 600中,還進(jìn)一步包括至少一個(gè)匯流條630 (busbar)設(shè)置于芯片承座620 與多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群610之間,其中匯流條630可以釆用條狀設(shè)置, 如圖6A及圖6B所示;同時(shí)匯流條630也可以采用環(huán)狀設(shè)置,如圖7A及 圖7B所示。此外,如前所述,在芯片500的焊線接合區(qū)320里的焊墊 312a/344可以是單列排列,如圖6及圖7所示;也可以是雙列排列,本發(fā) 明并未限制。另外,為了使導(dǎo)線架600能夠提供更多的電接點(diǎn),以作為電 源接點(diǎn)、接地接點(diǎn)或信號(hào)接點(diǎn)的電連接,在本發(fā)明中的匯流條630上還 設(shè)置絕緣層632并且在絕緣層632上再設(shè)置至少一個(gè)金屬焊墊634。如此
一來(lái),使得匯流條630上多了許多的轉(zhuǎn)接焊墊,故可以提供電路設(shè)計(jì)上更 多的彈性及應(yīng)用。
此外,就上述的絕緣層632而言,其可利用涂布(coating)或是網(wǎng)印 (printing)高分子材料來(lái)形成,例如聚亞酰胺(polyimide, PI),或是也可 以利用黏貼(attaching)的方式來(lái)形成,例如使用膠帶(die attached film)。 而金屬焊墊634則可利用電鍍(plating)工藝或是蝕刻(etching)工藝, 將金屬層形成在絕緣層632之上。在此要強(qiáng)調(diào),本發(fā)明的絕緣層632可以 是設(shè)置在整個(gè)導(dǎo)線架630之上,當(dāng)然也可以以多段方式形成在導(dǎo)線架630 之上,本發(fā)明也未加以限制。同時(shí),絕緣層632上的多個(gè)金屬焊墊634則 可以選擇性地設(shè)置在絕緣層632上,如圖6A及圖6B所示;而圖7A及圖 7B則是將絕緣層632及金屬焊墊634設(shè)置在整個(gè)環(huán)形的匯流條630上的 示意圖。進(jìn)一步說(shuō),本發(fā)明亦可以在金屬焊墊634上再形成絕緣層并且再 于此絕緣層上再一次的形成金屬焊墊,如此可使得匯流條630上再多了許 多的轉(zhuǎn)接焊墊。
接著說(shuō)明本發(fā)明使用匯流條630來(lái)達(dá)成金屬導(dǎo)線640跳線連接的過(guò) 程,請(qǐng)?jiān)賲⒄請(qǐng)D6A。圖6A顯示一個(gè)將芯片500上的焊墊a (a')及焊墊 c (c')與內(nèi)引腳6102 (6122)及內(nèi)引腳6104 (6124)連接的示意圖。很 明顯地,本實(shí)施例可以利用匯流條6301及匯流條6302上的多個(gè)金屬焊墊 634作為轉(zhuǎn)接點(diǎn)來(lái)達(dá)到將焊墊a (a')及焊墊c (c')與內(nèi)引腳6102 (6122) 及內(nèi)引腳6104 (6124)跳線連接,而不會(huì)產(chǎn)生金屬導(dǎo)線640相互跨越的情 形。例如,先以一條金屬導(dǎo)線640將芯片500上的焊墊a先連接到匯流條 6301上的金屬焊墊6341 ,然后再以另一條金屬導(dǎo)線640將匯流條6301上 的金屬焊墊6341與內(nèi)引腳6102連接。因此,可以達(dá)到將焊墊a與內(nèi)引腳 6102完成連接,而避免將焊墊a直接與內(nèi)引腳6102時(shí)所必須跨越另一條 連接焊墊b及內(nèi)引腳6101的金屬導(dǎo)線640。然后,進(jìn)行將焊墊c與內(nèi)引腳 6102跳線連接,先以一條金屬導(dǎo)線640將芯片500上的焊墊c先連接到匯 流條6301上的金屬焊墊6342 ,然后再以另 一條金屬導(dǎo)線640將匯流條6301 上的金屬焊墊6342與內(nèi)引腳6104連接。因此,可以達(dá)到將焊墊c與內(nèi)引 腳6104完成連接,而避免將焊墊c直接與內(nèi)引腳6102連接時(shí),所必須跨越另一條連接焊墊d及內(nèi)引腳6103的金屬導(dǎo)線640。而在另一側(cè)邊的焊墊 a'及焊墊c'與內(nèi)引腳6122及內(nèi)引腳6124跳線連接過(guò)程也是使用匯流條 6302上的金屬焊墊6343及金屬焊墊6344作為轉(zhuǎn)接點(diǎn)來(lái)形成連接,而此連 接過(guò)程與前述相同,因此在完成焊墊a'及焊墊c'與內(nèi)引腳6122及內(nèi)引腳 6124的連接后,也不會(huì)產(chǎn)生金屬導(dǎo)線640相互跨越的情形。
而在另一實(shí)施例中,如圖6B所示,當(dāng)芯片500上有多個(gè)焊墊必須要 進(jìn)行跳線連接時(shí),即可使用多條匯流條630的結(jié)構(gòu)來(lái)達(dá)成。圖6B也是顯 示一個(gè)將芯片500上的焊墊a (a,)及焊墊c (c')與內(nèi)引腳6102 (6122) 及內(nèi)引腳6104 (6124)連接的示意圖。很明顯地,本實(shí)施例可以利用匯流 條6301及匯流條6302上的多個(gè)金屬焊墊634作為轉(zhuǎn)接點(diǎn)來(lái)達(dá)到將焊墊a
(a')及焊墊c (c')與內(nèi)引腳6102 (6122)及內(nèi)引腳6104 (6124)跳線 連接,而不會(huì)產(chǎn)生金屬導(dǎo)線640相互跨越的情形。例如,先以一條金屬導(dǎo) 線640將芯片500上的焊墊a先連接到匯流條6301上的金屬焊墊6341 , 然后再以另一條金屬導(dǎo)線640將匯流條6301上的金屬焊墊6341與內(nèi)引腳 6102連接;接著,以一條金屬導(dǎo)線640將芯片500上的焊墊b連接到匯流 條6302上的金屬焊墊6343,然后再以另一條金屬導(dǎo)線640將匯流條6302 上的金屬焊墊6343與內(nèi)引腳6101連接。因此,可以達(dá)到將焊墊a與內(nèi)引 腳6102連接以及將焊墊b與內(nèi)引腳6101連接,而不會(huì)產(chǎn)生金屬導(dǎo)線640 相互跨越的情形。然后,進(jìn)行將焊墊c與內(nèi)引腳6104連接,同樣地,以 一條金屬導(dǎo)線640將芯片500上的焊墊c先連接到匯流條6301上的金屬 焊墊6342 ,然后再以另 一條金屬導(dǎo)線640將匯流條6301上的金屬焊墊6342 與內(nèi)引腳6104連接;接著,以一條金屬導(dǎo)線640將芯片500上的焊塾d 連接到匯流條6302上的金屬焊墊6344,然后再以另一條金屬導(dǎo)線640將 匯流條6302上的金屬焊墊6344與內(nèi)引腳6103連接。因此,可以達(dá)到將 焊墊c與內(nèi)引腳6104連接以及將焊墊d與內(nèi)引腳6103連接,而不會(huì)產(chǎn)生 金屬導(dǎo)線640相互跨越的情形。而在另一側(cè)邊的焊墊(a' d')與內(nèi)引腳
(6121 6124)跳線連接過(guò)成也是使用相同的過(guò)程,因此也不會(huì)產(chǎn)生金屬 導(dǎo)線640相互跨越的情形。
因此,本發(fā)明的通過(guò)導(dǎo)線架600中的匯流條630來(lái)作為多個(gè)轉(zhuǎn)接點(diǎn)的
結(jié)構(gòu),在進(jìn)行電路連接而必須跳線連接時(shí),可以避免金屬導(dǎo)線的交錯(cuò)跨越, 而造成不必要的短路,使得封裝完成的芯片產(chǎn)生可靠性的問(wèn)題,同時(shí),具
有匯流條630時(shí),也可使得電路設(shè)計(jì)時(shí)可以更彈性。而在圖7的實(shí)施例中, 也可依匯流條630的結(jié)構(gòu)進(jìn)行金屬導(dǎo)線的連接。
另外,要再次強(qiáng)調(diào),本發(fā)明的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50系接于導(dǎo)線架 600之上,其中多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50中的多個(gè)芯片500,其可以是相同 尺寸及相同功能的芯片(例如內(nèi)存芯片),或是多個(gè)芯片500中的芯片 尺寸及功能不相同(例如最上層的芯片是驅(qū)動(dòng)芯片而其它的芯片則是內(nèi) 存芯片),如圖2E及圖5C所示。而對(duì)于多芯片偏移堆疊的芯片尺寸或是 芯片功能等,并非本發(fā)明的特征,于此便不再贅述。
接著請(qǐng)參照?qǐng)D8,為本發(fā)明沿圖6A沿AA線段剖面的多芯片偏移堆 疊封裝結(jié)構(gòu)的剖面示意圖。如圖8所示,導(dǎo)線架600與多芯片偏移堆疊結(jié) 構(gòu)50之間是由多條金屬導(dǎo)線640來(lái)連接,其中導(dǎo)線架600由多個(gè)相對(duì)排 列的內(nèi)引腳群610、多個(gè)外引腳群(圖中未示出)以及芯片承座620所組 成,而芯片承座620設(shè)置于多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群610之間,且與多個(gè) 相對(duì)排列的內(nèi)引腳群610形成高度差,以及匯流條63 0設(shè)置于內(nèi)引腳群610 與芯片承座620之間;在本實(shí)施例中的匯流條630是與芯片承座620成共 平面的設(shè)置。金屬導(dǎo)線640以引線接合工藝將金屬導(dǎo)線640a的一端連接 于芯片500a的第一焊墊312a或第三焊墊344 (例如前述圖3中第一焊墊 312a或第三焊墊344),而金屬導(dǎo)線640a的另一端則連接于芯片結(jié)構(gòu)500b 的第一焊墊312a或第三焊墊344;接著,將金屬導(dǎo)線640b的一端連接于 芯片500b的第一焊墊312a或第三焊墊344上,然后再將金屬導(dǎo)線640b 的另一端連接至芯片500c的第一焊墊312a或第三焊墊344上;接著再重 復(fù)金屬導(dǎo)線640a及640b的過(guò)程,以金屬導(dǎo)線640c來(lái)將芯片500c與芯片 500d完成電連接;再接著,以金屬導(dǎo)線640d將芯片500a與導(dǎo)線架600 的多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群610完成電連接。如此一來(lái),通過(guò)金屬導(dǎo)線 640a、 640b、 640c及640d等逐層完成連接后,便可以將芯片500a、 500b、 500c及500d電連接于導(dǎo)線架600,其中這些金屬導(dǎo)線640的材質(zhì)可以使 用金。
同時(shí),由于本實(shí)施例的導(dǎo)線架600上設(shè)置有金屬焊墊634的匯流條 630,其可作為包括電源接點(diǎn)、接地接點(diǎn)或信號(hào)接點(diǎn)的電連接。例如, 當(dāng)匯流條630上的金屬焊墊634作為電路連接的轉(zhuǎn)接點(diǎn)時(shí),故可將金屬導(dǎo) 線640e的一端連接于芯片500a的焊墊(例如焊墊a,)上,而金屬導(dǎo)線 640e的另一端連接至匯流條(例如匯流條6302)之上或是選擇性地連 接至一個(gè)或多個(gè)金屬焊墊(例如金屬焊墊6343)之上,然后再由金屬導(dǎo) 線640h將金屬焊墊6343連接至某一個(gè)內(nèi)引腳(例如內(nèi)引腳6122)上。 此外,多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50最上層的芯片500d,其也可再將其上的多 個(gè)焊墊設(shè)置于芯片的另一側(cè)邊上,如圖2D及圖5B所示。故在芯片500d 的另一側(cè)邊,則可通過(guò)多條金屬導(dǎo)線640g來(lái)將芯片500d (例如焊墊b) 與內(nèi)引腳群610 (例如內(nèi)引腳6101)連接。然后將金屬導(dǎo)線640f的一 端連接于芯片500d的焊墊(例如焊墊a)上,而金屬導(dǎo)線640f的另一 端連接至匯流條(例如匯流條6301)之上或是選擇性地連接至一個(gè)或多 個(gè)金屬焊墊(例如金屬焊墊6341)之上,然后再由金屬導(dǎo)線640i將金 屬焊墊6341連接至某一個(gè)內(nèi)引腳(例如內(nèi)引腳6102)上。
由于匯流條630上已設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)絕緣層632以及位于絕緣層 632上的多個(gè)金屬焊墊634,可以使得多芯片堆疊結(jié)構(gòu)50上的焊墊連接方 式更具彈性,例如,可以利用此匯流條630的結(jié)構(gòu),將某幾個(gè)金屬焊墊634 設(shè)定為接地接點(diǎn),而某幾個(gè)金屬焊墊634則設(shè)定為電源接點(diǎn),甚至于可以 將設(shè)定某幾個(gè)金屬焊墊634也設(shè)定為信號(hào)接點(diǎn)。因此,這些金屬焊墊634 的設(shè)置,則形成類似轉(zhuǎn)接焊墊的功能。故當(dāng)多芯片堆疊結(jié)構(gòu)50上的焊墊 需要跳線或跨線才能完成電路的連接時(shí),就不需要橫向跨過(guò)其它的金屬導(dǎo) 線,而可通過(guò)金屬焊墊634的轉(zhuǎn)接來(lái)完成。如此,就不會(huì)產(chǎn)生為了跨越其
它金屬導(dǎo)線而使要跨越的金屬導(dǎo)線的弧度增加,也因此不但可以增加電路 設(shè)計(jì)或是應(yīng)用上的彈性,也可以有效的提高封裝工藝的產(chǎn)能及可靠性。
另外,還要強(qiáng)調(diào)的是,芯片500b直接堆疊于芯片500a上,兩者間是 以高分子材料230作為黏著層來(lái)固接在一起,并且芯片500b是堆疊于芯 片500a的焊線接合區(qū)320以外的區(qū)域,如圖5a至圖5c所示,是以后續(xù) 的引線接合工藝能夠順利地進(jìn)行。此外,本實(shí)施例并未限制金屬導(dǎo)線640的引線接合工藝,故其也可以選擇由芯片500d上的焊墊向芯片500a的方 向來(lái)依次連接,最后再將芯片500a與導(dǎo)線架600連接。
接著請(qǐng)參照?qǐng)D9,為本發(fā)明沿圖6B BB線段剖面的多芯片偏移堆疊結(jié) 構(gòu)的另一實(shí)施例的剖面示意圖。如圖9所示,圖9與圖8的差異處在于圖 9中的匯流條630是使用多個(gè)匯流條的結(jié)構(gòu),而上述多個(gè)匯流條630的設(shè) 置方式可以是圖6B的條狀設(shè)置,也可以是圖7B中的環(huán)狀設(shè)置。同樣的, 在本實(shí)施例中的匯流條630上也設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)絕緣層632以及位于絕 緣層632上的多個(gè)金屬焊墊634。很明顯地,由于匯流條數(shù)量的增加,使 得可以作為轉(zhuǎn)接焊墊的數(shù)量也就增加,因此可以使得多芯片堆疊結(jié)構(gòu)50 上的焊墊連接方式更具彈性,例如,可以利用此匯流條630的結(jié)構(gòu),將某 幾個(gè)金屬焊墊634或是某一個(gè)匯流條630上的金屬焊墊634設(shè)定為接地接 點(diǎn),而某幾個(gè)金屬焊墊634或是某一個(gè)匯流條630上的金屬焊墊634則可 以設(shè)定為電源接點(diǎn),甚至于可以將某幾個(gè)金屬焊墊634或是某一個(gè)匯流條 630上的金屬焊墊634也設(shè)定為信號(hào)接點(diǎn)。因此,這些金屬焊墊634的設(shè) 置,則形成類似轉(zhuǎn)接焊墊的功能。除此之外,還可通過(guò)匯流條630之間的 連接,可使匯流條630作為包括電源接點(diǎn)、接地接點(diǎn)或信號(hào)接點(diǎn)的電連 接更具彈性。故當(dāng)多芯片堆疊結(jié)構(gòu)50上的焊墊需要跳線或跨線才能完成 電路的連接時(shí),就不需要橫向跨過(guò)其它的金屬導(dǎo)線,而可通過(guò)金屬焊墊634
的轉(zhuǎn)接來(lái)完成。如此,就不會(huì)產(chǎn)生為了跨越其它金屬導(dǎo)線而使要跨越的金 屬導(dǎo)線的弧度增加,也因此不但可以增加電路設(shè)計(jì)或是應(yīng)用上的彈性,也 可以有效的提高封裝工藝的產(chǎn)能及可靠性。而在圖9中的導(dǎo)線架600與多 芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50之間使用復(fù)數(shù)條導(dǎo)線640的連接過(guò)程與圖6B及圖8 相同,在此不再贅述。
接著請(qǐng)參照?qǐng)D10,為本發(fā)明沿圖6A沿AA線段剖面的多芯片偏移堆 疊結(jié)構(gòu)的另一實(shí)施例的剖面示意圖。如圖IO所示,導(dǎo)線架600與多芯片 偏移堆疊結(jié)構(gòu)50之間由多條導(dǎo)線640來(lái)連接,其中導(dǎo)線架600系由多個(gè) 相對(duì)排列的內(nèi)引腳群610、多個(gè)外引腳群(圖中未示出)以及芯片承座620 所組成,而芯片承座620系設(shè)置于多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群610之間,且 與多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群610形成高度差,以及至少一條或是至少一個(gè)
環(huán)狀的匯流條630設(shè)置在內(nèi)引腳群610與芯片承座620之間,特別的是在 本實(shí)施例中的匯流條630是與內(nèi)引腳群610成共平面的設(shè)置,其中在匯流 條630上也設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)絕緣層632以及位手絕錄層上的多個(gè)金 屬焊墊634。接著,當(dāng)多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50與導(dǎo)線架600接合后,即進(jìn) 行導(dǎo)線架600與多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50之間的打線連接,由于將導(dǎo)線架 600與多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50以金屬導(dǎo)線640連接的過(guò)程與上述實(shí)施例相 同,且引線接合工藝并非本發(fā)明的特征,于此便不再贅述。同時(shí),由于本 實(shí)施例的導(dǎo)線架600上設(shè)置有匯流條630以及多個(gè)金屬焊墊634,因此也 可以通過(guò)導(dǎo)線640的連接,用以作為包括電源接點(diǎn)、接地接點(diǎn)或信號(hào)接 點(diǎn)的電連接,也就是說(shuō)可以將多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50上的第一焊墊312a 或第三焊墊344選擇性地與匯流條630上的金屬焊墊634連接。在此要強(qiáng) 調(diào),雖然圖10的匯流條630為條狀結(jié)構(gòu)或是環(huán)狀結(jié)構(gòu)的示意圖,然而在
實(shí)施的應(yīng)用上,可以視電路的設(shè)計(jì)以及復(fù)雜情形而使用多條匯流條;而對(duì) 多條匯流條630之間的應(yīng)用與圖6、圖7及圖8的實(shí)施例相同,于此也不
再贅述。
再接著請(qǐng)?jiān)賲⒄請(qǐng)D11 ,為本發(fā)明沿圖6A沿AA線段剖面的多芯片偏 移堆疊結(jié)構(gòu)的再一實(shí)施例的剖面示意圖。如圖11所示,導(dǎo)線架600與多 芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50之間由多條導(dǎo)線640來(lái)連接,其中導(dǎo)線架600由多 個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群610、多個(gè)外引腳群(圖中未示出)以及芯片承座 620所組成,而芯片承座620設(shè)置于多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群610之間, 且與多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群610形成高度差,以及至少一條或是至少一 個(gè)環(huán)狀的匯流條630設(shè)置在內(nèi)引腳群610與芯片承座620之間。很明顯地, 圖11與圖8及圖10的導(dǎo)線架600與多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50之間的結(jié)構(gòu) 近似相同,其間的差異僅在于匯流條630的設(shè)置高度不相同,其中圖11 中的匯流條630設(shè)置于導(dǎo)線架600的內(nèi)引腳群610與芯片承座620之間, 并且匯流條630與內(nèi)引腳群610及芯片承座620三者之間具有高度差,其 中在匯流條630上也設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)絕緣層632以及位于絕緣層632上 的多個(gè)金屬焊墊634。同樣的,由于弓l線接合工藝并非本發(fā)明的特征,于 此便不再贅述。同時(shí),由于本實(shí)施例的導(dǎo)線架600上設(shè)置有匯流條630以
及多個(gè)金屬焊墊634,因此也可以通過(guò)導(dǎo)線640的連接,用以作為包括電 源接點(diǎn)、接地接點(diǎn)或信號(hào)接點(diǎn)的電連接,也就是說(shuō)可以將多芯片偏移 堆疊結(jié)構(gòu)50上的第一焊墊312a或第三焊墊344選擇性地與匯流條630上 的金屬焊墊634連接。在此要強(qiáng)調(diào),雖然圖11的匯流條630為條狀結(jié)構(gòu) 或是環(huán)狀結(jié)構(gòu)的示意圖,然而在實(shí)施的應(yīng)用上,可以視電路的設(shè)計(jì)以及復(fù) 雜情形而使用多條匯流條;而對(duì)多條匯流條630之間的應(yīng)用與圖6、圖7 及圖8的實(shí)施例相同,于此也不再贅述。
接著再請(qǐng)參照?qǐng)D12所示,為本發(fā)明沿圖6A沿AA線段剖面的多芯片 偏移堆疊結(jié)構(gòu)的再一實(shí)施例的剖面示意圖。如圖12所示,在本實(shí)施例中 的導(dǎo)線架600由多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群610、多個(gè)外引腳群(未標(biāo)示于 圖上)以及芯片承座620所組成,而芯片承座620設(shè)置于多個(gè)相對(duì)排列的 內(nèi)引腳群610之間,且與多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群610形成共平面的結(jié)構(gòu), 以及至少一條設(shè)置在內(nèi)引腳群610與芯片承座620之間的匯流條630,其 中匯流條630與內(nèi)引腳群610與芯片承座620之間會(huì)形成高度差,而在匯 流條630上也設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)絕緣層632以及位于絕緣層632上的多個(gè) 金屬焊墊634。同樣的,當(dāng)多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50與導(dǎo)線架600接合后, 進(jìn)行金屬導(dǎo)線640的打線連接,由于將導(dǎo)線架600與多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu) 50以金屬導(dǎo)線640連接的過(guò)程與上述實(shí)施例相同,且引線接合工藝并非本 發(fā)明的特征,于此便不再贅述。同時(shí),由于本實(shí)施例的導(dǎo)線架600上設(shè)置 有匯流條630以及多個(gè)金屬焊墊634,因此也可以通過(guò)導(dǎo)線640的連接, 用以作為包括電源接點(diǎn)、接地接點(diǎn)或信號(hào)接點(diǎn)的電連接,也就是說(shuō)可 以將多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50上的第一焊墊312a或第三焊墊344選擇性地 與匯流條630上的金屬焊墊634連接。在此仍然要強(qiáng)調(diào),雖然第12圖的 匯流條630為條狀結(jié)構(gòu)或是環(huán)狀結(jié)構(gòu)的示意圖,然而在實(shí)施的應(yīng)用上,可
以視電路的設(shè)計(jì)以及復(fù)雜情形而使用多條匯流條;而對(duì)多條匯流條630之 間的應(yīng)用與圖6及圖7的實(shí)施例相同,于此也不再贅述。
通過(guò)以上的說(shuō)明,本發(fā)明中所述的實(shí)施例并未限制堆疊芯片500的數(shù) 量,凡所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)可依據(jù)上述所披露的方法,而制造出具 有三個(gè)以上的芯片500的堆疊式芯片封裝結(jié)構(gòu)。同時(shí),本發(fā)明的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50的堆疊方向也不限定實(shí)施例中所披露者,其亦可將芯片500 的堆疊方向以相對(duì)于先前實(shí)施例中所披露的方向進(jìn)行偏移量的堆疊,如圖 13所示。至于圖13中的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)70之間的芯片接合方式、堆 疊式芯片結(jié)構(gòu)70與導(dǎo)線架600接合的方式以及使用金屬導(dǎo)線640連接多 芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)70與導(dǎo)線架600的方式等等,均與先前所述實(shí)施例相 同,于此便不再贅述。
由于導(dǎo)線架600上的內(nèi)引腳群610是相對(duì)排列的,故本發(fā)明還提出一 種將不同方向的多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50、 70共同設(shè)置于一導(dǎo)線架600的 芯片承座620之上,如圖14所示。同樣的,圖14中的多芯片偏移堆疊結(jié) 構(gòu)50、 70與導(dǎo)線架600接合的方式以及以金屬導(dǎo)線640來(lái)連接多芯片偏 移堆疊結(jié)構(gòu)50、 70與導(dǎo)線架600的方式,均與先前所述實(shí)施例相同,于 此便不再贅述。同時(shí),由于本實(shí)施例的導(dǎo)線架600上設(shè)置有匯流條630且 在匯流條630上也設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)絕緣層632以及位于絕緣層632上的 多個(gè)金屬焊墊634。由于芯片數(shù)量的增加,相對(duì)的會(huì)使得電路設(shè)計(jì)更加復(fù) 雜,然而本實(shí)施例的導(dǎo)線架600上設(shè)置有匯流條630以及多個(gè)金屬焊墊 634,因此也可以通過(guò)金屬導(dǎo)線640的連接,用以作為包括電源接點(diǎn)、接 地接點(diǎn)或信號(hào)接點(diǎn)的電連接。當(dāng)多個(gè)多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)50上的每個(gè) 第一焊墊312a或第三焊墊344可以選擇性地與匯流條630上的金屬焊墊 634連接。在此要強(qiáng)調(diào),雖然圖14的匯流條630為條狀結(jié)構(gòu)或是環(huán)狀結(jié)構(gòu) 的示意圖,而在實(shí)施的應(yīng)用上,可以視電路的設(shè)計(jì)以及復(fù)雜情形而使用多 條匯流條。此外,也要再次強(qiáng)調(diào),對(duì)于本實(shí)施例中的多條匯流條630之間 的應(yīng)用與圖6、圖7及圖8的實(shí)施例相同,于此也不再贅述。同時(shí),匯流 條630的設(shè)置位置則可以包括前述圖8至圖12的實(shí)施方式。
顯然地,依照上面實(shí)施例中的描述,本發(fā)明可能有許多的修正與差異。 因此需要在權(quán)利要求的范圍內(nèi)加以理解,除了上述詳細(xì)的描述外,本發(fā)明 還可以廣泛地在其它的實(shí)施例中施行。上述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而 已,并非用以限定本發(fā)明的權(quán)利要求;凡其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神 下所完成的等效改變或改進(jìn),均應(yīng)包含在權(quán)利要求范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種在匯流條設(shè)置有轉(zhuǎn)接焊墊的導(dǎo)線架結(jié)構(gòu),包含多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳以及一個(gè)芯片承座設(shè)置于上述多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳之間并且與上述多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳形成高度差以及至少一個(gè)匯流條設(shè)置于上述多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳與該芯片承座之間,其特征在于該匯流條上還被覆絕緣層,該絕緣層上選擇性地形成多個(gè)金屬焊墊。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)線架結(jié)構(gòu),其特征在于該匯流條與該 芯片承座形成共平面。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)線架結(jié)構(gòu),其特征在于該匯流條與內(nèi) 引腳形成共平面。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)線架結(jié)構(gòu),其特征在于該匯流條與上 述多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳及該芯片承座形成高度差。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)線架結(jié)構(gòu),其特征在于該匯流條上的 該絕緣層為聚亞酰胺或膠膜。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于該匯流條上的該 金屬焊墊可以是由電鍍工藝或是蝕刻工藝形成在該絕緣層上。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)線架結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu),其特征在于該匯流條 為環(huán)狀排列。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)線架結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu),其特征在于該匯流條 為條狀排列。
9. 一種在導(dǎo)線架設(shè)置有轉(zhuǎn)接焊墊的匯流條的堆疊式封裝結(jié)構(gòu),其特征 在于包含導(dǎo)線架,由多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳、多個(gè)外引腳以及芯片承座所組成, 其中該芯片承座設(shè)置于上述多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳之間,且與上述多個(gè)相 對(duì)排列的內(nèi)引腳形成高度差;多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu),由多個(gè)芯片堆疊而成,該多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)設(shè)置于該芯片承座上且與上述多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳形成電連接;封裝體,包覆上述多個(gè)半導(dǎo)體芯片裝置及該導(dǎo)線架,上述多個(gè)外引腳 伸出于該封裝體外;以及至少一個(gè)匯流條,設(shè)置于上述多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳與該芯片承座之 間,該匯流條上還被覆絕緣層,該絕緣層上選擇性地形成多個(gè)金屬焊墊。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于該匯流條與該芯 片承座形成共平面。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于該匯流條與內(nèi)引 腳形成共平面。
12. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于該匯流條與上述 多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)弓I腳與該芯片承座形成高度差。
13. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于該金屬焊墊上 可再被覆第二絕緣層,并于該第二絕緣層上選擇性地形成多個(gè)第二金 屬焊墊。
14. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于該多芯片偏移 堆疊結(jié)構(gòu)中的每一該芯片包括芯片本體,具有焊線接合區(qū)域,該焊線接合區(qū)域鄰近于該芯片本 體的單一側(cè)邊或相鄰兩側(cè)邊,其中該芯片本體具有多個(gè)位于該焊線接 合區(qū)域內(nèi)的第一焊墊以及多個(gè)位于該焊線接合區(qū)域外的第二焊墊;第一保護(hù)層,設(shè)置于該芯片本體上,其中該第一保護(hù)層具有多個(gè) 第一開(kāi)口,以暴露出上述這些第一焊墊與上述這些第二焊墊;重新分布線路層,設(shè)置于該第一保護(hù)層上,其中該重新分布線路 層從上述這些第二焊墊延伸至該焊線接合區(qū)域內(nèi),而該重新分布線路 層具有多個(gè)位于該焊線接合區(qū)域內(nèi)的第三焊墊;以及第二保護(hù)層,覆蓋于該重新分布線路層上,其中該第二保護(hù)層具 有多個(gè)第二開(kāi)口,以暴露出上述這些第一焊墊以及上述這些第三焊墊。
15. —種在導(dǎo)線架設(shè)置有轉(zhuǎn)接焊墊的堆疊式封裝結(jié)構(gòu),其特征在于包含導(dǎo)線架,由多個(gè)外引腳、多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳以及芯片承座所組成, 其中該芯片承座設(shè)置于上述多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳之間,且與上述多個(gè)相 對(duì)排列的內(nèi)引腳形成高度差;多個(gè)多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu),設(shè)置于該芯片承座上且與上述多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳形成電連接;及封裝體,包覆上述多個(gè)多芯片偏移堆疊結(jié)構(gòu)及該導(dǎo)線架,上述多個(gè)外 引腳系伸出于該封裝體外;其中該導(dǎo)線架中包括至少一個(gè)匯流條,設(shè)置于上述多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi) 引腳與該芯片承座之間,該匯流條上還被覆一絕緣層,該絕緣層上選擇性 地形成多個(gè)金屬焊墊。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種在導(dǎo)線架中設(shè)置有轉(zhuǎn)接焊墊的匯流條的堆疊式芯片封裝結(jié)構(gòu),其包含一個(gè)由多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群、多個(gè)外引腳群以及芯片承座所組成的導(dǎo)線架,其中芯片承座是設(shè)置于多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群之間,且與多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群形成高度差;堆疊式芯片裝置是由多個(gè)芯片堆疊形成,設(shè)置于芯片承座上且多個(gè)芯片與多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群形成電連接;以及一個(gè)封裝體,用以包覆堆疊式芯片裝置及導(dǎo)線架;其中導(dǎo)線架中包括至少一個(gè)匯流條,是設(shè)置于多個(gè)相對(duì)排列的內(nèi)引腳群與該芯片承座之間且匯流條上還被覆絕緣層,而絕緣層上選擇性地形成多個(gè)金屬焊墊。
文檔編號(hào)H01L23/495GK101174605SQ20061015039
公開(kāi)日2008年5月7日 申請(qǐng)日期2006年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月1日
發(fā)明者杜武昌, 沈更新 申請(qǐng)人:南茂科技股份有限公司;百慕達(dá)南茂科技股份有限公司
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