專利名稱：物鏡驅(qū)動裝置的檢查方法、檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及物鏡驅(qū)動裝置的檢查方法、檢查裝置。
背景技術(shù)：
公知有一種用于驅(qū)動物鏡的物鏡驅(qū)動裝置，該物鏡用于對
光盤照射記錄或再生信息用的激光(例如，參照日本特開2003 -16668號公報(第1~ 3頁、第11 12圖))。在物鏡驅(qū)動裝置 中，通過沿與光盤表面垂直的方向驅(qū)動物鏡，可進行用于校正 激光在光盤表面上的聚焦錯位的調(diào)焦控制。另外，物鏡驅(qū)動裝 置例如可用于對光盤記錄或再生信息的光拾取裝置。 下面，使用圖ll說明物鏡驅(qū)動裝置l的結(jié)構(gòu)。 基臺10是包括大致長方體狀的磁鐵21及磁鐵22和分別用 于固定設(shè)置磁鐵21及磁鐵22的大致矩形平板狀的磁軛ll及磁 軛12的、形成為板狀的金屬制的臺。詳細(xì)地講，在基臺10上， 以沿著圖ll中的切向方向(安裝于轉(zhuǎn)臺(未圖示)上的光盤(未 圖示)的軌道的切線方向)相面對的方式形成有一對大致矩形 平板狀的磁軛ll、 12，并且在各磁軛ll、 12之間形成有用于設(shè) 置驅(qū)動器ACT的主體部30 (驅(qū)動器主體部)的、被開口 了的規(guī) 定的收容部90。"驅(qū)動器(actuator)"是指例如將能量轉(zhuǎn)換為 平移運動或旋轉(zhuǎn)運動等的驅(qū)動裝置。
另外，磁鐵21及磁鐵22是各自形成為長方形狀且極性不同 的單極的永久磁鐵。以一對磁鐵21及磁鐵22的正面之間夾著基 臺10上的收容部90地相面對的方式將磁鐵21的背面部21b固定 設(shè)置于磁軛11上且將磁鐵2 2的背面部2 2 b固定設(shè)置于磁軛12 上。例如，在處于磁鐵21及磁鐵22的相對面之間的、基臺10
4上的收容部90以及收容部90的周圍/附近形成有磁隙。另外， 磁鐵21及磁鐵22的處于聚焦方向(與安裝于轉(zhuǎn)臺(未圖示)上 的光盤(未圖示)的表面垂直的方向)上的底面部21a、 22a 利用粘接材料粘接于基臺10上側(cè)的表面部10b、 10c上。圖ll 中所示的61、 62表示磁鐵21及磁鐵22與基臺IO的粘接部位。
驅(qū)動器ACT例如包括用于保持物鏡OBL的透鏡保持架31 (保持架)；使裝設(shè)有物鏡OBL等的包括保持架31等在內(nèi)的驅(qū) 動器主體部3 0可移動地彈性支承該驅(qū)動器主體部3 0的大致線 狀的吊線40(線)；固定著大致線狀的吊線40的兩端部41、 42 中的一個端部42的支承^反50、將多才艮(例如，各側(cè)面部31a、 31b各有2根)吊線40的兩端部41、 42中的另 一個端部41分別 卡定在保持架31的沿子午線方向(與光盤表面上的軌道垂直的 方向)相面對的2個側(cè)面部31a、 31b上的卡定構(gòu)件32;主要大 致沿著子午線方向驅(qū)動驅(qū)動器主體部30的跟蹤線圏(tracking coil) 33;主要大致沿著調(diào)焦方向驅(qū)動驅(qū)動器主體部30的聚焦 線圏(focus coil) 34。另外，在驅(qū)動器ACT的主體部30的底 面30a與沿聚焦方向遠(yuǎn)離驅(qū)動器ACT的主體部30的底面30a的、 基臺10的大致中央下降一段的表面10a之間，存在用于供驅(qū)動 器A C T的主體部3 0沿聚焦方向移動的空間9 0 a 。
吊線4 0是借助卡定構(gòu)件3 2彈性地支承驅(qū)動器A C T的主體 部30且具有用于向跟蹤線圈33、聚焦線圈34等中通入電流的導(dǎo) 線功能的金屬制的線。具體地講，吊線40與基臺10大致平行地 延伸，其 一端部41通過焊錫助溶劑分別卡定于卡定構(gòu)件32上， 且其另一端部42通過焊錫劑、阻尼劑等固定于支承板50上。另 外，阻尼劑起到吸收驅(qū)動/移動驅(qū)動器ACT的主體部30時的異
常振動等振動的作用。
支承板50是用于固定吊線40的另一端部42的板。另外，支承板50與基臺IO例如借助金屬制的外殼(未圖示)等相互固定。 如上所述，在圖11中，除了基臺10及保持架31之外的構(gòu)成 元件構(gòu)成驅(qū)動機構(gòu)，該驅(qū)動機構(gòu)使物鏡OBL沿聚焦方向、跟蹤 方向移動地驅(qū)動保持架31。
粘接部位61、 62是利用粘接劑將磁鐵21、 22的底面部21a、 22a與基臺10上側(cè)的表面部10b、 10c之間粘接起來的部位，但 有時產(chǎn)生例如該粘接劑流出或滲出到與設(shè)有保持架31的驅(qū)動 器ACT的主體部30的背面30a相面對的、基臺IO的大致中央下 降一段的表面10a上的現(xiàn)象。另外，還存在該粘接劑未按規(guī)定 涂敷于粘接部位61、 62,而附著在與驅(qū)動器ACT的主體部30 的背面30a相面對的、基臺10的大致中央下降一段的表面10a 上的情況。
另外，驅(qū)動器ACT的主體部30的卡定構(gòu)件32例如是通過釆 用了焊錫助溶劑進行的錫焊等來卡定吊線40的一端部41的，但 在進行該錫焊作業(yè)時，有時該焊錫助溶劑會附著在與驅(qū)動器 ACT的主體部30的背面30a相面對的、基臺IO的大致中央下降 一段的表面10a上。
并且，吊線40的另 一端部42例如是采用焊錫劑、阻尼劑等 固定于支承板50上的，但在進行該固定作業(yè)時，有時阻尼劑會 附著在與驅(qū)動器ACT的主體部30的背面30a相面對的、基臺10 的大致中央下降一,爻的表面10a上。
假定發(fā)生如上所述地粘接劑、焊錫助溶劑、阻尼劑等這樣 的具有粘接性的異物附著在與驅(qū)動器ACT的主體部30的背面 30a相面對的、基臺IO的大致中央下降一段的表面10a上的情 況。在這種情況下，為了進行調(diào)焦控制而使驅(qū)動器ACT的主體 部30向使驅(qū)動器ACT的主體部30的背面30a靠近基臺10的大致 中央下降一段的表面10a的方向移動時，由于上述那樣的具有粘接性的異物而將驅(qū)動器ACT的主體部30的背面30a與基臺10 的大致中央下降 一 段的表面10 a粘接起來。
在該狀況下存在這樣的問題，即，在欲使驅(qū)動器ACT的主 體部30向使驅(qū)動器ACT的主體部30的背面30a遠(yuǎn)離基臺10的大 致中央下降一段的表面10a的方向移動時，驅(qū)動器ACT的主體
法為線性)，調(diào)焦控制無法成為想要進行的控制。
另外，并不僅限于上述具有粘接性的異物，在驅(qū)動器ACT 的主體部30的背面30a與基臺IO的大致中央下降一段的表面 1 Oa之間混入垃圾等異物的情況下，也同樣地存在驅(qū)動器ACT 的主體部30無法順暢地移動這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個技術(shù)方案是一種物鏡驅(qū)動裝置的檢查方法， 該物鏡驅(qū)動裝置包括基臺、物鏡、在上述基臺上保持上述物鏡 的保持架、驅(qū)動上述保持架而使上述物鏡沿聚焦方向移動的驅(qū) 動機構(gòu)，其中，該檢查方法包括通過上述物鏡出射激光的工序、 使通過上述物鏡出射的上述激光通過規(guī)定直徑的光圏 (aperture)的工序、對上述驅(qū)動4幾構(gòu)施加用于使上述保持架 在最靠近上述基臺表面的第l位置與比上述第l位置距上述基 臺表面遠(yuǎn)的第2位置之間移動的驅(qū)動電壓的工序、對通過了上 述光圏的上述激光進行光電轉(zhuǎn)換的工序、基于上述光電轉(zhuǎn)換后 的信號檢查物鏡驅(qū)動裝置的工序。
通過附圖及本說明書的記載內(nèi)容明確本發(fā)明的其他特征。


為了完整地理解本發(fā)明及其優(yōu)點，請參照以下說明與附圖。
7圖l是表示本實施方式的物鏡驅(qū)動裝置的檢查裝置的結(jié)構(gòu) 的圖。
圖2是表示本實施方式的拆下了光拾取裝置的情況下的第 24全查工具的立體圖。
圖3是表示本實施方式的拆下了光傳感器后的第2檢查工 具的俯視圖。
圖4是用于說明本實施方式的光圈的位置調(diào)整的圖。 圖5是用于說明本實施方式的光圏的位置調(diào)整的圖。 圖6是用于說明本實施方式的光圈的位置調(diào)整的圖。 圖7是用于說明本實施方式的光圈的位置調(diào)整的圖。 圖8A是表示執(zhí)行了本實施方式的物鏡驅(qū)動裝置的檢查方
法后的、結(jié)果為正常情況下的波形顯示器的顯示畫面的圖。
圖8B是表示執(zhí)行了本實施方式的物鏡驅(qū)動裝置的檢查方
法后的、結(jié)果為不正常情況下的波形顯示器的顯示畫面的圖。 圖9A是表示執(zhí)行了本實施方式的物鏡驅(qū)動裝置的檢查方
法后的、結(jié)果為正常情況下的波形顯示器的顯示畫面的圖。
圖9 B是表示執(zhí)行了本實施方式的物鏡驅(qū)動裝置的檢查方
法后的、結(jié)果為不正常情況下的波形顯示器的顯示畫面的圖。 圖IO是光拾取裝置的立體圖。
圖ll是表示物鏡驅(qū)動裝置的俯視圖和剖視圖的圖。
具體實施例方式
根據(jù)本說明書及附圖的記載至少可明確以下事項。 檢查裝置的結(jié)構(gòu)
圖l是表示用于檢查本發(fā)明的物鏡驅(qū)動裝置進行調(diào)焦控制 時的動作狀況的檢查裝置W的整體結(jié)構(gòu)的圖。另外，為了便于 說明，設(shè)檢查裝置W的檢查對象為圖ll所示的物鏡驅(qū)動裝置l。物鏡驅(qū)動裝置I的檢查裝置W主要由穩(wěn)定電源裝置IOO、第 1檢查工具110 (驅(qū)動電壓生成器)、APC (Automatic Power Control ,自動功率控制)120 、 LVDS ( Low Voltage Differential Signaling,低電壓差分信號)轉(zhuǎn)換器130、第2 檢查工具140、 1/V放大器150(電流/電壓轉(zhuǎn)換電路)和示波 器160 (波形顯示器)構(gòu)成。
穩(wěn)定電源裝置100是用于對APC120及I / V放大器150供 給DC電壓的電源裝置。穩(wěn)定電源裝置100通過電纜103與 APC120相連接，并且通過電纜105與I/ V放大器150相連接。
第1檢查工具110是進行用于檢查驅(qū)動器ACT的主體部30 沿聚焦方向移動的設(shè)定的主要工具。具體地講，該第l檢查工 具110通過產(chǎn)生對構(gòu)成光拾取裝置OPU的驅(qū)動器ACT的聚焦線 圈34施加的驅(qū)動電壓而生成聚焦線圏驅(qū)動電壓FV。另外，聚焦 線圏驅(qū)動電壓FV自圖l中的第1檢查工具110的+端子lll、-
光拾取裝置OPU的驅(qū)動器ACT的聚焦線圏34供給。
APC120進行用于使設(shè)于光拾取裝置OPU上的激光光源 (未圖示)以恒定的電力發(fā)光的控制。具體地講，APC120接 收自穩(wěn)定電源裝置100供給來的DC電壓并通過LVDS轉(zhuǎn)換器 130將電力供給到光拾取裝置OPU的激光光源，并且向光拾取 裝置OPU的激光光源等供給控制信號。另外，自APC120輸出 的控制信號通過電纜123而被傳送到LVDS轉(zhuǎn)換器130。另外， 作為激光光源(光源)，例如可列舉出激光二極管(LD: laser diode)等發(fā)光元件等。
LVDS轉(zhuǎn)換器130接收自APC120通過電纜123傳送來的電 力和控制信號，對控制信號進行LVDS轉(zhuǎn)換，將電力和控制信 號供給到上述激光光源，并且將自第1檢查工具110通過雙股扭絞電纜113傳送來的聚焦線圏驅(qū)動電壓F V施加給驅(qū)動器A C T的 聚焦線圈34。 APC120、第1檢查工具110起到信號源的作用， LVDS轉(zhuǎn)換器130起到面向第2檢查工具140的中繼裝置及 LVDS無線電收發(fā)兩用機的作用。LVDS轉(zhuǎn)換器130例如通過撓 性電纜24 (電纜)等與設(shè)于第2檢查工具140上的光拾取裝置 OPU相連接。
第2檢查工具140是進行用于對構(gòu)成驅(qū)動器ACT的驅(qū)動器 主體部3 0在聚焦方向上的移動進行檢查的操作的例如次要工 具。第2檢查工具140主要包括光傳感器144和具有針孔143的光 圈142。另外，光拾取裝置OPU設(shè)于第2檢查工具140中。另夕卜， 光圏142、光傳感器144以及光拾取裝置OPU與水平面(X-Y 平面)平4亍地配設(shè)。
光拾取裝置OPU的外觀結(jié)構(gòu)示于圖IO中。圖IO表示拆下了 一部分零件后的光拾取裝置O P U的 一 部分內(nèi)部結(jié)構(gòu)。光拾取裝 置OPU將物鏡驅(qū)動裝置l、光源等光學(xué)系統(tǒng)(未圖示)等收納 于金屬制及/或樹脂制的外殼2中，該光拾取裝置OPU包括 將自光源出射的光通過反射鏡等照射到物鏡OBL上的光學(xué)系 統(tǒng)；物鏡驅(qū)動裝置l的電路板50 (板)；可通電地與吊線40等相 連接的撓性印刷電路板26、可通電地與撓性印刷電路板26相連 接的撓性電纜28等撓性電路板24(電纜)等，該光拾取裝置OPU 在精簡化方面做了各種研究。另外，在圖10中表示了例如圖11 所示的磁扼ll、磁鐵21、物鏡OBL、驅(qū)動器ACT、驅(qū)動器主體 部30、支7f^反50。
在此，為了方便起見，使光圏142例如為具有規(guī)定直徑的 針孑L143(孑L)的例如板。"光圈(aperture)"例如是指孔、 間隙等，在此，為了方便起見而將光圈142做成為上述那樣的 孔、間隙或者具有上述那樣的孔、間隙的構(gòu)件。當(dāng)來自規(guī)定的激光光源的激光通過光拾取裝置O P U的物鏡O B L而照射到光 圏142上時，通過物鏡OBL出射的會聚光束受到光圈142的限 制。于是，該會聚光束的一部分通過針孔143。光傳感器144 是接收通過了光圈142的針孔143的會聚光束的一部分(針孔通 過光)而將其光電轉(zhuǎn)換為與該受光量相對應(yīng)的受光電流 PDOUT的傳感器。光傳感器144通過電纜145與I / V放大器 150相連接。
1/V放大器150是用于將光傳感器144的受光電流PDOUT 轉(zhuǎn)換為電壓并進一步生成放大了的傳感器輸出電壓LDP的例 如電流/電壓轉(zhuǎn)換電路。另外，傳感器輸出電壓LDP自圖l中 的1/V放大器150的+端子151、-端子152輸出。另外，根據(jù) 物鏡驅(qū)動裝置1的檢查裝置W的規(guī)格等，例如有時也將光傳感器 14 4和I / V放大器15 0作為本申請權(quán)利要求的傳感器的 一 個實 施方式。
示波器160例如構(gòu)成為基于由光傳感器144等光電轉(zhuǎn)換后 的信號來檢查物鏡驅(qū)動裝置l的信號檢查裝置。具體地說明， 示波器160是將自第1檢查工具110的+端子lll、-端子112輸 出的聚焦線圈驅(qū)動電壓FV以及自I / V放大器150的+端子 151、-端子152輸出的傳感器輸出電壓LDP以波形顯示為2維 曲線圖的波形顯示器。示波器160包括顯示畫面161、 X軸用通 道162 ( CH- X)和Y軸用通道164 ( CH- Y)。通道162通過同 軸電纜163與第1檢查工具110的+端子lll、-端子112相連接。 另外，通道164通過同軸電纜165與I/V放大器150的+端子 151、 -端子152相連接。
當(dāng)在示波器160中設(shè)定了通常模式時，聚焦線圈驅(qū)動電壓 FV與傳感器輸出電壓LDP各自的時間變化波形(縱軸(Y軸) 為電壓、橫軸(X軸)為時間)顯示于顯示畫面161中。另外，例如當(dāng)在示波器160中設(shè)定了 X - Y模式時，聚焦線圏驅(qū)動電壓 FV與傳感器輸出電壓LDP的李沙育(Lissajous)波形(縱軸 (Y軸)為傳感器輸出電壓LDP、橫軸(X軸)為聚焦線圈驅(qū)動 電壓FV)顯示于顯示畫面161中。
另夕卜，各電纜24、 103、 105、 113、 123、 145、 173、各 同軸電纜163、 165例如做成為用于構(gòu)成電線的構(gòu)件。另外，為 了使各電纜24、 103、 105、 113、 123、 145、 173可自由裝卸 且可通電地相連^妻，可以在各電纜24、 103、 105、 113、 123、 145、 173中裝設(shè)例如中繼基板(未圖示)。
物鏡驅(qū)動裝置1的檢查裝置W包括上述穩(wěn)定電源裝置100、 上述APC120、上述LVDS轉(zhuǎn)換器130、上述I/V放大器150、 上述示波器160、上述第1檢查工具110、上述第2檢查工具140 等驅(qū)動器、粘住(stick)、跳躍(jump)、應(yīng)對工具等。假設(shè) 在驅(qū)動器ACT的基板10的表面10a上流動有粘接劑(未圖示) 的情況。在聚焦線圏34中流動有電流，操作驅(qū)動器ACT,使透 鏡保持架31最接近基板10的表面10a地向下移動時，未圖示的 粘接劑附著在透鏡保持架31的背面31a上。在該狀態(tài)下，透鏡 保持架想要再向上側(cè)移動時，通過粘接劑粘著在基板10上的透 鏡保持架31不容易上升。本發(fā)明的粘住(stick)是指粘著這樣 的狀態(tài)。在聚焦線圏34中流動有電流，通過粘接劑粘著在基才反 IO上的透鏡保持架31想要再向上側(cè)移動時，好容易與粘接劑分 離的透鏡保持架31例如跳躍地上升。本發(fā)明的跳躍是指跳起這 樣的狀態(tài)。
第2檢查工具的結(jié)構(gòu)
圖2是第2檢查工具140的立體圖。圖3是自第2檢查工具140 上卸下了光傳感器144、安裝上了光拾取裝置OPU的情況下的 第2檢查工具140的俯視圖。另外，圖2、圖3中分別所示的X-
12Y- Z坐標(biāo)相對應(yīng)。
朝向圖2 、圖3中所示的Y軸正方向延伸設(shè)有延伸設(shè)置部 1403a、 1403b的〕字形底板1403例如載置在水平面H (圖2) 上。與底板1403的〕字的底邊部位垂直(沿圖2、圖3中所示的 Z軸的正方向)地配設(shè)有平板狀的背板1402。另夕卜，背板1402 的位于與水平面H側(cè)的下表面相反側(cè)(圖2、圖3中所示的Z軸的 正方向)的上表面Sl位于沿高度方向距離水平面H為高度hl的 位置。
另外，在背板1402與底板1403之間的大致直角的間隙中嵌 合有平板狀的側(cè)板1404。側(cè)板1404配設(shè)為與背板1402及底板 1403垂直。另夕卜，在側(cè)板1404的一個做成為正方形狀的表面上 結(jié)合有具有與背板1402垂直(沿圖2、圖3中所示的Y軸的正方 向)地延伸設(shè)置的例如2根肋的骨板1408,側(cè)板1404通過自側(cè) 板1404的另 一 個做成為正方形狀的表面朝向骨板1408螺旋擰 入安裝的4根螺栓1407等安裝于背板1402及/或底板1403上。
光圈142的長度較短側(cè)的端部通過螺栓1406與側(cè)板1404 垂直(沿圖2、圖3中所示的X軸的負(fù)方向)地與側(cè)板1404的位 于與水平面H側(cè)的下表面相反側(cè)(圖2、圖3中所示的Z軸的正方 向的表面)的上表面S3相結(jié)合。結(jié)果，光圈142被配設(shè)為與水 平面H平行。另外，側(cè)板1404的上表面S3位于沿高度方向距離 水平面H為比高度hl低的高度h3的位置。
在背板1402的上表面Sl上設(shè)有螺栓孔1402a、 1402b,光 傳感器144的端部通過螺栓與背板1402垂直(沿圖2、圖3中所 示的Y軸的正方向)地與背板1402相結(jié)合。結(jié)果，光圈142與 光傳感器144被配設(shè)為分別與水平面H平行。另外，進行位置調(diào) 整使光圏142的針孑L 143與光傳感器144的受光部相面對。
自與背板1402的上表面S1垂直的側(cè)面S2垂直(沿圖2、圖3中所示的Y軸的正方向)地延伸設(shè)置有金屬制的2根支承棒 1405a、 1405b。另夕卜，2才艮支岸義才奉1405a、 1405b自沿高度方 向距離水平面H為比高度h3低的高度h2的位置起延伸設(shè)置。但是，如圖10所示，為了水平(與圖2、圖3中所示的X-Y平面平行)地支承光拾取裝置OPU，在用于收納物鏡驅(qū)動裝 置l的外殼2例如殼體2a上設(shè)有可供上述支承棒1405a、 1405b 以可滑動接觸的狀態(tài)插入的插入孔部70a及開口孑L部70b。例如，當(dāng)以將支承棒1405a插入到光拾取裝置OPU的插入 孔部70a中且將支承棒1405b插入到光拾取裝置OPU的開口孔 部70b中的方式將光拾取裝置OPU可移動地裝設(shè)于第2檢查工 具140的各支承棒1405a、 1405b上時，光拾取裝置OPU被以與 水平面H平行的狀態(tài)裝設(shè)于第2檢查工具140上。光圏142、光 傳感器144以及光拾取裝置OPU被配設(shè)為分別與水平面H平 行。另外，以水平面H為基準(zhǔn)，光圏142位于大致高度h3的位 置，光傳感器144位于大致高度hl的位置，光拾取裝置OPU位 于大致高度h2的位置。另外，根據(jù)"h2<h3<hl"的關(guān)系， 朝向圖2、圖3中所示的Z軸的正方向地按照光拾取裝置OPU、 光圏142、光傳感器144的順序進行配置。光圈的位置調(diào)整使用圖3 圖7說明光圈142的位置調(diào)整。另外，圖4所示的 X-Y-Z坐標(biāo)與圖2、圖3所示的X-Y-Z坐標(biāo)相對應(yīng)。光圏142的位置調(diào)整是為了確認(rèn)通過針孔143的來自物鏡 OBL的會聚光束的一部分(投影圖像302 )的光量是否與物鏡 OBL沿聚焦方向的移動量相對應(yīng)地發(fā)生變化而進行的初期調(diào) 整。首先，像圖3所示的第2檢查工具140的狀態(tài)那樣，自第2 檢查工具140上拆下光傳感器144,通過目測確認(rèn)將光圏142的位置調(diào)整為針孔143的中心與物鏡OBL的光軸L相一致。接著，通過用膠帶等將紙固定在拆下了光傳感器144后的 位置處等方法來裝設(shè)用于顯示投影圖像302的透射屏300。然 后，使光拾取裝置OPU的激光光源例如以lmW左右發(fā)光，調(diào)整 針孔位置，使顯示于透射屏300上的投射圖像302成為大致圓 形。接著，通過調(diào)整設(shè)于第1檢查工具110上的移動電位器 (shift volume)(未圖示)而使聚焦線圈驅(qū)動電壓FV為正的 上限值(本實施方式情況下例如為+ 2V),使包括物鏡OBL的 驅(qū)動器ACT的主體部30靠近透射屏300 (沿圖4中所示的Z軸的 正方向)地進行移動。然后，使物鏡OBL停止在最靠近透射屏 300的OBL最上位置M1 (第l位置，參照圖5)。此時，通過調(diào) 整側(cè)板14 0 4的位置來調(diào)整從光圏14 2到位于O B L最上位置M1 的物鏡OBL的距離Tl,從而使投影圖像302為最大。另外，在 投影圖像302的圓形走樣時，再次調(diào)整光圈142的位置。接著，通過調(diào)整設(shè)于第1檢查工具110上的移動電位器(未 圖示)而使聚焦線圏驅(qū)動電壓FV從正的上限值(本實施方式情 況下例如為+ 2V)逐漸下降到負(fù)的下限值(本實施方式情況下 例如為-2V)，從而使包括物鏡OBL的驅(qū)動器ACT的主體部30 漸漸遠(yuǎn)離透射屏300 (沿圖4中所示的Z軸的負(fù)方向)地進行移 動。即，使物鏡OBL自O(shè)BL最上位置M1朝向距透射屏300最遠(yuǎn) 的OBL最下位置M2 (第2位置，參照圖5)移動。另外，OBL 最下位置M2是從光圈142到物鏡OBL的距離為T2的位置。此 時，目視確認(rèn)到投影圖像3 0 2與物鏡O B L的移動量相對應(yīng)地逐 漸變小。若在該途中投影圖像302變大，則通過調(diào)整側(cè)板1404 的位置再次調(diào)整從光圈14 2到物鏡O B L的距離T1 。但是，在第2檢查工具140上未設(shè)置光圈142的情況下，由于來自物鏡OBL的會聚光束全部入射到光傳感器144上，因此， 光傳感器144的受光電流PDOUT自身不發(fā)生變化。但是，在設(shè) 置了光圏142的情況下，光傳感器144上的照度(每單位面積的 光量)會因光傳感器144與聚焦點FP之間的距離而發(fā)生變化。 詳細(xì)地講，照度(每單位面積的光束)會因光傳感器144與聚 焦點FP之間的距離而發(fā)生變化。通過設(shè)置光圏142而自恒定面 積的針孔14 3中抽出光束，能夠使受光電流P D O U T因光傳感器 144與聚焦點FP之間的距離而發(fā)生變化。例如，如圖6所示，在設(shè)聚焦點為聚焦點最上位置N1時的 光圈142上的照射圖像的半徑為rl、設(shè)聚焦點為聚焦點最下位 置N2時的光圏142上的照射圖像的半徑為r2、設(shè)亮度(出射光 量)為P時，聚焦點為聚焦點最上位置N1時的光圈142上的照 度L1以式(l)表示，聚焦點為聚焦點最下位置N2時的光圏142 上的照度L2以式(2)表示。另外，照度L2與照度L1之比(= L2/L1)利用式(1)、 (2)以式(3)表示。El = P/ n rl2 ... ( 1 )L2 = P/n r22 …(2)L2 / Ll = r12/ r22 …(3 )另外，半徑r2與半徑rl之比(=r2/rl)相當(dāng)于從聚焦點 最下位置N2到光圈142的距離P2與從聚焦點最上位置Nl到光 圏142的距離P1之比(=P2/P1)。因而，式(3)可以如式(4) 那樣地變形。L2/ El = P12/ P22 …(4)但是，在使用光圏142抽出會聚光束的一部分而使其入射 到光傳感器144上時，光傳感器144輸出與光圈142上的照度成 正比的受光電流PDOUT。因此，根據(jù)式(4)可知，受光電流 PDOUT與光圈142同聚焦點FP之間的距離Pl / P2的平方成反比地變化。例如，在光圈142與聚焦點FP之間的距離P1較短的 情況下，受光電流PDOUT變大，在光圈142與聚焦點FP之間的 距離P2較長時，受光電流PDOUT變小。但是，也要留意與針孔143的直徑之間的關(guān)系。針孔143 的直徑需要設(shè)定為在驅(qū)動器ACT的主體部30的移動范圍內(nèi)小 于光圈142上的照射圖像的面積、且可供更多的會聚光束通過。 在針孔143的直徑過小時，受光電流PDOUT有可能小到難以檢 測的程度。另一方面，在激光的聚焦點FP處于聚焦點最上位置 Nl時，若與欲透過光圈142的針孔143的放大光的直徑相比針 孔143的直徑過大時，即使激光的聚焦點FP在聚焦點最上位置 Nl與聚焦點最下位置N2之間移動，也不會引起映射到透射屏 300上的投影圖像302的大小變化。因此，難以確認(rèn)受光電流 PDOUT因物鏡OBL的位置變化而變化。因而，針孔143的直徑 根據(jù)驅(qū)動器ACT的主體部30沿聚焦方向的移動范圍、光圈142 的安裝位置、物鏡OBL的數(shù)值孔徑(NA : Numerical Aperture )、透鏡直徑等參數(shù)來決定。在結(jié)束光圈142的位置調(diào)整時，卸下透射屏300，將光傳感 器144再次安裝到第2檢查工具140上。然后，調(diào)整第l檢查工具 110所具有的振蕩電位器和移動電位器(均未圖示)，生成正弦 波的聚焦線圏驅(qū)動電壓FV。另外，例如利用振蕩電位器設(shè)定正 弦波的振幅，利用移動電位器等設(shè)定振幅的正弦波的峰間值， 利用移動電位器設(shè)定正弦波的上限值和下限值。此時，如圖7所示，目視確認(rèn)到在示波器160的顯示畫面161 中自1/V放大器150輸出的傳感器輸出電壓LDP的波形成為追 隨(同相位、同振幅)聚焦線圈驅(qū)動電壓FV的正弦波的時間變 化那樣的波形。若傳感器輸出電壓LDP的波形未成為追隨聚焦 線圈驅(qū)動電壓F V的正弦波的時間變化的波形，則再次調(diào)整光圈142的位置。 檢查方法使用圖8、圖9說明物鏡驅(qū)動裝置1進行調(diào)焦控制時的動作 狀況的檢查方法。結(jié)束光圈142的位置調(diào)整之后，調(diào)整第1檢查工具110所具 有的振蕩電位器和移動電位器(均未圖示)，使聚焦線圈驅(qū)動電 壓FV為正弦波(在本實施方式的情況下，例如是上限值+ 1V~ 下限值-2.2V的波形)。于是，目視確認(rèn)到在示波器160的顯示 畫面161中表現(xiàn)出聚焦線圈驅(qū)動電壓FV與傳感器輸出電壓 LDP的對應(yīng)關(guān)系的波形顯示。圖8A及圖8B是在同 一 時間軸上并列顯示聚焦線圈驅(qū)動電 壓FV的波形與傳感器輸出電壓LDP的波形的情況下的示波器 160的畫面顯示例。縱軸(Y軸)為表示電壓的軸，橫軸(X軸) 為表示時間的軸。另外，圖8A是表示驅(qū)動器ACT的主體部30 沿聚焦方向的移動正常的情況(OK ( okay )品的情況)下的 波形例的圖，圖8B是表示驅(qū)動器ACT的主體部30沿聚焦方向的 移動不正常的情況(NG(nogood)品的情況)下的波形例的 圖。對比圖8A和圖8B可知，在不正常的情況下，傳感器輸出電 壓LDP相對于聚焦線圈驅(qū)動電壓FV的上升產(chǎn)生延遲，另外，在 傳感器輸出電壓LDP上升時例如產(chǎn)生振動。由此，可判斷出其 原因在于，在圖8B的情況下，在與驅(qū)動器ACT的主體部30的背 面30a相面對的、基臺10的大致中央下降一段的表面10a上附著 有具有粘接性的異物，在欲使驅(qū)動器A C T的主體部3 0向使驅(qū)動 器ACT的主體部30的背面30a遠(yuǎn)離基臺IO的大致中央下降一段 的表面10a的方向移動時，驅(qū)動器ACT的主體部30因上述具有 粘接性的異物而無法順暢地移動(控制響應(yīng)為非線形)。圖9A及圖9B是將聚焦線圏驅(qū)動電壓FV的波形與傳感器輸出電壓LDP的波形顯示為李沙育波形的情況下的示波器160的畫面顯示例?？v軸(Y軸)為傳感器輸出電壓LDP,橫軸(X軸)為聚焦線圏驅(qū)動電壓FV。另外，圖9A是表示驅(qū)動器ACT的主體部30沿聚焦方向的移動正常的情況下的波形例的放大圖，圖9B是表示驅(qū)動器ACT的主體部30沿聚焦方向的移動不正常的情況下的波形例的放大圖。與圖8所示的時間變化的波形相比，李沙育波形能用 一 個波形表現(xiàn)聚焦線圈驅(qū)動電壓F V的波形和傳感器輸出電壓LDP的波形，具有聚焦線圈驅(qū)動電壓FV與傳感器輸出電壓LDP的對比容易這樣的優(yōu)點。
在圖9 A所示的正常的情況下可知，使聚焦線圈驅(qū)動電壓FV從下限值朝向上限值上升時聚焦線圏驅(qū)動電壓FV的變化、與使傳感器輸出電壓LDP從下限值朝向上限值上升時傳感器輸出電壓LDP的變化大致一致。另一方面，在圖9B所示的不正常的情況下可知，使聚焦線圏驅(qū)動電壓FV從下限值朝向上限值上升時聚焦線圈驅(qū)動電壓FV的變化、與使傳感器輸出電壓LDP從下限值朝向上限值上升時傳感器輸出電壓L D P的變化不一致。
另外，在產(chǎn)生圖9B所示的狀態(tài)的情況下可知，使聚焦線圈驅(qū)動電壓FV從下限值朝向上限值上升時，傳感器輸出電壓LDP在上升時產(chǎn)生延遲，另外，在上升之后例如產(chǎn)生振動。由此，可判斷出其原因在于，在圖9B的情況下，驅(qū)動器ACT的主體部30因上述具有粘接性的異物而無法順暢地移動(控制響應(yīng)為非線形)。
這樣，通過使用物鏡驅(qū)動裝置1的檢查裝置W執(zhí)行物鏡驅(qū)動裝置l的檢查方法，能夠檢查物鏡驅(qū)動裝置l使物鏡OBL沿聚焦方向的移動。
19以上，上述發(fā)明的實施方式是用于使本發(fā)明更容易理解的說明，并不是用于限定本發(fā)明的說明。本發(fā)明可以不脫離其主旨地進行變更、改良，所獲得的等效發(fā)明也包含在本發(fā)明中。
例如，作為基于由光傳感器144等光電轉(zhuǎn)換后的信號來檢查物鏡驅(qū)動裝置l的信號檢查裝置，雖然例示了示波器160,但也可以使用除示波器160之外的其他裝置作為信號檢查裝置。
另外，例如在使聚焦線圏驅(qū)動電壓FV變化時，也可以使聚
值之間的規(guī)定值。即使是這樣的構(gòu)造，由于驅(qū)動器ACT的主體部30也能下降至OBL最下位置M2，因此，通過將聚焦線圏驅(qū)動電壓FV和傳感器輸出電壓LDP顯示于顯示畫面161中，能確認(rèn)在驅(qū)動器ACT的主體部30的背面30a與基臺IO的大致中央下降 一 段的表面10 a之間是否混入有具有粘接性的異物。
另外，在驅(qū)動器ACT的主體部30的背面30a與基臺IO的大致中央下降 一 段的表面10 a之間混入有垃圾等異物的情況下，通過將聚焦線圏驅(qū)動電壓FV和傳感器輸出電壓LDP顯示于顯示畫面161中，能檢測其內(nèi)容。具體地講，在使聚焦線圈驅(qū)動電壓FV從上限值朝向下限值下降時，能根據(jù)傳感器輸出電壓L D P未完全下降至規(guī)定的下限值的波形顯示進行檢測。
本申請是以2008年2月20日申請的日本特許出愿、特愿2008—039330和2008年11月7日申i青的日本斗爭i午出愿、斗爭愿2008—286576要求優(yōu)先權(quán)的，并將其內(nèi)容引用于本申請。
權(quán)利要求
1. 一種物鏡驅(qū)動裝置的檢查方法，該物鏡驅(qū)動裝置包括基臺、物鏡、在上述基臺上保持上述物鏡的保持架、驅(qū)動上述保持架而使上述物鏡沿聚焦方向移動的驅(qū)動機構(gòu)，其中，該檢查方法包括通過上述物鏡出射激光的工序；使通過上述物鏡出射的上述激光通過規(guī)定直徑的光圈的工序；對上述驅(qū)動機構(gòu)施加用于使上述保持架在最靠近上述基臺表面的第1位置與比上述第1位置距上述基臺表面遠(yuǎn)的第2位置之間移動的驅(qū)動電壓的工序；對通過了上述光圈的上述激光進行光電轉(zhuǎn)換的工序；基于上述光電轉(zhuǎn)換后的信號來檢查物鏡驅(qū)動裝置的工序。
2. —種物鏡驅(qū)動裝置的檢查方法，該物鏡驅(qū)動裝置包括基 臺、物鏡、在上述基臺上保持上述物鏡的保持架、驅(qū)動上述保 持架而使上述物鏡沿聚焦方向移動的驅(qū)動機構(gòu)，其中，該才全查方法包4舌 通過上述物鏡出射激光的工序；使通過上述物鏡出射的上述激光通過規(guī)定直徑的光圈的工序；對上述驅(qū)動機構(gòu)施加用于使上述保持架在最靠近上述基臺 表面的第l位置與比上述第l位置距上述基臺表面遠(yuǎn)的第2位置 之間移動的驅(qū)動電壓的工序；對通過了上述光圏的上述激光進行光電轉(zhuǎn)換的工序； 將上述驅(qū)動電壓的波形和上述光電轉(zhuǎn)換后的波形顯示于顯 示畫面的工序。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的物鏡驅(qū)動裝置的檢查方法，其中， 上述驅(qū)動電壓的波形和上述光電轉(zhuǎn)換后的波形在同 一 時間軸上并列顯示。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的物鏡驅(qū)動裝置的檢查方法，其中， 上述驅(qū)動電壓的波形和上述光電轉(zhuǎn)換后的波形顯示為李沙育波形。
5. —種物鏡驅(qū)動裝置的檢查裝置，其中， 該裝置包括驅(qū)動電壓生成器，其對用于驅(qū)動在基臺上保持物鏡的保持 架而使該物鏡沿聚焦方向移動的驅(qū)動機構(gòu)，生成用于使該保持 架在最靠近該基臺表面的第l位置與比該第l位置距該基臺表 面遠(yuǎn)的第2位置之間移動的驅(qū)動電壓；規(guī)定直徑的光圈，其供通過上述物鏡出射的激光通過； 傳感器，其對通過了上述光圈的上述激光進行光電轉(zhuǎn)換； 信號檢查裝置，其基于上述光電轉(zhuǎn)換后的信號來檢查物鏡 驅(qū)動裝置。
6. —種物鏡驅(qū)動裝置的檢查裝置，其中， 該裝置包括驅(qū)動電壓生成器，其對用于驅(qū)動在基臺上保持物鏡的保持 架而使該物鏡沿聚焦方向移動的驅(qū)動機構(gòu)，生成用于使該保持 架在最靠近該基臺表面的第l位置與比該第l位置距該基臺表 面遠(yuǎn)的第2位置之間移動的驅(qū)動電壓；規(guī)定直徑的光圈，其供通過上述物鏡出射的激光通過； 傳感器，其對通過了上述光圏的上述激光進行光電轉(zhuǎn)換； 波形顯示器，其將上述驅(qū)動電壓的波形和由上述傳感器光 電轉(zhuǎn)換后的波形顯示于顯示畫面中。
全文摘要
本發(fā)明提供物鏡驅(qū)動裝置的檢查方法、檢查裝置。該物鏡驅(qū)動裝置包括基臺、物鏡、在上述基臺上保持上述物鏡的保持架、驅(qū)動上述保持架而使上述物鏡沿聚焦方向移動的驅(qū)動機構(gòu)，其中，該檢查方法包括通過上述物鏡出射激光的工序；使通過上述物鏡出射的上述激光通過規(guī)定直徑的光圈的工序；對上述驅(qū)動機構(gòu)施加用于使上述保持架在最靠近上述基臺表面的第1位置與比上述第1位置距上述基臺表面遠(yuǎn)的第2位置之間移動的驅(qū)動電壓的工序；對通過了上述光圈的上述激光進行光電轉(zhuǎn)換的工序；基于上述光電轉(zhuǎn)換后的信號來檢查物鏡驅(qū)動裝置的工序。
文檔編號G11B7/09GK101521026SQ200910005358
公開日2009年9月2日 申請日期2009年2月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月20日
發(fā)明者中根吉丸, 吉田博, 坂爪雅晴, 塚田真也, 村岡保宏 申請人:三洋電機株式會社