電源連接器32、信號(hào)發(fā)送接收用的連接器、電源開(kāi)關(guān)盒33等。在前部罩43設(shè)有用于將來(lái)自構(gòu)成控制部6的電氣零件、電子零件的熱量釋放掉的多個(gè)狹縫39…。這樣的狹縫39也設(shè)置在上部罩42的側(cè)面部52及后部罩44上。
[0078]在后部罩44上設(shè)有用于避免與循環(huán)流體的流入部11A、流出部12A、冷卻水的流入部15A、流出部16A的干涉的多個(gè)開(kāi)口、及用于識(shí)別流出路16上的壓力計(jì)25的開(kāi)口。
[0079]分隔面板45具有第一面狀部45A及第二面狀部45B，因而俯視看形成為曲柄狀?？刂剖?7內(nèi)的SSR30、變換器31、電源開(kāi)關(guān)盒33、電源基板34、冷卻風(fēng)扇35及操作面板37等配置在控制室47中、由第一面狀部45A劃分的較大的配置空間。另一方面，在由第二面狀部45B劃分的控制室47的狹小配置空間側(cè)配置CPU基板36等。
[0080]另外，控制室47的較大的配置空間的后方側(cè)在循環(huán)室46中也為被第一面狀部45A劃分的狹小的配置空間，在該配置空間配置有比例閥24、28、定流量閥26及冷卻水用的壓力計(jì)23、25等。相反地，控制室47的狹小的配置空間的后方側(cè)在循環(huán)室46成為由第二面狀部45B劃分的較大的配置空間，在該配置空間配置有罐10、泵20、溫度傳感器21及壓力計(jì)22等。
[0081]在分隔面板45的左右兩端側(cè)一體地設(shè)有相對(duì)于第一、第二面狀部45A、45B彎折的四邊形的安裝片53、54。在循環(huán)室46的狹小的配置空間配置有安裝于安裝片53的吸入風(fēng)扇55。在循環(huán)室46的較大的配置空間配置有安裝于安裝片54的排出風(fēng)扇56。在上部罩42的各側(cè)面部52，在與這些風(fēng)扇55、56對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置冷卻空氣流入流出的開(kāi)口。
[0082][循環(huán)室內(nèi)的冷卻風(fēng)的流動(dòng)的說(shuō)明]
[0083]在圖5中表示溫度控制裝置3的內(nèi)部的平面圖。在該圖5中，利用陰影線標(biāo)記表示在循環(huán)室46內(nèi)流動(dòng)的冷卻空氣的情形。
[0084]在圖5中，通過(guò)右側(cè)的吸入風(fēng)扇55從溫度控制裝置3的外部吸引的冷卻空氣首先沿著構(gòu)成分隔面板45的第一面狀部45A的背面向左側(cè)流動(dòng)。在第一面狀部45A的前面安裝有SSR30或變換器31等發(fā)熱部件，第一面狀部45A的背面成為發(fā)熱部件發(fā)出的熱量的散熱面。因此，冷卻空氣沿著這樣的背面流動(dòng)，由此能夠使通過(guò)第一面狀部45A而散熱的熱量立即向框體7外釋放，能夠抑制熱量蓄積在循環(huán)室46內(nèi)。
[0085]之后，冷卻空氣向循環(huán)室46的較大的配置空間移動(dòng)，向第二面狀部45B與罐10之間流入。其結(jié)果，冷卻空氣將電動(dòng)機(jī)19及由其驅(qū)動(dòng)的泵20冷卻。冷卻空氣之后通過(guò)左側(cè)的排出風(fēng)扇56向溫度控制裝置3的外部排出。
[0086][罐的詳細(xì)說(shuō)明]
[0087]在圖6表示罐10的分解立體圖?；趫D6對(duì)罐10進(jìn)行更詳細(xì)地說(shuō)明。
[0088]在圖6中，罐10具有有底箱狀的罐主體61、將罐主體61的上部堵塞的板狀的蓋體62。在罐主體61的上部設(shè)有沿著外周緣的內(nèi)凸緣61A。蓋體62利用螺釘?shù)冗m當(dāng)?shù)穆?lián)接裝置相對(duì)于內(nèi)凸緣61A固定。此時(shí)，在內(nèi)凸緣61A與蓋體62的背面之間適當(dāng)?shù)匕惭b密封材料。
[0089]在罐主體61的側(cè)面，除了上述的通氣裝置13之外，還設(shè)有用于確認(rèn)在內(nèi)部貯存的循環(huán)流體的量的校平器63、及將循環(huán)流體排出的排放管64。在罐主體61的背面設(shè)有用于補(bǔ)充循環(huán)流體的補(bǔ)給口 65。在罐主體61的前面內(nèi)側(cè)設(shè)有構(gòu)成流出路12的基端側(cè)的吸出管66。罐10內(nèi)的循環(huán)流體通過(guò)泵20從吸出管66吸入。
[0090]對(duì)此，在蓋體62上，以從蓋體的背面垂下的狀態(tài)安裝有上述的熱交換器14及加熱裝置17。在蓋體62上同樣地安裝有一對(duì)液面?zhèn)鞲衅?7、67。各液面?zhèn)鞲衅?7具有在循環(huán)流體中飄浮的浮子67A。通過(guò)從液面?zhèn)鞲衅?7輸出的浮子67A的位置，可檢測(cè)循環(huán)流體的液面(貯存量)是否達(dá)到了下限水平及上限水平。在循環(huán)流體的貯存量超過(guò)了各界限水平的情況下，在操作面板37等表示其狀況。
[0091]在這樣的罐10中，熱交換器14及加熱裝置17設(shè)置在蓋體62上，故而在其維修時(shí)，將蓋體62從罐主體61拆下，將流入路徑11、15及流出路12、15從接頭部分分割，從而對(duì)各個(gè)蓋體62進(jìn)行取出而在外部更換作業(yè)容易地進(jìn)行。另外，通過(guò)將蓋體62拆下，熱交換器14及加熱裝置17也拆下，故而能夠?qū)⒐拗黧w61的上方大大開(kāi)放，也能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行罐主體61內(nèi)的維修。
[0092]另外，本發(fā)明不限于上述的實(shí)施方式，在可實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)的變形、改良等也包含在本發(fā)明中。
[0093]例如，在上述實(shí)施方式中，循環(huán)室46接近等離子體蝕刻裝置1，控制室47與等離子體蝕刻裝置I分開(kāi)而配置溫度控制裝置3，但不限于此，循環(huán)室46及控制室47也可以分別以相對(duì)于等離子體蝕刻裝置I位于側(cè)方的方式配置溫度控制裝置3。另外，該情況下，自循環(huán)冷卻加熱部5的配管、自控制部6的電纜等可以根據(jù)各室46、47的位置向適當(dāng)?shù)姆较蜓由臁?br>[0094]在上述實(shí)施方式中，循環(huán)室46及控制室47被分隔面板45分隔開(kāi)，但在不使用這樣的分隔面板45分隔成各室46、47的情況也包含在本發(fā)明中。作為這樣的情況，例如能夠?qū)⒂傻鬃?8接收的區(qū)域設(shè)為循環(huán)室46，將其之外的區(qū)域設(shè)為控制部47。
[0095]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0096]本發(fā)明作為等離子體蝕刻裝置用的循環(huán)冷卻加熱裝置能夠很好地利用。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種溫度控制裝置，其通過(guò)將被調(diào)溫后的循環(huán)流體向等離子體蝕刻裝置的腔室供給并使其循環(huán)，將所述腔室控制到目標(biāo)溫度，其特征在于，具有: 循環(huán)冷卻加熱部，其將循環(huán)流體冷卻、加熱，并且在其與所述腔室之間使循環(huán)流體循環(huán)； 控制部，其調(diào)節(jié)循環(huán)流體的溫度而將所述腔室的溫度控制到目標(biāo)溫度； 框體，其收納循環(huán)冷卻加熱部及控制部， 在所述框體內(nèi)，將配置所述循環(huán)冷卻加熱部的循環(huán)室和配置所述控制部的控制室設(shè)置在同一平面上， 在所述循環(huán)室至少配置有分別構(gòu)成所述循環(huán)冷卻加熱部的、貯存循環(huán)流體的罐、使循環(huán)流體循環(huán)的泵、將循環(huán)流體冷卻的熱交換器以及將循環(huán)流體加熱的加熱裝置， 在所述控制室至少配置有分別構(gòu)成所述控制部的、控制所述泵的驅(qū)動(dòng)的變換器及對(duì)所述加熱裝置的接通斷開(kāi)進(jìn)行切換的切換裝置。2.如權(quán)利要求1所述的溫度控制裝置，其特征在于， 所述框體具有將內(nèi)部分隔成所述循環(huán)室和所述控制室的分隔面板， 所述泵在所述循環(huán)室與所述分隔面板接近配置， 所述變換器在所述控制室安裝于所述分隔面板上， 在所述循環(huán)室內(nèi)，使從所述框體的外部吸入冷卻空氣的吸入風(fēng)扇位于俯視觀察下的所述分隔面板的一端側(cè)而設(shè)置，并且使將被吸入的冷卻空氣向所述框體的外部排出的排出風(fēng)扇位于所述分隔面板的一端側(cè)而設(shè)置。3.如權(quán)利要求1或2所述的溫度控制裝置，其特征在于， 所述循環(huán)室位于接近所述等離子體蝕刻裝置的一側(cè)，所述控制部位于從所述等離子體蝕刻裝置離開(kāi)的一側(cè)。4.如權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的溫度控制裝置，其特征在于， 所述框體具有設(shè)有與所述循環(huán)室對(duì)應(yīng)的底座的底部面板。5.如權(quán)利要求1?4中任一項(xiàng)所述的溫度控制裝置，其特征在于， 在所述框體上面部的與所述控制室對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有操作面板。
【專利摘要】一種溫度控制裝置。本發(fā)明的溫度控制裝置(3)具有：循環(huán)冷卻加熱部(5)，其將循環(huán)流體冷卻、加熱，并且使循環(huán)流體在與腔室之間循環(huán)；控制部(6)，其調(diào)節(jié)循環(huán)流體的溫度而將腔室的溫度控制到目標(biāo)溫度；框體(7)，其收納上述部件，在框體(7)內(nèi)，將循環(huán)冷卻加熱部(5)配置用的循環(huán)室(46)和控制部(6)配置用的控制室(47)設(shè)置在同一平面上，在循環(huán)室(46)配置有貯存循環(huán)流體的罐(10)、使循環(huán)流體循環(huán)的泵(20)、將循環(huán)流體冷卻的熱交換器以及將循環(huán)流體加熱的加熱裝置(17)，在控制室(47)配置有對(duì)泵(20)的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制的變換器(31)、及對(duì)加熱裝置的接通斷開(kāi)進(jìn)行切換的SSR(30)。
【IPC分類】H01L21/3065, G05D23/00
【公開(kāi)號(hào)】CN104885026
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380067966
【發(fā)明人】后藤大輔
【申請(qǐng)人】科理克株式會(huì)社
【公開(kāi)日】2015年9月2日
【申請(qǐng)日】2013年11月7日
【公告號(hào)】WO2014103525A1