本發(fā)明涉及半導體集成電路領(lǐng)域，特別是涉及一種工藝參數(shù)的處理方法和裝置。

背景技術(shù)：

Recipe(制程方法)是指工業(yè)自動化制造過程中的工藝制程，Recipe中可以包括以下信息：物料加工過程中的多個步驟、每個步驟中各種工藝參數(shù)的數(shù)值、以及各步驟的結(jié)束條件等等。

在實際應(yīng)用中，Recipe可以通過Recipe模板生成。然而，在半導體集成電路領(lǐng)域，由于加工精細度越來越高，制造過程也變得越來越復(fù)雜，因此，一個Recipe中包含的信息也越來越多，所以需要對Recipe模板進行修改，如修改或者增加模板中的參數(shù)。在修改了Recipe模板之后，按照修改前的Recipe模板生成的Reicpe變的不可用，因此，還需要對已經(jīng)生成的Recipe進行相應(yīng)的修改。

目前，對Recipe模板的修改通?？梢酝ㄟ^修改Recipe模板的配置文件來實現(xiàn)，即修改下位機中Recipe模板的配置文件，在Recipe模板的配置文件中修改或者增加參數(shù)。在Recipe模板修改完成之后，需要對按照修改前Recipe模板生成的Recipe進行修改，具體地，按照修改后的Recipe模板，對之前已經(jīng)存在并使用的Recipe的配置文件一一進行對照修改。

然而，隨著工藝過程的日益復(fù)雜，一個Recipe中包含的信息也越來越多，Recipe模板改變的參數(shù)也會逐漸增多，Recipe模板的改變，導致之前的Recipe都得重新修改或者重新編輯；這樣，在Recipe數(shù)量較大的情況下對每個Recipe的配置文件一一進行修改，工作量較大，使得修改的效率較低，此外，由于修改Recipe需要較強的專業(yè)技術(shù)知識，因此，修改過程對實施人員要求也比較高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明實施例為解決上述問題提供了一種工藝參數(shù)的處理方法和裝置，能夠提高Recipe參數(shù)處理效率。

為了解決上述問題，本發(fā)明公開了一種工藝參數(shù)的處理方法，包括：

在檢測到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時，依據(jù)所述第一配置文件中記錄的已有Recipe的第二配置文件標識，查找得到與所述Recipe模板對應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件；

對所述第二配置文件與所述第一配置文件進行對比修改。

優(yōu)選地，所述對所述第二配置文件進行與所述第一配置文件進行對比修改的步驟，包括：

依據(jù)所述第一配置文件，獲取所述Recipe模板對應(yīng)的第一參數(shù)列表；其中，所述第一參數(shù)列表中包括所述Recipe模板的第一參數(shù)信息；

依據(jù)所述第二配置文件，獲取所述已有Recipe的第二參數(shù)列表和步驟列表；其中，所述第二參數(shù)列表中包括所述已有Recipe的第二參數(shù)信息；所述步驟列表中包括與所述第二參數(shù)信息對應(yīng)的第三參數(shù)信息；

對所述第一參數(shù)信息、第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進行對比修改。

優(yōu)選地，所述對所述第一參數(shù)信息、第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進行對比修改的步驟，包括：

對所述第一參數(shù)列表中各第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)列表中各第二參數(shù)信息，逐一進行對比；

在所述第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)信息不一致時，用所述第一參數(shù)信息替換所述第二參數(shù)信息；并且，用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)名稱替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)名稱，以及用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)默認值替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)默認值。

優(yōu)選地，所述方法還包括：

在所述第一參數(shù)信息為所述第一參數(shù)列表中新增的信息時，在所述第二參數(shù)列表中增加與所述第一參數(shù)信息對應(yīng)的第二參數(shù)信息，以及在所述步驟列表中增加與所述第一參數(shù)信息對應(yīng)的第三參數(shù)信息。

優(yōu)選地，所述方法還包括：

在對所述第二配置文件與所述第一配置文件進行對比修改之后，依據(jù)修改后的第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息生成與所述已有Recipe對應(yīng)的新的第二配置文件。

優(yōu)選地，通過如下步驟檢測Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變：

在下位機的啟動過程中，通過對比Recipe模板的第一配置文件和該Recipe模板對應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件是否相符，檢測Recipe模板的第一配置文件是否發(fā)生改變；

或者，

通過實時監(jiān)測Recipe模板中的第一參數(shù)信息是否發(fā)生改變，檢測Recipe模板的第一配置文件是否發(fā)生改變。

依據(jù)本發(fā)明的另一個方面，提供了一種工藝參數(shù)的處理裝置，包括：

檢測模塊，用于在檢測到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時，依據(jù)所述第一配置文件中記錄的已有Recipe的第二配置文件標識，查找得到與所述Recipe模板對應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件；及

修改模塊，用于對所述第二配置文件與所述第一配置文件進行對比修改。

優(yōu)選地，所述修改模塊，包括：

第一獲取子模塊，用于依據(jù)所述第一配置文件，獲取所述Recipe模板對應(yīng)的第一參數(shù)列表；其中，所述第一參數(shù)列表中包括所述Recipe模板的第一參數(shù)信息；

第二獲取子模塊，用于依據(jù)所述第二配置文件，獲取所述已有Recipe的第二參數(shù)列表和步驟列表；其中，所述第二參數(shù)列表中包括所述已有Recipe的第二參數(shù)信息；所述步驟列表中包括與所述第二參數(shù)信息對應(yīng)的第三參數(shù)信息；

修改子模塊，用于對所述第一參數(shù)信息、第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進行對比修改。

優(yōu)選地，所述修改子模塊，包括：

第一修改單元，用于對所述第一參數(shù)列表中各第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)列表中各第二參數(shù)信息，逐一進行對比；

第二修改單元，用于在所述第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)信息不一致時，用所述第一參數(shù)信息替換所述第二參數(shù)信息；并且，用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)名稱替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)名稱，以及用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)默認值替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)默認值。

優(yōu)選地，所述裝置還包括：

新增模塊，用于在所述第一參數(shù)信息為所述第一參數(shù)列表中新增的信息時，在所述第二參數(shù)列表中增加與所述第一參數(shù)信息對應(yīng)的第二參數(shù)信息，以及在所述步驟列表中增加與所述第一參數(shù)信息對應(yīng)的第三參數(shù)信息。

優(yōu)選地，所述裝置還包括：

文件生成模塊，用于在對所述第二配置文件與所述第一配置文件進行對比修改之后，依據(jù)修改后的第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息生成與所述已有Recipe對應(yīng)的新的第二配置文件。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實施例包括以下優(yōu)點：

本發(fā)明在檢測到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時，則對該Recipe模板對應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件進行相應(yīng)修改。避免了人工對每個已有Recipe的第二配置文件一一進行修改的情況，從而提高了Recipe參數(shù)處理效率。此外，由于避免了人工對每個已有Recipe的第二配置文件進行修改，減少了實施人員的操作，可以降低人為修改過程中由于操作失誤帶來的風險。

附圖說明

圖1示出了本發(fā)明的一種工藝參數(shù)的處理方法實施例一的步驟流程圖；

圖2示出了本發(fā)明的一種工藝參數(shù)的處理方法實施例二的步驟流程圖；

圖3示出了本發(fā)明一種工藝參數(shù)的處理裝置實施例的結(jié)構(gòu)框圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本發(fā)明作進一步詳細的說明。

實施例一

參照圖1，示出了本發(fā)明的一種工藝參數(shù)的處理方法實施例一的步驟流程圖，具體可以包括：

步驟101、在檢測到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時，依據(jù)所述第一配置文件中記錄的已有Recipe的第二配置文件標識，查找得到所述已有Recipe的第二配置文件；

目前在半導體集成電路領(lǐng)域，由于加工精細度越來越高，工藝過程也變得越來越復(fù)雜，一個Recipe中包含的信息也越來越多，需要修改和增加的Recipe參數(shù)會不斷增多，在對Recipe模板的第一配置文件修改之后，需要對所有該Recipe模板對應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件進行修改。具體地，一個Recipe模板可以對應(yīng)有多個已有Recipe，因此，需要對每個已有Recipe的第二配置文件進行修改，如果通過手工修改，不但效率低下，而且由于人為因素容易導致錯誤的發(fā)生。本發(fā)明實施例的一個目的在于：在Recipe模板的第一配置文件改變時，快速準確地對已有Recipe的第二配置文件進行相應(yīng)的修改。在具體應(yīng)用中，對Recipe模板進行修改，通常是通過修改下位機中Recipe模板的第一配置文件來實現(xiàn)的。該第一配置文件具體可以包括：RecipeNamesapce.xml、RecipeNamesapce_bu.xml、RecipeNamesapce_tmp.xml這三個配置文件。其中，RecipeNamespace.xml是最終的Recipe名字空間，RecipeNamespace_bu.xml用于記錄執(zhí)行創(chuàng)建/保存/刪除操作前的Recipe名字空間的狀態(tài)；RecipeNamespace_tmp.xml是臨時的Recipe名字空間，編輯Recipe模板時會先修改該文件，然后通過該文件復(fù)制給RecipeNamespace.xml，以保證最終的Recipe名字空間是正確的。

在實際應(yīng)用中，所述第一配置文件中具體可以包括第一參數(shù)列表，該第一參數(shù)列表中記錄了所述Recipe模板的所有第一參數(shù)信息，該第一參數(shù)信息 中具體可以包括：第一參數(shù)名稱、第一參數(shù)類型、第一參數(shù)默認值等信息。在實際應(yīng)用中，對Recipe模板進行修改，具體可以包括：在所述第一參數(shù)列表中增加新的第一參數(shù)信息，或者刪除第一參數(shù)信息，或者修改第一參數(shù)信息等等。

下面給出了一種第一參數(shù)列表的具體示例。

在上述第一參數(shù)列表示例中，<RecipeExecutor type＝”default”>和</RecipeExecutor>之間的內(nèi)容為第一參數(shù)列表的具體內(nèi)容，其中，每個<Param/>可以表示一個第一參數(shù)信息，例如：<Param name＝”Cycles(times)”dataObject＝””type＝”D”min＝”0”max＝”100”units＝”time”accuracy＝”1”default＝”2”/>，該第一參數(shù)信息的第一參數(shù)名稱為name的值，即Cycles(times)、第一參數(shù)類型為type的值，即D、第一參數(shù)默認值為default的值，即2。參照表1，示出了上述第一參數(shù)列表中第一參數(shù)信息的具體示例。

表1

在實際應(yīng)用中，本發(fā)明工藝參數(shù)的處理方法在檢測到Recipe模板中的第一參數(shù)信息修改時，會依據(jù)該Recipe模板的第一配置文件中的第二配置文 件標識信息，找到該Recipe模板對應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件，并對該第二配置文件中的第二參數(shù)列表和步驟列表做相應(yīng)的修改。在上述第一參數(shù)列表示例中，<Recipe/>節(jié)點表示該Recipe模板對應(yīng)的已有Recipe，該Recipe模板有兩個對應(yīng)的已有Recipe，名稱name分別的“test1”和“test2”，其中，bodyFileName表示已有Recipe對應(yīng)的第二配置文件標識，依據(jù)該第二配置文件標識可以在下位機中找到該已有Recipe對應(yīng)的第二配置文件，并對該第二配置文件進行與第一配置文件一致性的修改，也即對“test1”的第二配置文件和“test2”的第二配置文件分別進行與第一配置文件一致性的修改。

在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，具體可以通過如下步驟檢測Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變：

在下位機的啟動過程中，通過對比Recipe模板的第一配置文件和該Recipe模板對應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件是否相符，檢測Recipe模板的第一配置文件是否發(fā)生改變；

本發(fā)明實施例可以在系統(tǒng)啟動時，對比Recipe模板的第一配置文件和該Recipe模板對應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件是否相符，例如對比Recipe模板和對應(yīng)的已有Recipe中的參數(shù)信息是否一致，若不一致，則說明Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變，需要對已有Recipe進行修改；或者，

通過實時監(jiān)測Recipe模板中的第一參數(shù)信息是否發(fā)生改變，檢測Recipe模板的第一配置文件是否發(fā)生改變。

可以在系統(tǒng)運行過程中，實時監(jiān)測Recipe模板中的第一參數(shù)信息是否發(fā)生改變，若發(fā)生改變，則說明Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變，需要對已有Recipe進行修改。

即本發(fā)明實施例可以實現(xiàn)在Recipe模板的第一配置文件中的參數(shù)改變的同時，即可對已有Recipe的第二配置文件中的參數(shù)也進行相應(yīng)修改，在實際應(yīng)用中，該修改過程可以由計算機執(zhí)行，不需要人工進行參與，避免了人工對每個已有Recipe的第二配置文件一一進行修改的過程，從而可以提高Recipe參數(shù)處理效率；此外，由于避免了人工對每個已有Recipe的第 二配置文件進行修改，減少了實施人員的操作，可以降低人為修改過程中由于操作失誤帶來的風險，從而可以提高Recipe參數(shù)處理的正確性。

當然，在實際應(yīng)用中，還可以通過其他方式檢測Recipe模板的第一配置文件是否發(fā)生改變，本發(fā)明對于具體的檢測方式不加以限制，例如，還可以通過人工查看的方式，或者，在人工修改了Recipe模板的第一配置文件后，手動啟動本發(fā)明的工藝參數(shù)的處理方法，以實現(xiàn)對已有Recipe的第二配置文件進行修改也是可行的。

步驟102、對所述第二配置文件與所述第一配置文件進行對比修改。

在具體應(yīng)用中，已有Recipe的第二配置文件具體可以包括第二參數(shù)列表和步驟列表(Step)，其中第二參數(shù)列表中的第二參數(shù)信息和Recipe模板中的第一參數(shù)信息具有一一對應(yīng)的關(guān)系；而Step中的第三參數(shù)信息和所述第二參數(shù)信息具有對應(yīng)關(guān)系。因此，在修改了Recipe模板的第一參數(shù)列表中的第一參數(shù)信息之后，需要對已有Recipe的第二參數(shù)列表和步驟列表中的第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進行相應(yīng)的修改。

在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述對所述第二配置文件進行與所述第一配置文件進行對比修改的步驟，具體可以包括以下子步驟：

子步驟11、依據(jù)所述第一配置文件，獲取所述Recipe模板對應(yīng)的第一參數(shù)列表；其中，所述第一參數(shù)列表中包括所述Recipe模板的第一參數(shù)信息；

子步驟12、依據(jù)所述第二配置文件，獲取所述已有Recipe的第二參數(shù)列表和步驟列表；其中，所述第二參數(shù)列表中包括所述已有Recipe的第二參數(shù)信息；所述步驟列表中包括與所述第二參數(shù)信息對應(yīng)的第三參數(shù)信息；

子步驟13、對所述第一參數(shù)信息、第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進行對比修改。

在實際應(yīng)用中，第二參數(shù)列表中記錄了已有Recipe的所有第二參數(shù)信息，該第二參數(shù)信息中具體可以包括：第二參數(shù)名稱、第二參數(shù)類型、第二參數(shù)默認值等信息。步驟列表中記錄了已有Recipe的所有第三參數(shù)信息，該第三參數(shù)信息中具體可以包括：第三參數(shù)名稱和第三參數(shù)默認值。在具體應(yīng)用中，一個Recipe可以包括一個或者多個Step。在本發(fā)明的一種應(yīng)用示例 中，給出了一種已有Recipe的第二參數(shù)列表和Step的示例，下面給出了已有Recipe第二配置文件的第二參數(shù)列表的具體示例：

在上述第二參數(shù)列表示例中，<ParamList>和</ParamList>之間的內(nèi)容為第二參數(shù)列表的具體內(nèi)容，其中，每個<Param/>可以表示一個第二參數(shù)信息，例如：<Param name＝”Cycles(times)”dataObject＝””type＝”D”min＝”0”max＝”100”units＝”time”accuracy＝”1”default＝”2”/>，并且，該第二參數(shù)信息和上述第一參數(shù)列表中的第一參數(shù)信息具有對應(yīng)關(guān)系。即，在實際應(yīng)用中，若修改了第一參數(shù)列表中的某個第一參數(shù)信息，則需要對第二參數(shù)列表中對應(yīng)的第二參數(shù)信息，以及步驟列表中對應(yīng)的第三參數(shù)信息也進行一致的修改。

以及，下面給出了已有Recipe第二配置文件的步驟列表的具體示例：

<Step index＝”1”name＝”Clamp”>

<Value param＝”Cycles(times)”value＝”9”/>

<Value param＝”Time_init(sec)”value＝”6”/>

<Value param＝”Time_final(sec)”value＝”6”/>

<Value param＝”Pressure_init(mTorr)”value＝”20”/>

<Value param＝”Pressure_final(mTorr)”value＝”20”/>

<Value param＝”GasCF4_init(200SCCM)”value＝”0”/>

<Value param＝”GasCF4_final(200SCCM)”value＝”0”/>

上述步驟列表具體可以包括第三參數(shù)信息，具體地，每個<Value/>可以表示一個第三參數(shù)信息，例如：<Value param＝”Cycles(times)”value＝”9”/>，該第三參數(shù)信息的第三參數(shù)名稱為param的值，即Cycles(times)、第三參數(shù)默認值為value的值，即9。參照表2，示出了上述步驟列表中第三參數(shù)信息的具體示例。

表2

在本發(fā)明的另一種優(yōu)選實施例中，所述對所述第一參數(shù)信息、第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進行對比修改的步驟，具體可以包括以下子步驟：

子步驟21、對所述第一參數(shù)列表中各第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)列表中各第二參數(shù)信息，逐一進行對比；

子步驟22、在所述第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)信息不一致時，用所述第一參數(shù)信息替換所述第二參數(shù)信息；并且，用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)名稱替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)名稱，以及用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)默認值替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)默認值。

優(yōu)選地，上述對所述第一參數(shù)信息、第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進行 對比修改的步驟，還可以包括：

子步驟23、在所述第一參數(shù)信息為所述第一參數(shù)列表中新增的信息時，在所述第二參數(shù)列表中增加與所述第一參數(shù)信息對應(yīng)的第二參數(shù)信息，以及在所述步驟列表中增加與所述第一參數(shù)信息對應(yīng)的第三參數(shù)信息。

在本發(fā)明的又一種優(yōu)選實施例中，所述方法還可以包括：

在對所述第二配置文件與所述第一配置文件進行對比修改之后，依據(jù)修改后的第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息生成與所述已有Recipe對應(yīng)的新的第二配置文件。

在本發(fā)明實施例中，在對第二配置文件進行修改之后，可以對修改后的第二配置文件進行保存，生成新的第二配置文件，從而在系統(tǒng)下次啟動時，可以直接按照新的第二配置文件運行對應(yīng)的已有Recipe。

綜上，本發(fā)明在檢測到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時，則對該Recipe模板對應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件進行相應(yīng)修改；相對于現(xiàn)有方案通過人工對每個已有Recipe的第二配置文件一一進行修改，本發(fā)明實施例可以通過計算機檢測Recipe模板的第一配置文件的改變，并在檢測到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時，通過計算機對該Recipe模板對應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件進行相應(yīng)修改，因此能夠提高Recipe參數(shù)的處理效率。此外，由于避免了人工對每個已有Recipe的第二配置文件進行修改，減少了實施人員的操作，可以降低人為修改過程中由于操作失誤帶來的風險。

實施例二

參照圖2，示出了本發(fā)明的一種工藝參數(shù)的處理方法實施例二的步驟流程圖，具體可以包括：

步驟201、在檢測到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時，依據(jù)所述第一配置文件，獲取所述Recipe模板的第一參數(shù)列表；

具體地，將Recipe模板對應(yīng)的第一配置文件中RecipeExecutor節(jié)點下以Param為單位存儲到第一容器L1中，即將第一參數(shù)列表中的所有第一參數(shù) 信息按順序依次存儲到L1中，所述第一容器L1具體可以為列表List。在實際應(yīng)用中，除了List，也可以采用其它存儲結(jié)構(gòu)，本發(fā)明對于存儲結(jié)構(gòu)不加以限制。

步驟202、依據(jù)所述第一配置文件中記錄的已有Recipe的第二配置文件標識，查找得到與所述Recipe模板對應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件；

具體地，將Recipe模板的第一配置文件中Recipe節(jié)點下的bodyFileName信息存儲到第二容器L2中。在具體應(yīng)用中，Recipe模板可以對應(yīng)多個已有Recipe，因此，將bodyFileName信息存儲到第二容器L2中，即將該Recipe模板對應(yīng)的所有的已有Recipe的第二配置文件標識按順序依次存儲在L2中。

步驟203、依據(jù)各已有Recipe的第二配置文件標識，查找所述已有Recipe對應(yīng)的第二配置文件；

具體地，依據(jù)L2[j]中存儲的已有Recipe的第二配置文件標識，在下位機中查找對應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件；其中，j初始設(shè)置為0。在具體應(yīng)用中，Recipe模板可以對應(yīng)多個已有Recipe，因此，從L2中存儲的第一個已有Recipe的標識信息開始查找，直到L2中存儲的所有的已有Recipe的標識信息查找結(jié)束。

步驟204、依據(jù)各已有Recipe對應(yīng)的第二配置文件，獲取各已有Recipe的第二參數(shù)列表和步驟列表；

具體地，將第二配置文件中ParamList節(jié)點下以Param為單位存儲到第三容器L3，即將第二參數(shù)列表中的所有第二參數(shù)信息按順序依次存儲到L3中，以及將最后一個step節(jié)點下的index值存儲到第四容器L4，該最后一個step節(jié)點下的index值可以表示第二參數(shù)信息的個數(shù)，再將該步驟列表對應(yīng)的第三參數(shù)信息以Value為單位存儲到第五容器L4。

步驟205、對所述第一參數(shù)列表中各第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)列表中各第二參數(shù)信息，逐一進行對比；在所述第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)信息不一致時，用所述第一參數(shù)信息替換所述第二參數(shù)信息；并且，用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)名稱替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)名稱，以 及用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)默認值替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)默認值；

具體地，從L1的第一個Param與L3的第一個Param開始比較，初始i＝0，若L1[i]和L2[i]的內(nèi)容不一致，則用L1[i]替換L2[i]的內(nèi)容，同時，將L4[i]的第三參數(shù)名稱Param替換為L1[i]的第一參數(shù)名稱name、以及將L4[i]的第三參數(shù)默認值value替換為L1[i]的第一參數(shù)默認值default。

步驟206、在所述第一參數(shù)信息為所述第一參數(shù)列表中新增的信息時，在所述第二參數(shù)列表中增加與所述第一參數(shù)信息對應(yīng)的第二參數(shù)信息，以及在所述步驟列表中增加與所述第一參數(shù)信息對應(yīng)的第三參數(shù)信息；

具體地，若L1[i]在L2中不存在，則在L3中增加L1[i]，并且，在L4中增加Value節(jié)點，該Value節(jié)點中的Param具體為L1[i]的name、value具體為L1[i]的default值。

步驟207、依據(jù)修改后的第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息生成與所述已有Recipe對應(yīng)的新的第二配置文件。

具體地，依據(jù)最新的L3、L4以及L4對應(yīng)的STEP信息生成以L2[j]為名稱的第二配置文件，該第二配置文件具體可以為xml文件。本發(fā)明實施例通過逐個對比L1中存儲的Recipe模板的第一參數(shù)信息，與L3中存儲的已有Recipe的第二參數(shù)信息、以及L4中存儲的已有Recipe的第三參數(shù)信息，利用計算機程序?qū)崿F(xiàn)對已有Recipe第二配置文件中的第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進行修改，避免了人工對每個已有Recipe的第二配置文件一一進行修改的過程，從而可以提高Recipe參數(shù)處理效率；此外，由于避免了人工對每個已有Recipe的第二配置文件進行修改，減少了實施人員的操作，可以降低人為修改過程中由于操作失誤帶來的風險，從而可以提高Recipe參數(shù)處理的正確性。

應(yīng)用示例

接下來，以上述實施例中的第一參數(shù)列表、第二參數(shù)列表和步驟列表的具體示例為例，說明本發(fā)明的工藝參數(shù)的處理方法。假設(shè)對Recipe模板的修 改操作具體為：在Recipe模板中增加了一條新的第一參數(shù)信息，該新的第一參數(shù)信息具體如下：Param：<Param name＝”RcpTestEx”dataobject＝””type＝”I”min＝”0”max＝”1”descriptorList＝”NO:0,YES:1”units＝””default＝”NO”>。

在本發(fā)明實施例中，重啟下位機軟件后即可自動對已有Recipe進行對應(yīng)的修改，具體過程可以如下：

首先，獲取Recipe模板的第一配置文件中RecipeExexutor節(jié)點下的所有第一參數(shù)信息(Param)和所有Recipe節(jié)點下的第二配置文件標識(bodyFileName)。

然后，根據(jù)獲取的bodyFileName找到對應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件，將第二配置文件對應(yīng)的第二參數(shù)列表中的第二參數(shù)信息(ParamList節(jié)點下的Param)修改為與Recipe模板中一致的Param，由于Recipe模板中增加了一個參數(shù)，因此，所有已有Recipe的第二配置文件中ParamList節(jié)點下也會增加一個Param：<Param name＝”RcpTestEx”dataobject＝””type＝”I”min＝”0”max＝”1”descriptorList＝”NO:0,YES:1”units＝””default＝”NO”>。

最后，將已有Recipe的每個Step節(jié)點下第三參數(shù)信息Value中的第三參數(shù)名稱(param)與模板中的第一參數(shù)名稱(Param)進行對比，不同則根據(jù)模板進行修改，將第三參數(shù)名稱(param)修改為模板中對應(yīng)的第一參數(shù)名稱(Param節(jié)點下的name)，第三參數(shù)默認值(value)修改為為模板中對應(yīng)的第一參數(shù)默認值(Param節(jié)點下的default值)，在本應(yīng)用示例中，每個step會自動增加一個新的第三參數(shù)，即：<Value param＝”RcpTestExvalue＝”NO”/>。

裝置實施例

參照圖3，示出了本發(fā)明一種工藝參數(shù)的處理裝置實施例的結(jié)構(gòu)框圖，具體可以包括：

檢測模塊310，用于在檢測到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時，依據(jù)所述第一配置文件中記錄的已有Recipe的第二配置文件標識，查找得到 與所述Recipe模板對應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件；及

修改模塊320，用于對所述第二配置文件與所述第一配置文件進行對比修改。

在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述修改模塊，具體可以包括：

第一獲取子模塊，用于依據(jù)所述第一配置文件，獲取所述Recipe模板對應(yīng)的第一參數(shù)列表；其中，所述第一參數(shù)列表中包括所述Recipe模板的第一參數(shù)信息；

第二獲取子模塊，用于依據(jù)所述第二配置文件，獲取所述已有Recipe的第二參數(shù)列表和步驟列表；其中，所述第二參數(shù)列表中包括所述已有Recipe的第二參數(shù)信息；所述步驟列表中包括與所述第二參數(shù)信息對應(yīng)的第三參數(shù)信息；

修改子模塊，用于對所述第一參數(shù)信息、第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進行對比修改。

在本發(fā)明的另一種優(yōu)選實施例中，所述修改子模塊，具體可以包括：

第一修改單元，用于對所述第一參數(shù)列表中各第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)列表中各第二參數(shù)信息，逐一進行對比；

第二修改單元，用于在所述第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)信息不一致時，用所述第一參數(shù)信息替換所述第二參數(shù)信息；并且，用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)名稱替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)名稱，以及用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)默認值替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)默認值。

在本發(fā)明的又一種優(yōu)選實施例中，所述裝置還可以包括：

新增模塊，用于在所述第一參數(shù)信息為所述第一參數(shù)列表中新增的信息時，在所述第二參數(shù)列表中增加與所述第一參數(shù)信息對應(yīng)的第二參數(shù)信息，以及在所述步驟列表中增加與所述第一參數(shù)信息對應(yīng)的第三參數(shù)信息。

在本發(fā)明的再一種優(yōu)選實施例中，所述裝置還可以包括：

文件生成模塊，用于在對所述第二配置文件與所述第一配置文件進行對比修改之后，依據(jù)修改后的第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息生成與所述已有 Recipe對應(yīng)的新的第二配置文件。

對于裝置實施例而言，由于其與方法實施例基本相似，所以描述的比較簡單，相關(guān)之處參見方法實施例的部分說明即可。

本說明書中的各個實施例均采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似的部分互相參見即可。

本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員應(yīng)明白，本發(fā)明實施例的實施例可提供為方法、裝置、或計算機程序產(chǎn)品。因此，本發(fā)明實施例可采用完全硬件實施例、完全軟件實施例、或結(jié)合軟件和硬件方面的實施例的形式。而且，本發(fā)明實施例可采用在一個或多個其中包含有計算機可用程序代碼的計算機可用存儲介質(zhì)(包括但不限于磁盤存儲器、CD-ROM、光學存儲器等)上實施的計算機程序產(chǎn)品的形式。

本發(fā)明實施例是參照根據(jù)本發(fā)明實施例的方法、終端設(shè)備(系統(tǒng))、和計算機程序產(chǎn)品的流程圖和/或方框圖來描述的。應(yīng)理解可由計算機程序指令實現(xiàn)流程圖和/或方框圖中的每一流程和/或方框、以及流程圖和/或方框圖中的流程和/或方框的結(jié)合?？商峁┻@些計算機程序指令到通用計算機、專用計算機、嵌入式處理機或其他可編程數(shù)據(jù)處理終端設(shè)備的處理器以產(chǎn)生一個機器，使得通過計算機或其他可編程數(shù)據(jù)處理終端設(shè)備的處理器執(zhí)行的指令產(chǎn)生用于實現(xiàn)在流程圖一個流程或多個流程和/或方框圖一個方框或多個方框中指定的功能的裝置。

這些計算機程序指令也可存儲在能引導計算機或其他可編程數(shù)據(jù)處理終端設(shè)備以特定方式工作的計算機可讀存儲器中，使得存儲在該計算機可讀存儲器中的指令產(chǎn)生包括指令裝置的制造品，該指令裝置實現(xiàn)在流程圖一個流程或多個流程和/或方框圖一個方框或多個方框中指定的功能。

這些計算機程序指令也可裝載到計算機或其他可編程數(shù)據(jù)處理終端設(shè)備上，使得在計算機或其他可編程終端設(shè)備上執(zhí)行一系列操作步驟以產(chǎn)生計 算機實現(xiàn)的處理，從而在計算機或其他可編程終端設(shè)備上執(zhí)行的指令提供用于實現(xiàn)在流程圖一個流程或多個流程和/或方框圖一個方框或多個方框中指定的功能的步驟。

盡管已描述了本發(fā)明實施例的優(yōu)選實施例，但本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員一旦得知了基本創(chuàng)造性概念，則可對這些實施例做出另外的變更和修改。所以，所附權(quán)利要求意欲解釋為包括優(yōu)選實施例以及落入本發(fā)明實施例范圍的所有變更和修改。

最后，還需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者終端設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者終端設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者終端設(shè)備中還存在另外的相同要素。

以上對本發(fā)明所提供的一種工藝參數(shù)的處理方法和裝置，進行了詳細介紹，本文中應(yīng)用了具體個例對本發(fā)明的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時，對于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實施方式及應(yīng)用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本發(fā)明的限制。