技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開了一種測試裝置，應用于X射線曝光檢測器件測試，包括非透光的腔體、光源板、支承柱和探針，光源板、支承柱以及探針設置在腔體內(nèi)；光源板包括分布在光源板一側表面的多個發(fā)光體，以及與發(fā)光體連接的、用于控制發(fā)光體產(chǎn)生預設強度光的控制部；支承柱設置在光源板發(fā)射光一側，由多個支承柱形成與光源板平行的支承平面，用于放置待測試器件；探針用于觸發(fā)待測試器件，并在觸發(fā)時探測到待測試器件產(chǎn)生感應電流時發(fā)出指示信號。本發(fā)明測試裝置實現(xiàn)了對X射線曝光檢測器件的光電感應測試，與現(xiàn)有測試方法相比，不需要將X射線曝光檢測器件裝機，再通過X射線曝光來進行測試，可簡化測試流程，提高測試效率。

技術研發(fā)人員：張振
受保護的技術使用者：上海品臻影像科技有限公司
技術研發(fā)日：2017.03.31
技術公布日：2017.07.18