本發(fā)明涉及一種振子、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。

背景技術(shù)：

一直以來(lái)，作為陀螺儀傳感器(角速度傳感器)，已知有專利文獻(xiàn)1所記載的結(jié)構(gòu)。該專利文獻(xiàn)1中所記載的陀螺儀傳感器具有：框狀的質(zhì)量部(框)；可動(dòng)部(振動(dòng)裝置)，其被配置在質(zhì)量部的內(nèi)側(cè)；梁部(懸架片)，其對(duì)可動(dòng)部和框進(jìn)行連結(jié)；電極，其與可動(dòng)部對(duì)置配置，并且被構(gòu)成為，當(dāng)在使質(zhì)量部于y軸方向上進(jìn)行振動(dòng)的狀態(tài)下被施加了圍繞x軸的角速度時(shí)，通過(guò)科里奧利力而使可動(dòng)部在使梁部發(fā)生翹曲變形的同時(shí)在z軸方向上進(jìn)行振動(dòng)。由于通過(guò)這種可動(dòng)部的振動(dòng)，從而使被形成在可動(dòng)部與電極指間的靜電電容發(fā)生變化，因此能夠基于該靜電電容的變化而對(duì)被施加到陀螺儀傳感器上的角速度進(jìn)行檢測(cè)。

然而，在這種專利文獻(xiàn)1的結(jié)構(gòu)中，當(dāng)可動(dòng)部向電極側(cè)大幅度地位移時(shí)，可動(dòng)部與電極之間所產(chǎn)生的靜電力(電引力)將變得大于梁部的復(fù)原力(作為欲返回自然狀態(tài)的力)，從而有可能會(huì)因所述靜電力而使可動(dòng)部粘著在電極上。

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特表2008-514968號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠降低可動(dòng)部朝向基板的粘著的振子、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。

這種目的通過(guò)以下的本發(fā)明而被達(dá)成。

本發(fā)明的振子的特征在于，具有：基板；可動(dòng)部；其以與所述基板對(duì)置的方式而配置；梁部，其能夠彈性變形，并對(duì)所述可動(dòng)部以能夠相對(duì)于所述基板而在所述基板的厚度方向上進(jìn)行位移的方式進(jìn)行支承，在所述梁部的復(fù)原力大于在所述基板和所述可動(dòng)部之間形成的靜電力的范圍內(nèi)，所述可動(dòng)部向所述基板側(cè)位移。

由此，得到一種能夠降低可動(dòng)部朝向基板的粘著的振子。

在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，在側(cè)視觀察所述基板時(shí)，當(dāng)將所述靜電力與所述復(fù)原力相等的位置設(shè)為可動(dòng)臨界時(shí)，所述可動(dòng)部在超過(guò)所述可動(dòng)臨界之前與所述基板接觸。

由此，能夠降低可動(dòng)部朝向基板的粘著。

在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，與所述基板的和所述可動(dòng)部對(duì)置的面相比，所述可動(dòng)臨界位于與所述可動(dòng)部相反的一側(cè)。

由此，能夠降低可動(dòng)部朝向基板的粘著。

在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，所述基板具有：電極，其以與所述可動(dòng)部對(duì)置的方式而配置；底基板，其對(duì)所述電極進(jìn)行支承。

由此，例如，能夠通過(guò)對(duì)被形成在可動(dòng)部與電極之間的靜電電容的變化進(jìn)行檢測(cè)，從而對(duì)可動(dòng)部的位移量進(jìn)行檢測(cè)。因此，例如，能夠適當(dāng)?shù)刈鳛閷?duì)加速度或角速度等物理量進(jìn)行檢測(cè)的物理量傳感器而進(jìn)行利用。

在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，所述可動(dòng)部圍繞沿所述基板的面內(nèi)方向的轉(zhuǎn)動(dòng)軸而轉(zhuǎn)動(dòng)。

由此，能夠使可動(dòng)部順暢地位移。

在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，所述可動(dòng)部具有從頂端部起向頂端側(cè)突出的突出部。

由此，能夠減小假設(shè)可動(dòng)部與基板接觸時(shí)的與基板的接觸面積。因此，能夠更有效地降低可動(dòng)部朝向基板的粘著。

在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，所述基板具有階梯部，所述階梯部被設(shè)置在與所述可動(dòng)部的頂端部對(duì)置的位置處，并向與所述可動(dòng)部相反的一側(cè)凹陷。

由此，能夠減少可動(dòng)部與基板的接觸。

在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，在所述基板的能夠與所述可動(dòng)部接觸的部位處，形成有凹凸。

由此，能夠減小假設(shè)可動(dòng)部與基板接觸時(shí)的與基板的接觸面積。因此，能夠更有效地降低可動(dòng)部朝向基板的粘著。

本發(fā)明的電子設(shè)備的特征在于，具有本發(fā)明的振子。

由此，得到了一種可靠性較高的電子設(shè)備。

本發(fā)明的移動(dòng)體的特征在于，具有本發(fā)明的振子。

由此，得到了一種可靠性較高的移動(dòng)體。

附圖說(shuō)明

圖1為表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的振子的俯視圖。

圖2為圖1中的a-a線剖視圖。

圖3為用于對(duì)現(xiàn)有的問(wèn)題點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明的剖視圖。

圖4為用于對(duì)現(xiàn)有的問(wèn)題點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明的剖視圖。

圖5為圖1所示的振子的剖視圖。

圖6為圖1所示的振子的剖視圖。

圖7為表示固定檢測(cè)電極的改變例的剖視圖。

圖8為表示功能元件的改變例的俯視圖。

圖9為圖8中的b-b線剖視圖。

圖10為表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的振子所具備的檢測(cè)用翼板的俯視圖。

圖11為表示固定檢測(cè)電極的改變例的俯視圖。

圖12為表示檢測(cè)用翼板的改變例的俯視圖。

圖13為表示檢測(cè)用翼板的改變例的俯視圖。

圖14為本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的振子的剖視圖。

圖15為表示檢測(cè)用翼板與基板接觸的狀態(tài)的剖視圖。

圖16為表示被設(shè)置在基板上的角部的俯視圖。

圖17為圖16中的c-c線剖視圖。

圖18為表示圖16所示的角部的改變例的俯視圖。

圖19為表示圖16所示的角部的改變例的俯視圖。

圖20表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動(dòng)型(或筆記本型)的個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。

圖21為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動(dòng)電話(包括phs)的結(jié)構(gòu)的立體圖。

圖22為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。

圖23為表示應(yīng)用了本發(fā)明的移動(dòng)體的汽車的立體圖。

具體實(shí)施方式

以下，基于附圖所示的實(shí)施方式而對(duì)本發(fā)明的振子、電子設(shè)備以及移動(dòng)體進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

第一實(shí)施方式

首先，對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的振子進(jìn)行說(shuō)明。

圖1為表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的振子的俯視圖。圖2為圖1中的a-a線剖視圖。圖3及圖4分別為用于對(duì)現(xiàn)有的問(wèn)題點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明的剖視圖。圖5及圖6分別為圖1所示的振子的剖視圖。圖7為表示固定檢測(cè)電極的改變例的剖視圖。圖8為表示功能元件的改變例的俯視圖。圖9為圖8中的b-b線剖視圖。另外，在以下的說(shuō)明中，將相互正交的三條軸作為x軸、y軸以及z軸。此外，沿著x軸的方向也稱作“x軸方向”，沿著y軸方向的方向也稱作“y軸方向”，沿著z軸的方向也稱作“z軸方向”。

圖1及圖2所示的振子1為能夠?qū)@y軸的角速度ωy進(jìn)行檢測(cè)的陀螺儀傳感器(角速度傳感器)。這種振子1具有基板2、蓋體3、以及功能元件4。另外，為了便于說(shuō)明，在圖1中，省略了基板2及蓋體3的圖示。

基板2具有底基板21以及被支承在底基板21上的固定檢測(cè)電極22。底基板21具有：凹部211，其上表面被開放；柱狀物(突起部)212，其被設(shè)置在凹部211內(nèi)，通過(guò)上表面和柱狀物212而對(duì)功能元件4進(jìn)行支承。此外，固定檢測(cè)電極22在凹部211的底面211a上被設(shè)置有兩個(gè)。另一方面，蓋體3具有下表面被開放的凹部31。這些底基板21與蓋體3以由凹部211和凹部31形成內(nèi)部空間s的方式而被接合在一起。而且，在內(nèi)部空間s內(nèi)收納有功能元件4。另外，內(nèi)部空間s優(yōu)選為處于減壓狀態(tài)。由此，粘性電阻減少，從而能夠有效地使功能元件4進(jìn)行振動(dòng)。

在本實(shí)施方式中，底基板21由玻璃基板形成，蓋體3由硅基板形成。因此，能夠通過(guò)陽(yáng)極接合而對(duì)底基板21和蓋體3進(jìn)行接合。然而，作為底基板21及蓋體3的材料，并不限定于此，底基板21與蓋體3的接合方法也不限定于此。

如上文所述，功能元件4被配置在內(nèi)部空間s內(nèi)，并與底基板21的上表面以及柱狀物212接合。這種功能元件4具有兩個(gè)結(jié)構(gòu)體40(40a、40b)。兩個(gè)結(jié)構(gòu)體40a、40b在x軸方向上并排設(shè)置，并關(guān)于沿著y軸的假想直線α而對(duì)稱。

結(jié)構(gòu)體40具有質(zhì)量部(振動(dòng)部)41、驅(qū)動(dòng)彈簧部42、固定部43、可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極44、固定驅(qū)動(dòng)電極45、46、檢測(cè)用翼板(可動(dòng)部)47、以及梁部48。這種結(jié)構(gòu)體40通過(guò)利用蝕刻等對(duì)摻雜了磷、硼等雜質(zhì)的導(dǎo)電性的硅基板進(jìn)行圖案形成而被一體地形成。

質(zhì)量部41為矩形的框體，并被配置在結(jié)構(gòu)體40的中央部處。而且，質(zhì)量部41的四個(gè)角上分別連接有驅(qū)動(dòng)彈簧部42的一個(gè)端部。此外，驅(qū)動(dòng)彈簧部42的其他端部與固定部43連接，固定部43被接合(固定)在底基板21的上表面或柱狀物212上。由此，質(zhì)量部41以及驅(qū)動(dòng)彈簧部42成為以從基板2上浮起的狀態(tài)而被支承的狀態(tài)。而且，能夠通過(guò)使驅(qū)動(dòng)彈簧部42在x軸方向上伸縮(彈性變形)，從而使質(zhì)量部41相對(duì)于固定部43而在x軸方向上振動(dòng)。另外，作為固定部43與柱狀物212的接合方法，雖然并未特別限定，但例如能夠使用陽(yáng)極接合。

可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極44被設(shè)置在質(zhì)量部41上，在本實(shí)施方式中，以在質(zhì)量部41的+y軸側(cè)設(shè)置有兩個(gè)且在-y軸側(cè)設(shè)置有兩個(gè)的方式而總計(jì)設(shè)置有四個(gè)可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極44。這些可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極44成為具備主干部和分支部的梳齒形狀，所述主干部從質(zhì)量部41起向y軸方向延伸出，所述分支部從該主干部向x軸方向延伸出。另一方面，固定驅(qū)動(dòng)電極45、46被接合(固定)在底基板21上。固定驅(qū)動(dòng)電極45、46以與可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極44對(duì)置的方式而設(shè)置，可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極44被配置在固定驅(qū)動(dòng)電極45、46之間。此外，固定驅(qū)動(dòng)電極45、46成為具有主干部和分支部的梳齒形狀，所述主干部在y軸方向上延伸，所述分支部從該主干部起在x軸方向上延伸。

因此，在向可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極44與固定驅(qū)動(dòng)電極45、46之間施加驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)，在可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極44與固定驅(qū)動(dòng)電極45、46之間產(chǎn)生靜電力，由此，能夠在使驅(qū)動(dòng)彈簧部42在x軸方向上伸縮的同時(shí)，使質(zhì)量部41在x軸方向上振動(dòng)(驅(qū)動(dòng))。另外，在結(jié)構(gòu)體40a和結(jié)構(gòu)體40b中，固定驅(qū)動(dòng)電極45與固定驅(qū)動(dòng)電極46的配置為相反。即，在結(jié)構(gòu)體40a中，固定驅(qū)動(dòng)電極45位于可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極44的-x軸側(cè)，而固定驅(qū)動(dòng)電極46位于+x軸側(cè)，與此相對(duì)，在結(jié)構(gòu)體40b中，固定驅(qū)動(dòng)電極45位于可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極44的+x軸側(cè)，而固定驅(qū)動(dòng)電極46位于-x軸側(cè)。因此，結(jié)構(gòu)體40a的質(zhì)量部41與結(jié)構(gòu)體40b的質(zhì)量部41以相互接近、遠(yuǎn)離的方式而在x軸方向上呈相反相位地進(jìn)行振動(dòng)。由此，能夠抵消兩個(gè)質(zhì)量部41的振動(dòng)，從而能夠減少振動(dòng)泄漏。

另外，在本實(shí)施方式中，雖然如上文所述，對(duì)通過(guò)靜電力而使質(zhì)量部41振動(dòng)的方式(靜電驅(qū)動(dòng)方式)進(jìn)行了說(shuō)明，但使質(zhì)量部41振動(dòng)的方法并不特別限定，也可以應(yīng)用壓電驅(qū)動(dòng)方式、或利用了磁場(chǎng)的洛倫茨力的電磁驅(qū)動(dòng)方式等。

檢測(cè)用翼板47被配置在質(zhì)量部41的內(nèi)側(cè)。此外，檢測(cè)用翼板47呈矩形的板狀，并在y軸方向的一端部處通過(guò)梁部48而被支承在質(zhì)量部41上。通過(guò)向使質(zhì)量部41在x軸方向上振動(dòng)了的狀態(tài)下的振子1施加圍繞y軸的角速度ωy，從而利用科里奧利力而在使梁部48發(fā)生扭曲變形(彈性變形)的同時(shí)，使這種檢測(cè)用翼板47圍繞由梁部48所形成的轉(zhuǎn)動(dòng)軸j而進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)(位移)。由此，能夠使檢測(cè)用翼板47順暢地在z軸方向上進(jìn)行位移。

在底基板21的與檢測(cè)用翼板47對(duì)置的區(qū)域(與從z軸方向觀察的俯視觀察時(shí)重疊的區(qū)域)內(nèi)設(shè)置有固定檢測(cè)電極22，在固定檢測(cè)電極22與檢測(cè)用翼板47之間形成有靜電電容c。如前文所述，在通過(guò)角速度ωy而使檢測(cè)用翼板47圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸j進(jìn)行位移(傾倒)時(shí)，由于靜電電容c的大小發(fā)生變化，因此能夠基于該靜電電容c的變化而對(duì)角速度ωy進(jìn)行檢測(cè)。另外，作為固定檢測(cè)電極22的構(gòu)成材料，只要具有導(dǎo)電性則并不特別限定，例如，可以使用鋁、金、鉑、ito(indiumtinoxide：氧化銦錫)等。

以上，對(duì)振子1的形狀進(jìn)行了說(shuō)明。接下來(lái)，對(duì)振子1的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。向可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極44與固定驅(qū)動(dòng)電極45、46之間施加驅(qū)動(dòng)電壓，從而使結(jié)構(gòu)體40a的質(zhì)量部41與結(jié)構(gòu)體40b的質(zhì)量部41以相反相位且以預(yù)定頻率而在x軸方向上振動(dòng)。在該狀態(tài)下，當(dāng)振子1上被施加了圍繞y軸的角速度ωy時(shí)，科里奧利力將發(fā)揮作用，從而結(jié)構(gòu)體40a的檢測(cè)用翼板47以及結(jié)構(gòu)體40b的檢測(cè)用翼板47將圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸j(z軸方向上)以相反相位而進(jìn)行位移。通過(guò)檢測(cè)用翼板47進(jìn)行位移，從而使檢測(cè)用翼板47與固定檢測(cè)電極22的間隙發(fā)生變化，由于伴隨于此靜電電容c將會(huì)變化，因此，能夠通過(guò)對(duì)該靜電電容c的變化量進(jìn)行檢測(cè)而求出角速度ωy。

接下來(lái)，對(duì)作為振子1的特征之一的檢測(cè)用翼板47的可動(dòng)域進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。如前文所述，檢測(cè)用翼板47通過(guò)在使質(zhì)量部41驅(qū)動(dòng)了的狀態(tài)下施加角速度ωy而在z軸方向上振動(dòng)。在振子1中成為了如下結(jié)構(gòu)，即，在檢測(cè)用翼板47于z軸方向上進(jìn)行振動(dòng)時(shí)，減少檢測(cè)用翼板47因在與固定檢測(cè)電極22之間發(fā)揮作用的靜電力(電引力)而粘著到固定檢測(cè)電極22上的情況。

首先，對(duì)因靜電力而產(chǎn)生的檢測(cè)用翼板47的朝向固定檢測(cè)電極22的粘著進(jìn)行說(shuō)明。首先，如圖3所示，將在振子1的側(cè)視觀察(從x軸方向觀察的俯視觀察)時(shí)，在與固定檢測(cè)電極22之間發(fā)揮作用的靜電力等于梁部48的復(fù)原力(作為返回自然狀態(tài)的力。彈簧常數(shù))的邊界設(shè)為牽入(pull-in)臨界(可動(dòng)臨界)l。即，這表示，如果檢測(cè)用翼板47位于與牽入臨界l相比而靠上側(cè)(+z軸側(cè))處，則梁部48的復(fù)原力大于作用于檢測(cè)用翼板47與固定檢測(cè)電極22之間的靜電力，而如果檢測(cè)用翼板47的至少一部分位于與牽入臨界l相比靠下側(cè)(-z軸側(cè))處，則梁部48的復(fù)原力小于作用于檢測(cè)用翼板47與固定檢測(cè)電極22之間的靜電力。

因此，例如，如果被施加了過(guò)度的角速度ωy或使檢測(cè)用翼板47在z軸方向上位移的其他的外力，從而使檢測(cè)用翼板47位移到與牽入臨界l相比靠下側(cè)處時(shí)，則梁部48的復(fù)原力不能完全對(duì)抗靜電力，從而檢測(cè)用翼板47將被固定檢測(cè)電極22吸引，從而如圖4所示，可能會(huì)使檢測(cè)用翼板47粘著在基板2上。

因此，如圖5所示，在振子1中，以如下方式對(duì)梁部48的彈簧常數(shù)及固定檢測(cè)電極22的面積等進(jìn)行設(shè)計(jì)，即，使?fàn)咳肱R界l與和基板2的檢測(cè)用翼板47對(duì)置的面(在本實(shí)施方式中，為固定檢測(cè)電極22的上表面)相比而位于下側(cè)(與檢測(cè)用翼板47相反的一側(cè))。當(dāng)設(shè)置為這種設(shè)計(jì)時(shí)，如圖6所示，在檢測(cè)用翼板47超過(guò)牽入臨界l之前，檢測(cè)用翼板47與固定檢測(cè)電極22相撞，從而使在此之上的位移被限制。換言之，即使檢測(cè)用翼板47向-z軸方向位移到與固定檢測(cè)電極22接觸，也不會(huì)使檢測(cè)用翼板47向與臨界l相比而靠下側(cè)處位移。即，在超過(guò)牽入臨界l之前，檢測(cè)用翼板47與固定檢測(cè)電極22接觸。因此，能夠使檢測(cè)用翼板47始終在與牽入臨界l相比而靠上側(cè)的區(qū)域內(nèi)振動(dòng)。因此，根據(jù)振子1，能夠減少如上文敘述的那樣的檢測(cè)用翼板47的朝向基板2的粘著。

另外，為了如振子1那樣，使?fàn)咳肱R界l位于與固定檢測(cè)電極22的上表面相比靠下側(cè)處，例如，能夠以接下來(lái)的方式對(duì)梁部48的彈簧常數(shù)進(jìn)行設(shè)定。即，在將梁部48的彈簧常數(shù)設(shè)為kr、將內(nèi)部空間s的介電常數(shù)設(shè)為ε、將固定檢測(cè)電極22的面積設(shè)為se、將向檢測(cè)用翼板47與固定檢測(cè)電極22之間施加的電壓設(shè)為v、將初始狀態(tài)下的檢測(cè)用翼板47與固定檢測(cè)電極22的分離距離設(shè)為d、將檢測(cè)用翼板47的長(zhǎng)度(y軸方向上的長(zhǎng)度)設(shè)為l時(shí)，能夠通過(guò)滿足下式(1)而使?fàn)咳肱R界l位于與固定檢測(cè)電極22的上表面相比而靠下側(cè)處。

以上，對(duì)本實(shí)施方式的振子1進(jìn)行了說(shuō)明。另外，在本實(shí)施方式的振子1中，由于在檢測(cè)用翼板47在z軸方向上過(guò)度位移時(shí)，將會(huì)與固定檢測(cè)電極22接觸，因此有可能會(huì)在接觸時(shí)產(chǎn)生短路。因此，如圖7所示，也可以被構(gòu)成為，當(dāng)檢測(cè)用翼板47在z軸方向上過(guò)度位移時(shí)，不與固定檢測(cè)電極22接觸而是與凹部211的底面211a接觸。底面211a并未必須使基板2露出。例如，也可以在基板2的上表面設(shè)置導(dǎo)電膜或與檢測(cè)用翼板47電連接的導(dǎo)電膜。在該情況下，只要牽入臨界l位于與底面211a或?qū)щ娔は啾瓤肯聜?cè)即可。

另外，通過(guò)采用圖7所示的結(jié)構(gòu)，從而使檢測(cè)用翼板47與固定檢測(cè)電極22的對(duì)置面積減小。此外，由于將固定檢測(cè)電極22靠梁部48側(cè)而配置，因此在檢測(cè)用翼板47發(fā)生了位移時(shí)，檢測(cè)用翼板47與固定檢測(cè)電極22的間隙的變化量將縮小。因此，檢測(cè)用翼板47與固定檢測(cè)電極22之間的靜電力的變動(dòng)變小，從而能夠有效地減小檢測(cè)用翼板47的朝向基板2的粘著。

以上，對(duì)第一實(shí)施方式的振子1進(jìn)行了說(shuō)明。另外，在本實(shí)施方式中，雖然對(duì)各結(jié)構(gòu)體40具有一個(gè)檢測(cè)用翼板47的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說(shuō)明，但作為檢測(cè)用翼板47的數(shù)量，并不限定于一個(gè)。例如，如圖8及圖9所示，可以在y軸方向上并排設(shè)置兩個(gè)檢測(cè)用翼板47。在該結(jié)構(gòu)中，雖然以使自由端彼此背對(duì)的方式而對(duì)兩個(gè)檢測(cè)用翼板47進(jìn)行配置，但例如也可以以使自由端彼此相對(duì)的方式而進(jìn)行配置，還可以以使自由端彼此朝向相同方向的方式而進(jìn)行配置。

第二實(shí)施方式

接下來(lái)，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的振子進(jìn)行說(shuō)明。

圖10為表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的振子所具備的檢測(cè)用翼板的俯視圖。圖11為表示固定檢測(cè)電極的改變例的俯視圖。圖12及圖13分別為表示檢測(cè)用翼板的改變例的俯視圖。

在本實(shí)施方式所涉及的振子中，主要是在功能元件的結(jié)構(gòu)(檢測(cè)用翼板的形狀)上有所不同，除此以外與前述的第一實(shí)施方式所涉及的振子相同。

另外，在以下的說(shuō)明中，關(guān)于第二實(shí)施方式的振子，以與前述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，關(guān)于相同的事項(xiàng)則省略其說(shuō)明。此外，對(duì)在圖10至圖12中于前述的實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的符號(hào)。

在圖10所示的功能元件4中，檢測(cè)用翼板47具有從其頂端部起向頂端側(cè)突出的突出部471。在本實(shí)施方式中，大致矩形的突出部471以相互分離的方式而設(shè)置有多個(gè)。通過(guò)設(shè)置這樣的突出部471，從而在檢測(cè)用翼板47的頂端形成凹凸，因此能夠使檢測(cè)用翼板47在與基板2接觸時(shí)的與基板2的接觸面積相比于例如前述的第一實(shí)施方式而變小。因此，能夠減小前述的靜電力的影響，并且能夠減小因靜電力以外的因素而引起的檢測(cè)用翼板47的朝向基板2的粘著。另外，作為靜電力以外的因素，例如，可列舉出因檢測(cè)用翼板47與基板2的接觸而產(chǎn)生的接觸帶電、或因檢測(cè)用翼板47與基板2的接觸摩擦(微小的凹凸之間的刮蹭)等而引起的粘著。

通過(guò)這樣的第二實(shí)施方式，也能夠發(fā)揮與前述的第一實(shí)施方式相同的效果。

另外，為了防止突出部471與固定檢測(cè)電極22的接觸，也可以如圖11所示，去除與固定檢測(cè)電極22的突出部471對(duì)置的部分。此外，作為突出部471的形狀，只要能夠使檢測(cè)用翼板47與基板2的接觸面積減小，則并不特別限定。例如，突出部471可以呈圖12所示的這種三角形、或圖13所示的這種半圓形等寬度向頂端逐漸減小的錐形形狀。此外，作為突出部471的數(shù)量，并不特別限定，也可以是一個(gè)。

第三實(shí)施方式

接下來(lái)，對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的振子進(jìn)行說(shuō)明。

圖14為本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的振子的剖視圖。圖15為表示檢測(cè)用翼板與基板接觸的狀態(tài)的剖視圖。圖16為表示被設(shè)置在基板上的角部的俯視圖。圖17為圖16中的c-c線剖視圖。圖18及圖19分別為表示圖16所示的角部的改變例的俯視圖。

在本實(shí)施方式所涉及的振子中，主要是基板的結(jié)構(gòu)有所不同這點(diǎn)，除此以外與前述的第一實(shí)施方式所涉及的振子相同。

另外，在以下的說(shuō)明中，關(guān)于第三實(shí)施方式的振子，以與前述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，關(guān)于相同的事項(xiàng)則省略其說(shuō)明。此外，對(duì)圖14至16中與前述的實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同符號(hào)。

在圖14所示的基板2中，在與凹部211的底面211a的檢測(cè)用翼板47對(duì)置的位置處，形成有向下側(cè)凹陷的階梯部(凹部)213。該階梯部213作為用于防止檢測(cè)用翼板47與基板2的接觸的避讓部而發(fā)揮功能。通過(guò)設(shè)置這樣的階梯部213，從而與沒(méi)有階梯部213的情況(例如前述的第一實(shí)施方式)相比，能夠增大檢測(cè)用翼板47的轉(zhuǎn)動(dòng)角度θ。因此，能夠?qū)Ω蟮慕撬俣圈貀進(jìn)行檢測(cè)，從而能夠擴(kuò)大角速度ωy的檢測(cè)容許范圍。

通過(guò)這樣的第三實(shí)施方式，也能夠發(fā)揮與前述的第一實(shí)施方式相同的效果。

另外，在本實(shí)施方式中，如圖15所示，檢測(cè)用翼板47能夠與被形成在底面211a和階梯部213的連接部上的角部214接觸。因此，也可以說(shuō)，角部214作為對(duì)檢測(cè)用翼板47的更進(jìn)一步的位移(朝向-z軸側(cè)的位移)進(jìn)行限制的止動(dòng)件而發(fā)揮功能。如此，由于角部214作為止動(dòng)件而發(fā)揮功能，因此牽入臨界l優(yōu)選為位于與角部214相比而靠下方(階梯部213的底面?zhèn)?處，更優(yōu)選的是位于與階梯部213的底面?zhèn)认啾瓤肯路教?。由此，能夠更有效地減少檢測(cè)用翼板47的朝向基板2的粘著。

在這樣的角部214(與檢測(cè)用翼板47接觸的位置)上，也可以形成圖16及圖17所示的這種凹凸。在圖16及圖17的結(jié)構(gòu)中，通過(guò)以相互分離的方式設(shè)置多個(gè)從角部214向階梯部213內(nèi)突出的矩形形狀的突出部215而形成凹凸。通過(guò)設(shè)置為這樣的結(jié)構(gòu)，能夠與前述的第二實(shí)施方式同樣地減小基板2與檢測(cè)用翼板47的接觸面積，因此能夠減小靜電力的影響，并且能夠降低因靜電力以外的因素所引起的檢測(cè)用翼板47的朝向基板2的粘著。

另外，作為突出部215的形狀，只要能夠減小檢測(cè)用翼板47與基板2的接觸面積，則并未特別限定。例如，突出部215可以是圖18所示的這種三角形或圖19所示的這種半圓形等呈寬度朝向頂端逐漸減小的錐形形狀。此外，作為突出部215的數(shù)量，并未特別限定，也可以為一個(gè)。

接下來(lái)，對(duì)具備本發(fā)明的振子的電子設(shè)備進(jìn)行說(shuō)明。

圖20為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動(dòng)型(或筆記本型)的個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。

在該圖中，個(gè)人計(jì)算機(jī)1100由具有鍵盤1102的主體部1104、具有顯示部1108的顯示單元1106而構(gòu)成，顯示單元1106通過(guò)鉸鏈結(jié)構(gòu)部而以相對(duì)于主體部1104可轉(zhuǎn)動(dòng)的方式被支承。在這種個(gè)人計(jì)算機(jī)1100中，內(nèi)置有作為陀螺儀傳感器而發(fā)揮功能的振子1。

圖21為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動(dòng)電話(也包括phs(personalhandy-phonesystem：個(gè)人手持式電話系統(tǒng)))的結(jié)構(gòu)的立體圖。

在該圖中，移動(dòng)電話1200具有天線(未圖示)、多個(gè)操作按鈕1202、聽筒1204以及話筒1206，在操作按鈕1202與聽筒1204之間配置有顯示部1208。在這種移動(dòng)電話1200中，內(nèi)置有作為陀螺儀傳感器而發(fā)揮功能的振子1。

圖22為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。

數(shù)碼照相機(jī)1300的外殼(主體)1302的背面設(shè)置有顯示部1310，并成為基于由ccd(charge-coupleddevice：電荷耦合元件)所形成的拍攝信號(hào)而實(shí)施顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部1310作為將被拍攝物體作為電子圖像并顯示的取景器而發(fā)揮功能。此外，外殼1302的正面?zhèn)?圖中背面?zhèn)?設(shè)置有包含光學(xué)透鏡(拍攝光學(xué)系統(tǒng))或ccd等的受光單元1304。而且，當(dāng)拍攝者對(duì)在顯示部1310中所顯示的被拍攝物體圖像進(jìn)行確認(rèn)并按下快門按鈕1306時(shí)，該時(shí)刻的ccd的拍攝信號(hào)被傳送并存儲(chǔ)到存儲(chǔ)器1308中。在這種數(shù)碼照相機(jī)1300中，內(nèi)置有例如作為陀螺儀傳感器而被使用在手抖補(bǔ)正中的振子1。

由于這種電子設(shè)備具有振子1，因此具有優(yōu)秀的可靠性。

另外，本發(fā)明的電子設(shè)備除了應(yīng)用在圖20的個(gè)人計(jì)算機(jī)、圖21的移動(dòng)電話、圖22的數(shù)碼照相機(jī)中之外，也能夠應(yīng)用于例如智能電話、平板式終端、時(shí)鐘、噴墨式噴出裝置(例如噴墨式打印機(jī))、膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視機(jī)、攝像機(jī)、錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、呼叫器、電子記事本(包括附加通信功能)、電子辭典、臺(tái)式計(jì)算器、電子游戲機(jī)、文字處理機(jī)、工作站、可視電話、防盜用電視監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、pos終端、醫(yī)療器械(例如電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖儀、心電圖計(jì)測(cè)裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測(cè)器、各種測(cè)定設(shè)備、儀表類(例如，車輛、飛機(jī)、船舶的儀表類)、飛行模擬器等。

接下來(lái)，對(duì)本發(fā)明的移動(dòng)體進(jìn)行說(shuō)明。

圖23為表示應(yīng)用了本發(fā)明的移動(dòng)體的汽車的立體圖。

如圖23所示，汽車1500中內(nèi)置有振子1，例如，能夠通過(guò)振子1對(duì)車身1501的姿態(tài)進(jìn)行檢測(cè)。振子1的檢測(cè)信號(hào)被供給到車身姿態(tài)控制裝置1502中，車身姿態(tài)控制裝置1502能夠基于該信號(hào)對(duì)車身1501的姿態(tài)進(jìn)行檢測(cè)，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果對(duì)懸架的軟硬進(jìn)行控制、或?qū)Ω鱾€(gè)車輪1503的制動(dòng)器進(jìn)行控制。除此之外，這種姿態(tài)控制能夠在雙足步行機(jī)器人或無(wú)線電操縱直升機(jī)(包括無(wú)人機(jī))中進(jìn)行利用。如以上所述，為了實(shí)現(xiàn)各種移動(dòng)體的姿態(tài)控制而組裝了振子1。

以上，雖然基于圖示的實(shí)施方式而對(duì)本發(fā)明的振子、電子設(shè)備以及移動(dòng)體進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不被限定于此，可以將各部件的結(jié)構(gòu)置換為具有同樣功能的任意的結(jié)構(gòu)。此外，也可以在本發(fā)明中附加其他的任意的構(gòu)成物。

此外，雖然在前述的實(shí)施方式中對(duì)檢測(cè)用翼板圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說(shuō)明，但作為檢測(cè)用翼板，只要能夠在z軸方向上進(jìn)行位移，則以何種方式移動(dòng)均可。例如，檢測(cè)用翼板可以圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸進(jìn)行蹺蹺板式擺動(dòng)，也可以以保持姿態(tài)不變的方式在z軸方向上位移。即，可以是蹺蹺板式擺動(dòng)型的振子，也可以是平行平板型的振子。

此外，作為振子，并不限定于對(duì)角速度進(jìn)行檢測(cè)的陀螺儀傳感器，例如，也可以是加速度傳感器、氣壓傳感器等對(duì)角速度以外的物理量進(jìn)行檢測(cè)的振子。此外，除了物理量傳感器以外，也可以是被使用在例如振蕩器等中的振子。

符號(hào)說(shuō)明

1…振子；2…基板；21…底基板；211…凹部；211a…底面；212…柱狀物；213…階梯部；214…角部、215…突出部、22…固定檢測(cè)電極；3…蓋體；31…凹部；4…功能元件；40…結(jié)構(gòu)體、40a、40b…結(jié)構(gòu)體；41…質(zhì)量部；42…驅(qū)動(dòng)彈簧部；43…固定部；44…可動(dòng)驅(qū)動(dòng)電極；45、46…固定驅(qū)動(dòng)電極；47…檢測(cè)用翼板；471…突出部；48…梁部；1100…個(gè)人計(jì)算機(jī)；1102…鍵盤；1104…主體部；1106…顯示單元；1108…顯示部；1200…移動(dòng)電話；1202…操作按鈕；1204…聽筒；1206…話筒；1208…顯示部；1300…數(shù)碼照相機(jī)、1302…外殼；1304…受光單元；1306…快門按鈕；1308…存儲(chǔ)器；1310…顯示部；1500…汽車；1501…車身；1502…車身姿態(tài)控制裝置；1503…車輪；c…靜電電容；j2…轉(zhuǎn)動(dòng)軸；l…牽入臨界；s…內(nèi)部空間；α…假想直線；θ…轉(zhuǎn)動(dòng)角度；ωy…角速度。