技術(shù)總結(jié)
一種測(cè)量方法包括：通過(guò)將第一分光照射到物體來(lái)獲取從物體反射的圖案反射光，第一分光通過(guò)反射偏振光來(lái)產(chǎn)生；通過(guò)將第二分光照射到反射器來(lái)獲取從反射器反射的相位受控的鏡面反射光，第二分光通過(guò)傳輸偏振光來(lái)產(chǎn)生；以及基于圖案反射光與鏡面反射光之間的干涉信號(hào)來(lái)獲取物體的圖案。

技術(shù)研發(fā)人員：姜允植;馬圣民;韓準(zhǔn)成
受保護(hù)的技術(shù)使用者：愛(ài)思開(kāi)海力士有限公司
文檔號(hào)碼：201511001427
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.28
技術(shù)公布日：2017.02.22