專利名稱：圖案匹配方法、圖案匹配程序、電子計(jì)算機(jī)、電子設(shè)備檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用于電子設(shè)備的電路圖案檢查的、用于搜索檢查點(diǎn)的圖案匹配方法、其程序、執(zhí)行其方法的電子計(jì)算機(jī)、以及具備該電子計(jì)算機(jī)的電子設(shè)備檢查裝置。
背景技術(shù)：
近年，以半導(dǎo)體設(shè)備的性能提升或制造成本降低為目的的半導(dǎo)體設(shè)備的高密度集成化不斷發(fā)展。為了進(jìn)行這樣的半導(dǎo)體設(shè)備的檢查，利用了對(duì)光學(xué)顯微鏡或電子顯微鏡進(jìn)行了活用的半導(dǎo)體檢查裝置或半導(dǎo)體測(cè)量裝置。在這些裝置中，作為正確地拍攝電子設(shè)備上的檢查點(diǎn)的機(jī)構(gòu)，搭載有從電子設(shè)備的拍攝圖像中搜索檢查目的的圖案、或用于確定檢查點(diǎn)的圖案的圖案匹配機(jī)構(gòu)。在圖案匹配手法中存在各種手法。針對(duì)電子設(shè)備的檢查，一般利用了在檢查階段通過(guò)圖像處理來(lái)從電子設(shè)備的拍攝圖像中搜索與模板一致的圖案的方法。在此情況下，需要預(yù)先將檢查前所拍攝的用于確定檢查點(diǎn)的圖案的拍攝圖像、或與其圖案對(duì)應(yīng)的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)來(lái)準(zhǔn)備為模板。作為在電子設(shè)備的檢查點(diǎn)的確定中所利用的圖案，例如利用以硅晶片的劃線交叉的區(qū)域的中心、或印刷基板的基板標(biāo)記(十字形狀)等，以某點(diǎn)為中心而成為點(diǎn)對(duì)稱的圖案所存在的點(diǎn)。作為將這樣的點(diǎn)對(duì)稱圖案作為搜索對(duì)象的圖案匹配的實(shí)現(xiàn)手法，存在以下那樣的公知技術(shù)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特公平8-12050號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2001-291106號(hào)公報(bào)發(fā)明的概要發(fā)明要解決的課題在上述專利文獻(xiàn)1所公開的手法中，作為成為搜索檢查點(diǎn)的基準(zhǔn)的模板或基準(zhǔn)圖像，必須預(yù)先設(shè)定包含點(diǎn)對(duì)稱圖案的圖像。因此，在其設(shè)定不適當(dāng)?shù)那闆r下，正確地搜索檢查點(diǎn)變難。在上述專利文獻(xiàn)2所公開的手法中，在成為搜索檢查點(diǎn)的基準(zhǔn)的點(diǎn)對(duì)稱圖案的一部分存在于拍攝畫面的范圍外的情況下，設(shè)定搜索的基準(zhǔn)困難，因此正確地搜索檢查點(diǎn)變難。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明基于上述課題而提出，其目的在于，提供能簡(jiǎn)化事先的設(shè)定的工序且正確地搜索檢查點(diǎn)的圖案匹配手法。
用于解決課題的手段在本發(fā)明所涉及的圖案匹配方法中，提取拍攝圖像的一部分的圖像區(qū)域，并將其圖像區(qū)域的分割圖像設(shè)定為模板圖像，并一邊使模板圖像旋轉(zhuǎn)一邊進(jìn)行圖案匹配。另外，通過(guò)該圖案匹配來(lái)判定在圖像區(qū)域內(nèi)是否存在點(diǎn)對(duì)稱圖案。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明所涉及的圖案匹配方法，檢查者能簡(jiǎn)化事先設(shè)定適當(dāng)?shù)哪０宓鹊氖孪鹊脑O(shè)定操作且能正確地搜索檢查點(diǎn)。本發(fā)明的其他目的、特征以及優(yōu)點(diǎn)根據(jù)與附圖相關(guān)的以下的本發(fā)明的實(shí)施例的記載而明確。


圖1是說(shuō)明實(shí)施方式1所涉及的圖案匹配方法的順序的流程圖。圖2是表示用顯微鏡拍攝了檢查對(duì)象的電子設(shè)備中的形成有細(xì)微的電路圖案的硅晶片部分的圖像的圖。圖3是說(shuō)明用于進(jìn)行拍攝圖像的圖案匹配的評(píng)價(jià)窗口的圖。圖4是說(shuō)明評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)的模板的圖。圖5是說(shuō)明使用模板圖像來(lái)算出評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)的匹配得分的過(guò)程的圖。圖6是將針對(duì)圖2 圖3所示的拍攝圖像執(zhí)行了本實(shí)施方式1所涉及的圖案匹配方法而得到的結(jié)果表示為得分圖的圖。圖7是說(shuō)明實(shí)施方式2所涉及的圖案匹配方法的順序的流程圖。圖8A是表示在水平方向上掃描拍攝圖像的樣子的圖。圖8B是表示在垂直方向上掃描拍攝圖像的樣子的圖。圖9是表示遮掩(mask)非劃線部分而得到的遮掩圖像的例子的圖。圖10是說(shuō)明實(shí)施方式3所涉及的圖案匹配方法的順序的流程圖。圖IlA是表示在由檢查者設(shè)定臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口時(shí)的畫面形象的圖。圖IlB是表示在由檢查者放大臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口時(shí)的畫面形象的圖。圖12是說(shuō)明在一定程度上判明了在評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的部分的情況下的動(dòng)作例的圖。圖13A是表示拍攝倍率的差異所帶來(lái)的劃線的間隔差的圖。圖13B同樣是表示拍攝倍率的差異所帶來(lái)的劃線的間隔差的圖。圖14是使用在實(shí)施方式1 6中所說(shuō)明的圖案匹配方法來(lái)檢查電子設(shè)備的電子設(shè)備檢查裝置1000的構(gòu)成圖。
具體實(shí)施例方式實(shí)施方式1.圖1是說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式1所涉及的圖案匹配方法的順序的流程圖。圖1的流程圖所示的順序示出了用光學(xué)顯微鏡等拍攝裝置來(lái)拍攝電子設(shè)備、且使用其拍攝圖像來(lái)對(duì)檢查點(diǎn)進(jìn)行檢查所使用的的圖案匹配的手法。該過(guò)程中，能接受上述拍攝圖像并由執(zhí)行同順序的電子計(jì)算機(jī)等來(lái)執(zhí)行。以下的實(shí)施方式也同樣。
在此所謂的電子設(shè)備是指成為檢查對(duì)象的半導(dǎo)體設(shè)備等的裝置。該電子計(jì)算機(jī)具備運(yùn)算裝置、拍攝圖像輸入部、圖像顯示部、操作輸入部。運(yùn)算裝置由CPU (Central Processing Unit)或微機(jī)等構(gòu)成，并執(zhí)行圖1的流程圖所示的圖案匹配方法。拍攝圖像輸入部接受上述拍攝圖像。圖像顯示部由用于對(duì)圖案匹配的結(jié)果等進(jìn)行畫面顯示的顯示器等的裝置構(gòu)成。操作輸入部是用于由操作者進(jìn)行操作輸入的機(jī)構(gòu)。以下，說(shuō)明圖1的各步驟。(圖1 步驟 S101)上述電子計(jì)算機(jī)的運(yùn)算裝置(以下，僅稱為運(yùn)算裝置)經(jīng)由拍攝圖像輸入部來(lái)取得拍攝電子設(shè)備的檢查對(duì)象部分而得到的上述拍攝圖像。該拍攝圖像如在后述的圖2中另外說(shuō)明的那樣，包含劃線交叉的交叉點(diǎn)。(圖1 步驟 S102)運(yùn)算裝置不僅設(shè)定后述的圖3中所說(shuō)明的評(píng)價(jià)窗口 301，還將其評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)的一部分設(shè)定為模板。該模板在判定是否在該評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案時(shí)使用。細(xì)節(jié)在圖3中另外說(shuō)明。(圖1 步驟 S103)運(yùn)算裝置如在后述的圖4 圖5中另外說(shuō)明那樣，使在步驟S102中設(shè)定的模板旋轉(zhuǎn)來(lái)生成模板旋轉(zhuǎn)圖像。(圖1 步驟 S104)運(yùn)算裝置如在后述的圖5中另外說(shuō)明那樣，在各模板旋轉(zhuǎn)圖像與相當(dāng)于旋轉(zhuǎn)模板后的位置的評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)的各部分圖像之間進(jìn)行圖案匹配。另外，算出以給定的運(yùn)算式等評(píng)價(jià)了其匹配結(jié)果而得到的匹配得分，并使用針對(duì)各模板旋轉(zhuǎn)圖像的匹配得分，來(lái)算出該評(píng)價(jià)窗口 301整體的總和匹配得分。(圖1 步驟 S105)運(yùn)算裝置如在后述的圖3以及圖5中另外說(shuō)明那樣，在拍攝圖像內(nèi)一邊使評(píng)價(jià)窗口移動(dòng)一邊掃描拍攝圖像，并算出該拍攝圖像的全區(qū)域的上述匹配得分。(圖1 步驟 S106)運(yùn)算裝置判定是否使用評(píng)價(jià)窗口 301來(lái)掃描了該拍攝圖像的全區(qū)域。若完成全區(qū)域的掃描，則前進(jìn)到步驟S107，若未完成，則回到步驟S102重復(fù)同樣的處理。(圖1 步驟 S107)運(yùn)算裝置如在后述的圖6中另外說(shuō)明那樣，基于在步驟S102 S105中算出的匹配得分，來(lái)判定是否在該拍攝圖像內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案。以上，說(shuō)明了本實(shí)施方式1所涉及的圖案匹配方法的流程圖。接著，使用圖2 圖6來(lái)說(shuō)明各步驟的細(xì)節(jié)。圖2是表示用顯微鏡拍攝了檢查對(duì)象的電子設(shè)備中的形成有細(xì)微的電路圖案的硅晶片部分的圖像的圖。圖2中，在硅晶片的拍攝圖像200內(nèi)存在芯片201、成為芯片的邊界的硅晶片的劃線203。劃線203交叉的部分的中心202(交叉點(diǎn)20 成為圖案匹配的搜索對(duì)象。這是由于認(rèn)為以該交叉點(diǎn)202為中心存在點(diǎn)對(duì)稱圖案。此外，圖2中所示的十字標(biāo)記是為了明示地說(shuō)明交叉點(diǎn)202而賦予到圖中的，在實(shí)際的劃線203上并不存在該十字標(biāo)記。圖3是說(shuō)明用于進(jìn)行拍攝圖像的圖案匹配的評(píng)價(jià)窗口的圖。運(yùn)算裝置選擇拍攝圖像中的一部分的圖像區(qū)域，并將其設(shè)定為評(píng)價(jià)窗口 301。該評(píng)價(jià)窗口 301是從拍攝圖像中分離出一部分正方形區(qū)域而得到的。評(píng)價(jià)窗口 301的形狀不必非是正方形，只要能使用后述的模板旋轉(zhuǎn)圖像來(lái)執(zhí)行圖案匹配即可。評(píng)價(jià)窗口 301還能是用于判定是否存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的評(píng)價(jià)單位。S卩，運(yùn)算裝置不是將拍攝圖像整體評(píng)價(jià)一次來(lái)判定是否存在點(diǎn)對(duì)稱圖案，而是將拍攝圖像的一部分作為評(píng)價(jià)窗口 301分離出來(lái)來(lái)評(píng)價(jià)是否在其內(nèi)部存在點(diǎn)對(duì)稱圖案。運(yùn)算裝置一邊使評(píng)價(jià)窗口 301 的位置移動(dòng)，一邊以評(píng)價(jià)窗口 301為單位來(lái)掃描拍攝圖像。運(yùn)算裝置最終針對(duì)拍攝圖像的整體來(lái)使用評(píng)價(jià)窗口 301進(jìn)行掃描，評(píng)價(jià)是否在該拍攝圖像內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案。將評(píng)價(jià)窗口 301的初期位置例如設(shè)為該拍攝圖像的左上的頂點(diǎn)。運(yùn)算裝置首先使評(píng)價(jià)窗口 301向右邊方向1個(gè)像素1個(gè)像素地移動(dòng)，來(lái)掃描該拍攝圖像。在掃描位置到達(dá)了右端的時(shí)間點(diǎn)，使掃描位置向下移動(dòng)1像素，并從拍攝圖像的左端起再次進(jìn)行掃描。運(yùn)算裝置以后重復(fù)同樣的順序。此外，在僅對(duì)拍攝圖像的一部分進(jìn)行圖案匹配即可的情況下，不必非針對(duì)拍攝圖像的全部的部分來(lái)使用評(píng)價(jià)窗口 301進(jìn)行掃描。圖4是說(shuō)明評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)的模板的圖。本實(shí)施方式1中，運(yùn)算裝置將評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)的一部分的區(qū)域設(shè)定為用于判定是否在該評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的模板圖像。在此，盡管示出了以評(píng)價(jià)窗口 301的中央為中心來(lái)分割成4個(gè)正方形區(qū)域且將任意一個(gè)分割圖像用作模板圖像的例子，但評(píng)價(jià)窗口 301的分割手法不限于此。S卩，只要能以評(píng)價(jià)窗口 301的中心點(diǎn)為基準(zhǔn)使模板圖像旋轉(zhuǎn)來(lái)檢測(cè)點(diǎn)對(duì)稱圖案， 則分割手法可以為任意。圖5是說(shuō)明使用模板圖像來(lái)算出評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)的匹配得分的順序的圖。在此， 盡管示出了將在圖4中說(shuō)明的左上部分的分割圖像用作模板圖像的例子，但將哪一個(gè)分割圖像設(shè)定為模板圖像不限于此。運(yùn)算裝置在將圖4的左上部分的分割圖像設(shè)定為模板圖像后，將模板圖像分別順時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度、180度、以及270度來(lái)生成3個(gè)圖像。將這3個(gè)圖像稱為模板旋轉(zhuǎn)圖像。運(yùn)算裝置在上述3個(gè)模板旋轉(zhuǎn)圖像與評(píng)價(jià)窗口 301的右上部分、右下部分、以及左下部分各自之間進(jìn)行圖案匹配。此時(shí)所進(jìn)行的圖案匹配相當(dāng)于在模板旋轉(zhuǎn)圖像、與相當(dāng)于使模板旋轉(zhuǎn)圖像旋轉(zhuǎn)后的各自的旋轉(zhuǎn)后的位置的分割圖像之間進(jìn)行圖案匹配。這是基于，在以評(píng)價(jià)窗口 301的中心為基準(zhǔn)的點(diǎn)對(duì)稱圖案存在于該評(píng)價(jià)窗口 301 內(nèi)的情況下，模板旋轉(zhuǎn)圖像和與其旋轉(zhuǎn)后的位置對(duì)應(yīng)的分割圖像相互匹配的可能性高。此外，針對(duì)此時(shí)的評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)的圖案匹配手法，能使用任意的公知技術(shù)。例如，能使用在產(chǎn)業(yè)界一般利用的圖像相關(guān)法。利用與該圖案匹配手法相應(yīng)的評(píng)價(jià)関數(shù)等來(lái)得到經(jīng)圖案匹配的結(jié)果作為匹配得分。在此，匹配得分越高，兩者的吻合度越高。運(yùn)算裝置求取在各模板旋轉(zhuǎn)圖像和與其旋轉(zhuǎn)后的位置對(duì)應(yīng)的分割圖像之間進(jìn)行圖案匹配所得到的匹配得分的總和。將該總和設(shè)為該評(píng)價(jià)窗口 301的總和匹配得分。此外，還能取代各匹配得分的總和，而將各匹配得分的方差值、平均值等的統(tǒng)計(jì)上的指標(biāo)值設(shè)為該評(píng)價(jià)窗口 301的總和匹配得分。在評(píng)價(jià)窗口 301的中心是交叉點(diǎn)的情況下，各模板旋轉(zhuǎn)圖像與評(píng)價(jià)窗口 301的右上部分(區(qū)域A401)、右下部分(區(qū)域B402)、以及左下部分(區(qū)域C403)的各自的分割圖像之間相互吻合的程度變高。在此情況下，其評(píng)價(jià)窗口 301的總和匹配得分變高。圖6是表示將針對(duì)圖2 圖3所示的拍攝圖像執(zhí)行本實(shí)施方式1所涉及的圖案匹配方法而得到的結(jié)果表示為得分圖的圖。在此，示出了按照使用評(píng)價(jià)窗口 301進(jìn)行掃描的順序來(lái)用顏色表現(xiàn)評(píng)價(jià)窗口 301 的總和匹配得分的例子?？偤推ヅ涞梅指叩牟糠钟冒咨憩F(xiàn)，總和匹配得分低的部分用黑色表現(xiàn)。在圖6所示的例子中可知，在相當(dāng)于交叉點(diǎn)202的位置601上，總和匹配得分最
尚ο運(yùn)算裝置判定在總和匹配得分高的部分是否存在點(diǎn)對(duì)稱圖案。例如，可以在總和匹配得分為給定的閾值以上的部分判定在該部分是否存在點(diǎn)對(duì)稱圖案，也可以僅在總和匹配得分最高的部分判定是否存在點(diǎn)對(duì)稱圖案。以上，說(shuō)明了本實(shí)施方式1所涉及的圖案匹配方法的細(xì)節(jié)。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式1，運(yùn)算裝置一邊使評(píng)價(jià)窗口 301移動(dòng)，一邊對(duì)拍攝檢查對(duì)象的電子設(shè)備而得到的拍攝圖像進(jìn)行掃描，來(lái)判定是否在該拍攝圖像內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案。另外，運(yùn)算裝置將對(duì)評(píng)價(jià)窗口 301的一部分進(jìn)行分割而得到的分割圖像的其中之一設(shè)為在判定是否在評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案時(shí)所使用的模板圖像。由此，檢查者不需要預(yù)先設(shè)定模板圖像，從而能簡(jiǎn)化圖案匹配的順序。另外，根據(jù)本實(shí)施方式1，運(yùn)算裝置使模板圖像分別旋轉(zhuǎn)90度、180度、以及270度來(lái)生成3個(gè)模板旋轉(zhuǎn)圖像，并在各個(gè)模板旋轉(zhuǎn)圖像與評(píng)價(jià)窗口 301的右上(區(qū)域A401)、右下(區(qū)域B402)、左下(區(qū)域C403)的分割圖像之間進(jìn)行圖案匹配。由此，能精度良好地判定以評(píng)價(jià)窗口 301的中心為基準(zhǔn)的點(diǎn)對(duì)稱圖案是否存在于該評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)。實(shí)施方式2.在本發(fā)明的實(shí)施方式2中，排除對(duì)圖案匹配的匹配得分造成不良影響的要素，來(lái)說(shuō)明提高圖案匹配的效果的手法。此外，在本實(shí)施方式2中說(shuō)明的手法可以與在實(shí)施方式 1中說(shuō)明的手法并用也可以單獨(dú)執(zhí)行。作為包含對(duì)圖案匹配的匹配得分造成不良影響的要素的拍攝圖像的例子，可列舉實(shí)施方式1所示出的圖2的拍攝圖像。在該圖像中除了劃線203以外，還存在矩形的圖案。這樣的劃線以外的圖案在通過(guò)圖案匹配來(lái)搜索點(diǎn)對(duì)稱圖案時(shí)會(huì)對(duì)匹配得分造成影響，因此若能去除則優(yōu)選去除。以下，針對(duì)在從拍攝圖像中去除這樣的對(duì)匹配得分造成影響的圖案的基礎(chǔ)上來(lái)搜索點(diǎn)對(duì)稱圖案的手法進(jìn)行說(shuō)明。此外，在本實(shí)施方式2中，將以下的(條件1) (條件3)作為前提。(條件1)處于搜索對(duì)稱的點(diǎn)對(duì)稱圖案像劃線那樣，跨拍攝圖像的上下左右而存在。(條件2)其圖案由直線構(gòu)成。(條件3)非點(diǎn)對(duì)稱圖案(劃線以外的圖案)處于與上述那樣的點(diǎn)對(duì)稱圖案不同的狀態(tài)。圖7是說(shuō)明本實(shí)施方式2所涉及的圖案匹配方法的順序的流程圖。圖7的流程圖所示的順序能由具備與實(shí)施方式1中說(shuō)明的構(gòu)成同樣的構(gòu)成的電子計(jì)算機(jī)等執(zhí)行。以下， 說(shuō)明圖7的各步驟。(圖7:步驟S701)運(yùn)算裝置經(jīng)由拍攝圖像輸入部來(lái)取得拍攝電子設(shè)備的檢查對(duì)象部分而得到的上述拍攝圖像。該拍攝圖像與實(shí)施方式1同樣，包含交叉點(diǎn)。(圖7:步驟S7O2)運(yùn)算裝置如在后述的圖8中另外說(shuō)明那樣，在水平方向上掃描拍攝圖像，并按每條掃描線來(lái)算出掃描線上的像素的亮度方差值。(圖7:步驟S703)運(yùn)算裝置如在后述的圖8中另外說(shuō)明那樣，在步驟S702中算出的亮度方差值為后述的亮度方差閾值以上的情況下，判定為掃描了非劃線的部分。接下來(lái)，運(yùn)算裝置對(duì)非劃線的部分進(jìn)行遮掩，來(lái)生成水平線遮掩圖像。在此所謂的遮掩是指按照使非劃線的部分不在圖像上表現(xiàn)的方式，來(lái)刪除該部分、或者變更色彩或亮度來(lái)校正拍攝圖像。(圖7:步驟S704)運(yùn)算裝置如在后述的圖8中另外說(shuō)明那樣，在垂直方向上掃描拍攝圖像，并按每條掃描線來(lái)算出掃描線上的像素的亮度方差值。(圖7:步驟S705)運(yùn)算裝置如在后述的圖8中另外說(shuō)明那樣，在步驟S704中算出的亮度方差值為后述的亮度方差閾值以上的情況下，判定為掃描了非劃線的部分。接下來(lái)，運(yùn)算裝置對(duì)非劃線的部分進(jìn)行遮掩，來(lái)生成垂直線遮掩圖像。(圖7:步驟S706)運(yùn)算裝置參照在步驟S702 S705中生成的水平線遮掩圖像和垂直線遮掩圖像， 在兩者的任意一者中僅提取認(rèn)為是劃線的掃描線的圖像。接下來(lái)，運(yùn)算裝置將水平掃描線上認(rèn)為是劃線的部分的圖像、與在垂直掃描線上認(rèn)為是劃線的圖像進(jìn)行重合來(lái)綜合，從而生成綜合遮掩圖像。由此，成為后述的圖9所示那樣的、僅殘留水平方向和垂直方向各自的劃線的圖像。(圖7:步驟S707)運(yùn)算裝置將在步驟S706中生成的遮掩圖像保存于存儲(chǔ)器等存儲(chǔ)裝置。(圖7:步驟S708)運(yùn)算裝置使用在步驟S707中保存的遮掩圖像來(lái)執(zhí)行用于搜索檢查點(diǎn)的圖案匹配。此時(shí)的圖案匹配手法可以是在實(shí)施方式1中說(shuō)明的手法，也可以使用其他的圖案匹配手法。例如，能使用現(xiàn)有的一般的圖案匹配手法。以上，說(shuō)明了本實(shí)施方式2所涉及的圖案匹配方法的流程圖。接下來(lái)，使用圖8A，8B 圖9來(lái)說(shuō)明步驟S703和S705的細(xì)節(jié)。圖8A，8B是表示在水平方向以及垂直方向上掃描拍攝圖像的樣子的圖。在圖8A， 8B中按照跨映有拍攝圖像的畫面的上下左右的方式存在劃線。進(jìn)而，在劃線的周邊存在多個(gè)矩形的圖案。圖8A，8B中，將該拍攝圖像在位置Xl以及x2上以垂直方向進(jìn)行掃描，并將掃描線上的各位置上的像素的亮度作為一維圖表(稱為圖像分布圖)分別表示為圖8A右側(cè)的Xl 以及X2。由于掃描線Xl交叉4個(gè)矩形圖案和水平方向的劃線，因此該掃描線Xl上的像素的亮度分布成為離散性的分布。另一方面，由于掃描線x2沿著垂直方向的劃線，因此該掃描線x2上的像素的亮度分布變得均勻。同樣，圖8A，8B中，將該拍攝圖像在位置yl以及y2上以水平方向進(jìn)行掃描，并將掃描線上的各位置上的像素的亮度作為一維圖表(圖像分布圖)分別表示為圖8B下側(cè)的 Yl以及Y2。由于掃描線yl交叉2個(gè)矩形圖案和垂直方向的劃線，因此該掃描線yl上的像素的亮度分布成為離散性的分布。另一方面，由于掃描線12沿著水平方向的劃線，因此該掃描線12上的像素的亮度分布變得均勻。掃描線Xl或yl上那樣的對(duì)構(gòu)成非點(diǎn)對(duì)稱圖案的部分進(jìn)行掃描而得到的圖像分布圖，與掃描線x2或y2那樣的對(duì)構(gòu)成點(diǎn)對(duì)稱圖案的部分進(jìn)行掃描而得到的圖像分布圖進(jìn)行比較，亮度的偏差大。即，掃描線x2上或掃描線y2上的像素的亮度的方差值大。運(yùn)算裝置在圖7的步驟S703和S705中，能利用上述那樣的特征來(lái)確定劃線的位置和非劃線的部分的位置，并遮掩非劃線的部分。例如，運(yùn)算裝置算出各掃描線上的像素的亮度的方差值，在該亮度方差值為給定的亮度方差閾值以上的情況下，判定為該掃描線掃描了非劃線的部分。該亮度方差閾值可以使用對(duì)于水平掃描線和垂直掃描線為公共的值，也可以使用個(gè)別的值。圖9是表示將不是劃線的部分進(jìn)行遮掩而得到的遮掩圖像的例子的圖。在如圖9 所示遮掩圖像中可知，將劃線的周邊的矩形圖案進(jìn)行遮掩，僅殘留劃線。此外，用于使用亮度方差值來(lái)進(jìn)行是否為劃線的判定的亮度方差閾值可以由檢查者等任意地設(shè)定，在得到該電子設(shè)備的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)等情況下也可以基于該設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)等來(lái)決定。以上，說(shuō)明了本實(shí)施方式2所涉及的圖案匹配方法的細(xì)節(jié)。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式2，運(yùn)算裝置在水平方向和垂直方向上掃描拍攝圖像來(lái)求取掃描線上的像素的亮度方差值，在其亮度方差值為給定的亮度方差閾值以上時(shí)，能判定其掃描線掃描了非劃線的部分。由此，由于能得到遮掩了非劃線的部分的遮掩圖像，因此能抑制圖案匹配的匹配得分因非劃線的部分而受到的影響，從而能更正確地進(jìn)行圖案匹配。因此，能更正確地搜索電子設(shè)備的檢查點(diǎn)。
另外，通過(guò)在本實(shí)施方式2所涉及的圖案匹配方法的基礎(chǔ)上還兼用在實(shí)施方式1 中所說(shuō)明的圖案匹配方法，能享受實(shí)施方式1所涉及的圖案匹配方法的優(yōu)點(diǎn)。實(shí)施方式3.在本發(fā)明的實(shí)施方式3中，說(shuō)明能由檢查者等自己選擇用于進(jìn)行圖案匹配的基準(zhǔn)圖像的圖案匹配方法。另外，還說(shuō)明配合所選擇的基準(zhǔn)圖像來(lái)優(yōu)化在進(jìn)行圖案匹配時(shí)的條件。此外，在本實(shí)施方式3中，要作使習(xí)慣了現(xiàn)有的圖案匹配手法的檢查者意識(shí)不到圖案匹配手法的不同的努力。具體而言，運(yùn)算裝置在報(bào)告圖案匹配結(jié)果時(shí)，執(zhí)行配合現(xiàn)有的圖案匹配手法來(lái)校正報(bào)告形式的處理。細(xì)節(jié)將后述。圖10是說(shuō)明本實(shí)施方式3所涉及的圖案匹配方法的順序的流程圖。圖10的流程圖所示的順序能由具備與在實(shí)施方式1 2中說(shuō)明的構(gòu)成同樣的構(gòu)成的電子計(jì)算機(jī)等執(zhí)行。以下，說(shuō)明圖10的各步驟。(圖 10 步驟 S1001)運(yùn)算裝置經(jīng)由拍攝圖像輸入部來(lái)取得拍攝電子設(shè)備的檢查對(duì)象部分而得到的上述拍攝圖像。該拍攝圖像與實(shí)施方式1同樣，包含交叉點(diǎn)。運(yùn)算裝置使所取得的拍攝圖像畫面顯示于圖像顯示部。(圖10 步驟 S1002)檢查者等的操作者操作計(jì)算機(jī)的操作輸入部，來(lái)指定臨時(shí)的評(píng)價(jià)窗口區(qū)域(指定區(qū)域)。運(yùn)算裝置接受該區(qū)域指定，并取得該區(qū)域的坐標(biāo)。本步驟相當(dāng)于現(xiàn)有的圖案匹配手法中的指定匹配模板的步驟。認(rèn)為習(xí)慣了現(xiàn)有的圖案匹配手法的檢查者會(huì)將本步驟中所指定的區(qū)域直接作為匹配模板而用于圖案匹配。實(shí)際上，運(yùn)算裝置在本步驟中接受區(qū)域指定，如在后述的步驟中說(shuō)明那樣，將該區(qū)域作為臨時(shí)的評(píng)價(jià)窗口對(duì)待。(圖 10 步驟 S1003)運(yùn)算裝置搜索是否在步驟S1002中所指定的臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案。具體而言，例如考慮以下那樣的搜索順序。(圖10步驟S1003 搜索順序1)如實(shí)施方式1中說(shuō)明那樣，運(yùn)算裝置在臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口內(nèi)將左上部分作為模板圖像來(lái)生成模板旋轉(zhuǎn)圖像，進(jìn)行圖案匹配。(圖10步驟S1003 搜索順序2)運(yùn)算裝置一邊變更臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口的尺寸或模板圖像的尺寸等的條件，一邊在幾個(gè)不同的條件下執(zhí)行上述(搜索順序1)。(圖10步驟S1003 搜索順序3)在上述搜索順序1 2的結(jié)果是發(fā)現(xiàn)了匹配得分成為給定的匹配得分閾值以上的部分的情況下，運(yùn)算裝置判定為在臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案。(圖10 步驟 S1004)在步驟S1003中發(fā)現(xiàn)了點(diǎn)對(duì)稱的情況下，前進(jìn)到步驟S1005，在未發(fā)現(xiàn)的情況下， 前進(jìn)到步驟S1007。
(圖 10 步驟 SlOO5)在步驟S1003中在臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口內(nèi)發(fā)現(xiàn)了點(diǎn)對(duì)稱圖案的情況下，運(yùn)算裝置將此時(shí)的臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口的尺寸等的條件作為在以后的步驟中進(jìn)行圖案匹配時(shí)所用到的參數(shù)進(jìn)行提取。(圖10 步驟 S1006)運(yùn)算裝置使用在步驟S1005中提取出的參數(shù)，執(zhí)行在實(shí)施方式1 2中說(shuō)明的任意一種圖案匹配方法。此時(shí)，運(yùn)算裝置可以直接使用在實(shí)施方式1 2中說(shuō)明的任意一種圖案匹配方法， 也可以僅使用在評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)生成模板旋轉(zhuǎn)圖像來(lái)進(jìn)行匹配的手法。在使用后者的手法的情況下，運(yùn)算裝置通過(guò)在評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)生成模板旋轉(zhuǎn)圖像來(lái)進(jìn)行匹配，從而來(lái)判定在步驟S1002中設(shè)定的臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口的圖像與評(píng)價(jià)窗口 301的圖像是否吻合。(圖10 步驟 S1007)運(yùn)算裝置使用在步驟S1002中由檢查者指定的臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口，進(jìn)行基于現(xiàn)有的圖案匹配方法等一般的手法的圖案匹配。在此情況下，運(yùn)算裝置從拍攝圖像內(nèi)搜索與臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口內(nèi)的圖像吻合的部分。以上，說(shuō)明了本實(shí)施方式3所涉及的圖案匹配方法的順序。接下來(lái)，說(shuō)明因圖案匹配手法的不同而帶來(lái)的結(jié)果報(bào)告的差異。圖11A，IlB是表示在由檢查者設(shè)定臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口時(shí)的畫面形象的圖。圖IlA是該畫面的畫面形象，圖IlB是將臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口放大后的畫面形象。圖11A，IlB中，在評(píng)價(jià)窗口內(nèi)存在交叉點(diǎn)1102。此時(shí)的評(píng)價(jià)窗口的左上坐標(biāo)1101
由星形標(biāo)記表示。在一般所使用的圖案匹配手法中，檢查者在畫面上對(duì)要想搜索的圖像圖案進(jìn)行區(qū)域指定。此時(shí)，檢查者一般在畫面上指定該區(qū)域的左上坐標(biāo)和縱橫尺寸。在拍攝圖像內(nèi)發(fā)現(xiàn)了與由檢查者指定的圖像區(qū)域吻合的圖像圖案的情況下，一般是將包含該處的圖像區(qū)域的左上坐標(biāo)，即相當(dāng)于圖11A，IlB的左上坐標(biāo)1101的坐標(biāo)作為搜索結(jié)果進(jìn)行報(bào)告。這是為了使上述的指定方法和搜索結(jié)果的報(bào)告形式一致。與此相對(duì)，在本實(shí)施方式3中說(shuō)明的圖案匹配手法中，將交叉點(diǎn)1102的位置作為圖案匹配結(jié)果進(jìn)行報(bào)告。因此，在評(píng)價(jià)窗口內(nèi)發(fā)現(xiàn)了交叉點(diǎn)1102的情況下，認(rèn)為習(xí)慣了現(xiàn)有的圖案匹配手法的檢查者會(huì)將評(píng)價(jià)窗口的左上坐標(biāo)1101作為搜索結(jié)果進(jìn)行報(bào)告。若將交叉點(diǎn)1102的坐標(biāo)報(bào)告為檢查結(jié)果，則還存在檢查者會(huì)將交叉點(diǎn)1102誤認(rèn)為評(píng)價(jià)窗口的左上坐標(biāo)的可能性。為此，在本實(shí)施方式3中，運(yùn)算裝置在圖10的步驟S1006中執(zhí)行圖案匹配，在評(píng)價(jià)窗口內(nèi)發(fā)現(xiàn)了點(diǎn)對(duì)稱圖案的情況下，算出其坐標(biāo)與評(píng)價(jià)窗口的左上坐標(biāo)之間的差分(Δχ， Ay)。運(yùn)算裝置在提示將圖案匹配結(jié)果顯示于計(jì)算機(jī)的畫面上等時(shí)，提示在實(shí)際的點(diǎn)對(duì)稱圖案(交叉點(diǎn)1102)的中心坐標(biāo)上加上差分(Δχ，Ay)而得到的坐標(biāo)。由此，在執(zhí)行圖10的步驟S1006的情況下和在執(zhí)行步驟S1007的情況下，將搜索結(jié)果的報(bào)告形式進(jìn)行統(tǒng)一。因此，檢查者能在未意識(shí)到內(nèi)部的圖案匹配手法的不同的情況下，照著現(xiàn)有技術(shù)那樣的報(bào)告形式來(lái)掌握?qǐng)D案匹配的結(jié)果。盡管在圖10的步驟S1002中，說(shuō)明了在畫面上由檢查者指定臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口，但也可以取而代之，在得到該電子設(shè)備的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的情況下，在設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)上指定臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口。如上所述，在本實(shí)施方式3中，根據(jù)由用戶在拍攝圖像內(nèi)指定的圖像區(qū)域(臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口)內(nèi)是否存在點(diǎn)對(duì)稱圖案，來(lái)變更圖案匹配手法。在存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的情況下，通過(guò)在圖10的步驟S1006中使用實(shí)施方式1 2中的任一種圖案匹配手法，能發(fā)揮與這些實(shí)施方式同樣的效果。另外，在不存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的情況下，由于在圖10的步驟S1007中使用現(xiàn)有的一般的圖案匹配手法，因此即使在實(shí)施方式1 2的手法均不能使用的情況下，也不需要中斷圖案匹配。另外，本實(shí)施方式3中，由用戶在拍攝圖像內(nèi)指定的圖像區(qū)域(臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口)內(nèi)是否存在點(diǎn)對(duì)稱圖案，能使用與在實(shí)施方式1中說(shuō)明的評(píng)價(jià)窗口內(nèi)的搜索方法同樣的手法來(lái)進(jìn)行判定。由此，能可靠地判定點(diǎn)對(duì)稱圖案的有無(wú)。另外，在本實(shí)施方式3中，在判定由用戶在拍攝圖像內(nèi)指定的圖像區(qū)域(臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口)內(nèi)是否存在點(diǎn)對(duì)稱圖案時(shí)，一邊變更臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口的尺寸等的參數(shù)，一邊多次進(jìn)行搜索。由此，能配合由用戶指定的臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口來(lái)優(yōu)化在以后的步驟中進(jìn)行圖案匹配時(shí)的參數(shù)。另外，本實(shí)施方式3中，運(yùn)算裝置在執(zhí)行實(shí)施方式1 2中說(shuō)明的圖案匹配方法而發(fā)現(xiàn)了點(diǎn)對(duì)稱圖案的情況下，將在其點(diǎn)對(duì)稱圖案的中心位置上加上了上述的(Δχ，Δγ)而得到的位置作為搜索結(jié)果進(jìn)行提示。由此，習(xí)慣了現(xiàn)有的圖案匹配方法的檢查者能在意識(shí)不到內(nèi)部所執(zhí)行的圖案匹配方法的情況下，照著現(xiàn)有技術(shù)那樣的報(bào)告形式來(lái)掌握?qǐng)D案匹配的結(jié)果。因此，能避免檢查者因圖案匹配手法的差異而引起的、誤認(rèn)搜索結(jié)果的事態(tài)。實(shí)施方式4.在本發(fā)明的實(shí)施方式4中，說(shuō)明對(duì)在判定是否在評(píng)價(jià)窗口內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案時(shí)的處理進(jìn)行簡(jiǎn)化的手法。圖12是說(shuō)明在一定程度上判明了在評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)有存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的部分的情況下的動(dòng)作例的圖。在事先能拿到檢查對(duì)象的電子設(shè)備的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的情況下，有時(shí)能在一定程度上知道點(diǎn)對(duì)稱圖案在拍攝圖像內(nèi)所在的位置。在這樣的情況下，能簡(jiǎn)化算出評(píng)價(jià)窗口 301的總和匹配得分的處理。例如圖12中，在事先知道在評(píng)價(jià)窗口 301的中央付近存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的情況下， 僅在評(píng)價(jià)窗口 301的中央付近進(jìn)行圖案匹配就已足夠。為此，運(yùn)算裝置在評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)設(shè)定部分評(píng)價(jià)區(qū)域1200，且僅在該內(nèi)部執(zhí)行圖案匹配。由此，由于運(yùn)算裝置不需要針對(duì)評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)的全部的像素進(jìn)行匹配，因此能簡(jiǎn)化算出評(píng)價(jià)窗口 301的總和匹配得分的處理，減輕處理負(fù)荷。
另外，在評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)存在非點(diǎn)對(duì)稱圖案1201的情況下，通過(guò)僅在部分評(píng)價(jià)區(qū)域1200內(nèi)進(jìn)行圖案匹配，能抑制匹配得分受這些非點(diǎn)對(duì)稱圖案1201的影響。由此，能可靠地判定是否在評(píng)價(jià)窗口 301內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案。此外，在本實(shí)施方式4中說(shuō)明的手法可以與上述實(shí)施方式1 3兼用。例如在實(shí)施方式1 2中，在運(yùn)算裝置在算出評(píng)價(jià)窗口 301的總和匹配得分時(shí)，能使用本實(shí)施方式4的手法。在實(shí)施方式3中，運(yùn)算裝置同樣地在算出評(píng)價(jià)窗口 301的總和匹配得分時(shí)，能使用本實(shí)施方式4的手法。另外，運(yùn)算裝置還能在由檢查者選擇出的臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口內(nèi)設(shè)定部分評(píng)價(jià)區(qū)域1200，并一邊變更部分評(píng)價(jià)區(qū)域1200的位置、形狀、尺寸等，一邊多次執(zhí)行圖案匹配。此時(shí)，可以將臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口自身的尺寸一起變更，也可以僅將部分評(píng)價(jià)區(qū)域1200單獨(dú)變更。實(shí)施方式5.在本發(fā)明的實(shí)施方式5中，說(shuō)明通過(guò)計(jì)算來(lái)求取在實(shí)施方式2中說(shuō)明的亮度方差閾值的手法。圖13A，13B是表示基于拍攝倍率的不同的劃線的間隔差的圖。將圖13A，13B所示的圖像的像素尺寸假設(shè)為512像素X512像素。圖13A例示了拍攝倍率為100倍時(shí)的拍攝圖像，圖13B例示了拍攝倍率為200倍時(shí)的拍攝圖像。將拍攝倍率為100倍時(shí)的劃線的間隔設(shè)為50像素。實(shí)施方式2中，在設(shè)定亮度方差閾值時(shí)，能使用拍攝倍率來(lái)事先預(yù)測(cè)拍攝圖像上的劃線的間隔，并基于此來(lái)預(yù)測(cè)亮度方差閾值。例如，假設(shè)若根據(jù)電子設(shè)備的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，劃線的間隔為130μπι，以拍攝倍率100倍來(lái)拍攝劃線，則能事先判明其間隔為50像素。在實(shí)施實(shí)施方式2的手法時(shí)，若拍攝倍率為200倍，則劃線的間隔在畫面上應(yīng)該成為100像素。利用該事實(shí)，能通過(guò)計(jì)算來(lái)算出該圖像上的亮度方差值。能將通過(guò)該計(jì)算而得到的值用作在實(shí)施方式2中說(shuō)明的亮度方差閾值。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式5，利用檢查對(duì)象的電子設(shè)備的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)、拍攝圖像的拍攝倍率，能通過(guò)計(jì)算來(lái)求取亮度方差閾值。由此，由于運(yùn)算裝置能基于電子設(shè)備的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)來(lái)設(shè)定亮度方差閾值，因此能生成適當(dāng)?shù)恼谘趫D像。實(shí)施方式6.在以上的實(shí)施方式1 5中，可以將在其他的實(shí)施方式中說(shuō)明的手法與圖案匹配手法進(jìn)行組合。例如，實(shí)施方式3中，在由檢查者指定的臨時(shí)評(píng)價(jià)窗口內(nèi)包含點(diǎn)對(duì)稱圖案的情況下，可以在圖10的步驟S1006中，不僅執(zhí)行實(shí)施方式1 2各自說(shuō)明的手法，還執(zhí)行現(xiàn)有的一般的圖案匹配，并進(jìn)行對(duì)通過(guò)各手法而得到的匹配得分取平均等統(tǒng)計(jì)處理，來(lái)作為最終的匹配結(jié)果?；蛘呖梢允褂盟玫降母髌ヅ涞梅郑蓹z查者基于經(jīng)驗(yàn)來(lái)進(jìn)行判斷。實(shí)施方式7.圖14是使用在實(shí)施方式1 6中說(shuō)明的圖案匹配方法來(lái)檢查電子設(shè)備的電子設(shè)備檢查裝置1000的構(gòu)成圖。
電子設(shè)備檢查裝置1000具備顯微鏡1100、電子計(jì)算機(jī)1200。顯微鏡1100拍攝檢查對(duì)象的電子設(shè)備，并將其拍攝圖像輸出到電子計(jì)算機(jī)1200。電子計(jì)算機(jī)1200具備拍攝圖像輸入部1201、運(yùn)算裝置1202、操作輸入部1203、 圖像顯示部1204、。拍攝圖像輸入部1201是從顯微鏡1100接受拍攝圖像的接口。接口的規(guī)格使用任意的公知技術(shù)即可。運(yùn)算裝置1202由CPU或微機(jī)等構(gòu)成，并具備ROM (Read Only Memory)等存儲(chǔ)裝置。 在該存儲(chǔ)裝置中容納有對(duì)在實(shí)施方式1 6的任一個(gè)中說(shuō)明的圖案匹配方法的動(dòng)作進(jìn)行了規(guī)定的程序。運(yùn)算裝置1202依照由該程序規(guī)定的動(dòng)作，來(lái)執(zhí)行在實(shí)施方式1 6的任一個(gè)中說(shuō)明的圖案匹配方法。操作輸入部1203是用于由檢查者等對(duì)電子計(jì)算機(jī)1200進(jìn)行操作輸入的操作接□。圖像顯示部1204由液晶顯示器裝置等構(gòu)成。運(yùn)算裝置1202將進(jìn)行圖案匹配而得到的結(jié)果等畫面顯示于圖像顯示部1204。顯微鏡1100相當(dāng)于實(shí)施方式1 6的“拍攝裝置”。拍攝圖像輸入部1201相當(dāng)于實(shí)施方式1 6的“拍攝圖像輸入部”。運(yùn)算裝置1202相當(dāng)于實(shí)施方式1 6的“運(yùn)算裝置”。操作輸入部1203相當(dāng)于實(shí)施方式1 6的“操作輸入部”。圖像顯示部1204相當(dāng)于實(shí)施方式1 6的“圖像顯示部”。以上，說(shuō)明了本實(shí)施方式7所涉及的電子設(shè)備檢查裝置1000。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該明確，盡管上述記載是針對(duì)實(shí)施例而進(jìn)行的，但本發(fā)明不限于此，在本發(fā)明的主旨和附加的權(quán)利要求的范圍內(nèi)能進(jìn)行各種變更以及修正。工業(yè)實(shí)用性根據(jù)本發(fā)明所涉及的圖案匹配方法，能簡(jiǎn)化由檢查者事先設(shè)定適當(dāng)?shù)哪０宓鹊氖孪鹊脑O(shè)定操作，且能正確地檢索檢查點(diǎn)。符號(hào)的說(shuō)明200 電子設(shè)備的拍攝圖像201 芯片202 交叉點(diǎn)203 劃線301 評(píng)價(jià)窗口400模板區(qū)域401 區(qū)域 A402 區(qū)域 B403 區(qū)域 C601匹配得分?jǐn)?shù)據(jù)1100 顯微鏡1200 電子計(jì)算機(jī)
1201拍攝圖像輸入部1202運(yùn)算裝置1203操作輸入部1204 圖像顯示部
權(quán)利要求
1.一種圖案匹配方法，其特征在于，包括從拍攝電子設(shè)備而取得的拍攝圖像中提取一部分的圖像區(qū)域的步驟；以所述圖像區(qū)域的中心位置為基準(zhǔn)來(lái)分割該圖像區(qū)域從而取得2個(gè)以上的分割圖像的步驟；將所述分割圖像中的1個(gè)設(shè)定為模板圖像的步驟；以所述中心位置為基準(zhǔn)來(lái)使所述模板圖像旋轉(zhuǎn)從而取得2個(gè)以上的模板旋轉(zhuǎn)圖像的模板旋轉(zhuǎn)步驟；在所述模板旋轉(zhuǎn)圖像和所述圖像區(qū)域中的與所述模板旋轉(zhuǎn)圖像的旋轉(zhuǎn)后的位置對(duì)應(yīng)的部分的圖像之間進(jìn)行圖案匹配，并算出其匹配得分的匹配得分算出步驟；使用針對(duì)全部的所述模板旋轉(zhuǎn)圖像的所述匹配得分來(lái)算出所述圖像區(qū)域內(nèi)的總和匹配得分的總和匹配得分算出步驟；針對(duì)所述拍攝圖像的多處取得所述總和匹配得分的步驟；和使用針對(duì)所述拍攝圖像的多處的所述總和匹配得分來(lái)判定在所述拍攝圖像內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的部分的步驟。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案匹配方法，其特征在于，在所述模板旋轉(zhuǎn)步驟中，使所述模板圖像分別旋轉(zhuǎn)90度、180度、以及270度來(lái)取得3個(gè)所述模板旋轉(zhuǎn)圖像，在所述匹配得分算出步驟中，在各所述模板旋轉(zhuǎn)圖像和所述圖像區(qū)域中的與在使所述模板旋轉(zhuǎn)圖像旋轉(zhuǎn)90度、180度、以及270度后的各自的位置對(duì)應(yīng)的部分的圖像之間進(jìn)行圖案匹配。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案匹配方法，其特征在于，在所述總和匹配得分算出步驟中，使用所述圖像區(qū)域內(nèi)的所述匹配得分的統(tǒng)計(jì)值作為所述總和匹配。
4.一種圖案匹配方法，其特征在于，包括對(duì)拍攝電子設(shè)備而取得的拍攝圖像進(jìn)行掃描，并算出其掃描線上的像素的亮度方差值的步驟；在所述亮度方差值為給定的亮度方差閾值以上的情況下，將所述掃描線上的像素置換為均勻的步驟；和使用將所述掃描線上的亮度值置換為均勻的值后的所述拍攝圖像來(lái)進(jìn)行圖案匹配的步驟。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圖案匹配方法，其特征在于，使用所述電子設(shè)備的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)來(lái)算出所述掃描線上的像素的亮度方差值的預(yù)測(cè)值的步驟；和將其算出結(jié)果設(shè)定為所述亮度方差閾值的步驟。
6.一種圖案匹配方法，其特征在于，包括對(duì)拍攝電子設(shè)備而取得的拍攝圖像中的一部分的指定區(qū)域進(jìn)行指定的區(qū)域指定步驟；通過(guò)圖案匹配來(lái)判定是否在所述指定區(qū)域內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的判定步驟；根據(jù)所述點(diǎn)對(duì)稱圖案的有無(wú)來(lái)決定圖案匹配方法的圖案匹配方法決定步驟；和使用在所述圖案匹配方法決定步驟中所決定的圖案匹配方法來(lái)進(jìn)行所述拍攝圖像的圖案匹配的步驟。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖案匹配方法，其特征在于，所述判定步驟包括從所述指定區(qū)域中提取一部分的圖像區(qū)域的步驟；以所述圖像區(qū)域的中心位置為基準(zhǔn)來(lái)分割該圖像區(qū)域從而取得2個(gè)以上的分割圖像的步驟；將所述分割圖像中的1個(gè)設(shè)定為模板圖像的步驟；以所述中心位置為基準(zhǔn)來(lái)使所述模板圖像旋轉(zhuǎn)從而取得2個(gè)以上的模板旋轉(zhuǎn)圖像的模板旋轉(zhuǎn)步驟；在所述模板旋轉(zhuǎn)圖像和所述圖像區(qū)域中的與所述模板旋轉(zhuǎn)圖像的旋轉(zhuǎn)后的位置對(duì)應(yīng)的部分的圖像之間進(jìn)行圖案匹配，并算出其匹配得分的匹配得分算出步驟；和使用針對(duì)全部的所述模板旋轉(zhuǎn)圖像的所述匹配得分來(lái)算出所述圖像區(qū)域內(nèi)的總和匹配得分的總和匹配得分算出步驟。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖案匹配方法，其特征在于，在所述判定步驟中，一邊變更所述指定區(qū)域的尺寸或所述分割圖像的尺寸，一邊多次進(jìn)行基于圖案匹配的所述判定，在作為圖案匹配的結(jié)果而得到的最高的匹配得分為給定的匹配得分閾值以上的情況下，判定為在所述指定區(qū)域內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖案匹配方法，其特征在于，在所述判定步驟中判定為在指定區(qū)域內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的情況下，所述圖案匹配方法包括使用此時(shí)的所述指定區(qū)域的尺寸來(lái)從所述拍攝圖像中提取一部分的圖像區(qū)域的步驟；以所述圖像區(qū)域的中心位置為基準(zhǔn)來(lái)分割該圖像區(qū)域從而取得2個(gè)以上的分割圖像的步驟；將所述分割圖像中的1個(gè)設(shè)定為模板圖像的步驟；以所述中心位置為基準(zhǔn)來(lái)使所述模板圖像旋轉(zhuǎn)從而取得2個(gè)以上的模板旋轉(zhuǎn)圖像的模板旋轉(zhuǎn)步驟；在所述模板旋轉(zhuǎn)圖像和所述圖像區(qū)域中的與所述模板旋轉(zhuǎn)圖像的旋轉(zhuǎn)后的位置對(duì)應(yīng)的部分的圖像之間進(jìn)行圖案匹配，并算出其匹配得分的匹配得分算出步驟；使用針對(duì)全部的所述模板旋轉(zhuǎn)圖像的所述匹配得分來(lái)算出所述圖像區(qū)域內(nèi)的總和匹配得分的總和匹配得分算出步驟；針對(duì)所述拍攝圖像的多個(gè)部分來(lái)取得所述總和匹配得分的步驟；和使用針對(duì)所述拍攝圖像的多處的所述總和匹配得分來(lái)判定在所述拍攝圖像內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的部分的步驟。
10.一種圖案匹配方法，其特征在于，包括對(duì)拍攝電子設(shè)備而取得的拍攝圖像中的一部分的指定區(qū)域進(jìn)行指定的區(qū)域指定步驟；使用所述圖像區(qū)域來(lái)判定在與所述圖像區(qū)域?qū)?yīng)的部分是否存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的判定步驟；和在所述判定步驟中判定為在與所述圖像區(qū)域?qū)?yīng)的部分存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的情況下，使用2種以上的圖案匹配手法來(lái)進(jìn)行所述拍攝圖像的圖案匹配。
11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖案匹配方法，其特征在于，在所述圖像區(qū)域內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的情況下，提示其圖像區(qū)域的左上頂點(diǎn)的坐標(biāo)來(lái)作為搜索結(jié)果。
12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖案匹配方法，其特征在于，在所述區(qū)域指定步驟中，在接受所述指定區(qū)域的指定時(shí)，取代所述拍攝圖像的一部分的區(qū)域的指定而接受所述電子設(shè)備的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的相應(yīng)區(qū)域的指定。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案匹配方法，其特征在于，僅針對(duì)所述圖像區(qū)域中的認(rèn)為存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的部分評(píng)價(jià)區(qū)域進(jìn)行圖案匹配。
14.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖案匹配方法，其特征在于，在所述判定步驟中，僅針對(duì)所述圖像區(qū)域中的認(rèn)為存在點(diǎn)對(duì)稱圖案的部分評(píng)價(jià)區(qū)域進(jìn)行圖案匹配，并一邊變更所述部分區(qū)域的尺寸一邊多次進(jìn)行基于圖案匹配的所述判定，在作為圖案匹配的結(jié)果而得到的最高的匹配得分為給定的匹配得分閾值以上的情況下，判定為在與所述圖像區(qū)域?qū)?yīng)的部分存在點(diǎn)對(duì)稱圖案。
15.一種圖案匹配程序，其特征在于，使計(jì)算機(jī)執(zhí)行權(quán)利要求1所述的圖案匹配方法。
16.一種電子計(jì)算機(jī)，其特征在于，具備運(yùn)算裝置，其執(zhí)行權(quán)利要求15所述的圖案匹配程序；和拍攝圖像輸入部，其接受所述拍攝圖像。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電子計(jì)算機(jī)，其特征在于，所述電子計(jì)算機(jī)具備接受操作輸入部，其接受用于對(duì)執(zhí)行所述圖案匹配方法時(shí)的條件進(jìn)行指定的操作輸入；和顯示部，其對(duì)所述圖案匹配方法的執(zhí)行結(jié)果進(jìn)行畫面顯示。
18.一種電子設(shè)備檢查裝置，其特征在于，具備權(quán)利要求16所述的電子計(jì)算機(jī)；和拍攝所述電子設(shè)備的圖像的拍攝裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供能簡(jiǎn)化事先的設(shè)定的工序且正確地搜索檢查點(diǎn)的圖案匹配手法。提取拍攝圖像的一部分的圖像區(qū)域，將該圖像區(qū)域的分割圖像設(shè)定為模板圖像，并一邊使模板圖像旋轉(zhuǎn)一邊進(jìn)行圖案匹配。另外，通過(guò)該圖案匹配來(lái)判定是否在圖像區(qū)域內(nèi)存在點(diǎn)對(duì)稱圖案。
文檔編號(hào)G06T7/00GK102576462SQ20108004454
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2010年10月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月5日
發(fā)明者豐田康隆, 安部雄一, 池田光二 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立高新技術(shù)