技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種微塵檢測機(jī)構(gòu)，在一機(jī)體上設(shè)有一光學(xué)影像模塊，且機(jī)體上設(shè)有一可供承載待檢的光罩的載臺模塊，該載臺模塊位于光學(xué)影像模塊下方、且可相對線性位移，本發(fā)明的特色在于機(jī)體于光學(xué)影像模塊周緣設(shè)有至少二個(gè)相對等距、且等角的光源模塊，所述的這些光源結(jié)構(gòu)具有一可調(diào)整光源射出角度的激光發(fā)光件，使所述的這些激光發(fā)光件發(fā)出的光源能距焦于光學(xué)影像模塊的檢測范圍內(nèi)，且所述的這些激光光源組的光源接近或等于待檢光罩的表面，如此，可提供有效的光源，以避免光源穿透透光件而產(chǎn)生影像干擾，且可供有效辦視微塵的大小，能提升其檢測的效率與準(zhǔn)確率，減少不必要的誤判狀況，進(jìn)一步可提高晶圓后續(xù)加工的合格率。

技術(shù)研發(fā)人員：陳明生
受保護(hù)的技術(shù)使用者：特銓股份有限公司
文檔號碼：201510881240
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.03
技術(shù)公布日：2017.06.13