1.一種微塵檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于，其至少包含有：
一機(jī)體，其具有一移動(dòng)軸；
一載臺(tái)模塊，其滑設(shè)于機(jī)體的移動(dòng)軸，該載臺(tái)模塊可供承載待測(cè)的透光件沿機(jī)體的移動(dòng)軸線性位移；
一光學(xué)影像模塊，其設(shè)于機(jī)體上，供該光學(xué)影像模塊與該載臺(tái)模塊能夠相對(duì)位移，該光學(xué)影像模塊由至少一呈線性掃描的影像感測(cè)元件所組成，該至少一影像感測(cè)元件的線性掃描延伸軸與載臺(tái)模塊的移動(dòng)軸呈垂直相交并形成有交點(diǎn)；以及
至少二光源模塊，其分設(shè)于機(jī)體的移動(dòng)軸兩側(cè)中的至少一側(cè)，該至少二光源模塊分別具有一激光發(fā)光件，且至少二該激光發(fā)光件的光源射出點(diǎn)與該交點(diǎn)等距且等角，該至少二激光發(fā)光件的光源射出點(diǎn)與待測(cè)透光件檢測(cè)表面的夾角角度介于0.5至6度之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微塵檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：該至少二光源模塊的激光發(fā)光件是波長(zhǎng)600nm～700nm的紅光激光二極管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微塵檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：該至少一影像感測(cè)元件距離待測(cè)透光件檢測(cè)表面的焦距高度為280mm～320mm，將該線性滑軌的移動(dòng)軸定義為X軸方向，將該影像感測(cè)元件的線性掃描延伸軸定義為Y軸方向，而該至少二光源模塊的激光發(fā)光件的光源射出點(diǎn)與該交點(diǎn)之間的連線在X軸上的投影距離為300mm～320mm，且該至少二光源模塊的激光發(fā)光件的光源射出點(diǎn)與該交點(diǎn)在Y軸上的投影距離為120mm～130。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微塵檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：該微塵檢測(cè)機(jī)構(gòu)用于檢測(cè)半導(dǎo)體光罩時(shí)，該至少一影像感測(cè)元件距離待測(cè)透光件檢測(cè)表面的焦距高度為293mm～305mm，將該線性滑軌的移動(dòng)軸定義為X軸方向，將該影像感測(cè)元件的線性掃描延伸軸定義為Y軸方向，而該至少二光源模塊的激光發(fā)光件的光源射出點(diǎn)與該交點(diǎn)在X軸上的投影距離為307mm～311mm，且該至少二光源模塊的激光發(fā)光件的光源射出點(diǎn)與該交點(diǎn)在Y軸上的投影距離為123mm～127mm，再者該至少二光源模塊的激光發(fā)光件的光源射出點(diǎn)與待測(cè)透光件檢測(cè)表面的夾角角度介于0.5至3度之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微塵檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：該激光發(fā)光件通過(guò) 一微調(diào)模塊設(shè)于機(jī)體上，且該微調(diào)模塊具有可調(diào)整X軸、Y軸、Z軸、X軸旋轉(zhuǎn)角度、Y軸旋轉(zhuǎn)角度、Z軸旋轉(zhuǎn)角度或其任意組合的調(diào)整功能。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微塵檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：該載臺(tái)模塊具有一可供待測(cè)透光件迅速定位于檢測(cè)位置的定位機(jī)構(gòu)，該定位機(jī)構(gòu)具有一底板，且底板在對(duì)應(yīng)待測(cè)透光件的角落分別設(shè)有一固定件，且各固定件分別設(shè)有一供頂撐該待測(cè)透光件各角落的撐塊，又撐塊與固定件間進(jìn)一步設(shè)有一能調(diào)節(jié)高度的調(diào)整組，該定位機(jī)構(gòu)的底板頂面在對(duì)應(yīng)待測(cè)透光件各邊緣處分別設(shè)有一供選擇性貼抵待測(cè)透光件邊緣的推壓件，該推壓件上分別設(shè)有至少兩個(gè)可同步選擇性貼抵待測(cè)透光件邊緣的抵柱，使不同待測(cè)透光件均能定位于同一檢測(cè)位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的微塵檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：該載臺(tái)模塊具有一可帶動(dòng)待測(cè)透光件上、下位移的升降機(jī)構(gòu)，該升降機(jī)構(gòu)具有一基板，且基板上滑設(shè)有一具有斜導(dǎo)面的座體，座體的斜導(dǎo)面上滑設(shè)有一具有相對(duì)斜導(dǎo)面的承體，基板在承體異于座體一端固設(shè)有一立板，供承體能夠沿立板上、下位移，再者基板在座體異于承體的一端設(shè)有一供選擇性作動(dòng)座體的驅(qū)動(dòng)件，令承體能夠利用斜導(dǎo)面沿立板產(chǎn)生升降作用。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微塵檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：該載臺(tái)模塊的定位機(jī)構(gòu)設(shè)于升降機(jī)構(gòu)頂面，再者該定位機(jī)構(gòu)上設(shè)有至少一能夠檢知待測(cè)透光件厚度的高度檢測(cè)元件，該高度檢測(cè)元件并與升降機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)件形成電氣連接，供配合待測(cè)透光件厚度調(diào)節(jié)升降機(jī)構(gòu)的承體頂升高度。